專利名稱：壓電振動(dòng)元件、具有壓電振動(dòng)元件的壓電裝置及電子設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及壓電振動(dòng)元件、振動(dòng)陀螺元件等，特別是涉及實(shí)現(xiàn)了小型化且改善了頻率溫度特性的壓電振動(dòng)元件、壓電振子、壓電振蕩器、振動(dòng)陀螺元件、振動(dòng)陀螺傳感器以及使用這些元件的電子設(shè)備。
背景技術(shù)：
一直以來，對(duì)于便攜式計(jì)算機(jī)、硬盤驅(qū)動(dòng)器等小型信息設(shè)備和手機(jī)等的移動(dòng)體通信設(shè)備中，作為標(biāo)準(zhǔn)頻率源而廣泛地使用壓電裝置。隨著搭載壓電裝置的電子設(shè)備的小型化的發(fā)展，要求進(jìn)一步使壓電裝置小型化。 在專利文獻(xiàn)I中，公開了一種繞水晶的電軸(結(jié)晶軸之一)在O到-15°的范圍內(nèi)切割出的音叉型水晶振子。通過使在音叉型水晶振子中被激勵(lì)的彎曲振動(dòng)模式、扭曲振動(dòng)模式各自的共振頻率fF、fT相互接近且結(jié)合,從而成為改善了主振動(dòng)的彎曲振動(dòng)模式的頻率溫度特性的水晶振子。一般情況下，水晶振子的頻率溫度特性Af/f，以關(guān)于溫度的多項(xiàng)式來表示，但實(shí)際上由三次式近似，其一次項(xiàng)系數(shù) 三次項(xiàng)系數(shù)由α、β、Y表示。彎曲振動(dòng)模式的頻率溫度特性TfF，受扭曲振動(dòng)模式的影響，而依賴于壓電基板h。對(duì)于各種切割角度Θ，設(shè)定厚度h，以使一次項(xiàng)系數(shù)α =0，而且根據(jù)通過預(yù)先計(jì)算而求出的值來設(shè)定二次項(xiàng)系數(shù)β成為零的切割角度Θ和厚度h。由此，公開了下述內(nèi)容，即，頻率溫度特性TfF僅依賴于三次項(xiàng)系數(shù)Y，從而可得到溫度特性良好的水晶振子。而且，在專利文獻(xiàn)2中，公開了一種在相互平行的多個(gè)振動(dòng)臂的各個(gè)前端部設(shè)置寬度寬于振動(dòng)臂的擴(kuò)大部的音叉型壓電振子。還記載有，此擴(kuò)大部具有有底的孔，通過在此有底的孔中填充比重大于壓電材料的材料而形成錘，從而實(shí)現(xiàn)了音叉型壓電振子的小型化。而且，在專利文獻(xiàn)3中，公開了一種振動(dòng)陀螺元件。振動(dòng)陀螺元件具有基部、從基部起以直線狀向兩側(cè)延伸的一對(duì)檢測(cè)用振動(dòng)臂、從基部起向兩側(cè)沿與檢測(cè)用振動(dòng)臂正交的方向延伸的一對(duì)連結(jié)臂、從各個(gè)連結(jié)臂的前端部起與之正交且向兩側(cè)延伸的各一對(duì)的驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂。而且，被構(gòu)成為，在同一平面上設(shè)置從基部起沿著各個(gè)檢測(cè)用振動(dòng)臂延伸的兩對(duì)梁、和連結(jié)了在該方向上延伸的各個(gè)梁的一對(duì)支承部，并且在檢測(cè)用振動(dòng)臂的延伸方向且檢測(cè)用振動(dòng)臂的外側(cè)，并且于所述驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂之間配置支承部。但是，專利文獻(xiàn)I中所記載的、通過使彎曲振動(dòng)模式和扭曲振動(dòng)模式各自的頻率接近且相互結(jié)合從而改善了頻率溫度特性的音叉型壓電振子，存在難以實(shí)現(xiàn)小型化的問題。而且，專利文獻(xiàn)2中記載的音叉型壓電振子雖然通過在振動(dòng)臂的前端部形成錘部從而能夠?qū)崿F(xiàn)小型化，但頻率溫度特性為二次特性，從而在頻率穩(wěn)定性上存在問題。而且，專利文獻(xiàn)3中記載的振動(dòng)陀螺元件存在由于溫度變化而使角速度的靈敏度發(fā)生變化的問題。[0010]專利文獻(xiàn)I :日本特開昭55-75326號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)2 :日本特開2004-282230公報(bào)專利文獻(xiàn)3 :日本特開2010-2430公報(bào)

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型是為了解決上述問題而作出的，其提供實(shí)現(xiàn)了小型化和頻率溫度特性的改善的壓電振動(dòng)元件、壓電振子、壓電振蕩器、振動(dòng)陀螺傳感器以及使用這些元件的電子設(shè)備。本實(shí)用新型是為了解決上述課題中的至少一部分而作出的，并能夠作為以下的方式或應(yīng)用例而實(shí)現(xiàn)。應(yīng)用例I本實(shí)用新型所涉及的壓電振動(dòng)元件的特征在于，包括多個(gè)振動(dòng)臂；基部，其對(duì)各個(gè)該振動(dòng)臂的一側(cè)端部之間進(jìn)行連接；錘部，其分別與各個(gè)所述振動(dòng)臂的另一側(cè)端部連接，且寬度寬于各個(gè)該振動(dòng)臂的另一側(cè)端部的寬度；壓電基板，其至少具有在所述錘部的表面以及背面中的至少一個(gè)面上沿著所述振動(dòng)臂的長(zhǎng)度方向延伸的第一槽部、以及分別存在于各個(gè)所述振動(dòng)臂的表背面的第二槽部；激勵(lì)電極，其分別被形成在所述錘部的表背面和包含各個(gè)所述第二槽部的各個(gè)所述振動(dòng)臂的表背面以及兩側(cè)面上，且分別與設(shè)置于所述基部上的多個(gè)電極襯墊之間進(jìn)行電連接，并且進(jìn)行彎曲-扭曲結(jié)合振動(dòng)，所述壓電振動(dòng)元件的頻率溫度特性為關(guān)于溫度的三次特性。在音叉型壓電振動(dòng)元件的各個(gè)振動(dòng)臂的前端部分別形成錘部，并在該錘部的表背面上形成沿著振動(dòng)臂的長(zhǎng)度方向以直線狀延伸的第一槽部，且在各個(gè)振動(dòng)臂的沿著振動(dòng)中心線的表背面上分別形成第二槽部。當(dāng)以此種方式構(gòu)成時(shí)，能夠使在音叉型壓電振動(dòng)元件中被激勵(lì)的彎曲振動(dòng)和扭曲振動(dòng)接近且結(jié)合。彎曲-扭曲結(jié)合振動(dòng)的彎曲振動(dòng)的頻率溫度特性成為關(guān)于溫度的三次特性，從而具有如下效果，即，具有優(yōu)良的溫度特性，且可得到被小型化的壓電振動(dòng)元件。應(yīng)用例2而且，應(yīng)用例I所述的壓電振動(dòng)元件的特征在于，所述基部包括基部主體，其具有與所述振動(dòng)臂的所述一側(cè)端部相連接的一端；連結(jié)部，其連接于與和該基部主體的所述振動(dòng)臂相連接的一端對(duì)置的一側(cè)的另一端；支承臂，其通過該連結(jié)部而被連接，且遠(yuǎn)離所述基部主體而延伸。壓電振動(dòng)元件的基部具有基部主體、連結(jié)部、L字狀以及反L字狀的各個(gè)支承臂，且通過將L字狀以及反L字狀的各個(gè)端部彼此連接在一起，并將此連接部通過連結(jié)部而連接于基部主體的一側(cè)的端部中央。因此，能夠減少從振動(dòng)臂向各個(gè)支承臂泄漏的振動(dòng)能量，從而Cl值變小，且耐沖擊性被改善。其結(jié)果為，具有可得到不會(huì)產(chǎn)生由于沖擊而導(dǎo)致的欠缺、破損等而弓I起的頻率變動(dòng)的壓電振動(dòng)兀件的效果。應(yīng)用例3而且，應(yīng)用例I或2所述的壓電振動(dòng)元件的特征在于，所述壓電基板由水晶板構(gòu)成，并且所述水晶板的主平面的法線相對(duì)于水晶結(jié)晶的光學(xué)軸，繞水晶結(jié)晶的電軸以O(shè)度到-15度的范圍內(nèi)的角度傾斜。[0023]壓電基板的切割角度構(gòu)成繞電軸(X軸)在O度到-15度的范圍內(nèi)被旋轉(zhuǎn)的音叉型壓電振動(dòng)元件。當(dāng)選擇這種切割角度時(shí),能夠?qū)⒈硎緩澢?扭曲結(jié)合振動(dòng)的頻率溫度特性的多項(xiàng)式的一次項(xiàng)系數(shù)以及二次項(xiàng)系數(shù)設(shè)定為幾乎為零，從而具有可得到優(yōu)良的溫度特性的壓電振動(dòng)元件的效果。應(yīng)用例4而且，應(yīng)用例I至3中任意一個(gè)應(yīng)用例所述的壓電振動(dòng)元件的特征在于，所述第一槽部具有沿著所述長(zhǎng)度方向分隔排列的多個(gè)槽。通過構(gòu)成以上述方式而形成了第一槽部的壓電振動(dòng)元件，從而彎曲-扭曲結(jié)合振動(dòng)的彎曲振動(dòng)的頻率溫度特性成為關(guān)于溫度的三次特性，由此具有可得到具有優(yōu)良的溫度特性的壓電振動(dòng)元件的效果和能夠在錘部的平坦面上形成對(duì)激勵(lì)電極之間進(jìn)行電連接的引線電極的優(yōu)點(diǎn)。應(yīng)用例5而且，應(yīng)用例I至3中任意一個(gè)應(yīng)用例所述的壓電振動(dòng)元件的特征在于，所述第一槽部從所述錘部的前端邊緣延伸到所述錘部的中間部，且被形成在關(guān)于所述振動(dòng)臂的振動(dòng)中心線線對(duì)稱的所述錘部的表背面的位置上。通過構(gòu)成以上述方式而形成了第一槽部的壓電振動(dòng)元件，從而彎曲-扭曲結(jié)合振動(dòng)的主振動(dòng)的彎曲振動(dòng)的頻率溫度特性成為關(guān)于溫度的三次特性,從而具有改善溫度特性的效果和能夠在錘部的平坦面上形成對(duì)激勵(lì)電極之間進(jìn)行電連接的引線電極的優(yōu)點(diǎn)。應(yīng)用例6而且，應(yīng)用例I至3中任意一個(gè)應(yīng)用例所述的壓電振動(dòng)元件的特征在于，所述第一槽部與所述第二槽部連續(xù)形成，且該第一槽部的前端部延伸到所述錘部的前端邊緣，并且被形成在關(guān)于所述振動(dòng)臂中心線線對(duì)稱的所述錘部的表背面的位置上。通過構(gòu)成以上述方式而形成了第一槽部的壓電振動(dòng)元件，從而彎曲-扭曲結(jié)合振動(dòng)的彎曲振動(dòng)的頻率溫度特性成為關(guān)于溫度的三次特性，由此具有改善壓電振動(dòng)元件的溫度特性的效果和容易形成第一以及第二槽部形成用掩膜的優(yōu)點(diǎn)。應(yīng)用例7而且，應(yīng)用例5所述的壓電振動(dòng)元件的特征在于，所述第一槽部被形成為，其至少一部分的寬度寬于所述第二槽部。通過構(gòu)成以上述方式而形成了第一槽部的壓電振動(dòng)元件，從而彎曲-扭曲結(jié)合振動(dòng)的彎曲振動(dòng)的頻率溫度特性成為關(guān)于溫度的三次特性，由此具有改善壓電振動(dòng)元件的溫度特性的效果、和通過適當(dāng)?shù)卦O(shè)定第一槽部的寬度從而使彎曲振動(dòng)頻率與扭曲振動(dòng)頻率的結(jié)合變得容易的優(yōu)點(diǎn)。應(yīng)用例8本實(shí)用新型所涉及的壓電振子的特征在于，具備應(yīng)用例I至6中任意一個(gè)應(yīng)用例所述的壓電振動(dòng)元件、和搭載該壓電振動(dòng)元件的絕緣基板。通過使在音叉型壓電振動(dòng)元件中被激勵(lì)的彎曲振動(dòng)和扭曲振動(dòng)相互接近，并在絕緣基板中收納彎曲-扭曲結(jié)合振動(dòng)被激勵(lì)的音叉型壓電振動(dòng)元件，以構(gòu)成壓電振子，從而具有可得到小型且Q值較高、頻率溫度特性優(yōu)良的壓電振子的效果。