專利名稱：平衡-不平衡變壓器系統(tǒng)和方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明的實(shí)施例基本上涉及用于變換電輸入信號(hào)的系統(tǒng)和方法，更具體地，涉及使用平衡-不平衡變壓器變換電輸入信號(hào)的系統(tǒng)和方法。
背景技術(shù)：
可以在電路中使用平衡-不平衡變壓器(Balim)，將不平衡信號(hào)變換為平衡信號(hào)， 反之亦然。通過使用平衡變換器可以達(dá)到上述目的，從而提供了相等的振幅分割和相位差。 換言之，一個(gè)單獨(dú)的、不平衡的信號(hào)可以被分離為180度異相的兩個(gè)獨(dú)立的、平衡的信號(hào)。這種平衡可以通過使用耦合線結(jié)構(gòu)而實(shí)現(xiàn)，其中，輸入線(接收不平衡信號(hào))通過單獨(dú)的變壓器電磁耦合到兩個(gè)單獨(dú)的輸出線。所引入的不平衡信號(hào)(通過由耦合線形成的變壓器)被變換為兩個(gè)180度異相的獨(dú)立的平衡信號(hào)。在Marchand平衡-不平衡變壓器的特定實(shí)施例中，輸入線接收不平衡信號(hào)，并保持一端斷開，這樣使得該平衡-不平衡變壓器能夠在比其它可能的情況更寬的帶寬范圍下使用。然而，傳統(tǒng)平衡-不平衡變壓器具有許多問題和限制。特別地，由于電流通路將耦合線接地，因此傳統(tǒng)平衡-不平衡變壓器件有損耗問題。另外，平衡-不平衡變壓器的帶寬可能會(huì)由耦合線和接地之間所產(chǎn)生的電容耦合而被限制，從而限制了平衡-不平衡變壓器的運(yùn)行。

發(fā)明內(nèi)容
通過減小平衡-不平衡變壓器中的電容性耦合的實(shí)施例，通常能夠解決或者規(guī)避這些或者其它問題，通常還可獲得一些技術(shù)優(yōu)點(diǎn)。根據(jù)一個(gè)實(shí)施例，一種電器件，包括第一變壓器，位于第一金屬層中，第一變壓器包括主線，連接到輸入端；以及第一次級(jí)線，接近主線，并且連接到第一輸出端，主線和第一次級(jí)線通過介電材料的第一區(qū)域相互分隔開。第二變壓器，包括主線；以及第二次級(jí)線，接近主線，并且連接到第二輸出端，第二輸出端與第一輸出端不同。接地層位于第二金屬層中，接地層包括第一槽口線，第一槽口線包括非導(dǎo)電材料，并且位于第一區(qū)域下方。根據(jù)另一實(shí)施例，一種電器件，包括第一線，連接到第一端口，第一線包括調(diào)諧線；第二線，接近第一線，以形成第一變壓器，第二線連接到第二端口，第二線通過第一區(qū)域與第一線分隔開。第三線，接近第一線，以形成第二變壓器，第三線連接到第三端口。通孔將第二線和第三線連接到第一參考電壓層，第一參考電壓層包括介電材料的第一槽口線， 位于第一區(qū)域的正下方。該電器件進(jìn)一步包括指狀物，沿第一槽口線設(shè)置。其中，指狀物從第一槽口線延伸，垂直于第一槽口線的縱軸。其中，調(diào)諧線延伸進(jìn)入分隔的金屬層，而非第二線。其中，第一參考電壓層是接地層。其中，變壓器是Marchand平衡-不平衡變壓器。根據(jù)又一實(shí)施例，一種用于形成電器件的方法，包括在基板上方形成導(dǎo)電接地層，并在導(dǎo)電接地層中形成第一槽口線，第一槽口線包含第一介電材料。形成主傳輸線，接近第一傳輸線和第二傳輸線，主傳輸線通過第二介電材料的第一區(qū)域與第一傳輸線分隔開，其中，第一槽口線和第一區(qū)域位于沿著與基板垂直的線的位置上。其中，形成第一槽口線進(jìn)一步包括形成向遠(yuǎn)離第一槽口線方向延伸的指狀物。該方法進(jìn)一步包括在導(dǎo)電接地層中形成第二槽口線，第二槽口線包含第一介電材料，其中，主傳輸線通過第二介電材料的第二區(qū)域與第二傳輸線分隔，并且其中，第二槽口線和第二區(qū)域沿與基板垂直的第二線設(shè)置。該方法進(jìn)一步包括形成調(diào)諧線，調(diào)諧線設(shè)置在主傳輸線中，調(diào)諧線延伸進(jìn)入分隔的金屬層，而非第一槽口線。