專利名稱：輸出裝置及測試裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及輸出裝置及測試裝置。
背景技術(shù)：
電流輸出型DA轉(zhuǎn)換裝置已為公知技術(shù)，電流輸出型的DA轉(zhuǎn)換裝置包括多個(gè)電流源、切換多個(gè)電流源中的每一個(gè)與輸出端之間的連接的多個(gè)開關(guān)。電流輸出型DA轉(zhuǎn)換裝置通過根據(jù)輸入數(shù)據(jù)切換多個(gè)電流源中流動的電流，從而使與輸入數(shù)據(jù)對應(yīng)的電流流向輸出端。專利文獻(xiàn)1美國專利第6664906號說明書專利文獻(xiàn)2日本專利公開2003-115761號公報(bào)專利文獻(xiàn)3日本專利公開2007-227990號公報(bào)專利文獻(xiàn)4日本專利公開H06_13^21號公報(bào)專利文獻(xiàn)5日本專利第四74377號說明書發(fā)明要解決的技術(shù)問題但是，電流輸出型DA轉(zhuǎn)換裝置在多個(gè)開關(guān)的切換定時(shí)存在偏差時(shí)，會產(chǎn)生細(xì)須狀脈沖噪聲。例如，對具有四個(gè)開關(guān)的DA轉(zhuǎn)換裝置施加將四個(gè)開關(guān)從1000狀態(tài)轉(zhuǎn)換到0111 狀態(tài)的輸入數(shù)據(jù)。在該情況下，如果最高位位的切換定時(shí)比其他位要晚，則四個(gè)開關(guān)的轉(zhuǎn)變狀態(tài)如1000 — 1111 — 0111。從而，在這種情況下，DA轉(zhuǎn)換裝置在四個(gè)開關(guān)成為1111的中間狀態(tài)下，產(chǎn)生了很大的細(xì)須狀脈沖噪聲。在專利文獻(xiàn)1和專利文獻(xiàn)2中記載了通過SR閂鎖降低差動開關(guān)的接通斷開的偏移的電路。但是專利文獻(xiàn)1和專利文獻(xiàn)2中記載的電路不能降低數(shù)據(jù)間的偏移。在專利文獻(xiàn)3中記載了改變對開關(guān)進(jìn)行驅(qū)動的邏輯定時(shí)，從而抑制細(xì)須狀脈沖噪聲的電路。但是在專利文獻(xiàn)3中記載的電路中，只能在換流器(倒相器)的延遲控制的范圍內(nèi)調(diào)整定時(shí)。專利文獻(xiàn)4記載了將DAC所產(chǎn)生的細(xì)須狀脈沖噪聲用其他的DAC所產(chǎn)生的信號來抵消的電路。專利文獻(xiàn)4中記載的電路必須包括其他的高速DAC，而且由于還必須進(jìn)行演算所以不能高速運(yùn)行。在專利文獻(xiàn)5中記載了用脈沖電流模擬DAC所產(chǎn)生的細(xì)須狀脈沖噪聲，然后運(yùn)行以抵消的電路。但是，專利文獻(xiàn)5中記載的電路必須另外包括高速的脈沖發(fā)生器，而且加法部也必須高速運(yùn)行。如上所述，專利文獻(xiàn)1-5中記載的電路不用高速的附加電路不能可靠地減少在電流輸出型DA轉(zhuǎn)換裝置中產(chǎn)生的細(xì)須狀脈沖噪聲。

發(fā)明內(nèi)容
為了解決上述問題，在本發(fā)明的第一實(shí)施方式中提供了一種輸出裝置，是從輸出端輸出電流的輸出裝置，包括多個(gè)電流源；與所述多個(gè)電流源中的每一個(gè)對應(yīng)設(shè)置，對所對應(yīng)的電流源中流出的電流是否流向所述輸出端進(jìn)行轉(zhuǎn)換的多個(gè)轉(zhuǎn)換部；改變用來控制所述多個(gè)轉(zhuǎn)換部中的每一個(gè)的轉(zhuǎn)換狀態(tài)的多個(gè)控制信號中的每一個(gè)的傳送時(shí)間的時(shí)間變更部；為減少流向所述輸出端的電流中含有的細(xì)須狀脈沖噪聲，調(diào)整所述多個(gè)控制信號中的各個(gè)傳送時(shí)間的調(diào)整部。還提供包括這樣的輸出裝置的測試裝置。另外，上述本發(fā)明的概要沒有列舉本發(fā)明的全部必要特征。另外，這些特征組的子組合也構(gòu)成發(fā)明。


圖1表示根據(jù)本實(shí)施方式的DA轉(zhuǎn)換裝置10的結(jié)構(gòu)。圖2表示根據(jù)本實(shí)施方式的測定部32的結(jié)構(gòu)的一個(gè)例子。圖3表示根據(jù)本實(shí)施方式的DA轉(zhuǎn)換裝置10的處理流程。圖4表示圖3的步驟Sll中的調(diào)整部34的處理流程。圖5表示圖4的步驟S23中的測定部32的處理流程。圖6表示輸入到根據(jù)本實(shí)施方式的DA轉(zhuǎn)換裝置10的輸入數(shù)據(jù)和輸出端20的電壓波形的一個(gè)例子。圖7表示在每個(gè)測試周期內(nèi)使測定用DAC的電壓變化的情況下，輸入到DA轉(zhuǎn)換裝置10中的輸入數(shù)據(jù)、輸出端20的電壓波形、測定用DAC的電壓和比較結(jié)果的一個(gè)例子。圖8表示在由多個(gè)選通脈沖信號指定的多個(gè)比較定時(shí)內(nèi)對比較電壓和輸出端20 的電壓進(jìn)行比較的情況下，輸入到DA轉(zhuǎn)換裝置10中的輸入數(shù)據(jù)、輸出端20的電壓波形和多個(gè)選通脈沖信號的一個(gè)例子。圖9表示根據(jù)本實(shí)施方式的第1變形例的DA轉(zhuǎn)換裝置10的結(jié)構(gòu)。圖10表示在根據(jù)第1變形例的DA轉(zhuǎn)換裝置10中，在每個(gè)測試周期內(nèi)使向選擇的轉(zhuǎn)換部26提供的控制信號的延遲量變化的情況下，輸入數(shù)據(jù)、空位和輸出端20的電壓波形的一個(gè)例子。圖11表示根據(jù)本實(shí)施方式的第2變形例的DA轉(zhuǎn)換裝置10的結(jié)構(gòu)。圖12與被測試設(shè)備300 —起表示根據(jù)本實(shí)施方式的測試裝置200的結(jié)構(gòu)。
