本發(fā)明涉及用于將電子部件安裝基板上的安裝頭部單元，涉及部件安裝裝置，涉及制造基板的方法，和涉及旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機構(gòu)。

背景技術(shù)：
在相關(guān)領(lǐng)域中，公知的是日本專利第3750170號中描述的使用可旋轉(zhuǎn)旋轉(zhuǎn)頭的部件安裝機（下面稱之為專利文件1）。在旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)頭周圍，布置了許多可上下移動的吸力噴嘴（suctionnozzle）。如專利文件1的圖1所示，通過基座軸的旋轉(zhuǎn)來旋轉(zhuǎn)該旋轉(zhuǎn)頭的支撐部。設(shè)置于支撐部的吸力噴嘴旋轉(zhuǎn)地移動。預(yù)定的吸力噴嘴位于吸力位置。位于吸力位置的吸力噴嘴吸附電子部件。而且，可與基座軸同軸旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)管在下端部（靠近支撐部的位置）設(shè)置有旋轉(zhuǎn)盤。設(shè)置該旋轉(zhuǎn)盤，使得所述旋轉(zhuǎn)盤的外圍面保持與設(shè)置于所述吸力噴嘴的摩擦環(huán)接觸。當(dāng)所述旋轉(zhuǎn)盤旋轉(zhuǎn)時，旋轉(zhuǎn)力通過摩擦環(huán)施加給吸力噴嘴。這樣，吸力噴嘴轉(zhuǎn)動。因此，可以校正吸力噴嘴所吸附的部件的定向。

技術(shù)實現(xiàn)要素：
為了提高其上安裝有電子部件的基板的產(chǎn)量，假定增加了吸力噴嘴的數(shù)量。然而，理想的是，減小旋轉(zhuǎn)頭的尺寸和重量。隨著吸力噴嘴數(shù)量增加，很難減小旋轉(zhuǎn)頭的尺寸。鑒于上述情況，理想的是，提供能夠減小尺寸同時增加用于保持部件等等的保持部數(shù)量的安裝頭部單元、部件安裝裝置、制造基板的方法和旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機構(gòu)。根據(jù)本公開的實施例，提供一種包括主體部、多個保持部和驅(qū)動機構(gòu)的安裝頭部單元。所述多個保持部配置成保持多個部件，所述多個保持部均具有縱方向并且由布置于與縱方向相交的方向上的主體部旋轉(zhuǎn)地支撐。驅(qū)動機構(gòu)包括多個旋轉(zhuǎn)機構(gòu)部，所述多個旋轉(zhuǎn)機構(gòu)部分別安裝在所述多個保持部上，以旋轉(zhuǎn)所述多個保持部中每個，從而所述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)部安裝在相互毗鄰的所述保持部的所述縱方向上的不同安裝位置。在這種安裝頭部單元中，旋轉(zhuǎn)機構(gòu)部分別安裝在保持部上以旋轉(zhuǎn)所述多個保持部中的每個。設(shè)置旋轉(zhuǎn)機構(gòu)部，這樣所述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)部安裝在互相毗鄰的保持部的縱方向上的不同安裝位置。因此，所述多個保持部可以設(shè)置于所述主體部，這樣相互毗鄰的保持部在與縱方向相交的方向上足夠靠近。結(jié)果是，可以增加保持部的數(shù)量而不增加主體部的尺寸。也就是說，可以減小安裝頭部單元的尺寸，同時增加用于保持部件等等的保持部數(shù)量。所述驅(qū)動機構(gòu)可包括旋轉(zhuǎn)驅(qū)動部，所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動部配置成旋轉(zhuǎn)安裝在所述多個保持部上的所述多個旋轉(zhuǎn)機構(gòu)部中的每個。在這種安裝頭部單元中，所述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)部旋轉(zhuǎn)，從而旋轉(zhuǎn)所述保持部。而且，提供配置成旋轉(zhuǎn)所述多個旋轉(zhuǎn)機構(gòu)部中每個旋轉(zhuǎn)機構(gòu)部的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動部。這樣，可以減小所述安裝頭部單元的尺寸。所述多個旋轉(zhuǎn)機構(gòu)部可以包括多個齒輪。在這種情況下，旋轉(zhuǎn)驅(qū)動部可以包括接合所述多個齒輪中每個齒輪的驅(qū)動齒輪?？梢栽O(shè)置所述驅(qū)動齒輪，其配置成旋轉(zhuǎn)所述多個齒輪中的每個齒輪。這樣，可以減小所述安裝頭部單元的尺寸。所述主體部可以包括具有旋轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)體。在這種情況下，所述旋轉(zhuǎn)體的外周緣部支撐所述多個保持部。而且，所述驅(qū)動齒輪可以設(shè)置在多個保持部所包圍的區(qū)域中，以可與旋轉(zhuǎn)軸同軸旋轉(zhuǎn)。通過設(shè)置可與旋轉(zhuǎn)體同軸旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動齒輪，可以減小安裝頭部單元的尺寸。可以支撐所述多個保持部，使得所述縱方向相對于所述旋轉(zhuǎn)軸傾斜。而且，所述安裝頭部單元可以進一步包括支撐體，所述支撐體配置成相對于豎直方向傾斜地支撐旋轉(zhuǎn)軸，這樣所述多個保持部中至少一個保持部的縱方向沿著所述豎直方向。