其中，形成電器件包括形成Marchand平衡-不平衡變壓器。其中，形成主傳輸線包括形成螺旋形的主傳輸線。其中，形成與第一傳輸線相鄰的主傳輸線進(jìn)一步包括形成與主傳輸線平行的第一傳輸線。這些實(shí)施例的優(yōu)點(diǎn)是，當(dāng)信號(hào)的偶模(even-mode)部分降低電容耦合的時(shí)候，信號(hào)的奇模(odd-mode)部分中的電容耦合只略微發(fā)生改變。同樣，平衡-不平衡變壓器的總體運(yùn)行帶寬增大。


為了更全面地理解本實(shí)施例及其優(yōu)點(diǎn)，現(xiàn)在將結(jié)合附圖所進(jìn)行的以下描述作為參考，其中圖1示出了根據(jù)實(shí)施例的Marchand平衡-不平衡變壓器的電路圖；圖2示出了根據(jù)實(shí)施例的Marchand平衡-不平衡變壓器的信號(hào)層(level)的布局；圖3A-圖;3B示出了根據(jù)實(shí)施例的Marchand平衡-不平衡變壓器的接地層；圖4A-圖4C示出了根據(jù)實(shí)施例的Marchand平衡-不平衡變壓器的頂視圖和橫截面圖；圖5-圖6示出了根據(jù)實(shí)施例的在Marchand平衡-不平衡變壓器中可以實(shí)現(xiàn)的改進(jìn)；以及圖7示出了根據(jù)實(shí)施例的Marchand平衡-不平衡變壓器的帶狀線實(shí)施例。除非另有說明，不同附圖中的參考數(shù)字和符號(hào)通常指的是對(duì)應(yīng)部件。繪制出附圖， 以清晰地示出實(shí)施例的相關(guān)方面，因而這些附圖沒有必要按比例繪制。
具體實(shí)施例方式下面，詳細(xì)討論本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施例的制造和使用。然而，應(yīng)該理解，本實(shí)施例提供了許多可以在各種具體環(huán)境中實(shí)現(xiàn)的可應(yīng)用的概念。所討論的具體實(shí)施例僅僅示出制造和使用本發(fā)明的具體方式，而不用于限制實(shí)施例的范圍。本實(shí)施例將針對(duì)特定語境中的實(shí)施例(即平衡-不平衡變壓器)進(jìn)行描述。然而， 本實(shí)施例還可以應(yīng)用到其它信號(hào)傳輸器件。
現(xiàn)在參考圖1，示出了平衡-不平衡變壓器100的示意圖，該平衡-不平衡變壓器 100包括主線圈101、第一次級(jí)線圈103、以及第二次級(jí)線圈105。平衡-不平衡變壓器100 可以是形成在例如半導(dǎo)體基板(未示出)上的微波傳輸帶(microstrip)、耦合線平衡-不平衡變壓器。同樣，盡管主線圈101、第一次級(jí)線圈103、以及第二次級(jí)線圈105被描述為線圈，但是這些結(jié)構(gòu)也可以是其它形狀的線，比如直線形狀的微波傳輸帶線或者蜿蜒形狀的微波傳輸帶線，如下文中所描述，主線圈101、第一次級(jí)線圈103、以及第二次級(jí)線圈105被華禹合。在實(shí)施例中，主線圈101可以被連接到輸入端口 107，以接收輸入信號(hào)，比如無線電頻率信號(hào)、微波信號(hào)、毫米波信號(hào)。在與輸入端口 107相對(duì)的一端，主線圈101可以保持?jǐn)嚅_(open)，并且不接地，從而形成了一種平衡-不平衡變壓器的特定類型Marchand平衡-不平衡變壓器。通過使用Marchand平衡-不平衡變壓器(其中主線圈保持?jǐn)嚅_)，平衡-不平衡變壓器100能夠通過Marchand平衡-不平衡變壓器得到比傳統(tǒng)微波傳輸帶、耦合線平衡-不平衡變壓器更寬的帶寬。然而，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員將會(huì)明了，由圖1中所示出的平衡-不平衡變壓器100 所表示出的平衡-不平衡變壓器的特定類型僅僅旨在示出，并非意在限制本實(shí)施例。