具體實(shí)施例方式下面通過發(fā)明的實(shí)施方式說明本發(fā)明，但是下面的實(shí)施方式不限定權(quán)利要求范圍內(nèi)的發(fā)明。另外，在實(shí)施方式中說明的特征的全部組合不是發(fā)明的解決手段中所必須的。圖1表示根據(jù)本實(shí)施方式的DA轉(zhuǎn)換裝置10的結(jié)構(gòu)。DA轉(zhuǎn)換裝置10使與從外部接收的輸入數(shù)據(jù)相對應(yīng)的電流流向輸出端20。在本例中，DA轉(zhuǎn)換裝置10使與從外部接收的輸入數(shù)據(jù)相對應(yīng)的電流流向輸出端20中的一個(gè)第1輸出端12。另外，DA轉(zhuǎn)換裝置10使相對于流向第1輸出端12的電流將以共用電流為中心反轉(zhuǎn)后的電流流向輸出端20中的另一個(gè)第2輸出端14。在本例中，第1輸出端12通過第1電阻16與第1基準(zhǔn)電位(例如電源電位)連接。另外，第2輸出端14通過第2電阻18與第1基準(zhǔn)電位(例如電源電位)連接。DA轉(zhuǎn)換裝置10通過使與輸入數(shù)據(jù)相對應(yīng)的電流流向第1輸出端12和第2輸出端14，能夠從第 1輸出端12和第2輸出端14中的每一個(gè)輸出與輸入數(shù)據(jù)相對應(yīng)的輸出電壓。再有，第1電
5阻16和第2電阻18也包括在該DA轉(zhuǎn)換裝置10的內(nèi)部，也與DA轉(zhuǎn)換裝置10的外部連接。DA轉(zhuǎn)換裝置10包括多個(gè)電流源22 ；多個(gè)轉(zhuǎn)換部沈；信號發(fā)生部28 ；延遲部30 ； 測定部32 ；調(diào)整部34 ；定時(shí)發(fā)生部36。多個(gè)電流源22分別是流出預(yù)先確定的電流的恒定電流源。作為一個(gè)例子，多個(gè)電流源22中的一端分別與第2基準(zhǔn)電位(例如地電位)連接，另一端通過對應(yīng)的轉(zhuǎn)換部沈與第1輸出端12或第2輸出端14連接。作為一個(gè)例子，多個(gè)電流源22中的每一個(gè)與每一個(gè)輸入數(shù)據(jù)的位對應(yīng)設(shè)置，流出與對應(yīng)位的權(quán)重相對應(yīng)的電流。這樣的多個(gè)電流源22中的每一個(gè)從與最低位對應(yīng)的電流源22開始流出依次乘以2的整數(shù)指數(shù)冪的電流。例如，與最低位相對應(yīng)的電流源22流出 2°XI的電流，與第2位相對應(yīng)的電流源22流出Z1XI的電流，與第N位(N是2以上的整數(shù))相對應(yīng)的電流源22流出2(n_) X I的電流。再有，多個(gè)電流源22中的每一個(gè)也可以是具有電流設(shè)定端，流出與施加到該電流設(shè)定端的指定電壓相對應(yīng)的電流的可變電流源。作為一個(gè)例子，這樣的多個(gè)電流源22，分別根據(jù)乘以2的整數(shù)指數(shù)冪，從外部設(shè)定不同的指定電壓。多個(gè)轉(zhuǎn)換部沈中的每一個(gè)與多個(gè)電流源22中的每一個(gè)對應(yīng)設(shè)置。多個(gè)轉(zhuǎn)換部沈中的每一個(gè)通過延遲部30從信號發(fā)生部觀接收用來控制該轉(zhuǎn)換部沈的轉(zhuǎn)換狀態(tài)的控制信號。多個(gè)轉(zhuǎn)換部26中的每一個(gè)根據(jù)接收的控制信號，對是否使對應(yīng)的電流源22流出的電流流向輸出端20進(jìn)行轉(zhuǎn)換。在本例中，多個(gè)轉(zhuǎn)換部沈分別進(jìn)行將對應(yīng)的電流源22流出電流流向第1輸出端 12還是流向第2輸出端14的轉(zhuǎn)換。例如，多個(gè)轉(zhuǎn)換部沈分別在接收的控制信號的值為1 時(shí)使對應(yīng)的電流源22流出的電流流向第1輸出端12，在控制信號的值為0時(shí)使對應(yīng)的電流源22流出的電流流向第2輸出端14。信號發(fā)生部28從外部接收輸入數(shù)據(jù)。信號發(fā)生部28產(chǎn)生與從外部接收的輸入數(shù)據(jù)相對應(yīng)的多個(gè)控制信號。作為一個(gè)例子，信號發(fā)生部觀產(chǎn)生與構(gòu)成輸入數(shù)據(jù)的多個(gè)位對應(yīng)的多個(gè)控制信號。信號發(fā)生部觀通過延遲部30將產(chǎn)生的多個(gè)控制信號提供給多個(gè)轉(zhuǎn)換部26。延遲部30使由信號發(fā)生部28賦予多個(gè)轉(zhuǎn)換部沈的多個(gè)控制信號分別以設(shè)定的延遲量延遲。作為一個(gè)例子，延遲部30具有與多個(gè)控制信號中的每一個(gè)相對應(yīng)的多個(gè)可變延遲電路38。調(diào)整部34分別向多個(gè)可變延遲電路38中的每一個(gè)賦予設(shè)定值，使對應(yīng)的控制信號延遲與所賦予的設(shè)定值相對應(yīng)的延遲量。再有，延遲部30只要是改變從信號發(fā)生部28到對應(yīng)的轉(zhuǎn)換部沈的路徑的傳送時(shí)間(即，控制信號的傳送時(shí)間)的時(shí)間變更部，可以由任意的結(jié)構(gòu)構(gòu)成。作為一個(gè)例子，延遲部30是通過比較器等使控制信號的波形鈍化，從而改變該控制信號的傳送時(shí)間的延遲元件。另外，作為一個(gè)例子，延遲部30也可以是使控制信號傳送到串聯(lián)連接的多個(gè)延遲元件或觸發(fā)器，使控制信號從選擇的一個(gè)延遲元件或觸發(fā)器輸出，從而改變控制信號的傳送時(shí)間的延遲電路。測定部32在轉(zhuǎn)換流向輸出端20的電流的轉(zhuǎn)換時(shí)，測定與流向輸出端20的電流相對應(yīng)的電壓波形。在本例中，測定部32測定第1輸出端12與第2輸出端14之間的差動電壓的波形。