相對于豎直方向傾斜地支撐旋轉(zhuǎn)軸，因此，上述至少一個保持部設(shè)置在豎直方向而其余保持部設(shè)置在相對于豎直方向的更高位置?？梢匀菀讓崿F(xiàn)檢查，并且實現(xiàn)在較高位置設(shè)置的保持部上的部件的保持狀態(tài)等等。所述多個保持部可以傾斜地支撐于所述旋轉(zhuǎn)體，這樣多個保持部的一端部分相比于多個保持部的其他端部而更接近旋轉(zhuǎn)軸，其他端部配置成，保持所述多個部件。在這種情況下，所述多個齒輪可配置成，以所述保持部的縱方向為軸線而單獨旋轉(zhuǎn)，其中保持部上安裝許多齒輪。而且，所述驅(qū)動齒輪可以包括沿著縱方向的傾斜于旋轉(zhuǎn)軸的方向的錐形接合面，以便與所述多個齒輪中的每個接合。所述多個齒輪可交替地安裝在所述多個保持部的縱方向的第一安裝位置和不同于第一安裝位置的第二安裝位置上。所述多個齒輪可交替地設(shè)置在所述第一安裝位置或第二安裝位置上。這樣，容易在所述多個保持部上安裝多個齒輪。而且，可以防止驅(qū)動機構(gòu)的配置變復(fù)雜。所述驅(qū)動齒輪可以包括形成在錐形接合面上的齒，第一接合區(qū)域和第二接合區(qū)域之間的中間點為齒寬參考，其中，第一接合區(qū)域配置成與在第一安裝位置安裝的齒輪接合，第二接合區(qū)域配置成，與在第二安裝位置安裝的齒輪接合。在這種安裝頭部單元中，齒形成在錐形接合面上，第一接合區(qū)域和第二接合區(qū)域之間的中間點為齒寬參考。這樣，所述驅(qū)動齒輪和交替安裝在第一安裝位置和第二安裝位置上的多個齒輪之間的接合狀態(tài)可良好。所述多個保持部可以包括配置成能夠吸附多個部件的多個噴嘴。所述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)部可以包括電機。根據(jù)本公開的另一個實施例，提供一種包括支撐單元、主體部、多個保持部和驅(qū)動機構(gòu)的部件安裝裝置。所述支撐單元配置成支撐基板。所述主體部配置成可在由支撐單元所支撐的基板上移動。所述多個保持部配置成保持多個部件和將所保持的多個部件安裝在所述基板上，所述多個保持部均具有縱方向和由布置于與縱方向相交的方向上的主體部旋轉(zhuǎn)地支撐。所述驅(qū)動機構(gòu)包括多個旋轉(zhuǎn)機構(gòu)部，其分別安裝在所述多個保持部上以旋轉(zhuǎn)多個保持部中的每個，這樣旋轉(zhuǎn)機構(gòu)部安裝在相互毗鄰的保持部的縱方向上的不同安裝位置。根據(jù)本公開的另一個實施例，提供通過包括支撐單元和安裝頭部單元的部件安裝裝置而制造基板的方法，其中，所述支撐單元配置成支撐所述基板，所述安裝頭部單元配置成將部件安裝在所述基板上。所述安裝頭部單元包括主體部、多個保持部和驅(qū)動機構(gòu)。所述主體部配置成，可在由支撐單元所支撐的基板上移動。所述多個保持部配置成，保持多個部件，所述多個保持部均具有縱方向和由布置于與縱方向相交的方向上的主體部旋轉(zhuǎn)地支撐。所述驅(qū)動機構(gòu)包括多個旋轉(zhuǎn)機構(gòu)部，其安裝在所述多個保持部上以旋轉(zhuǎn)多個保持部中的每個，這樣旋轉(zhuǎn)機構(gòu)部安裝在相互毗鄰的保持部的縱方向上的不同安裝位置。這種制造基板的方法包括，通過所述多個保持部保持所述多個部件。通過利用分別安裝在驅(qū)動機構(gòu)的多個保持部上的所述多個旋轉(zhuǎn)機構(gòu)部來旋轉(zhuǎn)所述多個保持部中的每個，可以調(diào)整由所述多個保持部保持的多個部件中的每個的定向。所述主體部可在基板上移動且所述多個部件通過所述多個保持部安裝在基板上。根據(jù)本公開的另一個實施例，提供一種包括主體部、多個構(gòu)件和驅(qū)動機構(gòu)的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機構(gòu)。所述多個構(gòu)件均具有縱方向和由布置于與縱方向相交的方向上的主體部旋轉(zhuǎn)地支撐。所述驅(qū)動機構(gòu)包括：旋轉(zhuǎn)機構(gòu)部，旋轉(zhuǎn)機構(gòu)部分別安裝在所述多個構(gòu)件上以旋轉(zhuǎn)多個構(gòu)件中的每個，這樣旋轉(zhuǎn)機構(gòu)部安裝在相互毗鄰的構(gòu)件的縱方向上的不同安裝位置；和旋轉(zhuǎn)驅(qū)動部，用于旋轉(zhuǎn)安裝在所述多個構(gòu)件上的多個旋轉(zhuǎn)機構(gòu)部中的每個，所述多個構(gòu)件共用所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動部。如上所述，根據(jù)本公開的實施例，可以減小尺寸，同時增加用于保持部件等等的保持部的數(shù)量。結(jié)合下列最佳模式實施例的詳細(xì)說明，本發(fā)明的這些以及其他目標(biāo)、特征、優(yōu)勢將更顯而易見，如附圖所示。附圖說明圖1示出了根據(jù)本公開一個實施例的部件安裝裝置的前視圖；圖2示出了圖1中所示的部件安裝裝置的平面圖；圖3示出了圖1中所示的部件安裝裝置的側(cè)視圖；圖4是示出了根據(jù)該實施例的安裝頭部單元的配置的橫截面圖；圖5是主要示出了轉(zhuǎn)臺（turret）和多個噴嘴單元的透視圖；圖6是主要示出了驅(qū)動機構(gòu)和所述多個噴嘴單元的橫截面圖；圖7是用于解釋驅(qū)動齒輪和第一及第二齒輪之間位置關(guān)系的示意性透視圖；圖8是示出了驅(qū)動齒輪和第一及第二齒輪的示意性平面圖；圖9是示意性示出了驅(qū)動齒輪和第一齒輪之間的接合的橫截面圖；圖10是示意性示出了驅(qū)動齒輪和第二齒輪之間的接合的橫截面圖；圖11A和11B是用于解釋驅(qū)動齒輪的錐形接合面上形成的齒的示意圖；圖12是用于解釋驅(qū)動齒輪的錐形接合面上形成的齒的示意圖；圖13是示出了根據(jù)另一個實施例制造的驅(qū)動齒輪的透視圖；圖14是用于解釋制造圖13中所示的驅(qū)動齒輪的方法；圖15是用于解釋通過安裝頭部單元對電子部件進行的吸附操作的視圖；和圖16是用于解釋安裝頭部單元對電子部件進行的安裝操作的視圖。