專利名稱：壓電振動(dòng)元件的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及應(yīng)用于壓電諧振元件或壓電執(zhí)行器等的壓電振動(dòng)元件，特別是涉及具備在基板上裝載壓電振子從而可利用壓電效應(yīng)振動(dòng)的壓電振動(dòng)元件。
背景技術(shù)：
迄今，人們已提出了用作振蕩器或?yàn)V波器的各種壓電振動(dòng)元件。另外，在壓電振動(dòng)元件中，由于壓電振子會(huì)振動(dòng)，因此必須要有不妨礙壓電振子的振動(dòng)的封裝結(jié)構(gòu)。在下述的專利文獻(xiàn)1記載的壓電振動(dòng)元件中，采用了由外殼基板和蓋子構(gòu)成的封裝結(jié)構(gòu)。圖8為具有這種封裝結(jié)構(gòu)的現(xiàn)有的壓電振動(dòng)元件的分解透視圖。在壓電振動(dòng)元件101中，在外殼基板102上裝載壓電振子103。這里，實(shí)現(xiàn)與外部電連接的第一端子電極 104、第二端子電極105形成在外殼基板102的第一角落部102a、第二角落部102b上。另夕卜，在外殼基板102的上表面配置導(dǎo)電性粘接劑106、107。導(dǎo)電性粘接劑106、107與迂回電極108、109電連接。通過(guò)導(dǎo)電性粘接劑106、107，壓電振子103被固定在外殼基板102上， 并且壓電振子103通過(guò)迂回電極108、109與第一、第二端子電極104、105電連接。上述壓電振子103的一端以懸臂結(jié)構(gòu)并通過(guò)上述導(dǎo)電性粘接劑106、107支撐。為形成不妨礙上述壓電振子103的振動(dòng)的空間，底部具有開(kāi)口的蓋子110通過(guò)框狀的粘接劑層111與外殼基板102接合。因此，壓電振子103密封在由外殼基板102和蓋子110形成的封裝結(jié)構(gòu)內(nèi)。專利文獻(xiàn)1特開(kāi)2001-110925號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
壓電振動(dòng)元件101與其它電子元件一樣，非常要求小型化。在壓電振動(dòng)元件101 中不得不形成具有不妨礙上述壓電振子103的振動(dòng)的密封空間的封裝結(jié)構(gòu)。因此，壓電振動(dòng)元件101的小型化是有限的。因此，迄今，為了盡量縮小壓電振動(dòng)元件101，在外殼基板102中，盡量縮小導(dǎo)電性粘接劑106、107與端子電極104、105之間的距離。另一方面，在壓電振動(dòng)元件101中，壓電振子103的振動(dòng)容易經(jīng)由使用了導(dǎo)電性粘接劑106、107的接合部泄漏到外殼基板102側(cè)。因此，由于振動(dòng)的泄漏，有可能發(fā)生諧振特性等特性的劣化。本發(fā)明的目的在于克服上述現(xiàn)有技術(shù)缺點(diǎn)，提供一種不僅能夠?qū)崿F(xiàn)小型化，而且能夠抑制振動(dòng)從壓電振子泄漏到外殼基板側(cè)的壓電振動(dòng)元件。本發(fā)明提供一種壓電振動(dòng)元件，其具備具有上表面和下表面的基板、支撐于所述基板的上表面的壓電振子、連接所述基板與所述壓電振子使所述壓電振子支撐于所述基板的一端側(cè)上表面且與所述壓電振子電連接的導(dǎo)電性支撐構(gòu)件、設(shè)置在靠近所述基板的另一端的端子電極、設(shè)置于所述基板的上表面并連接所述導(dǎo)電性支撐構(gòu)件和所述端子電極的迂回電極。