應(yīng)用例9[0040]本實(shí)用新型所涉及的壓電振蕩器的特征在于，具備應(yīng)用例I至6中任意一個(gè)應(yīng)用例所述的壓電振動(dòng)元件、激勵(lì)該壓電振動(dòng)元件的IC部件、和氣密密封所述壓電振動(dòng)元件且收納所述IC部件的封裝件。通過構(gòu)成具有使彎曲振動(dòng)與扭曲振動(dòng)相互接近，且彎曲-扭曲結(jié)合振動(dòng)被激勵(lì)的音叉型振動(dòng)元件、IC部件和收納這些元件的封裝件的壓電振蕩器，從而具有可得到小型且頻率溫度特性優(yōu)良的壓電振蕩器。應(yīng)用例10本實(shí)用新型涉及的陀螺振動(dòng)螺元件的特征在于，應(yīng)用例I所述的壓電振動(dòng)元件具備從所述基部連接的、用于檢測(cè)角速度的檢測(cè)用振動(dòng)臂。構(gòu)成如下的振動(dòng)陀螺元件，S卩，在各個(gè)驅(qū)動(dòng)臂用振動(dòng)臂的前端部分別形成錘部，并在該錘部的表背面上形成沿著振動(dòng)臂的長(zhǎng)度方向以直線狀延伸的第一槽部，且在各個(gè)驅(qū)動(dòng)臂用振動(dòng)臂的沿著振動(dòng)中心線的表背面上分別形成第二槽部。當(dāng)構(gòu)成這種振動(dòng)陀螺元件 時(shí)，在各個(gè)驅(qū)動(dòng)臂用振動(dòng)臂中被激勵(lì)的彎曲-扭曲結(jié)合振動(dòng)中的主振動(dòng)即彎曲振動(dòng)的頻率溫度特性將成為關(guān)于溫度的三次特性，從而具有如下效果，即，具有優(yōu)良的溫度特性，且可得到小型的振動(dòng)陀螺元件的效果。應(yīng)用例11振動(dòng)陀螺傳感器的特征在于，包括應(yīng)用例10所述的振動(dòng)陀螺元件和收納該振動(dòng)陀螺元件的封裝件。應(yīng)用例12本實(shí)用新型涉及的壓電振動(dòng)元件的特征在于，具備壓電基板，所述壓電基板具有多個(gè)振動(dòng)臂；對(duì)各個(gè)該振動(dòng)臂的一側(cè)端部之間進(jìn)行連接的基部；分別被形成于各個(gè)所述振動(dòng)臂的另一側(cè)端部且寬度寬于各個(gè)該振動(dòng)臂的錘部；分別形成在所述各振動(dòng)臂的沿振動(dòng)中心的表面以及背面上的槽部；激勵(lì)電極，其分別被形成在所述錘部的兩面和包含各個(gè)所述槽部?jī)?nèi)在內(nèi)的各個(gè)所述振動(dòng)臂的表背面以及兩側(cè)面上，且分別與設(shè)置于所述基部的多個(gè)電極襯墊之間進(jìn)行電連接，各個(gè)所述錘部具備質(zhì)量部，以在沿著振動(dòng)中心的兩側(cè)具有較大的質(zhì)量，所述質(zhì)量部被構(gòu)成為關(guān)于所述振動(dòng)中心對(duì)稱，將在所述壓電振動(dòng)元件中被激勵(lì)的彎曲-扭曲結(jié)合振動(dòng)中的彎曲振動(dòng)設(shè)定為主振動(dòng)，分別設(shè)定所述壓電基板的厚度以及切割角度、和各個(gè)所述質(zhì)量部以及槽部的寬度和深度，以使頻率溫度特性成為關(guān)于溫度的三次特性。所述壓電振動(dòng)元件(音叉型壓電振動(dòng)元件)在各個(gè)振動(dòng)臂的前端部分別形成錘部，在此錘部上以沿著振動(dòng)中心而在兩側(cè)對(duì)稱的方式配置具有較大的質(zhì)量的質(zhì)量部。而且，在各個(gè)振動(dòng)臂上，沿著振動(dòng)中心而于表背面上分別形成槽部。當(dāng)以這種方式構(gòu)成時(shí)，在音叉型壓電振動(dòng)元件中被激勵(lì)的彎曲振動(dòng)以及扭曲振動(dòng)相互接近且結(jié)合。當(dāng)分別適當(dāng)?shù)卦O(shè)定壓電基板的厚度以及切割角度、和各個(gè)質(zhì)量部以及各個(gè)槽部的形狀時(shí)，彎曲 扭曲結(jié)合振動(dòng)的主振動(dòng)即彎曲振動(dòng)的頻率溫度特性將成為關(guān)于溫度的三次特性，從而具有如下效果，即，具有優(yōu)良的溫度特性，且可得到被小型化的壓電振動(dòng)元件。應(yīng)用例13而且，應(yīng)用例12所述的壓電振動(dòng)元件的特征在于，所述壓電基板的切割角被設(shè)定在繞電氣軸從O度到-15度的范圍內(nèi)。[0052]所述壓電基板的切割角度構(gòu)成繞電軸(X軸)在O度到-15度的范圍內(nèi)被旋轉(zhuǎn)的壓電振動(dòng)元件(音叉型壓電振動(dòng)元件)。當(dāng)設(shè)定這種切割角度，并適當(dāng)?shù)卦O(shè)定壓電基板的厚度等時(shí),能夠?qū)⒈硎緩澢づでY(jié)合振動(dòng)的主振動(dòng)的頻率溫度特性的多項(xiàng)式的一次項(xiàng)系數(shù)以及二次項(xiàng)系數(shù)設(shè)定為幾乎為零，從具有可得到優(yōu)良的溫度特性的壓電振動(dòng)元件的效果。應(yīng)用例14而且，應(yīng)用例12或13所述的壓電振動(dòng)元件的特征在于，各個(gè)所述錘部通過在其前端邊緣的中央部設(shè)置關(guān)于所述振動(dòng)中心對(duì)稱的切口部，從而形成凹形形狀。通過在各個(gè)錘部的前端邊緣中央部設(shè)置關(guān)于振動(dòng)中心對(duì)稱的切口部，從而能夠使在壓電振動(dòng)元件中被激勵(lì)的彎曲振動(dòng)(音叉振動(dòng))以及扭曲振動(dòng)相互接近且結(jié)合。通過適當(dāng)?shù)卦O(shè)定各個(gè)參數(shù)，從而具有能夠?qū)澢づでY(jié)合振動(dòng)的彎曲振動(dòng)的頻率溫度特性設(shè)定為三次特性的效果。應(yīng)用例15而且，應(yīng)用例14所述的壓電振動(dòng)元件的特征在于，在與所述切口部相比更靠近所述振動(dòng)臂的所述錘部的表面內(nèi)，形成有關(guān)于所述振動(dòng)中心對(duì)稱的貫穿孔。通過減小所述切口部，并與貫穿孔相結(jié)合，以沿著振動(dòng)中心而在兩側(cè)對(duì)稱的方式設(shè)置質(zhì)量部，且在兩質(zhì)量部之間設(shè)置橋連部，從而加強(qiáng)錘部。同時(shí)，能夠使彎曲振動(dòng)(音叉振動(dòng))以及扭曲振動(dòng)相互接近且結(jié)合。通過適當(dāng)?shù)卦O(shè)定各個(gè)參數(shù)，從而具有能夠?qū)澢?扭曲結(jié)合振動(dòng)的彎曲振動(dòng)的頻率溫度特性設(shè)定為三次特性的效果。應(yīng)用例16而且，應(yīng)用例12或14所述的壓電振動(dòng)單元的特性在于，各個(gè)所述錘部在其表面的中央部具有關(guān)于振動(dòng)中心對(duì)稱的貫穿孔。雖然通過在中央部設(shè)置所述貫穿孔，從而增加錘部的強(qiáng)度，但多少減少了彎曲振動(dòng)的頻率變化。但是，當(dāng)稍微增大貫穿孔的面積時(shí)，則能夠彌補(bǔ)頻率的減小。此時(shí)，也能夠使彎曲振動(dòng)(音叉振動(dòng))以及扭曲振動(dòng)相互接近且結(jié)合。通過適當(dāng)?shù)卦O(shè)定各個(gè)參數(shù)，從而具有能夠?qū)澢づでY(jié)合振動(dòng)的彎曲振動(dòng)的頻率溫度特性設(shè)定為三次特性的效果。應(yīng)用例17而且，應(yīng)用例12或13所述的壓電振動(dòng)元件的特征在于，各個(gè)所述錘部在基部側(cè)一端設(shè)置關(guān)于振動(dòng)中心對(duì)稱的貫穿孔，且該貫穿孔與各個(gè)所述振動(dòng)臂的槽部相連接。雖然當(dāng)在所述錘部的基部側(cè)一端設(shè)置貫穿孔時(shí)，多少減少了彎曲振動(dòng)的頻率變化，但由于延伸振動(dòng)臂的槽部，從而扭曲振動(dòng)的頻率減小，由此能夠使兩個(gè)振動(dòng)接近且結(jié)合。通過適當(dāng)?shù)卦O(shè)定各個(gè)參數(shù)，從而具有能夠?qū)澢づでY(jié)合振動(dòng)的彎曲振動(dòng)的頻率溫度特性設(shè)定為三次特性的效果。應(yīng)用例18而且，應(yīng)用例12至17所述的壓電振動(dòng)元件的特征在于，所述基部具有基部主體、在該基部主體的所述振動(dòng)臂的相反側(cè)的另一端邊緣中間部設(shè)置的連結(jié)部、通過該連結(jié)部而被連接且遠(yuǎn)離所述基部主體而延伸的左右一對(duì)支承臂。所述壓電振動(dòng)元件(音叉型壓電振動(dòng)元件)的基部具有基部主體、連結(jié)部、L字狀以及反L字狀的各個(gè)支承臂?；勘粯?gòu)成為，將L字狀以及反L字狀的各端部之間連接在一起，并且此連接部通過連結(jié)部而與基部主體的一側(cè)端部中央相連接。因此，能夠減少從振動(dòng)臂向各個(gè)支承臂泄漏的振動(dòng)能量，從而Cl值變小，且由于基部的結(jié)構(gòu)而使沖擊被緩和，因此耐沖擊性被改善。其結(jié)果為，具有可得到不會(huì)產(chǎn)生由于沖擊而導(dǎo)致的欠缺、破損等所引起的頻率變動(dòng)的壓電振動(dòng)元件的效果。應(yīng)用例19本實(shí)用新型所涉及的壓電振子的特征在于，具有應(yīng)用例12至18中任意一個(gè)應(yīng)用例所述的壓電振動(dòng)元件、和收納該壓電振動(dòng)元件的封裝件。將使在所述壓電振動(dòng)元件(音叉型壓電振動(dòng)元件)中被激勵(lì)的彎曲振動(dòng)以及扭曲振動(dòng)相互接近，從而彎曲·扭曲結(jié)合振動(dòng)被激勵(lì)的音叉型壓電振動(dòng)元件收納在絕緣基板內(nèi)， 從而構(gòu)成壓電振子。其結(jié)果為，具有可得到小型且Q值較高、耐沖擊性和頻率溫度特性優(yōu)良的壓電振子的效果。應(yīng)用例20本實(shí)用新型涉及的壓電振蕩器的特征在于，具有應(yīng)用例12至18中任意一個(gè)應(yīng)用例所述的壓電振動(dòng)元件、搭載了激勵(lì)該壓電振動(dòng)元件的振蕩電路的IC部件、氣密密封所述壓電振動(dòng)元件且收納所述IC部件的封裝件。通過構(gòu)成如下的壓電振蕩器，S卩，具有使彎曲振動(dòng)和扭曲振動(dòng)相互接近從而彎曲 扭曲結(jié)合振動(dòng)被激勵(lì)的壓電振動(dòng)元件(音叉型壓電振動(dòng)元件)、使此壓電振動(dòng)元件振蕩的IC部件、收納這些元件的封裝件，從而具有可得到小型且頻率溫度特性優(yōu)良的壓電振蕩器的效果。