具體實施方式下面，將參考附圖說明本公開的實施例。部件安裝裝置的操作圖1示出了根據(jù)本公開一個實施例的部件安裝裝置100的前視圖。圖2示出了圖1中所示的部件安裝裝置100的平面圖。圖3示出了部件安裝裝置100的側(cè)視圖。所述部件安裝裝置100包括框架10、安裝頭部單元150、和帶式給料器安裝部20。所述安裝頭部單元150保持電子部件（未示出）并且將所述電子部件安裝在作為安裝目標(biāo)的電路基板W上（以下簡稱為基板）。帶式給料器90安裝在帶式給料器安裝部20上。而且，部件安裝裝置100包括保持和輸送基板W的輸送器單元16（見圖2）?？蚣?0包括設(shè)置在底部的基座11和固定在基座11上的多個支撐柱12。多個支撐柱12的上部分設(shè)置有，例如，兩個沿著圖中X軸方向的X梁13。例如，在兩個X梁13之間，Y梁14沿著Y軸方向。安裝頭部單元150連接到Y(jié)梁14上。X梁13和Y梁14分別配備了X軸移動機構(gòu)和Y軸移動機構(gòu)（未示出）。這些移動機構(gòu)允許安裝頭部單元150沿著X軸和Y軸移動。盡管通常用滾珠絲杠驅(qū)動機構(gòu)構(gòu)成所述X軸移動機構(gòu)和Y軸移動機構(gòu)，但是還可以使用其他機構(gòu)，例如，皮帶驅(qū)動機構(gòu)。提供多個安裝頭部單元150，主要為了提高產(chǎn)量。在這種情況下，所述多個安裝頭部單元150在X軸方向和Y軸方向上被單獨驅(qū)動。如圖2所示，部件安裝裝置100的前側(cè)（圖2中下側(cè)）和后側(cè)（圖2中上側(cè)）均設(shè)置有帶式給料器安裝部20。圖中的Y方向就是部件安裝裝置100的前方和后方。在每個帶式給料器安裝部20中，所述多個帶式給料器90沿著X軸方向布置和安裝。例如，所述帶式給料器安裝部20中可以安裝40至70個帶式給料器90。在這種實施例中，總共可以安裝116個帶式給料器90（前面58個和后面58個）。注意到，盡管部件安裝裝置100的前側(cè)和后側(cè)上均設(shè)置帶式給料器安裝部20，但是帶式給料器安裝部20可以設(shè)置在前側(cè)和后側(cè)中的任一個上。帶式給料器90在Y軸方向上較長。盡管附圖中未詳細(xì)示出，但是帶式給料器90包括卷軸和容納電子部件輸送帶繞在該卷軸周圍，所述電子部件諸如電容器、電阻器、發(fā)光二級光（LED）和集成電路（IC）封裝件。而且，帶式給料器90包括用于以分步方式進給輸送帶的機構(gòu)。對于每個進料分步，電子部件一個接一個供給。如圖2所示，供給窗91形成在帶式給料器90的盒子的端部的上表面。通過所述供給窗91供給電子部件。布置有多個供給窗91的區(qū)域用作電子部件的供給區(qū)S，其中，當(dāng)布置多個帶式給料器90時，該區(qū)域沿著X軸方向形成。注意，在一個帶式給料器90的輸送帶上，容納了大量同一類型的電子部件。待安裝在帶式給料器安裝部20中的帶式給料器90中，相同類型的電子部件可以容納在多個帶式給料器90上。輸送器單元16設(shè)置在部件安裝裝置100的Y軸方向上的中心部分。所述輸送器單元16沿著X軸方向輸送基板W。例如，如圖2所示，輸送器單元16的幾乎位于X軸方向的中心位置處的區(qū)域充當(dāng)安裝區(qū)域M，輸送器單元16所支撐的基板W位于所述區(qū)域上方。在安裝區(qū)域M中，安裝頭部單元150通過進入該區(qū)域而執(zhí)行電子部件的安裝。如圖1所示，部件安裝裝置100包括第一照相機52和第二照相機53。第一照相機52從側(cè)面對保持電子部件的噴嘴單元70進行成像。第二照相機53從下面通過鏡子54對噴嘴單元70進行成像。所述第一照相機52、第二照相機53和鏡子54由支撐臺36支撐。支撐臺36連接至所述X軸移動機構(gòu)和Y軸移動機構(gòu)。所述支撐臺36與安裝頭部單元150能夠一體地移動。也就是說，第一照相機52、第二照相機53等等與安裝頭部單元150能夠一體地移動。第一照相機52定位在這樣的位置，使得第一照相機52可以從側(cè)面對多個噴嘴單元70（圖1中，噴嘴70在最左側(cè)）中最高的噴嘴單元70進行成像。第二照相機53位于這樣一個位置，使得第二照相機53可以從下面通過鏡子54對所述多個噴嘴單元70中最高的噴嘴單元70進行成像。注意，下面，第一照相機52和第二照相機53所成像的噴嘴單元70的位置稱作成像位置。第一照相機52和第二照相機53在所述成像位置實現(xiàn)成像。根據(jù)采集的圖像，識別電子部件的吸力狀態(tài)。例如，識別噴嘴單元70是否正常吸附電子部件。而且，識別噴嘴單元70所吸附電子部件的定向等等。例如，根據(jù)識別結(jié)果，噴嘴單元70適當(dāng)?shù)匦D(zhuǎn)，以校正所吸附電子部件的定向。可替換地，例如，可以識別所吸附電子部件是否有缺陷。第一照相機52和第二照相機53可由例如電荷耦合裝置（CCD）或互補金屬氧化物半導(dǎo)體（CMOS）構(gòu)成。而且，部件安裝裝置100包括用于檢測輸送至安裝區(qū)域M的基板W精確位置的基板照相機（未示出）。檢測到基板W的精確位置之后，安裝頭部單元150開始電子部件的安裝操作。