在本發(fā)明的壓電振動(dòng)元件中，上述壓電振子雖支撐于基板的上表面，但不限定于該支撐方式。根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施方式，壓電振子通過(guò)上述導(dǎo)電性支撐構(gòu)件成懸臂結(jié)構(gòu)地支撐于基板的上表面。這時(shí)，能夠增大壓電振子的位移量。并且能夠?qū)崿F(xiàn)支撐結(jié)構(gòu)的簡(jiǎn)單化。根據(jù)本發(fā)明的壓電振動(dòng)元件的其它實(shí)施方式，所述基板具備具有相互對(duì)著的第一邊、第二邊及相互對(duì)著的第三邊、第四邊的矩形的平面形狀，所述導(dǎo)電性支撐構(gòu)件配置在靠近所述第一邊處，所述端子電極形成在靠近所述第二邊處。在具有矩形的平面形狀的基板上，由于導(dǎo)電性支撐構(gòu)件形成在靠近第一邊處，端子電極形成在靠近第二邊處即位于基板的另一端，因此能夠在基板的上表面形成較長(zhǎng)的迂回電極。根據(jù)本發(fā)明的壓電振動(dòng)元件的又一實(shí)施方式，所述基板具備具有相互對(duì)著的第一邊、第二邊及相互對(duì)著的第三邊、第四邊的矩形的平面形狀；所述導(dǎo)電性支撐構(gòu)件包括配置在靠近所述第一邊處的第一導(dǎo)電性支撐構(gòu)件、和配置在靠近所述第二邊處的第二導(dǎo)電性支撐構(gòu)件；所述壓電振子通過(guò)所述第一、第二導(dǎo)電性支撐構(gòu)件支撐于所述基板的上表面；所述端子電極包括配置在靠近所述第二邊處的第一端子電極、和配置在靠近所述第一邊處的第二端子電極；所述迂回電極包括第一迂回電極和第二迂回電極，所述第一導(dǎo)電性支撐構(gòu)件和所述第一端子電極通過(guò)所述第一迂回電極電連接，并且所述第二導(dǎo)電性支撐構(gòu)件和所述第二端子電極通過(guò)第二迂回電極電連接。這時(shí)，在通過(guò)配置在靠近基板的第一邊處的第一導(dǎo)電性支撐構(gòu)件、和配置在靠近第二邊處的第二導(dǎo)電性支撐構(gòu)件支撐著壓電振子的構(gòu)造中，能夠充分延長(zhǎng)第一、第二迂回電極的長(zhǎng)度。在本發(fā)明的壓電振動(dòng)元件的又一實(shí)施方式中，還具備形成在所述基板的上表面的樹(shù)脂層，該樹(shù)脂層覆蓋所述迂回電極的至少一部分。因此，通過(guò)樹(shù)脂層能夠減弱泄漏的振動(dòng)。在本發(fā)明的壓電振動(dòng)元件的又一實(shí)施方式中，還具備蓋子，以蓋住裝載在所述基板上的所述壓電振子，該蓋子通過(guò)粘接劑固定在所述基板上，并且在朝向所述基板的一側(cè)具有開(kāi)口。從而，根據(jù)本發(fā)明的壓電振動(dòng)元件，具有形成了不妨礙壓電振子的位移的密封空間的封裝結(jié)構(gòu)，并且能夠提供抑制振動(dòng)的泄漏。在該構(gòu)造中，最好是還具備形成在基板的上表面的樹(shù)脂層，該樹(shù)脂曾覆蓋迂回電極的至少一部分。從而，通過(guò)樹(shù)脂層能夠減弱泄漏到基板側(cè)的振動(dòng)。這時(shí)，用于將上述蓋子固定在基板上的粘接劑也可兼作上述樹(shù)脂層。當(dāng)制造帶有蓋子的壓電振動(dòng)元件時(shí)，就不必準(zhǔn)備構(gòu)成上述樹(shù)脂層的其它材料。并且，能夠在接合上述蓋子的同時(shí)形成上述樹(shù)脂層。發(fā)明的有益效果在本發(fā)明的壓電振動(dòng)元件中，由于導(dǎo)電性支撐構(gòu)件形成在靠近基板的一端處，端子電極形成在靠近基板的另一端處，因此能夠形成足夠長(zhǎng)的迂回電極。從而，從壓電振子泄漏到基板側(cè)的振動(dòng)沿著長(zhǎng)的迂回電極傳播時(shí)可得到充分衰減。即，能夠通過(guò)迂回電極延長(zhǎng)振動(dòng)衰減路徑長(zhǎng)度。而且，由于上述迂回電極的長(zhǎng)度是通過(guò)調(diào)整端子電極和導(dǎo)電性支撐構(gòu)件的位置關(guān)系而延長(zhǎng)的，因此不必增大基板的尺寸，也能夠延長(zhǎng)振動(dòng)衰減路徑長(zhǎng)度。因此， 也沒(méi)有妨礙壓電振動(dòng)元件的小型化。