調(diào)整部34控制延遲部30，用于減少流向輸出端20的電流中含有的細(xì)須狀脈沖噪聲，從而調(diào)整多個(gè)控制信號中的每一個(gè)的傳送時(shí)間。作為一個(gè)例子，調(diào)整部34基于測定部 32的測定結(jié)果，調(diào)整多個(gè)控制信號中每一個(gè)的延遲量以減少電壓波形中所含有的細(xì)須狀脈沖噪聲。在本例中，調(diào)整部34使賦予延遲部30所具有的多個(gè)可變延遲電路38中的每一個(gè)的設(shè)定值變化，從而調(diào)整多個(gè)控制信號的延遲量。另外，作為一個(gè)例子，調(diào)整部34在通過串聯(lián)連接的延遲元件或觸發(fā)器傳送控制信號使其延遲的情況下，調(diào)整輸出控制信號的延遲元件或觸發(fā)器的位置。定時(shí)發(fā)生部36產(chǎn)生表示該DA轉(zhuǎn)換裝置10的基準(zhǔn)定時(shí)的定時(shí)信號。作為一個(gè)例子，定時(shí)發(fā)生部36在預(yù)先確定的周期內(nèi)產(chǎn)生定時(shí)信號。信號發(fā)生部觀以定時(shí)發(fā)生部36產(chǎn)生的定時(shí)信號為基準(zhǔn)輸出多個(gè)控制信號。另外，信號發(fā)生部觀以定時(shí)發(fā)生部36產(chǎn)生的定時(shí)信號為基準(zhǔn)對輸出端20的電壓進(jìn)行取樣，測定與流向輸出端20的電流相對應(yīng)的電壓波形。根據(jù)這樣的DA轉(zhuǎn)換裝置10，能夠從輸出端20輸出與從外部賦予的輸入數(shù)據(jù)相對應(yīng)的電流。而且，根據(jù)DA轉(zhuǎn)換裝置10，適當(dāng)調(diào)整多個(gè)控制信號中的每一個(gè)的延遲量，可以不使用進(jìn)行高速運(yùn)行的附加電路，就能夠輸出細(xì)須狀脈沖噪聲小的電流。圖2表示根據(jù)本實(shí)施方式的測定部32的結(jié)構(gòu)的一個(gè)例子。測定部32具有定時(shí)調(diào)整部40、取樣保持部42、差動-單端轉(zhuǎn)換部44、測定用DAC46、比較器48、和控制部52。定時(shí)調(diào)整部40將由定時(shí)發(fā)生部36提供的定時(shí)信號延遲控制部52所指定的時(shí)間部分。取樣保持部42在由定時(shí)調(diào)整部40所延遲的定時(shí)信號所指定的比較定時(shí)內(nèi)，對該DA 轉(zhuǎn)換裝置10的輸出端20的電壓進(jìn)行取樣，保持所取樣的電壓。本例中，取樣保持部42對第1輸出端12和第2輸出端14之間的差動電壓進(jìn)行取樣并保持。差動-單端轉(zhuǎn)換部44將取樣保持部42所保持的差動電壓轉(zhuǎn)換為單端電壓。在取樣保持部42對單端電壓進(jìn)行取樣的情況下，測定部32不具有差動-單端轉(zhuǎn)換部44。測定用DAC46產(chǎn)生與控制部52所賦予的比較數(shù)據(jù)相對應(yīng)的比較電壓。作為一個(gè)例子，測定用DAC46是電荷再分配型。比較器48將測定用DAC46所產(chǎn)生的比較電壓與比較定時(shí)中輸出端20的電壓的大小進(jìn)行比較。在本例中，比較器48對比較電壓與取樣保持部42所保持的電壓進(jìn)行比較。控制部52控制信號發(fā)生部觀，從信號發(fā)生部觀產(chǎn)生用來使指定波形的電流流向該DA轉(zhuǎn)換裝置10的輸出端20的多個(gè)控制信號。作為一個(gè)例子，產(chǎn)生用來使流向輸出端20 的電流從第1電流量轉(zhuǎn)換為第2電流量的多個(gè)控制信號。與此同時(shí)，控制部52控制賦予測定用DAC46的比較數(shù)據(jù)和賦予定時(shí)調(diào)整部40的延遲時(shí)間，從而控制比較電壓和比較定時(shí)。因此，控制部52根據(jù)通過控制比較電壓和比較定時(shí)而得到的比較器48中的比較結(jié)果，在流出指定波形電流的情況下測定輸出端20的電壓波形。這樣的測定部32能夠在流出指定波形電流的情況下測定輸出端20的電壓波形。 作為一個(gè)例子，在對流向輸出端20的電流進(jìn)行轉(zhuǎn)換的轉(zhuǎn)換時(shí)間中，能夠測定與流向輸出端 20的電流相對應(yīng)的電壓波形。再有，后面詳細(xì)敘述測定部32的測定順序。圖3表示根據(jù)本實(shí)施方式的DA轉(zhuǎn)換裝置10的處理流程。DA轉(zhuǎn)換裝置10在電流輸出動作之前進(jìn)行校準(zhǔn)(Sll)。DA轉(zhuǎn)換裝置10可以在電源投入后或重置后馬上進(jìn)行校準(zhǔn)，
7也可以定期地進(jìn)行校準(zhǔn)操作。校準(zhǔn)結(jié)束之后，DA轉(zhuǎn)換裝置10進(jìn)行電流輸出操作(S12)。DA轉(zhuǎn)換裝置10在電流輸出操作中，使與從外部接收的輸入數(shù)據(jù)相對應(yīng)的電流流向輸出端20。圖4表示圖3的步驟Sll的詳細(xì)處理流程。調(diào)整部34在校準(zhǔn)時(shí)依次選擇多個(gè)轉(zhuǎn)換部沈中的每一個(gè)，在選擇的轉(zhuǎn)換部沈中進(jìn)行從步驟S22到步驟S27的處理(S21與S28 之間的循環(huán)處理)。首先，調(diào)整部34使向選擇的轉(zhuǎn)換部沈提供的控制信號的延遲量每一次變化預(yù)先確定的量，對于每一個(gè)延遲量分別進(jìn)行步驟S23和步驟S24的處理。在步驟S23中，調(diào)整部 34在使預(yù)先指定波形的電流流向輸出端20的情況下，使測定部32測定與流向輸出端20的電流相對應(yīng)的電壓波形。例如，在調(diào)整部34將選擇的轉(zhuǎn)換部沈從第1狀態(tài)轉(zhuǎn)換到第2狀態(tài)并且將沒有選擇的其他轉(zhuǎn)換部26從第2狀態(tài)轉(zhuǎn)換到第1狀態(tài)的情況下，使測定部32測定與流向輸出端 20的電流相對應(yīng)的電壓波形。更具體地說，作為一個(gè)例子，調(diào)整部34在提供使與所選擇的轉(zhuǎn)換部沈相對應(yīng)的位從1變化為0 (或者由0變化為1)，使與沒有選擇的所有其他轉(zhuǎn)換部 26相對應(yīng)的位從0變化為1 (或者從1變化為0)這樣的輸入數(shù)據(jù)的情況下，使測定部32測定流向輸出端20的電流相對應(yīng)的電壓波形。接下來，在步驟S24中，調(diào)整部34計(jì)算包含在所測定的電壓波形中的細(xì)須狀脈沖噪聲。例如，調(diào)整部34計(jì)算所測定的電壓波形中比預(yù)想測定的電壓高的波形成分或比預(yù)先測定的電壓低的電壓成分的面積。然后，在全部延遲量的每一個(gè)中，步驟S23和步驟SM的處理結(jié)束時(shí)(S2Q，進(jìn)行到步驟S26。