所述基板照相機連接至所述X軸移動機構(gòu)和Y軸移動機構(gòu)，并且可以與所述安裝頭部單元150一體地移動。盡管稍后也將詳細(xì)說明，但是安裝頭部單元150包括支架30、基座軸35和轉(zhuǎn)臺50。支架30連接至Y梁14的Y軸移動機構(gòu)?；S35充當(dāng)由支架30支撐的主旋轉(zhuǎn)軸。轉(zhuǎn)臺50固定在基座軸35的下端部。而且，安裝頭部單元150包括多個連接至轉(zhuǎn)臺50外周緣部的噴嘴單元70。例如，提供了16個噴嘴單元70。噴嘴單元70的數(shù)量不受限制。注意，支架30可以連接至X軸移動機構(gòu)。在這種情況下，Y軸移動機構(gòu)沿著Y軸方向移動X軸移動機構(gòu)和安裝頭部單元150。如上所述，安裝頭部單元150可沿著X軸方向和Y軸方向移動。噴嘴單元70在供給區(qū)域S和安裝區(qū)域M之間移動。而且，噴嘴單元70在安裝區(qū)域M內(nèi)沿著X軸方向和Y軸方向移動，以便在安裝區(qū)域M中實現(xiàn)安裝。當(dāng)旋轉(zhuǎn)所述轉(zhuǎn)臺50時，安裝頭部單元150使得多個噴嘴單元70分別在單個步驟中連續(xù)不斷地保持所述多個電子部件。而且，所述多個噴嘴單元70所吸附的多個電子部件持續(xù)不斷地安裝在一個基板W上。與此同時，所述多個噴嘴單元70中的每個都旋轉(zhuǎn)，這樣可以適當(dāng)?shù)卣{(diào)整由多個噴嘴單元所保持的多個電子部件的定向。盡管輸送器單元16通常是皮帶式輸送器，但是本發(fā)明不作任何限制，和可以使用任何輸送單元，例如輥式，在這種類型中，支撐基板W的支撐機構(gòu)可滑動地移動，或者可使用非接觸式。輸送器單元16包括沿著X軸方向鋪設(shè)的導(dǎo)軌16b和皮帶部分16a。由于設(shè)置了導(dǎo)軌16b，所以可以在校正所輸送基板W在Y軸方向的軸心差的同時輸送基板W。升降機構(gòu)（未示出）連接至皮帶部分16a?；錡放置于皮帶部分16a上。在這種狀態(tài)下，通過在安裝區(qū)域M中上升所述皮帶部分16a，可以在所述基板W夾在皮帶部分16a和導(dǎo)軌16b之間的同時保持所述基板W。在這種情況下，皮帶部分16a和導(dǎo)軌16b充當(dāng)基板的保持單元。也就是說，保持單元形成輸送器單元16的一部分。安裝頭部單元的配置圖4示出了根據(jù)該實施例的安裝頭部單元150的配置的橫截面圖。圖5主要示出了轉(zhuǎn)臺50和多個噴嘴單元70的透視圖。注意，在圖4中，省略了為吸附電子部件而供給的空氣的供給通道等等的說明。參考圖4，如上所述，安裝頭部單元150包括支架30、由支架30所支撐的基座軸35、和設(shè)置在基座軸35的下端部的轉(zhuǎn)臺50。在轉(zhuǎn)臺50的外周緣部中，支撐所述多個噴嘴單元70。在該實施例中，基座軸35和轉(zhuǎn)臺50（作為旋轉(zhuǎn)軸）對應(yīng)主體部。主要地，基座軸35和轉(zhuǎn)臺50構(gòu)成包括旋轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)體。如圖4所示，支架30支撐基座軸35（與豎直方向（Z軸方向）正交地）。支架30通過軸承38而旋轉(zhuǎn)地支撐基座軸35的上部分。在支架30的下部側(cè)，皮帶輪37固定于基座軸35。盡管附圖中未示出，但是電機經(jīng)由皮帶而連接至皮帶輪22。這樣，可以旋轉(zhuǎn)地驅(qū)動所述基座軸35。轉(zhuǎn)臺50包括主體55，其中，安裝孔55a形成在主體中。基座軸35插入安裝孔55a中并固定在其中。這樣，基座軸35與轉(zhuǎn)臺50可一體地旋轉(zhuǎn)，其中基座軸35成為中心旋轉(zhuǎn)軸。轉(zhuǎn)臺50的主體55具有的形狀使得直徑在基座軸35的方向上朝向支架30的位置（向上）而減小。因此，主體55的外圍面55b是錐形。在主體55的外周緣部，沿著外圍面55b形成多個支撐孔55c。噴嘴單元70可旋轉(zhuǎn)地設(shè)置于所述支撐孔55c。在該實施例中，所述多個噴嘴單元70對應(yīng)于能保持供應(yīng)至供給區(qū)域S的多個電子部件的多個保持部。每個噴嘴單元70包括噴嘴71和覆蓋噴嘴71外圓周的噴嘴保持件73。噴嘴保持件73經(jīng)由位于噴嘴保持件73兩端部的軸承（未示出）而可旋轉(zhuǎn)地連接到轉(zhuǎn)臺50。在噴嘴71的梢端部714中形成孔（未示出）。梢端部714中的孔的尺寸適于保持尺寸小于例如1mm*1mm的電子部件?？梢蕴峁┒鄠€孔。如圖5所示，盤簧76設(shè)置在噴嘴71的上部上。例如，噴嘴驅(qū)動單元（未示出）的壓輥向下擠壓噴嘴71的上端72部（克服盤簧76的偏置力）。當(dāng)噴嘴71在噴嘴保持件73中移動和下降時，盤簧76壓縮。當(dāng)壓輥的壓力釋放時，由于盤簧76的回復(fù)力，噴嘴71上升。作為噴嘴驅(qū)動單元，可以使用，例如已公開的日本專利申請No.2005-150638中所示的機構(gòu)。所述多個噴嘴單元70均具有縱方向L并且由布置于與縱方向L相交的方向的轉(zhuǎn)臺50旋轉(zhuǎn)地支撐。在該實施例中，與縱方向L相交的方向?qū)?yīng)主體55的上表面55d的平面方向。盡管根據(jù)本實施例的上表面55d朝向基座軸35傾斜，但是上表面55d不限于這種形狀。也就是說，對于所述多個噴嘴單元70的布置方向沒有限制（與縱方向L相交的方向）。所述布置方向可以與縱方向L正交。所述布置方向不一定與縱方向L正交。所述多個噴嘴單元70間距相等地設(shè)置在圓周上，以基座軸35為中心。