任意其它平衡-不平衡變壓器的合適類型，比如帶狀線、或者微波傳輸帶，都可以備選地應(yīng)用到本實(shí)施例?？蛇x地，調(diào)諧線115可以被應(yīng)用到主線圈101中。調(diào)諧線115可以用于調(diào)節(jié)、或者調(diào)諧主線圈101的阻抗。為了延長或者收縮主線圈101的總長度，可以通過制造具有期望長度的調(diào)諧線115而進(jìn)行調(diào)節(jié)。通過調(diào)節(jié)長度，調(diào)諧線115的阻抗可以被匹配，從而主線圈 101可以被匹配，以使得平衡-不平衡變壓器100(以下進(jìn)一步描述)的輸出為平衡振幅。第一次級(jí)線圈103和第二次級(jí)線圈105可以被設(shè)置為接近主線圈101，從而使得主線圈101和第一次級(jí)線圈103形成第一變壓器110，主線圈101和第二次級(jí)線圈105形成第二變壓器112?？梢詫⒌谝淮渭?jí)線圈103和第二次級(jí)線圈105放置為，使得第一次級(jí)線圈 103的電長度(electrical length)和第二次級(jí)線圈105的電長度在輸入端口 107所施加的信號(hào)的頻率中心上是90°。第一次級(jí)線圈103可以被連接到不同的第一輸出端109，第二次級(jí)線圈105可以被連接到不同的第二輸出端111。接地結(jié)構(gòu)113可以被連接到第一次級(jí)線圈103和第二次級(jí)線圈105。接地結(jié)構(gòu)113 可以產(chǎn)生出允許電流流過的合適的參考電壓，比如0V。另外，盡管接地結(jié)構(gòu)113如圖1所示為兩個(gè)隔開的結(jié)構(gòu)，但這僅僅是說明性的，如關(guān)于圖3的以下描述，該接地結(jié)構(gòu)113也可以是單個(gè)結(jié)構(gòu)。圖2示出了圖1中所示的平衡-不平衡變壓器100的信號(hào)層201的結(jié)構(gòu)布局200。 在實(shí)施例中，信號(hào)層201可以包括主線圈101、第一次級(jí)線圈103、第二次級(jí)線圈105、以及調(diào)諧線115的部分。在圖2所示出的信號(hào)層201中，主線圈101和第一次級(jí)線圈103相纏繞， 以形成第一變壓器110，主線圈101和第二次級(jí)線圈105相纏繞，以形成第二變壓器112。還示出了，主線圈101連接到輸入端口 107，第一次級(jí)線圈103連接到第一輸出端109，第二次級(jí)線圈105連接到第二輸出端111。主線圈101、第一次級(jí)線圈103、以及第二次級(jí)線圈105可以形成在使用例如65nm 技術(shù)節(jié)點(diǎn)、具有六個(gè)金屬層和單個(gè)多晶硅層的半導(dǎo)體基板(未示出)的單個(gè)金屬層中。主
5線圈101、第一次級(jí)線圈103、以及第二次級(jí)線圈105可以由導(dǎo)電材料形成，比如，銅、鎢、或者鋁、上述的混合物等等。另外，可以使用諸如電介質(zhì)的絕緣材料202，從而將主線圈101與第一次級(jí)線圈103和第二次級(jí)線圈105分隔開，以防止各個(gè)線圈之間發(fā)生短路。主線圈101、第一次級(jí)線圈103、以及第二次級(jí)線圈105可以利用生產(chǎn)線后道 (BEOL)制造工序制造，比如鑲嵌技術(shù)、雙道鑲嵌技術(shù)、上述的組合等等。此類工藝可以包括， 例如，形成或者沉淀絕緣層，形成穿過絕緣層的開口，將導(dǎo)電材料形成或者沉淀在穿過絕緣層的開口中，以及通過諸如化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)的平坦化工藝從開口外部移除導(dǎo)電材料。然而，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員將會(huì)明了，上面所描述的工藝僅僅是說明性的，并非意在將本實(shí)施例限制在任意方式。