圖1為本發(fā)明的第一實(shí)施方式的壓電振動(dòng)元件的分解透視圖。圖2為說(shuō)明在制造第一實(shí)施方式的壓電振動(dòng)元件時(shí)，將蓋子接合在基板上的工序的透視圖。圖3(a)及(b)為設(shè)置了樹(shù)脂層的實(shí)施例的、根據(jù)第一實(shí)施方式的壓電振動(dòng)元件的有限元法的分析模型的正視剖面概略圖，及表示根據(jù)有限元法所分析的位移分布的圖。圖4(a)及(b)為除了沒(méi)有設(shè)置樹(shù)脂層這一點(diǎn)外與實(shí)施例具有一樣的構(gòu)成的變形例的、根據(jù)第一實(shí)施方式的壓電振動(dòng)元件的有限元法的分析模型的正視剖面概略圖，及表示根據(jù)有限元法所分析的位移分布的圖。圖5為表示迂回電極的電極長(zhǎng)度與位于迂回電極的端部的相對(duì)位移量之間的關(guān)系的圖。圖6(a)及(b)為本發(fā)明的第二實(shí)施方式的壓電振動(dòng)元件的分解透視圖，及表示在制造第二實(shí)施方式的壓電振動(dòng)元件時(shí)接合蓋子的工序的透視圖。圖7為說(shuō)明第一實(shí)施方式的變形例的壓電振動(dòng)元件的分解透視圖。圖8為表示現(xiàn)有的壓電振動(dòng)元件的一例的分解透視圖。附圖標(biāo)記說(shuō)明1···壓電振動(dòng)元件2...外殼基板2a···第一短邊2b...第二短邊2c...第一長(zhǎng)邊2d...第二長(zhǎng)邊2e...上表面3···第一端子電極4···第二端子電極5、6...假電極7、8···迂回電極9、10···導(dǎo)電性支撐構(gòu)件11···壓電振子12···壓電板13...第一振動(dòng)電極15、16···端子電極17...蓋子18...粘接劑層20...樹(shù)脂層31···壓電振動(dòng)元件32...外殼基板32a...第一短邊32b····第二短邊
32c...第一長(zhǎng)邊32d...第二長(zhǎng)邊33...第一端子電極34···第二端子電極35、36...假電極37、38...迂回電極39...第一導(dǎo)電性支撐構(gòu)件40...第二導(dǎo)電性支撐構(gòu)件41...壓電振子42···壓電板43···第一振動(dòng)電極45...第一端子電極46···第二端子電極51...壓電振動(dòng)元件最佳實(shí)施方式以下，參照

本發(fā)明的具體實(shí)施方式
，使本發(fā)明更清楚。圖1為本發(fā)明的第一實(shí)施方式的壓電振動(dòng)元件的分解透視圖，圖2為表示接合該壓電振動(dòng)元件的蓋子的工序的透視圖。在壓電振動(dòng)元件1中，具有平面形狀大概為矩形的外殼基板2。上述矩形的平面形狀具有相互對(duì)著的第一短邊加、第二短邊2b及相互對(duì)著的第一長(zhǎng)邊2c、、第二長(zhǎng)邊2d?，F(xiàn)在，將外殼基板2的4個(gè)角落部表示為第一 第四的角落部A D。角落部A、B是位于第一短邊加的兩側(cè)的角落部，角落部C、D是位于第二短邊2b的兩側(cè)的角落部，第一長(zhǎng)邊2c 位于角落部B、D之間，第二長(zhǎng)邊2d位于角落部A、C之間。然后，在角落部A D中，切除外殼基板2的一部分，分別形成圓筒曲面狀的凹部。 通過(guò)賦予這些凹部導(dǎo)電性材料，分別形成電極。即，在角落部B中形成第一端子電極3，在角落部C中形成第二端子電極4，在角落部A及角落部D中形成假電極5、6。不形成假電極5、6也可。但是，如本實(shí)施方式那樣，在所有的角落部A D中都形成了電極的情況下，在形成端子電極3、4時(shí)更容易進(jìn)行賦予電極材料的工序。在外殼基板2的上表面2e上分別形成第一迂回電極7、第二迂回電極8，從而使迂回電極7、8的一端分別與第一、第二端子電極3、4連接。在迂回電極7、8的另一端上配置第一導(dǎo)電性支撐構(gòu)件9、第二導(dǎo)電性支撐構(gòu)件10。