所述多個噴嘴單元70由轉(zhuǎn)臺50的外周緣部支撐，這樣各個噴嘴單元70的縱方向L相對于基座軸35的方向傾斜。所述多個噴嘴單元70設(shè)置的方向使得所述多個噴嘴單元70的縱方向L以基座軸35為中心而徑向地延伸。特別地，如圖4等所示，支撐所述多個噴嘴單元70，使得保持電子部件的各個噴嘴71的梢端部714相反側(cè)的上端部72更靠近所述基座軸35。噴嘴71的梢端部714位于遠(yuǎn)離基座軸35的位置。結(jié)果是，噴嘴71的梢端部714位于以基座軸35為中心的圓周（稱為第一圓周）上。相反側(cè)的上端部72位于以基座軸35為中心的圓周上，其半徑小于所述第一圓周的半徑。所述基座軸35由支架30支撐，使得所述多個噴嘴單元70中至少一個噴嘴單元70的縱方向沿著豎直方向（Z軸方向）。在所述多個噴嘴單元70中，一個噴嘴單元70A的縱方向L沿著Z軸方向，用于將電子部件安裝在基板W上。通過轉(zhuǎn)臺50的旋轉(zhuǎn)，選擇任何一個噴嘴單元70A。所選的噴嘴單元70A進入帶式給料器90的供給窗91，吸附和保持電子部件，移動至安裝區(qū)域M，然后下降。通過這種方式，將電子部件安裝在基板W上。下面，設(shè)置成縱方向L沿著Z軸方向的噴嘴單元70A的位置稱之為噴嘴操作位置。位于噴嘴操作位置的噴嘴單元70A吸附電子部件和將電子部件安裝在基板上。在該實施例中，上述成像位置位于噴嘴操作位置相對于轉(zhuǎn)臺50成幾乎180°的相反位置。在該實施例中，相對于豎直方向傾斜地支撐基座軸35，因此成像位置上的噴嘴單元70位于相對于豎直方向的更高的位置上。當(dāng)噴嘴單元70設(shè)置在更高位置上時，第一照相機52和第二照相機53容易實現(xiàn)成像和容易檢查該部件的保持狀態(tài)等等。而且，噴嘴單元70設(shè)置在最高位置上，因此對噴嘴單元70進行成像的第一照相機52和第二照相機53也變得更容易安裝。第一照相機52和第二照相機53安裝位置的選擇范圍擴大，并且可通過適當(dāng)?shù)卦O(shè)置安裝位置而減小部件安裝裝置100的尺寸。驅(qū)動機構(gòu)的配置根據(jù)本實施例的安裝頭部單元150包括用于使各個噴嘴單元70可旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動機構(gòu)。下面將詳細(xì)說明驅(qū)動機構(gòu)。圖6至圖10是用于詳細(xì)解釋驅(qū)動機構(gòu)的配置的示意性視圖。驅(qū)動機構(gòu)200包括齒輪201，其充當(dāng)分別安裝在各個噴嘴單元70上以旋轉(zhuǎn)所述各個噴嘴單元70中的每個的旋轉(zhuǎn)機構(gòu)部。所述多個齒輪201以其噴嘴單元70的縱方向L為軸而獨立旋轉(zhuǎn)，多個齒輪201設(shè)置其上。因此，通過旋轉(zhuǎn)各個齒輪201，噴嘴單元70以縱方向L為軸而旋轉(zhuǎn)。所述多個齒輪201具有幾乎相同的形狀并且包括相同數(shù)量的齒。如圖4等等所示，所述多個齒輪201安裝在互相毗鄰的噴嘴單元70的縱方向L的不同安裝位置上。在該實施例中，所述多個齒輪201交替地安裝在所述多個噴嘴單元上，以Z字形方式，在縱方向，第一安裝位置311和不同于第一安裝位置311的第二安裝位置321上具有互相偏移。也就是說，所述多個齒輪201以Z字形方式安裝在以基座軸35為中心的多個噴嘴單元70上。為了便于說明，如圖6所示，所述多個噴嘴單元70按順序編號。齒輪201安裝在分別具有奇數(shù)號的噴嘴單元70的第一安裝位置311上。如圖5所示，第一安裝位置311靠近噴嘴單元70縱方向L上的轉(zhuǎn)臺50的主體55的上表面55d。下面，安裝在第一安裝位置311上的齒輪201還稱作第一齒輪211。齒輪201安裝在分別具有偶數(shù)號的噴嘴單元70的第二安裝位置321上。如圖5所示，第二安裝位置321遠(yuǎn)離轉(zhuǎn)臺50主體55上表面55d，所遠(yuǎn)離的量對應(yīng)于噴嘴單元70的縱方向L上的第一齒輪211。第二安裝位置321的位置使得，安裝的齒輪201和相鄰的第一齒輪211互不干擾。安裝在第二安裝位置321的齒輪201也稱作第二齒輪221。上述多個齒輪201以Z字方式安裝，因此可以增加噴嘴單元70的布置密度。結(jié)果是，可以增加噴嘴單元70的數(shù)量，而不增加轉(zhuǎn)臺50的尺寸。也就是說，可以減小安裝頭部單元150的尺寸，同時增加用于保持電子部件的噴嘴單元70數(shù)量。而且，在該實施例中，安裝在各個噴嘴單元70上的齒輪201具有所謂的剪式齒輪配置。也就是說，齒輪201包括第一輪201a、在縱方向L上與第一輪201a毗鄰的第二輪201b、和偏置構(gòu)件（未示出）。盤簧等等可以用作偏置構(gòu)件。所述第一輪201a和第二輪201b具有幾乎相同的形狀。因此，所述第一輪201a和第二輪201b具有相同數(shù)量的齒。第二輪201b設(shè)置成相對于第一輪201a可移動（可旋轉(zhuǎn)的）。第二輪201b被一偏置構(gòu)件相對于第一輪201a沿周向而彈性地偏置到一側(cè)。因此，第一輪201a和第二輪201b夾住與第一輪201a和第二輪201b接合的輪齒。剪式齒輪等配置不受限制。例如，第一輪201a可固定在噴嘴單元70上而第二輪201b可以相對于噴嘴單元70移動?？商鎿Q地，第一輪201a和第二輪201b都可安裝成相對于所述噴嘴單元70而可移動。而且，偏置構(gòu)件的偏置方向通常與噴嘴單元70的旋轉(zhuǎn)方向相反。然而，這些不受限制和可以適當(dāng)?shù)卦O(shè)置。