也可以用任意其它合適的材料或者工藝來形成主線圈101、 第一次級(jí)線圈103、以及第二次級(jí)線圈105?？蛇x地，所有這種合適的材料和方法都可以被使用。如所示，主線圈101和第一次級(jí)線圈103可以相纏繞，以形成第一變壓器110。在一個(gè)實(shí)施例中，主線圈101和第一次級(jí)線圈103可以具有類似的寬度We，可以根據(jù)所利用的工藝設(shè)計(jì)規(guī)則來確定出該寬度We。備選地，主線圈101和第一次級(jí)線圈103寬度可以不同， 或者甚至主線圈101和第一次級(jí)線圈103中的不同位置上的寬度也可以不同。第一變壓器 110中的主線圈101和第一次級(jí)線圈103可以應(yīng)用任意合適的寬度或者寬度的組合。另外，在第一變壓器110中，主線圈101和第一次級(jí)線圈103可以通過絕緣材料 202而被分隔開。在一個(gè)實(shí)施例中，主線圈101和第一次級(jí)線圈103可以分隔開間隔Se，可以根據(jù)所利用的工藝設(shè)計(jì)規(guī)則來確定出該間隔&。&防止在第一變壓器110運(yùn)行時(shí)，主線圈101與第一次級(jí)線圈103短路。第一變壓器110中的主線圈101和第一次級(jí)線圈103可以相纏繞，從而使得第一變壓器110的變壓比為1 1，例如，主線圈101和第一次級(jí)線圈103中的每個(gè)都使用一圈半。然而，該變壓比僅僅是說明性的，并非意在限制本實(shí)施例。備選地，可以使用任意其它合適的變壓比(阻抗變壓比包括阻抗的實(shí)數(shù)部分和/或虛數(shù)部分)，比如2 1、1 4、或者3 2，以及任意其它合適的圈數(shù)。主線圈101還可以與第二次級(jí)線圈105相纏繞，從而形成第二變壓器112。與上面所述的第一變壓器110類似，根據(jù)所利用的工藝設(shè)計(jì)規(guī)則，主線圈101和第二次級(jí)線圈105 可以具有類似的寬度We。另外，第二變壓器112中的主線圈101和第二次級(jí)線圈105可以分隔開間隔Se，并且相纏繞，從而使得第二變壓器112的變壓比是1 1，例如，主線圈101 和第二次級(jí)線圈105中的每個(gè)都使用一圈半。然而，備選地，可以使用其它間隔、變壓比以及圈數(shù)。可選地，主線圈101可以通過調(diào)諧線115，從第一變壓器110延伸到第二變壓器 112。通過，例如，形成穿過第一通孔206延伸到其它金屬層中的部分，調(diào)諧線115可以將第一變壓器110中的主線圈101連接到第二變壓器112中的主線圈101。第一通孔206使得調(diào)諧線115能夠與第一變壓器110和第二變壓器112的其它部分相交叉，而不會(huì)接觸到這些部分。在實(shí)施例中，調(diào)諧線115使用第一通孔206和跡線208的組合，其將調(diào)諧線115布線(route)到另一金屬層內(nèi)。例如，如所示，為了將調(diào)諧線115圍繞第一變壓器110和第二變壓器112的線圈布線，可以使用四個(gè)第一通孔206，從而將調(diào)諧線115延長到期望長度，進(jìn)而使主線圈101達(dá)到期望阻抗。只是舉個(gè)例子，為了將主線圈101調(diào)諧為其阻抗匹配進(jìn)一步被改進(jìn)，調(diào)諧線115的長度可以在大約20 μ m到大約300 μ m之間，比如大約40 μ m。然而，上述的調(diào)諧線115的長度和第一通孔206的數(shù)量僅僅是說明性的，并不用于限定本實(shí)施例。備選地，為了調(diào)諧主線圈101的阻抗，可以使用任意合適的長度和任意合適的通孔數(shù)量(比如，兩個(gè)第一通孔206)，從而使得調(diào)諧線能夠?qū)⒌谝蛔儔浩?10中的主線圈 101連接到第二變壓器102中的主線圈101，而不會(huì)接觸其它導(dǎo)電區(qū)域。此外，調(diào)諧線115 可以延伸到包含信號(hào)層201的金屬層上方或者下方的任意數(shù)量的金屬層(未示出)中。