雖然沒(méi)有特別限定形成上述第一、第二迂回電極7、8及端子電極3、4及假電極5、 6的電極材料，但可使用Ag、Ag-Pd合金等合適的金屬。通過(guò)上述第一、第二導(dǎo)電性支撐構(gòu)件9、10，并成懸臂結(jié)構(gòu)地將壓電振子11固定于外殼基板2上。在壓電振子11中具有矩形板狀的壓電板12、形成在壓電板的第一主表面的第一振動(dòng)電極13、隔著壓電板12與第一振動(dòng)電極13相互對(duì)著的形成在壓電板12的第二主表面的第二振動(dòng)電極。壓電板12由壓電陶瓷或水晶構(gòu)成，例如以厚度縱向振動(dòng)模式振動(dòng)。因此，通過(guò)在第一振動(dòng)電極13與第二振動(dòng)電極之間外加交流電壓，使壓電振子11以厚度延伸
6振動(dòng)模式振動(dòng)。在壓電振子11中，與在壓電板12的一個(gè)角落處設(shè)置的端子電極15與第一振動(dòng)電極13電連接。該端子電極15位于第一導(dǎo)電性支撐構(gòu)件9的上方位置。另一方面，與形成在壓電板12的下表面的第二振動(dòng)電極電連接的第二端子電極 16設(shè)置在壓電板12的另一角落附近。第二導(dǎo)電性支撐構(gòu)件10位于該第二端子電極16的下方。因此，通過(guò)第一、第二導(dǎo)電性支撐構(gòu)件9、10將壓電振子11接合在外殼基板2上，端子電極15、16與第一、第二端子電極3、4電連接。導(dǎo)電性支撐構(gòu)件9、10如上述那樣機(jī)械地支撐著壓電振子11，同時(shí)，壓電振子11 的第一振動(dòng)電極13及第二振動(dòng)電極與設(shè)置在外殼基板2上內(nèi)第一、第二端子電極3、4電連接。底部具有開(kāi)口的蓋子17通過(guò)矩形框狀的粘接劑層18接合到外殼基板2的上表面 2e上，從而覆蓋上述壓電振子11。從而，壓電振子11密封在由外殼基板2與蓋子17構(gòu)成的封裝結(jié)構(gòu)內(nèi)。上述蓋子17由金屬或在絕緣材料的表面形成了金屬膜的復(fù)合材料構(gòu)成。在壓電振動(dòng)元件1中，由于第二迂回電極8足夠長(zhǎng)，因此能夠有效地抑制從壓電振子11泄漏到外殼基板2側(cè)的振動(dòng)。即，第二導(dǎo)電性支撐構(gòu)件10配置在外殼基板2的一端， 具體地說(shuō)配置在靠近第一短邊2a處，第一端子電極3設(shè)置在另一端，即設(shè)置在位于第二短邊2b的角落部4上。因此，第二迂回電極8沿著長(zhǎng)邊2d延伸。因此，與圖8所示的現(xiàn)有的壓電振動(dòng)元件的第二迂回電極109相比，第二迂回電極8得到充分的延長(zhǎng)。因此，通過(guò)導(dǎo)電性支撐構(gòu)件10泄漏過(guò)來(lái)的振動(dòng)沿著第二迂回電極8傳輸時(shí)，能夠充分減弱。因此，能夠改善從端子電極3、4獲得的振動(dòng)特性。而且，在本實(shí)施方式的壓電振動(dòng)元件1中，上述第二迂回電極8的一部分被上述粘接劑層18覆蓋著。在本實(shí)施方式中，由于由環(huán)氧類粘接劑構(gòu)成的該粘接劑層18覆蓋著第二迂回電極8的一部分，因此通過(guò)粘接劑層的存在可進(jìn)一步減弱泄漏出來(lái)的振動(dòng)。另外，也可在圖1的點(diǎn)劃線E示意性地表示的位置上形成用于減弱上述泄漏的振動(dòng)的樹(shù)脂層20。這時(shí)，粘接劑層18可不覆蓋第二迂回電極8。作為形成這種樹(shù)脂層的材料， 也可使用與形成上述粘接劑層18的材料相同的材料。這時(shí)，由于粘接劑層18及樹(shù)脂層20 由相同的材料構(gòu)成，因此能夠減少需要準(zhǔn)備的材料的種類。再者，也能夠在相同的工序中形成樹(shù)脂層20和粘接劑層18。當(dāng)然，樹(shù)脂層20也可由與粘接劑層18的材料不同的樹(shù)脂形成。作為這種樹(shù)脂材