在步驟S26中，調(diào)整部34檢測計(jì)算的細(xì)須狀脈沖功率變成最小或者變得比基準(zhǔn)值小的延遲量。由此，調(diào)整部34能夠檢測使在對選擇的轉(zhuǎn)換部26進(jìn)行轉(zhuǎn)換時(shí)產(chǎn)生的細(xì)須狀脈沖噪聲變小的最合適的延遲量。接下來，在步驟S27中，調(diào)整部34調(diào)整延遲部30，以使用來對選擇的轉(zhuǎn)換部沈進(jìn)行控制的控制信號的延遲量成為在步驟S26中檢測的值。作為一個(gè)例子，調(diào)整部34調(diào)整可變延遲電路38的延遲量，可變延遲電路38對提供給所選擇的轉(zhuǎn)換部沈的控制信號進(jìn)行延遲。調(diào)整部34將以上的處理進(jìn)行到多個(gè)轉(zhuǎn)換部沈中最后的轉(zhuǎn)換部沈(步驟S28)。由此，調(diào)整部34能夠調(diào)整多個(gè)控制信號中每一個(gè)的延遲量，以減少與流向輸出端20的電流相對應(yīng)的電壓波形中含有的細(xì)須狀脈沖噪聲。再有，調(diào)整部34也可以進(jìn)行多次從上面的步驟S21到步驟S28的處理。由此，調(diào)整部34能夠使多個(gè)控制信號的偏移的偏差更小，能夠減少與流向輸出端20的電流相對應(yīng)的電壓波形中含有的細(xì)須狀脈沖噪聲。另外，調(diào)整部34也可以在步驟S21中選擇轉(zhuǎn)換部沈的情況下，從與高位的位對應(yīng)的轉(zhuǎn)換部26開始依次選擇。由此，調(diào)整部34能夠從造成細(xì)須狀脈沖噪聲的影響大的控制信號開始依次調(diào)整延遲量。圖5表示圖4中步驟S23中測定部32的處理流程。測定部32在以基準(zhǔn)定時(shí)為基準(zhǔn)的不同的多個(gè)比較定時(shí)的每一個(gè)內(nèi)，重復(fù)進(jìn)行從步驟S32到步驟S36的處理(S31與S37 之間的循環(huán)處理)。
首先，具有測定部32的控制部52相對于定時(shí)調(diào)整部40設(shè)定與選擇的比較定時(shí)相對應(yīng)的延遲時(shí)間(S32)。由此，控制部52能夠?qū)Ρ硎净鶞?zhǔn)定時(shí)的定時(shí)信號進(jìn)行延遲，產(chǎn)生表示相對于基準(zhǔn)定時(shí)延遲了所設(shè)定的時(shí)間部分后的比較定時(shí)的定時(shí)信號。接下來，控制部52在以基準(zhǔn)定時(shí)為基準(zhǔn)的一個(gè)輸出定時(shí)內(nèi)，從信號發(fā)生部觀輸出用來使指定波形的電流流向輸出端20的多個(gè)控制信號(S33)。接下來，控制部52在表示選擇的比較定時(shí)的定時(shí)信號的定時(shí)內(nèi)，在取樣保持部42中對輸出端20的電壓進(jìn)行取樣 (S34)。然后，控制部52通過逐次比較處理來測定在選擇的比較定時(shí)中經(jīng)取樣了的電壓， 所述逐次比較處理采用測定用DAC46和比較器48(S36)。S卩，控制部52通過使賦予測定用 DAC46的比較數(shù)據(jù)依次發(fā)生變化，使測定用DAC46產(chǎn)生的比較電壓發(fā)生變化。并且，控制部 52根據(jù)由比較器48依次變化的測定用DAC46所產(chǎn)生的電壓與輸出端20的電壓的比較結(jié)果，確定使輸出端20的電壓與測定用DAC46所輸出的比較電壓大致一致的比較數(shù)據(jù)。由此， 控制部52能夠測定輸出端20的電壓。再有，控制部52在逐次比較處理中，使賦予測定用DAC46的比較數(shù)據(jù)隨對半檢索而變化，所述對半檢索基于比較器48所產(chǎn)生的比較結(jié)果。由此，控制部52能夠高速地確定使輸出端20的電壓與測定用DAC46所輸出的電壓大致一致的比較數(shù)據(jù)。測定部32對于不同的多個(gè)比較定時(shí)中的每一個(gè)重復(fù)進(jìn)行以上的處理。由此，測定部32在以基準(zhǔn)定時(shí)為基準(zhǔn)的一個(gè)輸出定時(shí)內(nèi)，能夠從信號發(fā)生部觀多次輸出用來使指定波形的電流流向輸出端20的多個(gè)控制信號。并且，指定部32在以基準(zhǔn)定時(shí)為基準(zhǔn)的不同的多個(gè)比較定時(shí)的每一個(gè)內(nèi)，能夠測定流出指定波形的電流的輸出端20的電壓。圖6表示輸入到根據(jù)本實(shí)施方式的DA轉(zhuǎn)換裝置10的輸入數(shù)據(jù)和輸出端20的電壓波形的一個(gè)例子。作為一個(gè)例子，測定部32在由定時(shí)發(fā)生部36產(chǎn)生定時(shí)信號的每個(gè)周期(稱為測試周期)內(nèi)，輸出多個(gè)控制信號，所述多個(gè)控制信號使指定波形的電流流向輸出端20。在波形測定中，測定部32在測試周期內(nèi)的固定了的定時(shí)內(nèi)，將輸入數(shù)據(jù)賦予信號發(fā)生部觀，所述輸入數(shù)據(jù)將流向輸出端20的電流從第1電流量轉(zhuǎn)換到第2電流量。例如， 測定部32將輸入數(shù)據(jù)賦予信號發(fā)生部觀，所述輸入數(shù)據(jù)將選擇了的轉(zhuǎn)換部沈從第1狀態(tài)轉(zhuǎn)換到第2狀態(tài)，并且將沒有選擇的其他轉(zhuǎn)換部沈從第2狀態(tài)轉(zhuǎn)換到第1狀態(tài)。例如，在圖6的例中，測定部32選擇與最高的位對應(yīng)的轉(zhuǎn)換部26。并且，測定部 32在測試周期內(nèi)的一個(gè)定時(shí)內(nèi)，將輸入數(shù)據(jù)提供給信號發(fā)生部觀，所述輸入數(shù)據(jù)是將與選擇了的轉(zhuǎn)換部26相對應(yīng)的位(最高位)從1轉(zhuǎn)換到0，將與沒有選擇的轉(zhuǎn)換部26相對應(yīng)的位(從第1位到第3位)從0轉(zhuǎn)換到1的數(shù)據(jù)。在圖6的例中，在所選擇的轉(zhuǎn)換部沈的轉(zhuǎn)換定時(shí)比沒有選擇的轉(zhuǎn)換部沈的轉(zhuǎn)換定時(shí)還晚的情況下，多個(gè)轉(zhuǎn)換部26經(jīng)由中間狀態(tài)(1111)，轉(zhuǎn)換狀態(tài)，如1000 — 1111 — 0111 的。另外，在選擇了的轉(zhuǎn)換部26的轉(zhuǎn)換定時(shí)比沒有選擇的轉(zhuǎn)換部沈的轉(zhuǎn)換定時(shí)先行的情況下，多個(gè)轉(zhuǎn)換部26經(jīng)由中間狀態(tài)(0000)轉(zhuǎn)換狀態(tài)，如1000 — 0000 — 0111。并且，在所選擇的轉(zhuǎn)換部26與沒有選擇的轉(zhuǎn)換部沈的轉(zhuǎn)換定時(shí)一致時(shí)，多個(gè)轉(zhuǎn)換部沈不經(jīng)由中間狀態(tài)而轉(zhuǎn)換狀態(tài)，如1000 — 0111。因此，調(diào)整部34使提供給選擇了的轉(zhuǎn)換部沈的控制信號的延遲量發(fā)生變化，對于