在實(shí)施例中，第一次級(jí)線圈103和第二次級(jí)線圈105可以通過一個(gè)或者多個(gè)接地通孔209，連接到接地結(jié)構(gòu)113 (在關(guān)于圖3的下文中進(jìn)行完整描述)。為了向平衡-不平衡變壓器100提供期望的接地連接，接地通孔209可以延伸穿過周圍的(surrounding)絕緣材料202。與主線圈101、第一次級(jí)線圈103、以及第二次級(jí)線圈105類似，第一通孔206和接地通孔209可以通過使用BEOL制造技術(shù)形成。只是舉個(gè)例子，第一通孔206和接地通孔 209可以通過使用鑲嵌技術(shù)或者雙道鑲嵌技術(shù)，形成在絕緣材料202中。然而，這些技術(shù)僅是說明性的，備選地，還可以使用任意其它合適的技術(shù)形成第一通孔206和接地通孔209。圖3A示出了接地結(jié)構(gòu)113(見圖1)。在所示實(shí)施例中，接地結(jié)構(gòu)113是穿過接地通孔209連接到第一次級(jí)線圈103和第二次級(jí)線圈105的接地層301。接地層301可以包括導(dǎo)電部分302、非導(dǎo)電第一槽口線303和非導(dǎo)電第二槽口線305。接地層301可以位于與包含信號(hào)層201的金屬層鄰近的金屬層中，該信號(hào)層201包括主線圈101，第一次級(jí)線圈 103、以及第二次級(jí)線圈105，但是接地層301并不限于此。備選地，接地層301可以位于包含有主線圈101、第一次級(jí)線圈103、以及第二次級(jí)線圈105的金屬層上方或者下方的任意金屬層中。例如，在具有六個(gè)金屬層，技術(shù)節(jié)點(diǎn)為 0. 18μπι的情況下，接地層301可以形成在第六金屬層(例如，從基板開始數(shù)，未示出)中， 信號(hào)層201可以形成在第一金屬層中，兩層之間大約7. 05 μ m。在其它示例中，接地層301 可以形成在六個(gè)金屬層中的第六金屬層中，技術(shù)節(jié)點(diǎn)為65nm，信號(hào)層201可以形成在第一金屬層中，兩層之間大約3. 6 μ m，還可以是，接地層301形成在六個(gè)金屬層中的第六金屬層中，技術(shù)節(jié)點(diǎn)為40nm，信號(hào)層201在第一金屬層中，兩層之間隔開大約1. 865 μ m。這些示例， 以及任意其它合適的備選配置，都可以備選地應(yīng)用到接地層301與信號(hào)層201有關(guān)的位置中。在實(shí)施例中，接地層301可以利用絕緣層202而被圖案化，以具有第一槽口線303 和第二槽口線305。接地層301連同第一槽口線303和第二槽口線305可以通過使用BEOL 技術(shù)形成，比如通過鑲嵌技術(shù)、雙道鑲嵌技術(shù)等等，其中，形成絕緣材料202，進(jìn)而在絕緣材料202中形成接地層301的導(dǎo)電部分302。然而，備選地，還可以使用任意其它合適的工藝， 比如，形成接地層301的導(dǎo)電部分302，然后，移除接地層301的導(dǎo)電部分302的一部分，以填充以及形成第一槽口線303和第二槽口線305。圖;3B示出了圖3A中的用虛線標(biāo)注的圈309的放大圖，并且還示出了第一槽口線 303的放大圖。在實(shí)施例中，為了有助于調(diào)節(jié)和降低接地層301和信號(hào)層201之間的電容，第一槽口線303的槽口寬度可以是Ws。同樣，第一槽口線303的槽口寬度Ws可以在大約2 μ m 和大約18 μ m之間，比如大約5 μ m。