應(yīng)用例21本實(shí)用新型涉及的振動(dòng)陀螺元件的特征在于，具有基部、從該基部相對(duì)置的兩端邊緣起在同一直線上分別突出設(shè)置的一對(duì)檢測(cè)用振動(dòng)臂、從所述基部相對(duì)置的另外兩端邊緣分別在與所述檢測(cè)用振動(dòng)臂正交的方向上于同一直線上突出設(shè)置的一對(duì)連結(jié)臂、從各個(gè)所述連結(jié)臂的前部起分別與之正交的兩個(gè)方向分別突出設(shè)置的各一對(duì)的驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂、分別至少被形成在一對(duì)所述檢測(cè)用振動(dòng)臂和各一對(duì)的所述驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂上，且設(shè)置于所述基部的多個(gè)的電極襯墊之間分別電連接的激勵(lì)電極，其中，各個(gè)所述驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂在其表背面上具有沿著各個(gè)振動(dòng)臂的長(zhǎng)度方向以直線狀延伸的槽部，且在前端部分別具有寬度寬于各個(gè)振動(dòng)臂的錘部，各個(gè)所述錘部具有沿著振動(dòng)中心而在兩側(cè)對(duì)稱的質(zhì)量部，將在所述驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂中被激勵(lì)的彎曲-扭曲結(jié)合振動(dòng)中的彎曲振動(dòng)作為主振動(dòng)，并分別設(shè)定所述振動(dòng)陀螺元件的基板的切割角度和所述質(zhì)量部以及槽部的寬度和深度，以使頻率溫度特性成為關(guān)于溫度的三次特性。構(gòu)成如下的振動(dòng)陀螺元件，S卩，在各個(gè)驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂的前端部分別形成錘部，并在該錘部以沿著振動(dòng)臂的長(zhǎng)度方向而關(guān)于振動(dòng)中心對(duì)稱的方式形成切口部，且在各個(gè)驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂的沿著振動(dòng)中心的表背面上分別形成槽部。當(dāng)以此種方式構(gòu)成時(shí)，在各個(gè)驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂中被激勵(lì)的彎曲 扭曲結(jié)合振動(dòng)的主振動(dòng)即彎曲振動(dòng)的頻率溫度特性成為關(guān)于溫度的三次特性，從而具有如下效果，即，具有優(yōu)良的溫度特性，且可得到小型的振動(dòng)陀螺元件。應(yīng)用例22本實(shí)用新型所涉及的振動(dòng)陀螺傳感器的特征在于，具有應(yīng)用例21所述的振動(dòng)陀螺元件、和收納該振動(dòng)陀螺元件的封裝件。當(dāng)在封裝件內(nèi)收納振動(dòng)陀螺元件而構(gòu)成振動(dòng)陀螺傳感器時(shí)，將具有如下效果，SP，改善了在各個(gè)驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂中被激勵(lì)的彎曲·扭曲結(jié)合振動(dòng)的主振動(dòng)的頻率溫度特性，且通過設(shè)置錘部，從而可得到被小型化的振動(dòng)陀螺傳感器。應(yīng)用例23本實(shí)用新型所涉及的電子設(shè)備的特征在于，具有應(yīng)用例19所述的壓電振子或應(yīng)用例22所述的振動(dòng)陀螺傳感器。通過構(gòu)成具有上述壓電振子的電子設(shè)備，從而具有電子設(shè)備的頻率源的穩(wěn)定被改善的效果。而且，通過構(gòu)成具有所述振動(dòng)陀螺傳感器的電子設(shè)備，從而具有能夠減少由于溫度而引起的角速度的靈敏度變化的效果。當(dāng)以上述方式構(gòu)成振動(dòng)陀螺傳感器時(shí)，將具有如下的效果，S卩，改善了在各個(gè)驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂中被激勵(lì)的彎曲-扭曲結(jié)合振動(dòng)的主振動(dòng)的頻率溫度特性，且可得到由于設(shè)置錘部而被小型化的振動(dòng)陀螺傳感器。 應(yīng)用例24本實(shí)用新型所涉及的電子設(shè)備的特征在于，具有應(yīng)用例8所述的壓電振子或應(yīng)用例11所述的振動(dòng)陀螺傳感器。通過以上述方式構(gòu)成具有壓電振子的電子設(shè)備，從而具有電子設(shè)備的頻率源的穩(wěn)定被改善的效果。而且，通過構(gòu)成具有以上的振動(dòng)陀螺傳感器的電子設(shè)備，從而具有能夠減少由于溫度而弓I起的角速度的靈敏度變化的效果。

圖I (a)為表示本實(shí)用新型所涉及的壓電振動(dòng)元件的結(jié)構(gòu)的示意俯視圖，圖I (b)為振動(dòng)臂的剖視圖。圖2為設(shè)置于振動(dòng)臂的前端部處的錘部的剖視圖。圖3(a) 圖3(c)為分別表示錘部的改變例的俯視圖。圖4(a)為表示在梁的前端部形成槽時(shí)的彎曲振動(dòng)、扭曲振動(dòng)各自的頻率變化的說明圖，圖4(b)為表示在梁的中央部形成槽時(shí)的彎曲振動(dòng)、扭曲振動(dòng)各自的頻率變化的說明圖，圖4 (c)為改變梁的板厚時(shí)的彎曲振動(dòng)、扭曲振動(dòng)各自的頻率變化的說明圖。圖5(a)、圖5(b)為在錘部的表背面上設(shè)置凹部時(shí)的俯視圖，圖5 (C)為在錘部的前端部的表背面上設(shè)置槽時(shí)的俯視圖。圖6為表示圖5(a) 圖5(c)所分別對(duì)應(yīng)的彎曲振動(dòng)、扭曲振動(dòng)的共振頻率以及共振頻率差(Af)的圖。圖7 (a)為表示音叉振動(dòng)(彎曲振動(dòng))的頻率溫度特性的圖，圖7 (b)為表示扭曲振動(dòng)的頻率溫度特性的圖，圖7 (C)為表示彎曲-扭曲結(jié)合振動(dòng)的頻率溫度特性的圖。圖8為表示改變振動(dòng)臂的板厚h時(shí)的、彎曲振動(dòng)和扭曲振動(dòng)的結(jié)合的圖。圖9 (a)為表示彎曲-扭曲結(jié)合振動(dòng)的、板厚h與彎曲振動(dòng)以及扭曲振動(dòng)各自的一次項(xiàng)系數(shù)、二次項(xiàng)系數(shù)之間的關(guān)系的圖，圖9(b)為其主要部分放大圖。圖10為使用了彎曲-扭曲結(jié)合振動(dòng)的壓電振子的剖視圖。圖11為壓電振蕩器的剖視圖。圖12(a)為振動(dòng)陀螺傳感器的俯視圖，圖12(b)為剖視圖，圖12(c)為說明動(dòng)作的模式圖。[0099]圖13為電子設(shè)備的模式圖。圖14(a)為表示本實(shí)用新型所涉及的其他實(shí)施方式中的壓電振動(dòng)元件的結(jié)構(gòu)的示意俯視圖，圖14(b)為振動(dòng)臂的剖視圖。圖15為表示被連接于振動(dòng)臂的前端部的錘部的改變例的俯視圖。圖16為表示錘部的改變例的俯視圖。圖17為表示錘部的改變例的俯視圖。圖18(a) 圖18(e)為在錘部上形成的切口部、貫穿孔的俯視圖，圖18 (f)為與切口部具有相同面積的槽部的俯視圖。圖19為表示在具有圖18(b)的形狀的切口部的音叉型壓電振動(dòng)元件和與具有面積與切口部相同的槽部的音叉型振動(dòng)元件中分別被激勵(lì)的、彎曲振動(dòng)以及扭曲振動(dòng)的頻率和頻率差的圖。 圖20為表示在具有圖18(c)的形狀的貫穿孔的音叉型壓電振動(dòng)元件和具有面積與貫穿孔相同的槽部的音叉型振動(dòng)元件中分別被激勵(lì)的、彎曲振動(dòng)以及扭曲振動(dòng)的頻率和頻率差的圖。圖21為表示在具有圖18(d)的形狀的切口部以及貫穿孔的音叉型壓電振動(dòng)元件和具有面積與切口部以及貫穿孔相同的槽部的音叉型振動(dòng)元件中被分別激勵(lì)的、彎曲振動(dòng)以及扭曲振動(dòng)的頻率和頻率差的圖。圖22為表示在具有圖18(e)的形狀的與細(xì)貫穿孔連接的槽部的音叉型壓電振動(dòng)元件和具有面積與連接于細(xì)貫穿孔的槽部相同的槽部的音叉型振動(dòng)元件中被分別激勵(lì)的、彎曲振動(dòng)以及扭曲振動(dòng)的頻率和頻率差的圖。圖23為表示在具有圖18(b) 圖18(e)的形狀的錘部的音叉型壓電振動(dòng)元件中被激勵(lì)的、彎曲振動(dòng)以及扭曲振動(dòng)的頻率和頻率差的圖。圖24為通過模擬而求出僅具有基部主體的音叉型壓電振動(dòng)元件、和具有具備支承臂的基部的音叉型壓電振動(dòng)元件的振動(dòng)泄漏的圖。
具體實(shí)施方式
以下，根據(jù)附圖而詳細(xì)地說明本實(shí)用新型的實(shí)施方式。圖1(a)、圖1(b)為表示本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施方式所涉及的壓電振動(dòng)元件(音叉型水晶振動(dòng)元件)I的結(jié)構(gòu)的示意俯視圖。壓電振動(dòng)元件I具有平板狀的壓電基板7、在壓電基板7的表背面以及側(cè)面上形成的薄膜電極25。如圖I (a)所示，壓電基板7具有相互并行(平行)且以直線狀延伸的窄帶狀的多個(gè)(本實(shí)施例中，為兩個(gè))振動(dòng)臂15a、15b ;對(duì)各個(gè)振動(dòng)臂15a、15b的一側(cè)端部(基端部)之間進(jìn)行連接的基部10 ;與各個(gè)振動(dòng)臂15a、15b的另一側(cè)端部(前端部)分別連接而一體形成，且寬度寬于各個(gè)振動(dòng)臂15a、15b的所述另一側(cè)端部的寬度的錘部20a、20b ;分別被形成在各個(gè)振動(dòng)臂15a、15b的沿著振動(dòng)中心線C的表面以及背面上的第二槽部17a(17b)、18a(18b)。錘部20a、20b在沿著振動(dòng)中心線C的表面及背面中的至少一側(cè)的面(本示例為在兩面)上，具有沿著各個(gè)振動(dòng)臂15a、15b的長(zhǎng)度方向(沿著連結(jié)振動(dòng)臂的一側(cè)端部與另一側(cè)端部的線段的延伸方向)以直線狀延伸的有底的第一槽部22a(22b)、24a(24b)。在圖2、圖3(a)至圖3(c)中，22b、24b表示分別被形成在錘部20a、24a的背面上的第一槽部。并且，振動(dòng)中心線C是指從振動(dòng)臂的重心穿過的、在振動(dòng)臂的長(zhǎng)度方向上延伸的線。圖1(b)所示的薄膜電極25具有激勵(lì)電極30、32、34、36，所述激勵(lì)電極30、32、34、36分別被形成在錘部20a、20b各自的表背面以及第一槽部22a、22b、24a、24b上，和如圖1(b)所示的包括各個(gè)第二槽部17a(17b)、18a(b)內(nèi)部在內(nèi)的各個(gè)振動(dòng)臂15a、16b的表背面以及側(cè)面上，并且分別通過引線電極(未圖示)而與甚至在基部10上的多個(gè)電極襯墊(未圖示)之間電連接。薄膜電極25使用蒸鍍法或陰極真空噴鍍法而在真空裝置中形成。并且，在僅通過于第一槽部22a、22b、24a、24b內(nèi)附著密度較大的金屬，例如金、銅等，來發(fā)揮作為錘部20a、20b的功能時(shí)，并不一定需要在錘部20a、20b的平坦面上形成電極。為了減少振動(dòng)泄漏和改善耐沖擊性，圖1(a)所不的基部10具有基部主體12a ；設(shè)置在基部主體12a的振動(dòng)臂15a、15b的相反側(cè)的另一端邊緣中間部(與振動(dòng)臂相連接的一端的對(duì)置側(cè)的另一端)處的寬度較窄的連結(jié)部12d ;通過連結(jié)部12d而被連接，且從以遠(yuǎn)離基部主體12a的狀態(tài)沿著寬度方向延伸的前端起,隔著振動(dòng)臂15a、15b而沿著長(zhǎng)度方向延伸的左右一對(duì)的支承臂12b、12c。也就是說，這是一個(gè)基部的示例，其中，L字狀的支承臂12b的基端部與反L字狀的支承臂12c的基端部被連接在一起，此連接部分通過連結(jié)部12d而與基部主體12a的一側(cè)端部邊緣中央相連結(jié)并形成3字狀，在基部主體12a的另一側(cè)端部邊緣上連結(jié)有各個(gè)振動(dòng)臂15a、15b的基端部。