9每一個(gè)變化量測定來自于由測定部32所測定的電壓波形的細(xì)須狀脈沖功率，從而能夠檢測使選擇了的轉(zhuǎn)換部26的轉(zhuǎn)換定時(shí)接近于沒有選擇的轉(zhuǎn)換部沈的轉(zhuǎn)換定時(shí)的延遲量。從而，通過調(diào)整部34，能夠檢測提供給選擇了的轉(zhuǎn)換部沈的控制信號的最合適的延遲量。另外，在波形測定中，測定部32在每個(gè)測試周期內(nèi)反復(fù)輸出指定了波形的電流。 并且，測定部32在每個(gè)測試周期內(nèi)將比較定時(shí)錯(cuò)開測定輸出端20的電壓。作為一個(gè)例子， 測定部32以能夠檢測指定波形的傾斜的程度的微小時(shí)間間隔錯(cuò)開比較定時(shí)，測定電壓。由此，測定部32在使指定波形的電流流向輸出端20的情況下，能夠測定輸出端20的電壓波形。圖7表示在每個(gè)測試周期內(nèi)使測定用DAC的電壓變化的情況下，輸入到DA轉(zhuǎn)換裝置10中的輸入數(shù)據(jù)、輸出端20的電壓波形、測定用DAC的電壓和比較結(jié)果的一個(gè)例子。測定部32也可以是不具有取樣保持部42的結(jié)構(gòu)。在該情況下，直接將第1輸出端12與第2 輸出端14之間的差動電壓輸入到差動-單端轉(zhuǎn)換部44中。另外，表示從定時(shí)調(diào)整部40輸出的比較定時(shí)的定時(shí)信號被提供給比較器48，而取代取樣保持部42。比較器48在定時(shí)信號所表示的定時(shí)內(nèi)，對測定用DAC46所產(chǎn)生的比較電壓和輸出端20的電壓的大小進(jìn)行比較。在這樣的情況下，具有測定部32的控制部52在定時(shí)調(diào)整部40中設(shè)定了一個(gè)比較定時(shí)的狀態(tài)下，從信號發(fā)生部觀多次輸出用來使指定波形的電流流向輸出端20的多個(gè)控制信號。并且，控制部52在每一次輸出多個(gè)控制信號時(shí)，使每一次比較處理時(shí)變化了的比較電壓與輸出端20的電壓在比較器48中的一個(gè)比較定時(shí)內(nèi)進(jìn)行比較，測定一個(gè)比較定時(shí)內(nèi)的輸出端20的電壓。例如，如圖7所示，控制部52在每一個(gè)測試周期內(nèi)，使比較電壓隨對半檢索而變化。由此，控制部52能夠確定使輸出端20的電壓與測定用DAC46所輸出的比較電壓大致一致的比較數(shù)據(jù)。圖8表示在由多個(gè)選通脈沖信號指定的多個(gè)比較定時(shí)內(nèi)對比較電壓和輸出端20 的電壓進(jìn)行比較的情況下，輸入到DA轉(zhuǎn)換裝置10中的輸入數(shù)據(jù)、輸出端20的電壓波形和多個(gè)選通脈沖信號的一個(gè)例子。另外，測定部32也可以在例如如圖8所示的、預(yù)先確定的時(shí)間間隔內(nèi)，用連續(xù)的多個(gè)選通脈沖信號測定輸出端20的電壓波形。在該情況下，作為一個(gè)例子，DA轉(zhuǎn)換裝置10包括多選通脈沖電路。作為一個(gè)例子， 多選通脈沖電路具有串聯(lián)連接的多個(gè)微小延遲元件。多選通脈沖電路使定時(shí)信號通過多個(gè)微小的延遲元件，將各個(gè)微小的延遲元件所輸出的多個(gè)信號作為多個(gè)選通脈沖信號輸出。另外，作為一個(gè)例子，取樣保持部42包括與多個(gè)選通脈沖信號中的每一個(gè)相對應(yīng)的多個(gè)取樣保持電路。多個(gè)取樣保持電路中的每一個(gè)在對應(yīng)的選通脈沖信號的定時(shí)內(nèi)對輸出端20的電壓進(jìn)行取樣。并且，控制部52通過采用測定用DAC46和比較器48的逐次比較處理，依次測定被多個(gè)取樣保持電路中的每一個(gè)所取樣的電壓。由此，通過測定部32能夠高速地測定輸出端 20的電壓。圖9表示根據(jù)本實(shí)施方式的第1變形例的DA轉(zhuǎn)換裝置10的結(jié)構(gòu)。根據(jù)本變形例的DA轉(zhuǎn)換裝置10由于采用了與圖1中示出的DA轉(zhuǎn)換裝置10大致相同的結(jié)構(gòu)和功能，所以對與圖1中示出的DA轉(zhuǎn)換裝置10所包括的部件大致相同結(jié)構(gòu)和功能的部件賦予相同的符號，下面除了不同點(diǎn)外省略說明。根據(jù)本變形例的DA轉(zhuǎn)換裝置10還包括虛擬電流源62和虛擬轉(zhuǎn)換部66。虛擬轉(zhuǎn)換部66根據(jù)由信號發(fā)生部觀所接收的控制信號，對虛擬電流源62輸出的電流是否流向輸出端20進(jìn)行轉(zhuǎn)換。在本例中，虛擬轉(zhuǎn)換部66切換將虛擬電流源62輸出的電流流向第1輸出端12或者流向第2輸出端14。例如，虛擬轉(zhuǎn)換部66在接收的控制信號的值為1時(shí)，使虛擬電流源 62輸出的電流流向第1輸出端12，在控制信號的值為0時(shí)，使虛擬電流源62輸出的電流流向第2輸出端14。另外，根據(jù)本變形例的多個(gè)電流源22所產(chǎn)生的電流的大小從低位位依次對應(yīng)2的整數(shù)指數(shù)冪變化。例如，與最低位相對應(yīng)的電流源流出2°X I的電流，與第2位相對應(yīng)的電流源22流出21 X I的電流，與第N位(N是2以上的整數(shù))相對應(yīng)的電流源22流出X I 的電流。