另外，在實(shí)施例中，圖:3B還示出了，第一槽口線303和第二槽口線305可以被圖案化，以形成例如指狀物307，該指狀物307從第一槽口線303和第二槽口線305延伸出來。 指狀物307可以與第一槽口線303和第二槽口線305同時(shí)形成，并且可以由類似材料(例如，絕緣材料202)形成。與第一槽口線303和第二槽口線305類似，指狀物307可以用于很好地調(diào)節(jié)接地層301和信號(hào)層201之間的電容，其中，數(shù)量較多的指狀物307(從而絕緣材料202的區(qū)域較大)能夠降低接地結(jié)構(gòu)113和信號(hào)層201之間電容耦合。同樣，在一個(gè)實(shí)施例中，所形成的指狀物307的指狀物寬度Wf可以在大約1 μ m和大約12 μ m之間，比如大約2μπι，相鄰的指狀物307之間的節(jié)距(pitch spacing) Wp可以在大約Iym和大約12 μ m 之間，比如大約2 μ m。另外，指狀物307可以從第一槽口線303延伸出來，從而使得第一槽口線303的(與指狀物307相結(jié)合的)結(jié)合寬度Wg可以在大約6 μ m和大約36 μ m之間， 比如12 μ m。最終，指狀物307可以圍繞著第一槽口線303和第二槽口線305的周界延伸。然而，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員將會(huì)明了，圍繞著第一槽口線303和第二槽口線305到指狀物307的接地層的圖案化僅僅是一個(gè)說明性的實(shí)施例，并非意在進(jìn)行限制。為了有助于調(diào)節(jié)和控制電容耦合并且獲得更好的性能，接地層301可以被圖案化為備選的任意期望的形狀，比如鋸齒圖案。備選地，可以使用任意其它合適的形狀、間距、或者尺寸。圖4A示出了第一變壓器110和第二變壓器112的頂視圖，該第一變壓器110和第二變壓器112置于帶有第一槽口線303和第二槽口線305的接地層301的上方。如圖所示， 可以設(shè)置第一槽口線303，使得位于第一變壓器110中的主線圈101和第一次級(jí)線圈103置于第一槽口線303上方，第一槽口線303在主線圈101和第一次級(jí)線圈103(雖然處于單獨(dú)的金屬層中)之間延伸。另外，可以設(shè)置第二槽口線305，使得位于第二變壓器112中的主線圈101和第二次級(jí)線圈105置于第二槽口線305和指狀物307之上，該指狀物307圍繞第二槽口線305。另外，第一槽口線303和指狀物307使得信號(hào)的回流能夠不從信號(hào)耦合線下方流過(例如，第一次級(jí)線圈103和主線圈101之間的空間)，而是流向遠(yuǎn)離信號(hào)耦合線，從而增加等同的偶模電感和奇模電感，降低信號(hào)的速率，并且還使得耦合線的物理長度減小。此夕卜，通過應(yīng)用所提出的實(shí)施例，平衡-不平衡變壓器100的總體尺寸可以降低大約40%。例如，傳統(tǒng)平衡-不平衡變壓器的寬度可以是大約85 μ m,長度可以是大約196 μ m，平衡-不平衡變壓器100通過應(yīng)用本實(shí)施例，可以降低電容耦合，并且使得尺寸減小到，例如，寬度為大約65 μ m,長度為大約156 μ m。圖4B示出了沿著線A-A，的接地層301和信號(hào)層201的橫截面圖。如圖所示，接地層301和第一槽口線303可以通過單個(gè)介電層403與主線圈101和第一次級(jí)線圈103分隔開，備選地，還可以應(yīng)用任意合適數(shù)量的分離層。在實(shí)施例中，第一槽口線303在主線圈 101和第一次級(jí)線圈103之間的間隔處，阻斷(interrupt) 了接地層301，從而有助于減小接地層301和信號(hào)層201之間的電容。另外，如果施加到輸入端口 107的信號(hào)可以被視為偶模部分和奇模部分的組合， 則圖4B還示出了由于信號(hào)的偶模部分所產(chǎn)生的電場(chǎng)401。如圖所示，由第一槽口線303所提供的間隔是為了將電場(chǎng)401分隔開，從而有助于減小接地層301和信號(hào)層201之間的電容。另外，信號(hào)的偶模部分中的偶模阻抗可以用以下等式得出
權(quán)利要求