驅(qū)動機構(gòu)200包括旋轉(zhuǎn)驅(qū)動部，其旋轉(zhuǎn)安裝在所述多個噴嘴單元70上的多個齒輪201。在該實施例中，與所述多個齒輪201接合的驅(qū)動齒輪250用作旋轉(zhuǎn)驅(qū)動部。如圖4所示，外層管40連接到基座軸355的外圍面上，在由支架30支撐基座軸35的位置與基座軸35的連接有轉(zhuǎn)臺50的位置之間。外層管40經(jīng)由軸承43和44連接至基座軸35上并且相對于基座軸35而可旋轉(zhuǎn)。旋轉(zhuǎn)驅(qū)動單元例如使用皮帶輪和皮帶（未示出）可以連接至外層管40。保持所述軸承43和44的管套46設(shè)置在例如基座軸35和外層管40之間。在轉(zhuǎn)臺50一側(cè)上的外層管40的端部處形成的凸緣40a中，外層管40和驅(qū)動齒輪250用螺釘41固定。這樣，所述外層管40和大直徑齒輪42一體地旋轉(zhuǎn)。如上所述，在該實施例中，驅(qū)動齒輪250設(shè)置在多個噴嘴單元70所包圍的區(qū)域中，可與基座軸35同軸地旋轉(zhuǎn)。驅(qū)動齒輪250與所述基座軸35同軸布置，充當(dāng)轉(zhuǎn)臺50的旋轉(zhuǎn)軸，因此容易實現(xiàn)轉(zhuǎn)臺50和驅(qū)動齒輪250能夠共同旋轉(zhuǎn)的配置，例如，使用單個驅(qū)動源，如電機。這樣，可以減小所述安裝頭部單元150的尺寸。圖7是用于解釋驅(qū)動齒輪250和第一齒輪211及第二齒輪221之間位置關(guān)系的示意性透視圖。圖8是其平面圖，和圖9及圖10是橫截面視圖如圖7所示，驅(qū)動齒輪250包括用于與所述多個齒輪201接合的錐形接合面251。如上所述，多個齒輪201以噴嘴單元70的縱方向L為軸而旋轉(zhuǎn)，多個齒輪201安裝在噴嘴單元70上。因此，驅(qū)動齒輪250的錐形接合面251設(shè)置在沿縱方向L的方向上，以傾斜于基座軸35。如圖7和圖9所示，驅(qū)動齒輪250d錐形接合面251的第一接合區(qū)域260與安裝在噴嘴單元70de第一安裝位置321上的第一齒輪211接合。所述第一接合區(qū)域260是錐形接合面251下側(cè)的一個區(qū)域。第一接合區(qū)域260是靠近轉(zhuǎn)臺50的上表面55d的一個區(qū)域。錐形接合面251周圍的第一接合區(qū)域260與分別安裝在所述多個噴嘴單元70上的多個第一齒輪211接合。如圖7和圖10所示，驅(qū)動齒輪250的錐形接合面251的第二接合區(qū)域270與位于噴嘴單元70的第二安裝位置321的第二齒輪221接合。所述第二接合區(qū)域270是錐形接合面251的上側(cè)上的一個區(qū)域。第二接合區(qū)域270是遠(yuǎn)離轉(zhuǎn)臺50的上表面55d的一個區(qū)域。錐形接合面251周圍的第二接合區(qū)域270與分別安裝在所述多個噴嘴單元70上的多個第二齒輪221接合。如上所述，以Z字形方式安裝在多個噴嘴單元70上的第一齒輪211和第二齒輪221與驅(qū)動齒輪250的第一接合區(qū)域260和第二接合區(qū)域270接合。因此，如圖8所示，彼此足夠近地布置噴嘴單元70，使得第一齒輪211的旋轉(zhuǎn)范圍和第二齒輪221的旋轉(zhuǎn)范圍互相重疊。結(jié)果是，可以增加噴嘴單元70的數(shù)量而不增加轉(zhuǎn)臺50的尺寸。這樣，可以減小安裝頭部單元150的尺寸。圖11A、圖11B和圖12是用于解釋驅(qū)動齒輪250的錐形接合面251上形成的齒的示意圖。例如，如圖11A所示，待作為驅(qū)動齒輪250的構(gòu)件250a的中心軸O（旋轉(zhuǎn)軸）是傾斜的，使得錐形接合面251平行于由交替的長短虛線所指示的水平方向。構(gòu)件250a的中心軸O由交替的長線和兩條短虛線所指示。通過刀片900以水平方向進入所述水平方向上設(shè)置的錐形接合面251，實現(xiàn)齒輪切割。這里，假定所使用的刀片900用于形成通用正齒輪。當(dāng)構(gòu)件250a的中心軸O旋轉(zhuǎn)時，循序地實現(xiàn)齒輪切割。通過這種方式，可以制造在錐形接合面251上形成有齒的驅(qū)動齒輪250。圖11B是受到圖11A所示方法的齒輪切割的驅(qū)動齒輪250的平面圖。圖11B中所示的錐形接合面251上的彩色部分是由刀片900切割的切割部分252。切割部分252之間的部分是齒253。圖11B中交替的長短虛線示出了以水平方向進入的刀片900的進入方向?？捎赡軌蛟谶M入方向上沿著錐形接合面251的表面方向進行切割的多個刀片在單個步驟中實現(xiàn)齒輪切割，并且形成多個齒253。圖12是示出了圖11B中所示的驅(qū)動齒輪250的錐形接合面251的放大圖（放大狀態(tài)）。如圖12所示，在該驅(qū)動齒輪250中，所形成的齒253的齒寬從驅(qū)動齒輪250的上表面254到下表面255而逐漸增加。也就是說，與第一齒輪211接合的第一接合區(qū)域260和與第二齒輪221接合的第二接合區(qū)域270中的齒253的齒寬不同。結(jié)果是，在某些情況下，必須做出調(diào)整等等，使得第一齒輪211和第二齒輪221中的每個與驅(qū)動齒輪250接合。例如，在第二接合區(qū)域270的上表面254側(cè)上，互相毗鄰的齒互相影響。而且，第一接合區(qū)域260的下表面255上，齒寬可能太大，這樣會影響與第一齒輪211的接合。鑒于此，下面將說明形成驅(qū)動齒輪250的齒的另一個實施例。注意，根據(jù)該實施例，通過上述齒輪切割步驟可以適當(dāng)?shù)刂圃焖鲵?qū)動齒輪250。