料，例如有硅、聚氨酯樹(shù)脂、聚酰亞胺等。以下示出并說(shuō)明用有限元法分析通過(guò)上述樹(shù)脂層的形成抑制泄漏的振動(dòng)的結(jié)果。圖3(a)及(b)為表示除了沒(méi)有設(shè)置上述樹(shù)脂層、即上述矩形框狀的粘接劑層18 不覆蓋第二迂回電極8這一點(diǎn)之外，與上述實(shí)施方式具有相同的構(gòu)成的比較例的分析結(jié)果的圖。(a)為該分析模型的正視剖面概略圖，(b)為表示根據(jù)有限元法的位移分布的分析結(jié)果的圖。另一方面，圖4(a)及(b)為表示上述實(shí)施方式的壓電振動(dòng)元件的分析模型的正面示意圖及表示位移分布的圖。在圖3(a)的分析模型中，示意性地表示外殼基板的迂回電極122位于壓電振子 121的下表面?zhèn)鹊臉?gòu)造。在圖4(a)中示意性地表示在壓電振子11的下面?zhèn)?、在外殼基板的第二迂回電極8上形成了樹(shù)脂層20的構(gòu) 造。
與圖3(b)相比可知，在圖4(b)中由于通過(guò)樹(shù)脂層20的形成抑制泄漏的振動(dòng)，因此樹(shù)脂層20不怎么產(chǎn)生位移。即，可知通過(guò)樹(shù)脂層20的形成，能夠有效地抑制泄漏的振動(dòng)。另外，在圖3及圖4所示的根據(jù)有限元法的分析中，假定壓電振子為水晶振子， 電極材料為Ag，壓電體的密度為1.04X 104kg/m3，楊氏模量為7. 32X IO3Pa,機(jī)械衰減(1/ Qm)為100X 10_3另外，對(duì)于形成樹(shù)脂層20的樹(shù)脂，其密度為1. 2X 103kg/m3，楊氏模量為 4X IO9Pa,機(jī)械衰減(1/Qm)為 1。另外，根據(jù)上述有限元法的分析結(jié)果，求出外殼基板上的第二迂回電極的長(zhǎng)度d/D 與第二迂回電極的端子電極側(cè)的端部處的相對(duì)位移量之間的關(guān)系。圖5表示其結(jié)果。另外第二迂回電極的長(zhǎng)度d為根據(jù)壓電振子的厚度D而得出的標(biāo)準(zhǔn)值。另外，相對(duì)位移量為根據(jù)壓電振子11的最大位移量而得出的標(biāo)準(zhǔn)值。從圖5可知，第二迂回電極的長(zhǎng)度變長(zhǎng)時(shí)，位于第二迂回電極的第二端子電極側(cè)的端部的相對(duì)位移量變小。可知，在用〇表示的沒(méi)有設(shè)置樹(shù)脂層20的變形例或在用□表示的設(shè)置了樹(shù)脂層的上述實(shí)施方式中，都隨著第二迂回電極的長(zhǎng)度延長(zhǎng)，能夠使上述相對(duì)位
移量變小。另外，與沒(méi)有設(shè)置樹(shù)脂層20的變形例相比可知，第二迂回電極的長(zhǎng)度相同時(shí)，根據(jù)具有樹(shù)脂層20的上述實(shí)施方式，通過(guò)樹(shù)脂層的形成能夠使相對(duì)位移量變小。另外，雖在本實(shí)施方式的第一、第二迂回電極中，第二迂回電極的長(zhǎng)度較長(zhǎng)，以此實(shí)現(xiàn)抑制泄漏的振動(dòng)，但也可將第一迂回電極做長(zhǎng)。再者，上述樹(shù)脂層20的長(zhǎng)度不一定要覆蓋較長(zhǎng)的迂回電極的全部，覆蓋第一迂回電極的一部分也可。最好是樹(shù)脂層分別覆蓋第一、第二迂回電極兩者的一部分，從而有效地抑制泄漏的振動(dòng)。圖6(a)及(b)為表示本發(fā)明的第二實(shí)施方式的壓電振動(dòng)元件的分解透視圖及表示接合蓋子的工序的透視圖。在第二實(shí)施方式的壓電振動(dòng)元件31中，與上述實(shí)施方式的外殼基板2—樣，同樣地在外殼基板32的角落部A D上形成電極。這里，在角落部B上形成第一端子電極33， 在角落部C上形成第二端子電極34，在角落部A、D上分別形成假電極35、36。然后，在本實(shí)施方式中，一端分別與第一、第二端子電極33、34電連接的第一、第二迂回電極37、38都具有足夠的長(zhǎng)度。