1.一種電器件，包括第一變壓器，位于第一金屬層中，所述第一變壓器包括 主線，連接到輸入端；和第一次級(jí)線，與所述主線相鄰，并且連接到第一輸出端，所述主線和所述第一次級(jí)線通過介電材料的第一區(qū)域彼此分隔； 第二變壓器，包括 所述主線；和第二次級(jí)線，與所述主線相鄰，并且連接到第二輸出端，所述第二輸出端與所述第一輸出端不同；以及接地層，位于第二金屬層中，所述接地層包括第一槽口線，所述第一槽口線包括非導(dǎo)電材料，并且位于所述第一區(qū)域下方。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電器件，其中，所述主線和所述第二次級(jí)線通過介電材料的第二區(qū)域彼此分隔，進(jìn)一步包括第二槽口線，位于所述接地層中，所述第二槽口線位于所述第二區(qū)域下方。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電器件，其中，所述主線和所述第一次級(jí)線為螺旋形。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電器件，進(jìn)一步包括調(diào)諧線，設(shè)置在所述主線中，其中，所述調(diào)諧線至少部分地延伸到第三金屬層中，所述第三金屬層與所述第一金屬層不同。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電器件，進(jìn)一步包括指狀物，沿所述第一槽口線設(shè)置。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電器件，進(jìn)一步包括通孔，用于將所述第一變壓器電連接到所述接地層。
7.一種電器件，包括第一線，連接到第一端口，所述第一線包括調(diào)諧線；第二線，與所述第一線相鄰，以形成第一變壓器，所述第二線連接到第二端口，所述第二線通過第一區(qū)域與所述第一線分隔；第三線，與所述第一線相鄰，以形成第二變壓器，所述第三線連接到第三端口 ；以及通孔，用于將所述第二線和所述第三線連接到第一參考電壓層，所述第一參考電壓層包括介電材料的第一槽口線，位于所述第一區(qū)域的正下方。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的電器件，進(jìn)一步包括指狀物，沿所述第一槽口線設(shè)置， 其中，所述指狀物從所述第一槽口線延伸，垂直于所述第一槽口線的縱軸。
9.一種用于形成電器件的方法，該方法包括 在基板上方形成導(dǎo)電接地層；在所述導(dǎo)電接地層中形成第一槽口線，所述第一槽口線包含第一介電材料；以及形成主傳輸線，與第一傳輸線和第二傳輸線相鄰，所述主傳輸線通過第二介電材料的第一區(qū)域與所述第一傳輸線分隔，其中，所述第一槽口線和所述第一區(qū)域沿與所述基板垂直的線設(shè)置。
10.根據(jù)權(quán)利要求14所述的方法，進(jìn)一步包括在所述導(dǎo)電接地層中形成第二槽口線， 所述第二槽口線包含所述第一介電材料，其中，所述主傳輸線通過第二介電材料的第二區(qū)域與所述第二傳輸線分隔，并且其中，所述第二槽口線和所述第二區(qū)域沿與所述基板垂直的第二線設(shè)置。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種用于傳輸信號(hào)的系統(tǒng)和方法。一個(gè)實(shí)施例包括平衡-不平衡變壓器，比如Marchand平衡-不平衡變壓器，具有帶有主線圈和第一次級(jí)線圈的第一變壓器，以及帶有主線圈和第二次級(jí)線圈的第二變壓器。第一次級(jí)線圈和第二次級(jí)線圈連接到接地層，該接地層具有槽口線，該槽口線位于第一變壓器和第二變壓器中的線圈的分隔處下方。槽口線還可以具有指狀物。
文檔編號(hào)H03H7/42GK102468035SQ20111033226
公開日2012年5月23日 申請(qǐng)日期2011年10月25日 優(yōu)先權(quán)日2010年11月12日
發(fā)明者劉莎莉, 葉子禎, 呂哲慶, 鄭敏祺, 顏孝璁 申請(qǐng)人:臺(tái)灣積體電路制造股份有限公司