并且，虛擬電流源62輸出與多個(gè)電流源22中輸出最小電流的電流源22相同的電流。即，虛擬電流源62輸出2°XI的電流。圖10表示在根據(jù)第1變形例的DA轉(zhuǎn)換裝置10中，在每個(gè)測試周期內(nèi)使向選擇的轉(zhuǎn)換部26提供的控制信號的延遲量變化的情況下，輸入數(shù)據(jù)、空位和輸出端在根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)的第1變形例的DA轉(zhuǎn)換裝置10中，測定部32在波形測定中，在每個(gè)測試周期內(nèi)使如下波形的電流流向輸出端20。S卩，測定部32將被選擇的轉(zhuǎn)換部沈從第1狀態(tài)轉(zhuǎn)換為第2狀態(tài)，將與比所選擇的轉(zhuǎn)換部26低位的位對應(yīng)的轉(zhuǎn)換部沈從第2狀態(tài)轉(zhuǎn)換為第1狀態(tài)，將虛擬轉(zhuǎn)換部66從第2 狀態(tài)轉(zhuǎn)換為第1狀態(tài)，并且將不進(jìn)行與比選擇的轉(zhuǎn)換部26高位的位相對應(yīng)的轉(zhuǎn)換部沈的轉(zhuǎn)換的輸入數(shù)據(jù)提供給信號發(fā)生部觀。例如輸入數(shù)據(jù)為5位時(shí)，選擇與第4位相對應(yīng)的轉(zhuǎn)換部26。在該情況下，例如如圖10所示，測定部32在指定從01000到00111的輸出定時(shí)內(nèi)將進(jìn)行轉(zhuǎn)換的輸入數(shù)據(jù)提供給轉(zhuǎn)換部26。在賦予這樣的輸入數(shù)據(jù)的情況下，多個(gè)轉(zhuǎn)換部沈的轉(zhuǎn)換定時(shí)一致的話，輸出端 20在轉(zhuǎn)換前后為同一電壓。S卩，輸出端20的電壓通常恒定。但是，在所選擇的轉(zhuǎn)換部沈的轉(zhuǎn)換定時(shí)比沒有選擇的轉(zhuǎn)換部26的轉(zhuǎn)換定時(shí)晚的情況下，多個(gè)轉(zhuǎn)換部沈經(jīng)由中間狀態(tài) (01111)而轉(zhuǎn)換狀態(tài)，如01000 — 01111 — 00111。另外，在所選擇的轉(zhuǎn)換部沈的轉(zhuǎn)換定時(shí)比沒有選擇的轉(zhuǎn)換部26的轉(zhuǎn)換定時(shí)先行的情況下，多個(gè)轉(zhuǎn)換部沈經(jīng)由中間狀態(tài)(00000) 如01000 — 00000 — 00111而轉(zhuǎn)換狀態(tài)。從而，測定部32通過檢測出如此檢測到的電壓波形的電平，能夠檢測細(xì)須狀脈沖功率。由此，通過測定部32，能夠通過簡單的演算而檢測出細(xì)須狀脈沖功率。再有，虛擬轉(zhuǎn)換部66的轉(zhuǎn)換定時(shí)偏差所產(chǎn)生的影響對于高位的位來說更小。因此，調(diào)整部34也可以相對于比預(yù)先確定的位高的位，通過上面的方法檢測細(xì)須狀脈沖功率。由此，調(diào)整部34能夠高精度地調(diào)整控制信號的延遲量，而不涉及虛擬轉(zhuǎn)換部66的轉(zhuǎn)換定時(shí)偏差。圖11表示根據(jù)本實(shí)施方式的第2變形例的DA轉(zhuǎn)換裝置10的結(jié)構(gòu)。根據(jù)本變形例的DA轉(zhuǎn)換裝置10由于采用了與圖1中示出的DA轉(zhuǎn)換裝置10大致相同的結(jié)構(gòu)和功能，
11所以對與圖1中示出的DA轉(zhuǎn)換裝置10所包括的部件大致相同結(jié)構(gòu)和功能的部件賦予相同的符號，下面除了不同點(diǎn)外省略說明。根據(jù)本變形例的DA轉(zhuǎn)換裝置10還包括多個(gè)電容部72和供給部74。在本變形例中，多個(gè)電流源22中的每一個(gè)是輸出與相對于電流設(shè)定端施加的指定電壓相對應(yīng)的電流的恒定電流源。多個(gè)電流源22中的每一個(gè)也可以是彼此相同的電路。多個(gè)電容部72中的每一個(gè)與多個(gè)電流源22中的每一個(gè)相對應(yīng)設(shè)置。并且，多個(gè)電容部72中的每一個(gè)設(shè)置在對應(yīng)的電流源22的電流設(shè)定端與基準(zhǔn)電位之間，保持對流出對應(yīng)的電流源22的電流進(jìn)行指定的指定電壓。由測定用DAC46給多個(gè)電容部72中的每一個(gè)充上適當(dāng)?shù)闹付妷?。并且，多個(gè)電容部72分別將保持著的指定電壓施加到對應(yīng)的電流源22的電流設(shè)定端上。根據(jù)本變形例的測定部32還具有DAC用開關(guān)76。DAC用開關(guān)76設(shè)置在測定用 DAC46的電壓發(fā)生端與比較器48之間。DAC用開關(guān)76在校準(zhǔn)時(shí)，使比較器48與測定用DAC46 的電壓發(fā)生端之間連接，在電流輸出操作時(shí)，使比較器48與測定用DAC46的電壓發(fā)生端之間斷開。根據(jù)本變形例的測定部32所具有的測定用DAC46在該DA轉(zhuǎn)換裝置10的電流輸出操作之前和電流輸出操作過程中，依次適當(dāng)?shù)禺a(chǎn)生多個(gè)電容部72中的各個(gè)要保持的指定電壓。根據(jù)本變形例的測定用DAC46是電荷再分配型的。供給部74將測定用DAC46依次產(chǎn)生的指定電壓依次轉(zhuǎn)換提供給多個(gè)電容部72中對應(yīng)的電容部72。作為一個(gè)例子，供給部74具有多個(gè)傳送開關(guān)78。多個(gè)傳送開關(guān)78與多個(gè)電流源22中的每一個(gè)相對應(yīng)設(shè)置。多個(gè)傳送開關(guān)78分別設(shè)置在測定用DAC46的電壓發(fā)生端與對應(yīng)的電流源22之間。并且，多個(gè)傳送開關(guān)78在向任意一個(gè)電容部72提供指定電壓的情況下，在產(chǎn)生應(yīng)當(dāng)指定給對應(yīng)的電流源22的指定電壓的測定用DAC46的電壓產(chǎn)生端與對應(yīng)的電流源22的電流設(shè)定端之間進(jìn)行連接，并使測定用DAC46的電壓產(chǎn)生端與其他的電流源22的電流設(shè)定端之間斷開。