雖然在圖I的實(shí)施方式中，說明如下，即，基部10具有基部主體12a、連結(jié)部12d、左右一對(duì)的支承臂12b、12c，但也可以只有基部主體12a。而且，各個(gè)振動(dòng)臂15a、15b從基部主體12a的端部起隔開間隔而相互平行地延伸，并且在各個(gè)振動(dòng)臂15a、15b的前端部，分別一體化地連接設(shè)置有寬度寬于振動(dòng)臂15a、15b的另一側(cè)端部的寬度的錘部20a、20b。壓電基板7在例如使用水晶基板時(shí)，使用繞電軸(X軸)旋轉(zhuǎn)0°至-15°而切割Z板(以與光學(xué)軸(Z軸)垂直的方式切割出的基板)所得到的基板。并且，壓電基板7的外形，錘部20a、20b的第一槽部22a、22b、24a、24b，各個(gè)振動(dòng)臂15a、15b的第二槽部17a (17b)、18a (18b)，通過使用了光刻技術(shù)的蝕刻加工而形成。圖1(b)為沿圖1(a)中的P-P線的剖視圖，且為表示分別被形成在各個(gè)振動(dòng)臂15a、15b上的激勵(lì)電極30、32、34、36的配置的圖。激勵(lì)電極30、34被形成在各個(gè)槽部17a (17b)、18a (18b)的表面以及側(cè)面上，而激勵(lì)電極32、36被形成在各個(gè)振動(dòng)臂15a、15b的各自的兩側(cè)面上。 激勵(lì)電極30、36和激勵(lì)電極32、34經(jīng)由所述電極襯墊而被施加了符號(hào)互不相同的電壓。也就是說，在向激勵(lì)電極30、36施加正電壓時(shí)，向激勵(lì)電極32、34施加負(fù)電壓，從而產(chǎn)生如圖1(b)的箭頭所示的電場(chǎng)，由此關(guān)于從壓電振動(dòng)元件I的重心穿過的中心線Cg對(duì)稱的音叉振動(dòng)(彎曲振動(dòng))被激勵(lì)。并且，通過形成槽部17a (17b)、18a (18b)，從電場(chǎng)強(qiáng)度增強(qiáng)，由此能夠進(jìn)一步有效地激勵(lì)音叉振動(dòng)。即，能夠減小壓電振動(dòng)元件的Cl (晶體阻抗)。圖2為沿圖1(a)中的Q-Q線的剖視圖。如圖1(a)中的俯視圖、圖2中的剖視圖所示，錘部20a、20b為矩形平板狀，第一槽部22a、22b、24a、24b被分隔配置在沿著各個(gè)振動(dòng)臂15a、15b的長(zhǎng)度方向的錘部20a、20b的兩端部，且關(guān)于振動(dòng)中心線C線對(duì)稱，并具有前端側(cè)的第一槽部以及基端側(cè)的第一槽部。圖3 (a) 圖3(c)為表示第一槽部22a、22b、24a、24b的改變例的俯視圖。并且，如圖1(a)所示，由于錘部20a、20b為相同形狀，因而使用一個(gè)錘部20a來進(jìn)行說明。圖3 (a)所示的第一槽部22a (22b)從錘部20a的振動(dòng)臂15a的長(zhǎng)度方向前端邊緣延伸到長(zhǎng)度方向中間部，且被形成為關(guān)于振動(dòng)中心線C線對(duì)稱。圖3(b)所示的第一槽部22a (22b)中，第一槽部22a (22b)的基端部與第二槽部17a(17b)的前端部連續(xù)形成，且第一槽部22a(22b)的前端部延伸到錘部20a的前端邊緣，并且被形成為關(guān)于振動(dòng)中心線C線對(duì)稱。圖3(c)所示的第一槽部22a(22b)被形成為，其至少一部分的寬度寬于第二槽部17a(17b)的寬度。 在壓電振動(dòng)元件I中，以關(guān)于從其重心穿過的振動(dòng)臂15a、15b方向上的中心線Cg相互對(duì)稱的方式振動(dòng)的彎曲振動(dòng)、和關(guān)于中心線Cg相互對(duì)稱的扭曲振動(dòng)被激勵(lì)。通過適當(dāng)?shù)匦纬杉?lì)電極,從而能夠選擇哪種振動(dòng)模式為主振動(dòng)。圖I (a)、圖I (b)為將音叉振動(dòng)(彎曲振動(dòng))作為主振動(dòng)模式的實(shí)施例。作為本實(shí)用新型的壓電振動(dòng)元件的一個(gè)示例，使用繞電軸⑴旋轉(zhuǎn)Θ (O度至-15度的范圍)而切割水晶Z板所得到的基板，來形成壓電振動(dòng)元件I。在各個(gè)振動(dòng)臂15a、15b上形成第二槽部17a、17b、18a、18b，且在設(shè)置于各個(gè)振動(dòng)臂15a、15b的前端部處的錘部20a,20b的表背面上，形成第一槽部22a、22b、24a、24b。也就是說，通過適當(dāng)?shù)剡x定切割角度Θ，第一槽部22a、22b、24a、24b，和第二槽部17a、17b、18a、18b，從而使在壓電振動(dòng)元件I中被激勵(lì)的彎曲振動(dòng)(音叉振動(dòng))以及扭曲振動(dòng)的共振頻率fF、fT相互接近，以使兩種振動(dòng)模式結(jié)合，由此改善主振動(dòng)的彎曲振動(dòng)的頻率溫度特性，且構(gòu)成實(shí)現(xiàn)了小型化的音叉型水晶振動(dòng)元件。使用圖4(a) 圖4(c)，對(duì)使本實(shí)用新型的壓電振動(dòng)元件的彎曲振動(dòng)以及扭曲振動(dòng)各自的共振頻率fF、fT相互接近的方法進(jìn)行說明。圖4(a) 圖4(c)為定性地對(duì)如下內(nèi)容進(jìn)行定性說明的圖，即，在壓電振動(dòng)元件(音叉型壓電振動(dòng)元件)中被激勵(lì)的彎曲振動(dòng)的共振頻率fF和扭曲振動(dòng)的共振頻率fT，根據(jù)錘部20a、20b的第一槽部22a (22b)、24a (24b)和振動(dòng)臂15a、15b的第二槽部17a、17b以及振動(dòng)臂15a、15b的厚度h，是如何發(fā)生變化的。并且，圖4(a)、圖4(b)的橫軸的A、B表示梁(振動(dòng)臂)15的形狀，A為在梁15上形成槽之前的情況，B為形成了槽的情況。圖4(c)為改變了梁15的板厚的情況。將在形成槽部之前的梁15中被激勵(lì)的彎曲振動(dòng)以及扭曲振動(dòng)的共振頻率設(shè)為fF、fT，并將在梁15的前端部形成了槽部22a(22b)時(shí)的共振頻率分別設(shè)為f/、fT’。如圖4(a)所示，當(dāng)在梁(振動(dòng)臂)15的前端部形成槽部22a (22b)時(shí)，雖然彎曲振動(dòng)、扭曲振動(dòng)各自的共振頻率f’ F、f’ T均上升,但相對(duì)于扭曲振動(dòng)的頻率增幅dfT = (f’ T_fT)，彎曲振動(dòng)的頻率增幅 dfF = (f’ F-fF)較大。另一方面，如圖4(b)所示，當(dāng)在梁(振動(dòng)臂)15的中央部形成槽部17a(17b)時(shí)，雖然扭曲振動(dòng)、彎曲振動(dòng)的共振頻率f’ T、f’ F均降低,但扭曲振動(dòng)的頻率減幅dfT = (fT_f’ τ)大于彎曲振動(dòng)的頻率減幅dfF = (fF_f ’ F)。[0134]而且，如圖4(c)所示，當(dāng)增加梁15的板厚h時(shí)，雖然彎曲振動(dòng)的頻率f’ F較原來的頻率fF有稍許減小，但扭曲振動(dòng)的共振頻率f’ τ較原來的頻率fT有所增加。如上文所述，通過適當(dāng)?shù)剡x擇在梁(振動(dòng)臂)15上形成的槽部的位置、梁(振動(dòng)臂)15的厚度，從而能夠使彎曲振動(dòng)、扭曲振動(dòng)各自的共振頻率接近。圖5(a) 圖5(c)為不改變壓電振動(dòng)兀件I的外形形狀而僅改變?cè)阱N部20a、20b的表背面上形成的凹部、槽部時(shí)的錘部20a、20b的俯視圖。圖5(a)、圖5(b)為，在錘部20a、20b的表背面的中央部處，以沿著振動(dòng)臂15a、15b的長(zhǎng)度方向，且關(guān)于振動(dòng)中心線C線對(duì)稱的方式形成了相對(duì)置的凹部21a(21b)、21’a(21’b)的示例。圖5 (b)中的凹部21a(21b)、21’a(21’b)的面積被形成為，大于圖5(a)中的凹部21a(21b)、21’a(21’b)的面積。圖5(c)為，在錘部20a、20b的表背面上，從前端到中央部，以沿著振動(dòng)臂15a，15b的長(zhǎng)度方向， 且關(guān)于振動(dòng)中心線C線對(duì)稱的方式形成了槽部22a (22b)、24a (24b)的示例。圖6為，通過利用了有限元法的模擬，而求出了在具有圖5(a) 圖5(c)所示的形狀的錘部20a、20b的壓電振動(dòng)元件I中被激勵(lì)的、彎曲振動(dòng)以及扭曲振動(dòng)各自的共振頻率fF、&和頻率差A(yù)f= (fT-fF)的圖。縱軸左側(cè)表示共振頻率fF、fT，縱軸右側(cè)表示頻率差A(yù)f0橫軸與具有圖5(a) 圖5(c)所示的形狀的錘部20a、20b的壓電振動(dòng)元件I相對(duì)應(yīng)，而用符號(hào)a、b、c表不。當(dāng)比較圖6中的a和b各自的共振頻率時(shí)，可知在不改變壓電振動(dòng)元件I的外形形狀而改變錘部20a、20b的凹部的大小時(shí)，凹部的面積較大的一方，頻率差A(yù)f變小。這一現(xiàn)象可以從以下情況得到說明，即，如圖4(a)所示，當(dāng)減少梁(振動(dòng)臂)15的前端部的質(zhì)量時(shí)，彎曲振動(dòng)的頻率的上升將大于扭曲振動(dòng)的頻率的上升，從而頻率差A(yù)f= (fT-fT)將減少。而且,通過圖4(a)也可以說明，與a的彎曲振動(dòng)的頻率相比，b的彎曲振動(dòng)的頻率增高。圖6中的c以在錘部20a、20b的前端部形成了槽部22a(22b)、24a(24b)的示例，表示能夠進(jìn)一步減小頻率差A(yù)f= (fT-fT)的情況。通過減小頻率差A(yù)f= (fT_fT)，例如當(dāng)將Af/((fT-fT)/2)的值設(shè)定為10%以下時(shí)，彎曲振動(dòng)與扭曲振動(dòng)的結(jié)合變得緊密，從而作為主振動(dòng)的彎曲振動(dòng)的頻率溫度特性被改善。圖7(a)至圖7(c)利用圖而定性地表示，通過使在壓電振動(dòng)元件I中被激勵(lì)的彎曲振動(dòng)與扭曲振動(dòng)相互結(jié)合,從而改善主振動(dòng)的彎曲振動(dòng)的頻率溫度特性的狀況。一般情況下，水晶振子的頻率溫度特性Af/f( = (f-f0)/f, &為在預(yù)定溫度下的頻率)可以由如式(I)這樣由溫度T的多項(xiàng)式來表示。Af/f = a (T-T0)+ β (T-T0)2+Y (T-T0)3+ · · (I)圖7(a)為主振動(dòng)即彎曲振動(dòng)的頻率溫度特性，呈關(guān)于溫度的二次曲線。圖7(b)為扭曲振動(dòng)的頻率溫度特性，頻率Λ f/f由關(guān)于溫度的一次式近似。圖7(c)為表示使彎曲振動(dòng)與扭曲振動(dòng)結(jié)合時(shí)的主振動(dòng)即彎曲振動(dòng)的頻率溫度特性的圖。通過在主振動(dòng)的彎曲振動(dòng)上結(jié)合扭曲振動(dòng),從而能夠?qū)⒈硎緩澢駝?dòng)的頻率溫度特性的多項(xiàng)式AfVf的一次項(xiàng)系數(shù)α和二次項(xiàng)系數(shù)β設(shè)定為幾乎為零，從而主振動(dòng)的彎曲振動(dòng)的頻率溫度特性能夠由三次項(xiàng)系數(shù)Y近似，如圖7(c)所示，在包括常溫在內(nèi)的所需的溫度范圍內(nèi)，呈三次曲線(三次特性)。