這是通過(guò)在壓電振子41的一端及另一端處將其支撐住而實(shí)現(xiàn)。更具體地說(shuō)，外殼基板32具有矩形的平面形狀，該矩形的平面形狀具有相互對(duì)著的第一短邊32a、第二短邊32b及相互對(duì)著的第一長(zhǎng)邊32c、第二長(zhǎng)邊32d。然后，第一端子電極33配置在靠近第一短邊3 側(cè)，第一導(dǎo)電性支撐構(gòu)件39配置在靠近第二短邊32b側(cè)。 因此，與第一端子電極33及第一導(dǎo)電性支撐構(gòu)件39電連接的第一迂回電極37具有足夠的長(zhǎng)度。同樣地，由于第二端子電極34形成在第二短邊32b的角落部上，第二導(dǎo)電性支撐構(gòu)件40配置在靠近第一短邊3 側(cè)，因此第二迂回電極38與第一實(shí)施方式的情況一樣，具有足夠的長(zhǎng)度。然后，壓電振子41在第一導(dǎo)電性支撐構(gòu)件39、第二導(dǎo)電性支撐構(gòu)件40的上方具有第一端子電極45、第二端子電極46。并且，第一端子電極45從壓電板42的上表面經(jīng)過(guò)側(cè)面延伸到下表面。該第一端子電極45的延伸到壓電板42的下表面的部分與第一導(dǎo)電性支撐構(gòu)件39的上表面接合，兩者電連接。
再者，在壓電振子41中，壓電板42在厚度方向上極化，在上表面形成第一振動(dòng)電極43，在下表面形成第二振動(dòng)電極(未圖示)。然后，第、第二端子電極45、46分別與第一、 第二振動(dòng)電極電連接。在第二實(shí)施方式的壓電振動(dòng)元件31中，除了上述的壓電振子41的支撐構(gòu)造的不同，并且第一迂回電極37的長(zhǎng)度與第一導(dǎo)電性支撐構(gòu)件39的位置也不同外， 其他與第一實(shí)施方式相同。即，粘接劑層18及蓋子17應(yīng)用第一實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)并省略其說(shuō)明。在本實(shí)施方式中，由于第二迂回電極38也具有足夠的長(zhǎng)度，因此能夠在經(jīng)由第二導(dǎo)電性支撐構(gòu)件40泄漏過(guò)來(lái)的振動(dòng)沿第二迂回電極38傳輸時(shí)得到減弱。再者，在第一迂回電極37中也能夠充分減弱泄漏的振動(dòng)。因此，在第二實(shí)施方式中，由于通過(guò)第一、第二迂回電極37、38兩者減弱振動(dòng)，因此能夠得到更好的諧振特性。另外，在本實(shí)施方式中，粘接劑層18也兼作使振動(dòng)減弱的樹(shù)脂層，粘接劑層18覆蓋第一、第二迂回電極37、38的一部分。當(dāng)然，與第一實(shí)施方式的情況一樣，也可以在粘接劑層18之外，另形成用于使振動(dòng)減弱的樹(shù)脂層，并使其覆蓋第一、第二迂回電極的至少一方的至少一部分。雖然在圖1所示的實(shí)施方式中，迂回電極8的長(zhǎng)度較長(zhǎng)，但如圖7所示的變形例的壓電振動(dòng)元件51那樣，也可以第一迂回電極7也朝向第二短邊2b側(cè)伸長(zhǎng)。這里，端子電極 3配置在第二短邊2b和第一長(zhǎng)邊2c構(gòu)成的角落部，迂回電極7與該端子電極3電連接。因此，在第一短邊2a和第一長(zhǎng)邊2c構(gòu)成的角落部B上形成了假電極6。關(guān)于壓電振動(dòng)元件51的其它部分，與壓電振動(dòng)元件1 一樣 。這樣，所有的端子電極都形成在靠壓電基板的一條邊的位置上也可。在第一、第二實(shí)施方式中，雖使用了在壓電板的第一、第二主表面的一部分上形成了第一、第二振動(dòng)電極的壓電振子，但使用其它的形態(tài)的壓電振子也可。即，在本發(fā)明中，可以使用能量約束型的各種壓電振子。
權(quán)利要求