于是，多個(gè)傳送開關(guān)78分別重復(fù)進(jìn)行測定用DAC46的電壓產(chǎn)生端與對應(yīng)的電流源22的電流設(shè)定端之間的連接和切斷，將測定用DAC46所產(chǎn)生的指定電壓充給電容部72， 使電容部72的電壓依次接近指定電壓。由此，多個(gè)傳送開關(guān)78中的每一個(gè)能夠?qū)y定用 DAC46產(chǎn)生的指定電壓提供給電容部72。這樣的DA轉(zhuǎn)換裝置10能夠由測定用DAC46來指定多個(gè)電流源22中的每一個(gè)流出的電流量。從而，由于DA轉(zhuǎn)換裝置10能夠正確地設(shè)定多個(gè)電流源22所流出的電流量， 所以能夠輸出精度高的電流。圖12與被測試設(shè)備300 —起表示本實(shí)施方式的測試裝置200。測試裝置200對半導(dǎo)體裝置等被測試設(shè)備300進(jìn)行測試。測試裝置200包括波形產(chǎn)生裝置210、輸出裝置212、驅(qū)動裝置214、取得裝置222 和判定裝置224。波形產(chǎn)生裝置210產(chǎn)生表示賦予被測試設(shè)備300的測試信號的波形數(shù)據(jù)。輸出裝置212輸出與波形發(fā)生裝置210所產(chǎn)生的波形數(shù)據(jù)相對應(yīng)的電流。輸出裝置212具有與參照圖1到圖11已經(jīng)說明過的DA裝置裝置10相同的結(jié)構(gòu)。再有，DA轉(zhuǎn)換裝置10中所包括的延遲部30通過該測試裝置200中所包括的延遲電路來實(shí)現(xiàn)。另外，DA 轉(zhuǎn)換裝置10中所包括的比較器48通過該測試裝置200中所包括的電平比較器來實(shí)現(xiàn)。
驅(qū)動裝置214輸出與輸出裝置212所輸出的電流相對應(yīng)的電壓的測試信號。驅(qū)動裝置214將輸出的測試信號賦予被測試設(shè)備300。取得裝置222根據(jù)賦予的測試信號取得輸出的響應(yīng)信號。取得裝置222可以測定響應(yīng)信號的波形，也可以取得響應(yīng)信號的邏輯值。判定裝置2M根據(jù)取得裝置222取得的響應(yīng)信號，判定被測試設(shè)備300是否合格。根據(jù)這樣的測試裝置200，能夠從輸出裝置212輸出精度高并且響應(yīng)迅速的電流， 用高速的測試信號對被測試設(shè)備300進(jìn)行高精度地測試。另外，根據(jù)這樣的測試裝置200， 能夠縮小輸出裝置212的結(jié)構(gòu)，降低整個(gè)裝置的成本。以上，用本發(fā)明的實(shí)施方式說明了本發(fā)明，但是本發(fā)明的技術(shù)范圍不限定于上述實(shí)施方式中記載的范圍內(nèi)。本領(lǐng)域技術(shù)人員明白，可以對上述實(shí)施方式進(jìn)行多種變化或改良。進(jìn)行了那樣的變化或改良了的方式也包含在本發(fā)明的技術(shù)范圍內(nèi)，這從請求的范圍的記載中可以看出來。應(yīng)當(dāng)注意的是，權(quán)利要求、說明書和附圖中表示的裝置、系統(tǒng)、程序和方法中的操作、順序、步驟和階段等各處理的進(jìn)行順序，未明示如特指的“更早”、“之前”等，另外，只要前面處理的輸出不在后面的處理中使用，則可以按照任意順序來實(shí)現(xiàn)。對于權(quán)利要求、說明書和附圖中的操作流程，即使為了方便用“首先”、“接下來”等進(jìn)行了說明，也不意味著必須按照該順序來實(shí)施。
0112]附圖標(biāo)記說明0113]10DA轉(zhuǎn)換裝置0114]12第1輸出端0115]14第2輸出端0116]16第1電阻0117]18第2電阻0118]20輸出端0119]22電流源0120]26轉(zhuǎn)換部0121]28信號發(fā)生部0122]30延遲部0123]32測定部0124]34調(diào)整部0125]36定時(shí)發(fā)生部0126]38可變延遲電路0127]40定時(shí)調(diào)整部0128]42取樣保持部0129]44差動-單端轉(zhuǎn)0130]46測定用DAC0131]48比較器0132]52控制部0133]62虛擬電流源
66虛擬轉(zhuǎn)換部
72電容部
74供給部
76DAC用開關(guān)
78傳送開關(guān)
200測試裝置
210波形發(fā)生裝置
212輸出裝置
214驅(qū)動裝置
222取得裝置
224判定裝置
300被測試設(shè)備。
權(quán)利要求
1.一種輸出裝置，是從輸出端輸出電流的輸出裝置，其特征在于包括 多個(gè)電流源；與所述多個(gè)電流源中的每一個(gè)對應(yīng)設(shè)置，對所對應(yīng)的電流源中流出的電流是否流向所述輸出端進(jìn)行轉(zhuǎn)換的多個(gè)轉(zhuǎn)換部；變更用來控制所述多個(gè)轉(zhuǎn)換部中的每一個(gè)的轉(zhuǎn)換狀態(tài)的多個(gè)控制信號中的每一個(gè)的傳送時(shí)間的時(shí)間變更部；為減少流向所述輸出端的電流中含有的細(xì)須狀脈沖噪聲，調(diào)整所述多個(gè)控制信號中的每一個(gè)的傳送時(shí)間的調(diào)整部。
2.如權(quán)利要求1所述的輸出裝置，其特征在于所述時(shí)間變更部具有分別延遲所述多個(gè)控制信號中的每一個(gè)的延遲部，所述調(diào)整部調(diào)整所述多個(gè)控制信號中的每一個(gè)的延遲量。
3.如權(quán)利要求2所述的輸出裝置，所述輸出裝置是使與從外部接收到的輸入數(shù)據(jù)相對應(yīng)的電流流向所述輸出端的DA轉(zhuǎn)換裝置，其特征在于還包括通過所述延遲部將與所述輸入數(shù)據(jù)相對應(yīng)的所述多個(gè)控制信號提供給所述多個(gè)轉(zhuǎn)換部的信號發(fā)生部。
4.如權(quán)利要求3所述的輸出裝置，其特征在于還包括在轉(zhuǎn)換流向所述輸出端的電流時(shí)，測定與流向所述輸出端的電流相對應(yīng)的電壓波形的測定部；所述調(diào)整部根據(jù)所述測定部的測定結(jié)果，調(diào)整所述多個(gè)控制信號中的每個(gè)的延遲量， 以減少所述電壓波形中含有的細(xì)須狀脈沖噪聲。