圖8為表示通過模擬而求出，在改變壓電振動(dòng)元件I (音叉型水晶振動(dòng)元件)的振動(dòng)臂15a、15b的板厚h時(shí)，彎曲振動(dòng)與扭曲振動(dòng)之間的結(jié)合程度的圖。彎曲振動(dòng)的共振頻率fF關(guān)于厚度h近乎平坦，隨著h的增加而稍許減少。另一方面，扭曲振動(dòng)的共振頻率&對(duì)應(yīng)于厚度h的增加，以大致呈正比的方式增力口。在圖8的示例中，可知通過稍薄于86 μ m的板厚h，結(jié)合將增大。圖9 (a)為通過模擬而求出在壓電振動(dòng)元件I中被激勵(lì)的彎曲振動(dòng)的一次項(xiàng)系數(shù)α、二次項(xiàng)系數(shù)β和扭曲振動(dòng)的一次項(xiàng)系數(shù)α ’、二次項(xiàng)系數(shù)β ’，并對(duì)其進(jìn)行表示的圖。分別用菱形 和方形·表示彎曲振動(dòng)的一次項(xiàng)系數(shù)α和二次項(xiàng)系數(shù)β，而分別用空心菱形 和空心方形□表示扭曲振動(dòng)的一次項(xiàng)系數(shù)α ’和二次項(xiàng)系數(shù)β ’。通過圖9(a)可知，扭曲振動(dòng)的一次項(xiàng)系數(shù)α ’大于其他的系數(shù)。也就是說，在扭曲振動(dòng)中，一次項(xiàng)系數(shù)α ’是支配性的。而且，在圖9(a)、圖9(b)的示例中，可知彎曲振動(dòng)的一次項(xiàng)系數(shù)α、二次項(xiàng)系數(shù)β在振動(dòng)臂15a、15b的板厚h處于84μπι到85μπι的范圍內(nèi)時(shí)變?yōu)闃O小。 圖9(b)為相對(duì)于板厚h，而表示在使振動(dòng)臂15a、15b的板厚h于82μπι到86μπι的范圍內(nèi)發(fā)生變化時(shí)的彎曲振動(dòng)、扭曲振動(dòng)各自的一次項(xiàng)系數(shù)、二次項(xiàng)系數(shù)α、β、α ’、β ’的圖。在圖9(b)的示例中，判明了彎曲振動(dòng)的一次項(xiàng)系數(shù)α和二次項(xiàng)系數(shù)β在板厚h =84. 5 μ m附近均幾乎為零。而且,可知扭曲振動(dòng)的二次項(xiàng)系數(shù)β ’在板厚h = 84. 5 μ m附近也幾乎為零。也就是說，在圖9(a)、圖9(b)的壓電振動(dòng)元件I的示例中，通過將板厚h設(shè)定為84. 5 μ m，從而能夠使主振動(dòng)即彎曲振動(dòng)的頻率溫度特性的一次項(xiàng)系數(shù)α、二次項(xiàng)系數(shù)β均為零。因此，彎曲振動(dòng)的頻率溫度特性呈三次曲線，從而頻率溫度特性被大幅度地改善，且通過設(shè)置錘部20a、20b而縮短了振動(dòng)臂，從而得到了小型的壓電振動(dòng)元件I。而且，通過向形成在錘部20a、20b的表背面上的電極、形成在第一槽部22a、22b、24a,24b內(nèi)的電極、形成在振動(dòng)臂15a、15b上的電極照射激光，從而能夠?qū)嵤?duì)在音叉型壓電振動(dòng)元件中被激勵(lì)的彎曲振動(dòng)和扭曲振動(dòng)的結(jié)合度的微調(diào)節(jié)。而且，當(dāng)考慮由于下落沖擊等而引起的頻率變動(dòng)時(shí)，有時(shí)最好避開錘部的表背面的電極(特別是前端部)，而僅在第一槽部?jī)?nèi)形成錘用的電極。如圖I所示，本實(shí)用新型的壓電振動(dòng)元件(音叉型壓電振動(dòng)元件)I在各個(gè)振動(dòng)臂的前端部處分別形成錘部，并在該錘部的表背面上形成沿著振動(dòng)臂的長(zhǎng)度方向以直線狀延伸的第一槽部，且沿著各個(gè)振動(dòng)臂的振動(dòng)中心線在表背面上分別形成第二槽部。當(dāng)以此種方式構(gòu)成時(shí)，能夠使在音叉型壓電元件I中被激勵(lì)的彎曲振動(dòng)與扭曲振動(dòng)接近且結(jié)合。彎曲-扭曲結(jié)合振動(dòng)的主振動(dòng)即彎曲振動(dòng)的頻率溫度特性成為關(guān)于溫度的三次特性,從而具有如下的效果，即，具有優(yōu)良的溫度特性且可得到被小型化的壓電振動(dòng)元件。而且，如圖1(a)所示，壓電振動(dòng)元件(音叉型壓電振動(dòng)元件)I的基部具有基部主體、連結(jié)部、和L字狀以及反L字狀的各個(gè)支承臂，且通過將L字狀以及反L字狀的各個(gè)端部彼此連接在一起,并將此連接部通過連結(jié)部而連接于基部主體的一側(cè)的端部中央而構(gòu)成。因此，能夠減少從振動(dòng)臂向各個(gè)支承臂泄漏的振動(dòng)能量，從而Cl值變小，且耐沖擊性被改善。其結(jié)果為，具有可得到不會(huì)產(chǎn)生由于沖擊所導(dǎo)致的欠缺、破損等而引起的頻率變動(dòng)的壓電振動(dòng)元件的效果。而且，圖I (a)所示的壓電基板7的切割角度構(gòu)成繞電軸(X軸)在O度到-15度的范圍內(nèi)被旋轉(zhuǎn)的壓電振動(dòng)元件(音叉型壓電振動(dòng)元件)1。當(dāng)以此種方式選擇切割角度時(shí)，能夠?qū)⒈硎緩澢?扭曲結(jié)合振動(dòng)的頻率溫度特性的多項(xiàng)式的一次項(xiàng)系數(shù)以及二次項(xiàng)系數(shù)設(shè)定為幾乎為零，從而具有可得到優(yōu)良的溫度特性的壓電振動(dòng)元件的效果。而且，通過構(gòu)成如圖I (a)所示這樣形成第一槽部22a 24b的壓電振動(dòng)元件I，從而彎曲-扭曲結(jié)合振動(dòng)的彎曲振動(dòng)的頻率溫度特性成為關(guān)于溫度的三次特性，由此具有可得到具有優(yōu)良溫度特性的壓電振動(dòng)元件的效果、和能夠在錘部20a、20b的平坦面上形成對(duì)激勵(lì)電極之間進(jìn)行電連接的引線電極的優(yōu)點(diǎn)。而且，通過構(gòu)成如圖3(a) 圖3(c)所示這樣形成第一槽部22a 24b的壓電振動(dòng)元件,彎曲-扭曲結(jié)合振動(dòng)的主振動(dòng)的頻率溫度特性成為關(guān)于溫度的三次特性,從而具有溫度特性被改善的效果。再者，在圖3(a)的示例中，具有能夠在錘部20a的平坦面上形成對(duì)激勵(lì)電極之間進(jìn)行電連接的引線電極的優(yōu)點(diǎn)，在圖3(b)的示例中，具有容易形成第一以及第二槽部形成用掩膜的優(yōu)點(diǎn)，在圖3(c)的示例中，具有通過適當(dāng)?shù)卦O(shè)定第一槽部的寬度，從而使彎曲振動(dòng)頻率和扭曲振動(dòng)頻率的結(jié)合變得容易的優(yōu)點(diǎn)。圖10為表示本實(shí)用新型所涉及的第二實(shí)施方式中的壓電振子2的結(jié)構(gòu)的剖視圖。壓電振子2具有上述壓電振動(dòng)元件I和收納壓電振動(dòng)元件I的封裝件。封裝件由被形成為矩形箱狀的封裝件主體40、和具有由玻璃等制成的窗部件54的蓋部件52構(gòu)成。如圖10所示，封裝件主體40作為絕緣基板，通過層疊第一基板41、第二基板42、第三基板43而形成，通過將作為絕緣材料的氧化鋁材質(zhì)的陶瓷印刷電路板成形而制成箱狀后，進(jìn)行燒結(jié)而形成。安裝端子45在第一基板41的外部底面上形成有多個(gè)。第三基板43被除去中央部，在第三基板43的上部邊緣形成有例如科瓦鐵鎳鈷合金等的金屬密封圈44。通過第三基板43和第二基板42，而形成收納壓電振動(dòng)元件I的凹部。在第二基板42的上表面的預(yù)定的位置處，設(shè)置有通過導(dǎo)體46而與安裝端子45電導(dǎo)通的多個(gè)元件搭載襯墊47。元件搭載襯墊47的位置被配置為，與在載置壓電振動(dòng)元件I時(shí)形成于支承臂12b、12c上的襯墊電極(未圖示)相對(duì)應(yīng)。壓電振子2的結(jié)構(gòu)為，在封裝件主體40的元件搭載襯墊47上適量涂布導(dǎo)電性粘合劑50，例如環(huán)氧樹脂類粘合劑、聚酰亞胺類粘合劑、雙馬來酰亞胺類粘合劑中的某一種，再在其上載置壓電振動(dòng)元件I并施加載荷。為了使被搭載在封裝件40上的壓電振動(dòng)元件I的導(dǎo)電性粘合劑50固化，而放入預(yù)定溫度的高溫爐內(nèi)預(yù)定的時(shí)間。在實(shí)施退火處理之后，從上方照射激光，而使被形成在各個(gè)錘部20a、20b，各個(gè)振動(dòng)臂15a、15b上的頻率調(diào)節(jié)用金屬膜的一部分蒸發(fā)，從而實(shí)施頻率粗調(diào)。將具有窗部件54的蓋部件52縫焊在形成于封裝件主體40的上表面上的密封圈44上。在密封封裝件的貫穿孔48之前，實(shí)施加熱處理。將封裝件的上下顛倒，并在貫穿孔48內(nèi)的高低差部上載置金屬球的填充材料48a。作為填充材料48a，可以采用金-鍺合金等。向填充材料48a照射激光而使之熔融，從而密封貫穿孔48并使封裝件內(nèi)部成為真空。從封裝件的外部經(jīng)由窗部件54而向封裝件內(nèi)照射激光，以使在振動(dòng)臂15a、15b上形成的頻率調(diào)節(jié)用金屬膜蒸發(fā)，從而實(shí)施頻率微調(diào)節(jié)，由此完成壓電振子2。下面，對(duì)向圖10的結(jié)構(gòu)的壓電振子2施加了下落等的沖擊時(shí)的壓電振動(dòng)元件I的變形進(jìn)行說明。當(dāng)在與壓電振子2的封裝件的主面正交的方向上施加沖擊力時(shí)，壓電振動(dòng)元件I中，容易變形的支承臂支承部12b、12c將以元件搭載襯墊47為支點(diǎn)，而朝向封裝件主體40的底面發(fā)生變形。接著，此變形由基部10的外側(cè)端邊緣12e反射，從而變形向基部主體12a的中央部傳遞，由此包括基部主體12a在內(nèi)的整體向封裝件主體40的底面?zhèn)认鲁?。其結(jié)果為，振動(dòng)臂15a、15b的前端側(cè)朝向封裝件底面而發(fā)生變形。也就是說，由于基部10的結(jié)構(gòu)被構(gòu)成為，通過使基部主體12a經(jīng)由連結(jié)部12d而與支承臂12b、12c相連接，從而由基部10的結(jié)構(gòu)緩和所施加的沖擊。如圖10中的剖視圖所示，通過將使在音叉型壓電振動(dòng)元件中被激勵(lì)的彎曲振動(dòng)和扭曲振動(dòng)相互接近，而使彎曲-扭曲結(jié)合振動(dòng)被激勵(lì)的音叉型壓電振動(dòng)元件I收納在絕緣基板40內(nèi)，以構(gòu)成壓電振子2，從而具有可得到小型且Q值較高，頻率溫度特性優(yōu)良的壓電振子的效果。圖11為表示在本實(shí)用新型所涉及的第三實(shí)施方式中的壓電振蕩器3的結(jié)構(gòu)的剖視圖。壓電振蕩器3具有上述的壓電振動(dòng)元件I、激勵(lì)壓電振動(dòng)元件I的IC(集成電路)部件78、真空密封壓電振動(dòng)元件I且收納IC部件78的封裝件主體60、以及具有窗部件75a 的蓋部件75。由于向壓電振動(dòng)元件I照射激光的粗調(diào)節(jié)、微調(diào)節(jié)的方法和使封裝件內(nèi)成為真空的密封貫穿孔68的方法等與壓電振子2的情況相同，因此省略說明。IC部件78利用金屬凸點(diǎn)76等而與封裝件主體60的IC部件搭載襯墊69電導(dǎo)通并連接。并且，雖然在圖11所示的壓電振蕩器3中，表示了 IC部件78未被氣密密封的示例，但也可以將IC部件78配置在封裝件內(nèi)部并進(jìn)行氣密密封。如圖11的剖視圖所示，通過構(gòu)成具有使彎曲振動(dòng)和扭曲振動(dòng)相互接近，從而彎曲-扭曲結(jié)合振動(dòng)被激勵(lì)的音叉型壓電振動(dòng)元件I、IC部件78、收納這些部件的封裝件主體60的壓電振蕩器，從而具有可得到小型且頻率溫度特性優(yōu)良的壓電振蕩器的效果。