圖13是示意性示出了根據(jù)另一個實施例制造的驅(qū)動齒輪250的透視圖。圖14是用于解釋根據(jù)該實施例的驅(qū)動齒輪250的制造方法的視圖。在該實施例中，齒形成在錐形接合面251上，其中，與安裝在第一安裝位置311的第一齒輪211接合的第一接合區(qū)域260和與安裝在第二安裝位置321的第二齒輪221接合的第二接合區(qū)域270之間的中間點300作為齒寬參考。“中間點300作為齒寬參考”意味著，實現(xiàn)齒輪切割步驟，使得中間點300處，形成在第一接合區(qū)域260的齒253的齒寬幾乎等于形成在第二接合區(qū)域270的齒的齒寬。如上所述，齒253形成在錐形接合面251上，第一接合區(qū)域260和第二接合區(qū)域270之間的中間點300作為齒寬參考。這樣，可以充分地抑制驅(qū)動齒輪250和交替安裝在第一安裝位置311和第二安裝位置321上的第一齒輪211和第二齒輪221之間的接合的變化。這些齒輪之間的接合狀態(tài)能夠保持良好。而且，如圖14所示，第一齒輪211與驅(qū)動齒輪250之間的中心距離D2不同于第二齒輪221與驅(qū)動齒輪250之間的中心距離。也就是說，第一接合區(qū)域260和第二接合區(qū)域270具有不同的節(jié)圓直徑（PCD）的驅(qū)動齒輪250。中心距離（或節(jié)圓直徑）不同，因此必須調(diào)整第一齒輪211和第二齒輪221的齒的數(shù)量、形狀等等。然而，齒253形成在錐形接合面251上，中間點300處的齒寬為基準(zhǔn)，其可以因中心距離的不同而抑制影響等等。第一齒輪211和第二齒輪221布置在更靠近中間點300的位置，這樣其充分抑制該影響等等。結(jié)果是，使用具有相同數(shù)量的齒和幾乎相同形狀的齒輪作為第一齒輪211和第二齒輪221。也就是說，第一齒輪211和第二齒輪221對于驅(qū)動齒輪250可以具有恒定齒輪比。結(jié)果是，對應(yīng)驅(qū)動齒輪250的旋轉(zhuǎn)，第一齒輪211和第二齒輪221各自旋轉(zhuǎn)相同的角度。因此，容易控制第一齒輪211和第二齒輪221的旋轉(zhuǎn)操作。這有利于校正電子部件的定向，下文將詳細(xì)敘述。在該實施例中，中間點300幾乎設(shè)置在錐形接合面251的正中。這樣，容易形成齒253，其具有中間點300處的作為基準(zhǔn)的齒寬。而且，容易抑制第一齒輪211和第二齒輪221與驅(qū)動齒輪250之間接合的變化。然而，中間點300的位置不受限制。例如，第一接合區(qū)域260和第二接合區(qū)域270可以布置成，使得中間點300位于錐形接合面251上的任意位置?？梢赃m當(dāng)設(shè)置中心點300處齒寬，以變?yōu)榛鶞?zhǔn)。根據(jù)關(guān)于第一齒輪211和第二齒輪221直徑等等的各種條件，可以設(shè)置驅(qū)動齒輪250的直徑和齒輪比以及錐形接合面251的角度。安裝頭部單元的操作（制造基板的方法）將描述根據(jù)該實施例說明安裝頭部單元的操作。圖15的（A）至（H）和圖的（A）至（H）是用于解釋通過安裝頭部單元對電子部件的吸附操作和安裝操作的示意圖。通過圖15的（A）至（H）和圖16的（A）至（H）所示的操作，電子部件安裝在供應(yīng)至部件安裝裝置100的基板W上并且制造所述基板W。在圖15的（A）至（H）和圖16的（A）至（H）中，以噴嘴操作位置400上的噴嘴單元70A為基準(zhǔn)，噴嘴單元以順時針方向標(biāo)注為70B到70H。圖15的（A）至（H）示出了安裝頭部單元150對電子部件的吸附操作的視圖。首先，在輸送器單元16的安裝區(qū)域M中，布置并保持基板W。安裝頭部單元150通過X軸移動機構(gòu)和Y軸移動機構(gòu)在水平面內(nèi)移動至電子部件的供給區(qū)域S。當(dāng)安裝頭部單元150達到供給區(qū)域S時，如圖15（A）所示，位于噴嘴操作位置400的噴嘴單元70吸附電子部件。噴嘴驅(qū)動單元的壓輥推下噴嘴單元70A的噴嘴71。適當(dāng)?shù)叵驀娮靻卧?0A提供負(fù)壓空氣。由于負(fù)壓力，噴嘴71吸附電子部件。接下來，安裝頭部單元150以基座軸35為中心將轉(zhuǎn)臺50旋轉(zhuǎn)一個預(yù)定角度，并且移動后續(xù)（相鄰的）的噴嘴單元70H至噴嘴操作位置400（圖15（B））。位于噴嘴操作位置400的噴嘴單元70H吸附后續(xù)的電子部件。然后，相類似地實現(xiàn)位于噴嘴操作位置400上的噴嘴單元70G和70F對轉(zhuǎn)臺50的旋轉(zhuǎn)和電子部件的吸附（圖15（C）和（D））。如圖15（E）所示，當(dāng)轉(zhuǎn)臺50旋轉(zhuǎn)幾乎180o時，吸附電子部件的第一噴嘴單元70A位于成像位置500。第一照相機52和第二照相機53對位于成像位置500的噴嘴單元70A成像并且識別電子部件的吸附狀態(tài)。在該實施例中，如圖6和圖7等等所示，安裝在多個噴嘴單元70上的多個第一齒輪211和多個第二齒輪221均與驅(qū)動齒輪250接合。因此，當(dāng)轉(zhuǎn)臺50旋轉(zhuǎn)且噴嘴單元70移動（下文中，還稱為噴嘴單元的回轉(zhuǎn)）時，每個噴嘴單元70旋轉(zhuǎn)（對應(yīng)一個回轉(zhuǎn)角度）。因此，在成像位置500上對吸附狀態(tài)的成像和識別的執(zhí)行考慮了，作為識別目標(biāo)的電子部件通過噴嘴單元70的回轉(zhuǎn)而旋轉(zhuǎn)了多少。