5.如權(quán)利要求4所述的輸出裝置，其特征在于所述調(diào)整部，使提供給所述多個(gè)轉(zhuǎn)換部中所選擇的轉(zhuǎn)換部的控制信號的延遲量發(fā)生變化，對于各個(gè)延遲量的每一個(gè)，在將選擇的轉(zhuǎn)換部從第1狀態(tài)轉(zhuǎn)換為第2狀態(tài)并且將沒有選擇的轉(zhuǎn)換部從第2狀態(tài)轉(zhuǎn)換為第1狀態(tài)的情況下，在所述測定部測定與流向所述輸出端的電流相對應(yīng)的電壓的波形；根據(jù)每一個(gè)延遲量的所述電壓波形，調(diào)整提供給所選擇的轉(zhuǎn)換部的控制信號的延遲量，以減少細(xì)須狀脈沖噪聲。
6.如權(quán)利要求4所述的輸出裝置，其特征在于，還包括在所述輸出端與基準(zhǔn)電位之間連接的電阻。
7.如權(quán)利要求5所述的輸出裝置，其特征在于所述測定部具有 產(chǎn)生比較電壓的測定用DAC;將所述比較電壓與比較定時(shí)內(nèi)的所述輸出端的電壓進(jìn)行大小比較的比較器； 根據(jù)控制所述比較電壓和所述比較定時(shí)而得到的所述比較器中的比較結(jié)果，測定在輸出了所指定的波形電流的情況下的所述輸出端的電壓波形的控制部。
8.如權(quán)利要求7所述的輸出裝置，其特征在于所述測定部還具有在所述比較定時(shí)內(nèi)對所述輸出端的電壓進(jìn)行取樣的取樣保持部， 所述比較器比較所述比較電壓與所述取樣保持部所保持的電壓的大小。
9.如權(quán)利要求7所述的輸出裝置，其特征在于所述測定部在以基準(zhǔn)定時(shí)為基準(zhǔn)的一個(gè)輸出定時(shí)內(nèi)，從所述信號發(fā)生部多次輸出用來使被指定了波形的電流流向所述輸出端的多個(gè)控制信號；在以所述基準(zhǔn)定時(shí)為基準(zhǔn)的不同的多個(gè)比較定時(shí)的每一個(gè)內(nèi)，測定流出所述被指定了波形電流的所述輸出端的電壓。
10.如權(quán)利要求9所述的輸出裝置，其特征在于所述測定部在所述一個(gè)輸出定時(shí)內(nèi)，使所述信號發(fā)生部多次輸出所述多個(gè)控制信號； 在每次輸出所述多個(gè)控制信號時(shí)，在一個(gè)比較定時(shí)內(nèi)比較所述輸出端的電壓與在每次比較處理時(shí)變化了的比較電壓，在所述一個(gè)比較定時(shí)內(nèi)測定所述輸出端的電壓。
11.如權(quán)利要求9所述的輸出裝置，其特征在于所述測定部在多個(gè)選通脈沖信號中的每一個(gè)所指定的多個(gè)比較定時(shí)內(nèi)，測定流出所述被指定波形的電流的所述輸出端的電壓，所述多個(gè)選通脈沖信號以預(yù)先確定的時(shí)間間隔連續(xù)發(fā)生。
12.如權(quán)利要求4所述的輸出裝置，其特征在于該輸出裝置還包括 虛擬電流源；以及用于轉(zhuǎn)換是否讓所述虛擬電流源流出的電流流向所述輸出端的虛擬轉(zhuǎn)換部； 所述多個(gè)電流源產(chǎn)生的電流的大小，從低位位開始按照依次乘以2的整數(shù)指數(shù)冪而不同；所述虛擬電流源流出與所述多個(gè)電流源中流出最小電流的電流源相同的電流； 所述調(diào)整部，使提供給所述多個(gè)轉(zhuǎn)換部中選擇的轉(zhuǎn)換部的控制信號的延遲量發(fā)生變化，對于各個(gè)延遲量的每一個(gè)，將被選擇的轉(zhuǎn)換部從第1狀態(tài)轉(zhuǎn)換為第2狀態(tài)，將與比所選擇的轉(zhuǎn)換部的低位位對應(yīng)的選擇部從第2狀態(tài)轉(zhuǎn)換為第1狀態(tài)，將所述虛擬轉(zhuǎn)換部從第2狀態(tài)轉(zhuǎn)換為第 1狀態(tài)，并且在不進(jìn)行與比所選擇的轉(zhuǎn)換部高的位對應(yīng)的選擇部的轉(zhuǎn)換的情況下，使所述測定部測定與流向所述輸出端的電流相對應(yīng)的電壓的波形，根據(jù)各個(gè)延遲量的每個(gè)所述電壓波形，調(diào)整提供給所選擇的轉(zhuǎn)換部的控制信號的延遲量，以減少細(xì)須狀脈沖噪聲。
13.如權(quán)利要求7所述的輸出裝置，其特征在于還包括至少一個(gè)電容部，其與所述多個(gè)電流源中的至少一個(gè)相對應(yīng)設(shè)置、保持用于指定所對應(yīng)的電流源流出的電流的指定電壓；所述測定用DAC在該輸出裝置的電流輸出操作時(shí)，為了分別指定所述至少一個(gè)電容部，產(chǎn)生所述指定電壓。
14.一種測試裝置，對被測試設(shè)備進(jìn)行測試，其特征在于包括產(chǎn)生波形數(shù)據(jù)的波形發(fā)生裝置，所述波形數(shù)據(jù)表示應(yīng)當(dāng)施加給所述被測試設(shè)備的信號的波形；輸出與所述波形數(shù)據(jù)相對應(yīng)的電流的權(quán)利要求3到13中任意一項(xiàng)記載的輸出裝置； 將與所述輸出裝置輸出的電流相對應(yīng)的電壓施加給所述被測試設(shè)備的驅(qū)動裝置。
全文摘要
為了減少噪聲，提供一種從輸出端輸出電流的輸出裝置。輸出裝置包括多個(gè)電流源；與多個(gè)電流源中的每一個(gè)對應(yīng)設(shè)置，對對應(yīng)的電流源中流出的電流是否流向輸出端進(jìn)行轉(zhuǎn)換的多個(gè)轉(zhuǎn)換部；改變用來控制多個(gè)轉(zhuǎn)換部中的每一個(gè)的轉(zhuǎn)換狀態(tài)的多個(gè)控制信號中的每一個(gè)的傳送時(shí)間的時(shí)間變更部；為減少流向輸出端的電流中含有的細(xì)須狀脈沖噪聲的多個(gè)控制信號中的調(diào)整每一個(gè)的傳送時(shí)間的調(diào)整部。
文檔編號H03M1/08GK102195648SQ20111002168
公開日2011年9月21日 申請日期2011年1月19日 優(yōu)先權(quán)日2010年2月18日
發(fā)明者倉持泰秀 申請人:愛德萬測試株式會社