圖12(a)至圖12(c)為表示本實(shí)用新型所涉及的第四實(shí)施方式中的振動(dòng)陀螺傳感器4的結(jié)構(gòu)的圖，且拆除蓋體而進(jìn)行表示。圖12(a)為振動(dòng)陀螺傳感器4的俯視圖，圖12(b)為沿P-P線的剖視圖。振動(dòng)陀螺傳感器4大致具有振動(dòng)陀螺元件80和收納振動(dòng)陀螺元件80的封裝件。封裝件具有絕緣基板(封裝件主體)79和對(duì)絕緣基板79進(jìn)行氣密密封的蓋體。 振動(dòng)陀螺兀件80具有基部，所述基部具有基部王體81、和從基部王體81的對(duì)直的兩個(gè)邊緣起分別在同一直線上突出設(shè)置的一對(duì)檢測(cè)用振動(dòng)臂85a、85b。再者，振動(dòng)陀螺元件80具有從基部主體81的對(duì)置的另外兩個(gè)邊緣起，分別在與各個(gè)檢測(cè)用振動(dòng)臂85a、85b正交的方向上于同一直線上突出設(shè)置的一對(duì)第一連結(jié)臂82a、82b ;和從各個(gè)第一連結(jié)臂82a、82b的前端部起向與之正交的兩個(gè)方向分別突出設(shè)置的各一對(duì)驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂83a、83b以及84a、84b。再者，基部具有從基部主體81的對(duì)置的另外兩個(gè)邊緣起，分別在與檢測(cè)用振動(dòng)臂85a、85b正交的方向上于同一直線上突出設(shè)置的一對(duì)第二連結(jié)臂；和從各個(gè)第二連結(jié)臂的前端部起向與之正交的兩個(gè)方向分別突出設(shè)置，且被配置在檢測(cè)用振動(dòng)臂85a、85b和驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂83a、83b以及84a、84b之間的各一對(duì)支承臂86a、86b以及87a、87b。激勵(lì)電極至少分別被形成在一對(duì)檢測(cè)用振動(dòng)臂85a、85b和各一對(duì)的驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂83a、83b以及84a、84b上。在支承臂86a、86b以及87a、87b上形成有多個(gè)電極襯墊(未圖示)，此電極襯墊與激勵(lì)電極之間被分別電連接。圖12(c)為說明振動(dòng)陀螺元件的動(dòng)作的模式俯視圖。在振動(dòng)陀螺傳感器4未被施加角速度的狀態(tài)下，驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂83a、83b、84a、84b在箭頭E所示的方向上進(jìn)行彎曲振動(dòng)。此時(shí)，由于驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂83a、83b和驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂84a、84b進(jìn)行關(guān)于從重心G穿過的Y’軸方向上的直線線對(duì)稱的振動(dòng)，因此基部主體81，連結(jié)臂82a、82b，檢測(cè)用振動(dòng)臂85a、85b基本上不振動(dòng)。當(dāng)向振動(dòng)陀螺傳感器4施加繞Z’軸的角速度ω時(shí)，科里奧利力將作用于驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂83a、83b、84a、84b以及第一連結(jié)臂82a、82b，從而新的振動(dòng)被激勵(lì)。此振動(dòng)為相對(duì)于重心G的周向上的振動(dòng)。同時(shí),檢測(cè)用振動(dòng)臂85a、85b對(duì)應(yīng)于此振動(dòng)，而使檢測(cè)振動(dòng)被激勵(lì)。在檢測(cè)用振動(dòng)臂85a、85b上形成的檢測(cè)電極檢測(cè)由于此振動(dòng)而產(chǎn)生的變形，從而 求出角速度。本實(shí)用新型的振動(dòng)陀螺傳感器4的特征為，在驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂83a、83b、84a、84b的前端部設(shè)置有錘部26，并在各個(gè)錘部26的表背面上，以沿著振動(dòng)臂的長(zhǎng)度方向且關(guān)于振動(dòng)中心線線對(duì)稱的方式形成有第一槽部27。而且，在驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂83a、83b、84a、84b上，以沿著振動(dòng)臂的長(zhǎng)度方向且關(guān)于振動(dòng)中心線線對(duì)稱的方式形成有第二槽部28。通過適當(dāng)?shù)剡x定振動(dòng)陀螺元件80的壓電振動(dòng)基板的切割角度Θ、錘部26的第一槽部27、驅(qū)動(dòng)臂83a、83b、84a、84b的第二槽部28、和驅(qū)動(dòng)臂83a、83b、84a、84b的板厚，從而能夠使在振動(dòng)陀螺元件80中被激勵(lì)的彎曲振動(dòng)以及扭曲振動(dòng)各自的共振頻率fF、fT相互接近。由于使兩個(gè)振動(dòng)模式結(jié)合，而改善主振動(dòng)的彎曲振動(dòng)的頻率溫度特性，且通過設(shè)置錘部26而縮短驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂、檢測(cè)用振動(dòng)臂，從而能夠構(gòu)成小型的振動(dòng)陀螺傳感器4。如圖12(a)所示，構(gòu)成如下的振動(dòng)陀螺元件80，S卩，在各個(gè)驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂83a 84b的前端部分別形成錘部26，并在該錘部26的表背面上形成沿著振動(dòng)臂的長(zhǎng)度方向以直線狀延伸的第一槽部27，且在各個(gè)驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂的沿著振動(dòng)中心線的表背面上分別形成第二槽部28。當(dāng)構(gòu)成這種振動(dòng)陀螺元件80時(shí)，在各個(gè)驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂中被激勵(lì)的彎曲-扭曲結(jié)合振動(dòng)中的主振動(dòng)即彎曲振動(dòng)的頻率溫度特性成為關(guān)于溫度的三次特性，從而具有如下效果，即，具有優(yōu)良的溫度特性，且可得到小型的振動(dòng)陀螺元件。而且，如圖12(a)所示，當(dāng)將振動(dòng)陀螺元件收納在封裝件內(nèi)而構(gòu)成振動(dòng)陀螺傳感器時(shí)，具有如下的效果，即，改善了在各個(gè)驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂中被激勵(lì)的彎曲-扭曲結(jié)合振動(dòng)的主振動(dòng)的頻率溫度特性，且通過設(shè)置錘部而可得到被小型化的振動(dòng)陀螺傳感器。圖13為表示在本實(shí)用新型所涉及的電子設(shè)備的結(jié)構(gòu)的示意結(jié)構(gòu)圖。在電子設(shè)備5中具有在上述第二實(shí)施方式所說明的壓電振子2。作為使用了壓電振子2的電子設(shè)備5，可列舉出移動(dòng)電話、數(shù)碼相機(jī)、攝像機(jī)等便攜式電子設(shè)備。在這些電子設(shè)備5中，壓電振子2作為標(biāo)準(zhǔn)信號(hào)源而被使用，由于具有小型且精度優(yōu)良的壓電振子2，從而能夠提供小型且便攜性優(yōu)良，并且特性良好的電子設(shè)備。如圖13所不,通過構(gòu)成具有圖10的壓電振子2的電子設(shè)備,從而具有改善電子設(shè)備的頻率源的穩(wěn)定的效果。而且，通過構(gòu)成具有圖12(a)的振動(dòng)陀螺傳感器的電子設(shè)備，從而具有能夠減少由于溫度所引起的角速度的靈敏度變化的效果。并且，關(guān)于槽部，可以為將圖I中的第一槽部22a和22b、第一槽部24a和24b連結(jié)起來的所謂的狹縫形狀(貫穿形狀)的結(jié)構(gòu)，即使是這種結(jié)構(gòu)，也能夠應(yīng)用于圖10 圖11、圖12(a)至圖12(c)、圖13的實(shí)施方式中。S卩，圖14 (a)、圖14 (b)為本實(shí)用新型的其他實(shí)施方式。在圖14(a)所示的實(shí)施方式中，各個(gè)錘部20a、20b通過在其前端邊緣中央部處，形成作為連結(jié)了表背的第一槽部22a之間的、關(guān)于各個(gè)振動(dòng)中心線C對(duì)稱的槽部的切口部(貫穿部)22ab、24ab，從而形成凹形形狀，并且在各個(gè)切口部的兩側(cè)形成質(zhì)量部21。也就是說，為如下的實(shí)施例，即，質(zhì)量部21沿著振動(dòng)中心線C并與其分隔而被配置在兩側(cè)。圖14(b)所示的剖視圖為表示分別被形成在各個(gè)振動(dòng)臂15a、15b上的激勵(lì)電極30、32、34、36的配置的圖。激勵(lì)電極30、34被形成在各個(gè)槽部17a(17b)、18a(18b)的表面以及側(cè)面上，激勵(lì)電極32、36被形成在各個(gè)振動(dòng)臂15a、15b各自的兩側(cè)面上。激勵(lì)電極30、36與激勵(lì)電極32、34經(jīng)由所述電極襯墊而被施加符號(hào)互為不同的電壓。也就是說，在向激勵(lì)電極30、36施加正電壓時(shí)，向激勵(lì)電極32、34施加負(fù)電壓，從而產(chǎn) 生如圖14(b)的箭頭所示的電場(chǎng)，由此關(guān)于從壓電振動(dòng)元件I的重心穿過的中心線Cg(以下，稱為重心中心線)對(duì)稱的音叉振動(dòng)(彎曲振動(dòng))被激勵(lì)。并且，通過形成槽部17a (17b)、18a (18b)，從而電場(chǎng)強(qiáng)度增強(qiáng)，由此能夠更加有效地激勵(lì)音叉振動(dòng)。即，能夠減少壓電振動(dòng)元件的Cl (晶體阻抗)。圖15為表示錘部20a(20b)的其他實(shí)施例(僅圖示一側(cè)錘部20a)的俯視圖。在與圖15(a)所示的切口部22ab(24ab)相比更靠近振動(dòng)臂15a(15b)的錘部20a(20b)的面內(nèi)，形成有關(guān)于振動(dòng)中心線C對(duì)稱的貫穿孔23a (23b)。質(zhì)量部21沿著振動(dòng)中心線C并與其分隔而被配置在兩側(cè)。由于使切口部22ab(24ab)與貫穿孔23a(23b)相互分離，從而形成將隔著振動(dòng)中心線C的質(zhì)量部21之間相互連接的橋連部29a (29b)。并且，貫穿孔23a (23b)的寬度可以與切口部22ab (24ab)的寬度相同，也可以有所不同。在圖14(a)的錘部20a(20b)中，在壓電振動(dòng)元件I被激勵(lì)，從而振動(dòng)臂15a、15b以彎曲模式振動(dòng)時(shí)，振動(dòng)中心線C的左右的質(zhì)量部21有可能進(jìn)行不必要的振動(dòng)。