1.一種壓電振動(dòng)元件，具備具有上表面和下表面的基板；支撐于所述基板的上表面的壓電振子；連接所述基板與所述壓電振子使所述壓電振子支撐于所述基板的一端的上表面上且與所述壓電振子電連接的導(dǎo)電性支撐構(gòu)件；設(shè)置在靠近所述基板的另一端的端子電極；以及設(shè)置于所述基板的上表面并連接所述導(dǎo)電性支撐構(gòu)件和所述端子電極的迂回電極。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓電振動(dòng)元件，其特征在于，所述壓電振子通過(guò)所述導(dǎo)電性支撐構(gòu)件成懸臂結(jié)構(gòu)地支撐于所述基板的上表面上。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的壓電振動(dòng)元件，其特征在于，所述基板具備具有相互對(duì)著的第一邊、第二邊及相互對(duì)著的第三邊、第四邊的矩形的平面形狀，所述導(dǎo)電性支撐構(gòu)件配置在靠近所述第一邊處，所述端子電極形成在靠近所述第二邊處。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓電振動(dòng)元件，其特征在于，所述基板具備具有相互對(duì)著的第一邊、第二邊及相互對(duì)著的第三邊、第四邊的矩形的平面形狀，所述導(dǎo)電性支撐構(gòu)件具有配置在靠近所述第一邊處的第一導(dǎo)電性支撐構(gòu)件、和配置在靠近所述第二邊處的第二導(dǎo)電性支撐構(gòu)件；所述壓電振子通過(guò)所述第一導(dǎo)電性支撐構(gòu)件及第二導(dǎo)電性支撐構(gòu)件支撐于所述基板的上表面；所述端子電極包括配置在靠近所述第二邊處的第一端子電極、和配置在靠近所述第一邊處的第二端子電極；所述迂回電極包括第一迂回電極和第二迂回電極，所述第一導(dǎo)電性支撐構(gòu)件和所述第一端子電極通過(guò)所述第一迂回電極電連接，并且所述第二導(dǎo)電性支撐構(gòu)件和所述第二端子電極通過(guò)第二迂回電極電連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求1 4任一項(xiàng)所述的壓電振動(dòng)元件，其特征在于，還具備形成在所述基板的上表面的樹(shù)脂層，所述樹(shù)脂層覆蓋所述迂回電極的至少一部分。
6.根據(jù)權(quán)利要求1 4任一項(xiàng)所述的壓電振動(dòng)元件，其特征在于，還具備蓋子，以蓋住裝載在所述基板上的所述壓電振子，該蓋子通過(guò)粘接劑固定在所述基板上，并且在朝向所述基板的一側(cè)具有開(kāi)口。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的壓電振動(dòng)元件，其特征在于，還具備形成在所述基板的上表面的樹(shù)脂層，該樹(shù)脂層覆蓋所述迂回電極的至少一部分。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的壓電振動(dòng)元件，其特征在于，所述粘接劑的一部分兼作所述樹(shù)脂層。
全文摘要
提供一種能夠抑制從壓電振子傳遞到基板的振動(dòng)的壓電振動(dòng)元件。該壓電振動(dòng)元件(1)中，壓電振子(11)通過(guò)第一導(dǎo)電性支撐構(gòu)件(9)及第二導(dǎo)電性支撐構(gòu)件(10)支撐于外殼基板(2)上，導(dǎo)電性支撐構(gòu)件(10)配置在靠近外殼基板(2)的一端處，與導(dǎo)電性支撐構(gòu)件(10)連接的端子電極(4)配置在靠近外殼基板(2)的另一端，導(dǎo)電性支撐構(gòu)件(10)與端子電極(4)通過(guò)迂回電極(8)電連接。
文檔編號(hào)H03H9/02GK102160285SQ20098011735
公開(kāi)日2011年8月17日 申請(qǐng)日期2009年3月30日 優(yōu)先權(quán)日2008年3月31日
發(fā)明者三谷彰宏, 開(kāi)田弘明, 木津徹, 龜田英太郎 申請(qǐng)人:株式會(huì)社村田制作所