與此相對(duì)，通過如圖15的實(shí)施方式這樣設(shè)置橋連部29a(29b)，從而抑制了質(zhì)量部21的不必要的振動(dòng)，且得到了耐沖擊等的壓電振動(dòng)元件I。圖16為表示錘部20a(20b)的其他實(shí)施例(僅圖示一個(gè)錘部20a)的俯視圖。如圖16的俯視圖所示，各個(gè)錘部20a(20b)在其表面的中央部，具有關(guān)于振動(dòng)中心C對(duì)稱的貫穿孔23a(23b)。以此種方式，通過在錘部20a(20b)的表面的中央部設(shè)置貫穿孔23a(23b)，從而質(zhì)量部21沿著振動(dòng)中心線C并與其分隔而被配置在兩側(cè)。而且，圖17為表示錘部20a (20b)的其他實(shí)施例(僅圖示一個(gè)錘部20a)的俯視圖。各個(gè)錘部20a (20b)在基部側(cè)一端，具有關(guān)于振動(dòng)中心C對(duì)稱的貫穿孔23a (23b)，并且貫穿孔23a (23b)與各個(gè)振動(dòng)臂15a (15b)的槽部17a、17b (18a、18b)相連接(連通)。質(zhì)量部21沿著振動(dòng)中心C并與其分隔而被配置在兩側(cè)。在壓電振動(dòng)元件I中，以關(guān)于從其重心穿過的振動(dòng)臂15a、15b方向上的重心中心線Cg相互對(duì)稱的方式振動(dòng)的彎曲振動(dòng)、和關(guān)于重心中心線Cg相互對(duì)稱的扭曲振動(dòng)被激勵(lì)。雖然通過適當(dāng)?shù)匦纬杉?lì)電極,從而能夠選擇以何種振動(dòng)模式為主振動(dòng),但圖14的實(shí)施例為以音叉振動(dòng)(彎曲振動(dòng))為主振動(dòng)模式的示例。作為本實(shí)用新型的壓電振動(dòng)元件的一個(gè)示例，使用繞電軸(X軸)旋轉(zhuǎn)Θ (O度到-15度的范圍)而切割水晶Z板所得到的基板，來形成壓電振動(dòng)元件I。在各個(gè)振動(dòng)臂15a、15b上形成槽部17a (17b)、18a (18b)，且在錘部20a、20b上，沿著振動(dòng)中心線C并與其分隔而在兩側(cè)形成質(zhì)量部。也就是說，通過適當(dāng)?shù)卦O(shè)定切割角度Θ，壓電基板8的厚度，錘部20a、20b的切口部22a、22b或貫穿孔23a、23b，槽部17a、17b、18a、18b，從而使在壓電振動(dòng)元件I中被激勵(lì)的彎曲振動(dòng)(音叉振動(dòng))以及扭曲振動(dòng)的共振頻率fF、fT相互接近，以使兩種振動(dòng)模式結(jié)合，由此改善作為主振動(dòng)的彎曲振動(dòng)的頻率溫度特性,且構(gòu)成實(shí)現(xiàn)了小型化的音叉型水晶振動(dòng)元件。關(guān)于使彎曲振動(dòng)以及扭曲振動(dòng)各自的共振頻率fF、fT相互接近的方法的說明，趨于與圖4(a) 圖4(c)相同。圖4(a) 圖4(c)也可以作為定性地對(duì)如下情況進(jìn)行說明的圖而應(yīng)用，即，在圖14(a)所示的壓電振動(dòng)元件(音叉型壓電振動(dòng)元件)I中被激勵(lì)的彎曲振動(dòng)的共振頻率fF和扭曲振動(dòng)的共振頻率fT，根據(jù)錘部20a、20b的切口部22a、22b和振動(dòng)臂15a、15b的槽部17a、17b、18a、18b以及振動(dòng)臂15a、15b的厚度h，是如何發(fā)生變化的。并且，圖4(a)、圖4(b)的橫軸的A、B表示梁(振動(dòng)臂)15的平面形狀，A表示在梁15上形成切口部之前的情況，B表示在形成了切口部之后的情況。圖4(c)以B表示使梁15的板厚h厚于A的情況。在本實(shí)施方式中，對(duì)下述狀況的說明與圖7所示的傾向相同，S卩，通過使在壓電振動(dòng)元件I中被激勵(lì)的彎曲振動(dòng)和扭曲振動(dòng)相互結(jié)合,從而改善主振動(dòng)的彎曲振動(dòng)的頻率溫度特性的狀況。S卩，圖7(a)為主振動(dòng)即彎曲振動(dòng)的頻率溫度特性，呈關(guān)于溫度T的二次曲線。圖7(b)為扭曲振動(dòng)的頻率溫度特性，頻率Λ f/f由關(guān)于溫度T的一次式近似。圖7(c)為表示使彎曲振動(dòng)和扭曲振動(dòng)結(jié)合時(shí)的主振動(dòng)即彎曲振動(dòng)的頻率溫度特性的圖。通過在主振動(dòng)的彎曲振動(dòng)上結(jié)合扭曲振動(dòng),從而能夠?qū)⒈硎緩澢駝?dòng)的頻率溫度特性的多項(xiàng)式△ f/f的一次溫度系數(shù)α和二次溫度系數(shù)β設(shè)定為幾乎為零，從而主振動(dòng)的彎曲振動(dòng)的頻率溫度特性能夠由三次溫度系數(shù)Y近似，并如圖7(c)所示這樣呈三次曲線。再者，關(guān)于對(duì)在改變壓電振動(dòng)元件I的振動(dòng)臂15a、15b的板厚h時(shí)，彎曲振動(dòng)和扭曲振動(dòng)的結(jié)合程度進(jìn)行模擬的結(jié)果，也與由圖8表示的傾向相同。即，彎曲振動(dòng)的共振頻率fF關(guān)于厚度h近乎平坦，隨著h的增加而稍許減少。另一方面，扭曲振動(dòng)的共振頻率&對(duì)應(yīng)于厚度h的增加，以大致成正比的方式增力口。在圖8的示例中，可知通過稍薄于86 μ m的板厚h，結(jié)合將增大。再者，在本實(shí)施方式中，關(guān)于對(duì)在沿著錘部20a(20b)的振動(dòng)中心C而形成了槽部(貫穿部)的壓電振動(dòng)元件I中被激勵(lì)的彎曲振動(dòng)的一次溫度系數(shù)α、二次溫度系數(shù)β和扭曲振動(dòng)的一次溫度系數(shù)α ’、二次溫度系數(shù)β ’進(jìn)行模擬的結(jié)果，也與由圖9(b)表示的傾向相同。分別由菱形 、方形■表示彎曲振動(dòng)的一次溫度系數(shù)α、二次溫度系數(shù)β，而由空心方形□表示扭曲振動(dòng)的二次溫度系數(shù)β ’。由于扭曲振動(dòng)的一次溫度系數(shù)α ’數(shù)值過大而在圖表的框外，因此未進(jìn)行圖示。也就是說，在扭曲振動(dòng)中，一次溫度系數(shù)α ’是支配性的。如上文所述，圖9(b)為相對(duì)于板厚h，而表示在使振動(dòng)臂15a、15b的板厚h于82 μ m到86 μ m的范圍內(nèi)發(fā)生改變時(shí)的彎曲振動(dòng)、扭曲振動(dòng)各自的一次溫度系數(shù)、二次溫度系數(shù)α、β、α ’、β ’的圖。在圖9(b)的示例中，判明了彎曲振動(dòng)的一次溫度系數(shù)α、二次溫度系數(shù)β在板厚h = 84.5ym附近均幾乎為零。而且，可知扭曲振動(dòng)的二次溫度系數(shù)β ’在板厚h = 84. 5 μ m附近也幾乎為零。也就是說，在圖9(b)的壓電振動(dòng)元件I的示例中，通過將板厚h設(shè)定為84. 5μπι，從而能夠使主振動(dòng)即彎曲振動(dòng)的頻率溫度特性的一次溫度系數(shù)α、二次溫度系數(shù)β均為零。因此，彎曲振動(dòng)的頻率溫度特性呈三次曲線，從而大幅度地改善了頻率溫度特性，且通過設(shè)置錘部20a、20b而縮短振動(dòng)臂，從而得到了小型的壓電振動(dòng)元件I。而且，通過向形成在錘部20a、20b的表背面上的電極、槽部17a、17b、18a、18b的電極、形成在振動(dòng)臂15a、15b上的電極等照射激光光線，從而能夠?qū)υ谝舨嫘蛪弘娬駝?dòng)元件中被激勵(lì)的彎曲振動(dòng)和扭曲振動(dòng)的結(jié)合度進(jìn)行微調(diào)節(jié)。圖18(a)至圖18(f)為表示壓電振動(dòng)元件I的錘部20a形成了貫穿部式的槽部的形狀的圖。圖18(a)為沒有進(jìn)行任何加工的方形形狀的錘部20a的俯視圖，圖18(b)為在前端邊緣形成了切口部22ab的錘部20a的俯視圖，圖18(c)為在圖18(a)的錘部上形成了貫穿孔23a的錘部20a的俯視圖，圖18(d)為形成了前端邊緣的切口部22ab和貫穿孔23a的錘部20a的俯視圖，圖18(e)為形成了細(xì)貫穿孔23a和與之連接的槽部17a的錘部20a的俯視圖。在圖18(b) 圖18(e)中，圖18(b)的切口部22ab的面積與圖18(c)以下的貫穿孔23a的面積、或與將切口部22ab和貫穿孔23a加起來的面積全部相同。而且，圖18(f)為沿著振動(dòng)中心C而形成了槽部22a(有底)的錘部20a的俯視圖，此槽部22a的面積也與圖18(b)切口部22ab的面積相同。關(guān)于具有與圖18(c) 圖18(e)的貫穿孔23a、或與切口部22ab以及貫穿孔23a相對(duì)應(yīng)而形成的相同面積的槽部22a的錘部20a，省略其圖示。雖然關(guān)于具有槽部22a的錘部20a，僅由圖18 (f)表示，但此圖為，為了在通過模擬而求出在壓電振動(dòng)元件I中被激勵(lì)的彎曲振動(dòng)以及扭曲振動(dòng)的頻率的接近程度時(shí)，與具有切口部22ab的錘部20a進(jìn)行比較所必要的圖。以在具有圖18 (a)的錘部20a的壓電振動(dòng)元件I中被激勵(lì)的彎曲振動(dòng)以及扭曲振動(dòng)各自的頻率為基準(zhǔn)，關(guān)于具有圖18(b) 圖18(e)的錘部20a的壓電振動(dòng)元件I和具有分別對(duì)應(yīng)于圖18(f)的槽部22ab的壓電振動(dòng)元件I,對(duì)彎曲振動(dòng)以及扭曲振動(dòng)的頻率fF、fT以及頻率差A(yù)f( = (fT-fF))分別進(jìn)行了模擬。關(guān)于具有圖18(b) 圖18(e)所示的切口部22ab、切口部22ab以及貫穿孔23a的壓電振動(dòng)元件I和具有對(duì)應(yīng)于圖18(b) 圖18(e)而為相同面積的槽部22a的壓電振動(dòng)元件I,通過模擬求出彎曲振動(dòng)以及扭曲振動(dòng)的頻率fF、fT以及頻率差△ f是如何進(jìn)行變化的。圖19為分別表示在具有圖18(b)的形狀的切口部22ab的壓電振動(dòng)元件I，和具有面積與圖18(b)的切口部22ab的面積相同的槽部22a的、圖18(f)的壓電振動(dòng)元件I中，分別被激勵(lì)的彎曲振動(dòng)以及扭曲振動(dòng)的頻率4、4和頻率差A(yù)f的圖。表示出，形成了切口部22ab的壓電振動(dòng)兀件I的彎曲振動(dòng)與扭曲振動(dòng)的頻率差Δ f更小,從而彎曲振動(dòng)與扭曲振動(dòng)更接近。圖20為分別表示在具有圖18(c)的形狀的貫穿孔23a的壓電振動(dòng)元件I、和具有面積與此貫穿孔23a的面積相同的槽部22a的壓電振動(dòng)元件I中，分別被激勵(lì)的彎曲振動(dòng)以及扭曲振動(dòng)的頻率fF、fT和頻率差Λ f的圖。[0212]表示出，形成了貫穿孔23a的壓電振動(dòng)元件I的彎曲振動(dòng)與扭曲振動(dòng)的頻率差A(yù)f更小，從而彎曲振動(dòng)與扭曲振動(dòng)更接近。圖21為分別表示在具有圖18(d)的形狀的切口部22ab以及貫穿孔23a的壓電振動(dòng)兀件I、和具有面積與此切口部22ab以及貫穿孔23a的面積相同的槽部22a的壓電振動(dòng)元件I中，分別被激勵(lì)的彎曲振動(dòng)以及扭曲振動(dòng)的頻率fF、&和頻率差A(yù)f的圖。表示出，形成了切口部22ab以及貫穿孔23a的壓電振動(dòng)元件I的彎曲振動(dòng)與扭曲振動(dòng)的頻率差A(yù)f更小，從而彎曲振動(dòng)與扭曲振動(dòng)更接近。圖22為分別表示在具有圖18(e)的形狀的細(xì)貫穿孔23a和與之相連接的槽部17a的壓電振動(dòng)兀件I、和具有面積與將此細(xì)貫穿孔23a的面積和槽部17a的面積加在一起的面積相同的槽部22a的壓電振動(dòng)元件I中，分別被激勵(lì)的彎曲振動(dòng)以及扭曲振動(dòng)的頻率fF、4和頻率差A(yù)f的圖。表示出，形成細(xì)貫穿孔23a和與之連接的槽部17a的壓電振動(dòng)元件 I的彎曲振動(dòng)與扭曲振動(dòng)的頻率差△ f更小，從而彎曲振動(dòng)與扭曲振動(dòng)更接近。圖23為歸納以上結(jié)果的圖，且為以在具有圖18(b) 圖18(e)的形狀的壓電振動(dòng)元件I中被激勵(lì)的彎曲振動(dòng)以及扭曲振動(dòng)的頻率fF、fT和頻率差△ f分別作為左右的縱軸，對(duì)應(yīng)于橫軸的符號(hào)(b) (e)而進(jìn)行表示的圖。頻率差A(yù)f變小的情況為，圖18(b)的形狀、即在錘部20a上形成了關(guān)于振動(dòng)中心線C對(duì)稱的切口部22ab的情況。圖24為通過模擬而求出并比較僅具有基部主體12a的音叉型壓電振動(dòng)元件I的振動(dòng)泄漏、和具有具備基部主體12a、連結(jié)部12d、支承臂12b、12c的基部10的音叉型壓電振動(dòng)元件的振動(dòng)泄漏的圖。明確了，具有具備支承臂12b、12c的基部10的音叉型壓電振動(dòng)元件I的振動(dòng)泄漏更少。如圖14(a)、圖14(b)的實(shí)施方式所示，本實(shí)用新型的壓電振動(dòng)元件(音叉型壓電振動(dòng)元件)I在各個(gè)振動(dòng)臂的前端部分別形成錘部，并在此錘部上以沿著振動(dòng)中心而在兩側(cè)對(duì)稱的方式配置有具備較大質(zhì)量的質(zhì)量部。在此基礎(chǔ)上，在各個(gè)振動(dòng)臂上沿著振動(dòng)中心而在表背面上分別形成有槽部。當(dāng)以此種方式構(gòu)成時(shí)，在壓電振動(dòng)元件I中被激勵(lì)的彎曲振動(dòng)以及扭曲振動(dòng)相互接近并結(jié)合。當(dāng)分別適當(dāng)?shù)卦O(shè)定壓電基板的厚度以及切割角度、和各個(gè)質(zhì)量部以及各個(gè)槽部的形狀時(shí)，彎曲-扭曲結(jié)合振動(dòng)的主振動(dòng)即彎曲振動(dòng)的頻率溫度特性關(guān)于溫度的三次特性，從而具有如下的效果，即，具有優(yōu)良的溫度特性，且可得到小型化的壓電振動(dòng)元件。而且，圖14(a)的實(shí)施方式所示的壓電基板8的切割角度構(gòu)成繞電軸(X軸)在O度到-15度的范圍內(nèi)被旋轉(zhuǎn)的壓電振動(dòng)元件(音叉型壓電振動(dòng)元件)1。當(dāng)以此種方式設(shè)定切割角度，并適當(dāng)?shù)卦O(shè)定壓電基板的厚度等時(shí)，能夠?qū)⒈硎緩澢?扭曲結(jié)合振動(dòng)的頻率溫度特性的多項(xiàng)式的一次項(xiàng)系數(shù)、二次項(xiàng)系數(shù)設(shè)定為幾乎為零，從而具有可得到優(yōu)良的溫度特性的壓電振動(dòng)元件的效果。如圖14 (a)、圖14(b)的實(shí)施方式所示，通過在各個(gè)錘部20a、20b的前端邊緣的中央部設(shè)置關(guān)于振動(dòng)中心線C對(duì)稱的切口部22ab、24ab，從而能夠使在壓電振動(dòng)元件I中被激勵(lì)的彎曲振動(dòng)(音叉振動(dòng))和扭曲振動(dòng)接近且結(jié)合。通過適當(dāng)?shù)卦O(shè)定各個(gè)參數(shù)，從而具有能夠?qū)澢?扭曲結(jié)合振動(dòng)的彎曲振動(dòng)的頻率溫度特性設(shè)定為三次特性的效果。而且，如圖15的實(shí)施方式所示，通過減小切口部22ab，與貫穿孔23a相結(jié)合，并以沿著振動(dòng)中心線C而在兩側(cè)對(duì)稱的方式配置質(zhì)量部21，且在兩質(zhì)量部21之間設(shè)置橋連部29a，從而錘部20a、20b被強(qiáng)化。同時(shí)，能夠使彎曲振動(dòng)(音叉振動(dòng))與扭曲振動(dòng)接近且結(jié)合。通過適當(dāng)?shù)卦O(shè)定各個(gè)參數(shù)，從而具有能夠?qū)澢?扭曲結(jié)合振動(dòng)的彎曲振動(dòng)的頻率溫度特性設(shè)定為三次特性的效果。如圖16的實(shí)施方式所示，雖然通過將貫穿孔23a(23b)配置在中央部而增加了錘部20a、20b的強(qiáng)度，但彎曲振動(dòng)的頻率變化稍許減少。但是，當(dāng)稍微擴(kuò)大貫穿孔23a(23b)的面積時(shí)，則能夠彌補(bǔ)頻率的減少。此時(shí)，也能也夠使彎曲振動(dòng)和扭曲振動(dòng)接近且結(jié)合。通過適當(dāng)?shù)卦O(shè)定各個(gè)參數(shù)，從而具有能夠?qū)澢?扭曲結(jié)合振動(dòng)的彎曲振動(dòng)的頻率溫度特性設(shè)定為三次特性的效果。而且，如圖17的實(shí)施方式所示，雖然當(dāng)在錘部20a、20b的基部側(cè)一端設(shè)置貫穿孔23a (23b)時(shí)，彎曲振動(dòng)的頻率變化將稍許減少，但通過延伸振動(dòng)臂的槽部，從而減少扭曲振動(dòng)的頻率，由此能夠使兩種振動(dòng)相互接近且結(jié)合。通過適當(dāng)?shù)卦O(shè)定各個(gè)參數(shù)，從而具有能夠?qū)澢?扭曲結(jié)合振動(dòng)的彎曲振動(dòng)的頻率溫度特性設(shè)定為三次特性的效果。而且，如圖14(a)所示，壓電振動(dòng)元件(音叉型壓電振動(dòng)元件)I的基部10具有基 部主體12a、連結(jié)部12d、L字狀以及反L字狀的各個(gè)支承臂12b、12c，且通過將L字狀以及反L字狀的各個(gè)端部彼此連接在一起，并將此連接部通過連結(jié)部12d而連接于基部主體12a的一側(cè)的端部中央而構(gòu)成。因此，能夠減少從振動(dòng)臂15a、15b向各個(gè)支承臂12b、12c泄漏的振動(dòng)能量，從而Cl值變小，且由于通過基部的結(jié)構(gòu)而使沖擊被緩和，因此耐沖擊性被改善。其結(jié)果為，具有可得到不會(huì)產(chǎn)生由于沖擊所導(dǎo)致的欠缺、破損等而引起的頻率變動(dòng)的壓電振動(dòng)元件的效果。符號(hào)說明I :壓電振動(dòng)元件2:壓電振子3:壓電振蕩器4 :振動(dòng)陀螺傳感器5 電子設(shè)備7:壓電基板10 :基部12a :基部主體12b、12c:支承臂12d :連結(jié)部12e :外側(cè)端邊緣15 :梁15a、15b:振動(dòng)臂17a、17b、18a、18b、28 :第二槽部20a、20b、26 :錘部21a、21b、21，a、21，b :凹部22a、22ab、22b、24a、24ab、24b、27 :第一槽部25 電極29a、29b :橋連部[0244]30、32、34、36 :激勵(lì)電極40、60、79 :封裝件主體41 :第一基板42 :第二基板43 :第三基板44 :金屬密封圈45 :安裝端子46 :導(dǎo)體 47 :元件搭載襯墊48、68 :貫穿孔48a :填充材料50:導(dǎo)電性粘合劑52、75 :蓋部件54、75a:窗部件69 :部件搭載襯墊78: IC 部件80 :振動(dòng)陀螺元件81 :基部主體82a,82b :第一連結(jié)臂83a、83b、84a、84b :驅(qū)動(dòng)用振動(dòng)臂85a、85b :檢測(cè)用振動(dòng)臂86a、86b、87a、87b :支承臂C :振動(dòng)中心線
權(quán)利要求1.一種壓電振動(dòng)元件，其特征在于， 包括多個(gè)振動(dòng)臂；基部，其對(duì)各個(gè)該振動(dòng)臂的一側(cè)端部之間進(jìn)行連接；錘部，其分別與各個(gè)所述振動(dòng)臂的另一側(cè)端部相連接，且寬度寬于各個(gè)該振動(dòng)臂的另一側(cè)端部的寬度；壓電基板，其至少具有在所述錘部的表面以及背面中的至少一個(gè)面上沿著所述振動(dòng)臂的長(zhǎng)度方向延伸的第一槽部、以及分別存在于各個(gè)所述振動(dòng)臂的表背面的第二槽部， 所述壓電振動(dòng)元件進(jìn)行頻率溫度特性為關(guān)于溫度的三次特性的彎曲-扭曲結(jié)合振動(dòng)。
2.如權(quán)利要求I所述的壓電振動(dòng)元件，其特征在于， 所述基部包括基部主體，其具有與所述振動(dòng)臂的所述一側(cè)端部相連接的一端；連結(jié)部，其連接于與所述一端對(duì)置的一側(cè)的另一端；支承臂，其通過該連結(jié)部而被連接，且遠(yuǎn)離所述基部主體而延伸。
3.如權(quán)利要求I所述的壓電振動(dòng)元件，其特征在于， 所述壓電基板由水晶板構(gòu)成，并且所述水晶板的主平面的法線相對(duì)于水晶結(jié)晶的光學(xué)軸，而繞水晶結(jié)晶的電軸以O(shè)度到-15度的范圍內(nèi)的角度傾斜。
4.一種壓電振子,其特征在于， 具備權(quán)利要求I至3中任一項(xiàng)所述的壓電振動(dòng)元件、和搭載該壓電振動(dòng)元件的絕緣基板。
5.—種壓電振蕩器,其特征在于， 具備權(quán)利要求I至3中任一項(xiàng)所述的壓電振動(dòng)元件、激勵(lì)該壓電振動(dòng)元件的集成電路部件、和氣密密封所述壓電振動(dòng)元件且收納所述集成電路部件的封裝件。
6.一種振動(dòng)陀螺元件，其特征在于， 具備權(quán)利要求I至3中任一項(xiàng)所述的壓電振動(dòng)元件， 所述壓電振動(dòng)元件具備從所述基部連接的、用于檢測(cè)角速度的檢測(cè)用振動(dòng)臂。
7.一種振動(dòng)陀螺傳感器，其特征在于， 具備權(quán)利要求6所述的振動(dòng)陀螺元件、和收納該振動(dòng)陀螺元件的封裝件。
8.—種電子設(shè)備,其特征在于， 包括權(quán)利要求I至3中任一項(xiàng)所述的壓電振動(dòng)元件。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種壓電振動(dòng)元件、具有壓電振動(dòng)元件的壓電裝置及電子設(shè)備。壓電基板(7)具有振動(dòng)臂(15a)、(15b)；對(duì)振動(dòng)臂的一側(cè)端部之間進(jìn)行連接的基部(10)；分別被形成在振動(dòng)臂(15a)、(15b)的另一側(cè)端部，寬度較寬且形成了第一槽部(22a)～(24b)的錘部(20a)、(20b)；沿著振動(dòng)臂(15a)、(15b)的振動(dòng)中心線而被形成的第二槽部(17a)～(18b)，其中，彎曲-扭曲結(jié)合振動(dòng)被激勵(lì)。本實(shí)用新型的壓電振動(dòng)元件(1)以被激勵(lì)的彎曲-扭曲結(jié)合振動(dòng)中的彎曲振動(dòng)為主振動(dòng)，并分別設(shè)定壓電基板(7)的切割角度、第一槽部以及第二槽部的寬度和深度、以及振動(dòng)臂的厚度，以使其頻率溫度特性成為關(guān)于溫度的三次特性。
文檔編號(hào)H03H9/10GK202713243SQ20122006534
公開日2013年1月30日 申請(qǐng)日期2012年2月24日 優(yōu)先權(quán)日2011年2月25日
發(fā)明者松本隆伸, 山田明法 申請(qǐng)人:精工愛普生株式會(huì)社