特別地，當(dāng)識別了所吸附的電子部件的定向時，重要的是，獲取噴嘴單元70的旋轉(zhuǎn)角度。旋轉(zhuǎn)角度信息適當(dāng)用于計算用于校正電子部件定向的信息。根據(jù)計算的校正信息，校正安裝的電子部件的定向，因此可以實現(xiàn)高精確度的安裝過程。根據(jù)例如用于旋轉(zhuǎn)該轉(zhuǎn)臺50的基座軸35的旋轉(zhuǎn)角度、驅(qū)動齒輪250的旋轉(zhuǎn)角度等等，可以計算由于噴嘴單元70回轉(zhuǎn)導(dǎo)致的旋轉(zhuǎn)角度，該驅(qū)動齒輪用于旋轉(zhuǎn)在其他噴嘴操作位置400上進行安裝的其他噴嘴單元70。例如，對應(yīng)于基座軸35的旋轉(zhuǎn)角度的噴嘴單元70的旋轉(zhuǎn)角度可以預(yù)先定義。例如，如果當(dāng)轉(zhuǎn)臺50旋轉(zhuǎn)時驅(qū)動齒輪250設(shè)計為不旋轉(zhuǎn)，則可以根據(jù)齒輪比而輕易地計算出對應(yīng)回轉(zhuǎn)角度的旋轉(zhuǎn)角度。即使驅(qū)動齒輪250設(shè)計為由于基座軸35旋轉(zhuǎn)而沿相反方向旋轉(zhuǎn)，只要相對旋轉(zhuǎn)角度恒定，仍可以計算由于回轉(zhuǎn)引起的旋轉(zhuǎn)角度。如圖5等等所示，第一齒輪211和第二齒輪221具有剪式齒輪配置。這樣，可以實現(xiàn)高精確度的旋轉(zhuǎn)角度的計算等等。在圖15（E）所示的狀態(tài)中，沒有為安裝電子部件而旋轉(zhuǎn)的噴嘴單元70，只需適當(dāng)?shù)赜嬎愫褪褂脤?yīng)于180°回轉(zhuǎn)角度的旋轉(zhuǎn)角度（例如，90°）信息。注意，在圖15（E）所示的狀態(tài)中，同時執(zhí)行位于噴嘴操作位置400上的噴嘴單元70E的吸附操作和位于成像位置500上的噴嘴單元70A的成像操作。于是，實現(xiàn)了部件識別操作，同時實現(xiàn)部件吸附操作，因此無須額外設(shè)定用于部件識別的時間。結(jié)果是，部件安裝裝置100可在短時間內(nèi)實現(xiàn)部件安裝。如圖15（F）到（H）所示，相繼執(zhí)行噴嘴操作位置400上的電子部件的吸附操作和成像位置500上的噴嘴單元70的成像操作。在圖15（H）的狀態(tài)中，噴嘴單元70B到70E未經(jīng)歷部件識別。圖16的（A）至（H）是用于解釋通過安裝頭部單元150對電子部件進行安裝操作的視圖。當(dāng)電子部件的吸附操作完成時，安裝頭部單元150通過X軸移動機構(gòu)和Y軸移動機構(gòu)在安裝區(qū)域M上移動。如圖16（A）所示，噴嘴驅(qū)動單元的壓輥按壓并壓下位于噴嘴操作位置400上的噴嘴單元70A的噴嘴71。噴嘴71所吸附的電子部件布置于基板W上的預(yù)定安裝位置。與此同時，噴嘴單元70E的成像操作在成像位置500執(zhí)行。接下來，安裝頭部單元150通過X軸移動機構(gòu)和Y軸移動機構(gòu)移動至待安裝的相鄰噴嘴單元70H所保持的電子部件所在的位置。在該移動期間和之后，轉(zhuǎn)臺50旋轉(zhuǎn)，并且另一個噴嘴單元70H位于噴嘴操作位置400。噴嘴操作位置400上的噴嘴單元70H安裝電子部件（圖16（B））。與此同時，噴嘴單元70D的成像操作在成像位置500執(zhí)行。之后，如圖16（C）到（D）所示，相繼執(zhí)行噴嘴操作位置400上的電子部件的安裝操作以及成像位置500上的噴嘴單元70的成像操作。如圖16（E）所示，當(dāng)轉(zhuǎn)臺50旋轉(zhuǎn)幾乎180°時，其上安裝了電子部件的噴嘴單元70A首先位于成像位置500。第一照相機52和第二照相機53對噴嘴單元70A成像并且檢查噴嘴71的狀態(tài)。這樣，可以判斷，安裝過程是否正確執(zhí)行。例如，如果噴嘴71仍然吸附電子部件，則判斷，安裝過程未正確執(zhí)行。另外，可以檢測噴嘴71的缺陷等等，例如變形。注意，在圖16（E）所示的狀態(tài)中，同時實現(xiàn)噴嘴操作位置400上的噴嘴單元70E的安裝操作和成像位置500上的噴嘴單元70A的成像操作。之后，如圖16（F）到（H）所示，相繼實現(xiàn)噴嘴操作位置400上的電子部件的安裝操作和成像位置500上的噴嘴單元70的成像操作。在圖16（H）的狀態(tài)中，尚未檢查噴嘴單元70B到70E的噴嘴狀態(tài)。當(dāng)電子部件的安裝操作完成時，安裝頭部單元150通過X軸移動機構(gòu)和Y軸移動機構(gòu)移動在供給區(qū)域S上。然后，再次實現(xiàn)圖15的（A）至（H）中的吸附操作。在圖15的（A）至（D）中，只需檢查噴嘴單元70B到70E的噴嘴狀態(tài)。當(dāng)預(yù)定數(shù)量的電子部件以上述方式安裝在基板W上時，輸送器單元16將基板W卸載到部件安裝裝置100外。在該實施例中，在安裝頭部單元150在供給區(qū)域S和安裝區(qū)域M之間移動時，可以在一系列運動中執(zhí)行電子部件的吸附操作和安裝操作。例如，無須將安裝頭部單元150移動和停止在成像區(qū)域以進行部件識別。結(jié)果是，可以在短時間內(nèi)實現(xiàn)部件安裝過程。如上所述，在根據(jù)該實施例的安裝頭部單元150中，為了旋轉(zhuǎn)多個噴嘴單元70中的每個，齒輪201安裝在各個噴嘴單元70上。齒輪201安裝在互相毗鄰的噴嘴單元70的縱方向L上的不同安裝位置上。因此，所述多個噴嘴單元70可以設(shè)置于轉(zhuǎn)臺50，這樣互相毗鄰的噴嘴單元70可以在與縱方向L相交的方向上足夠靠近。結(jié)果是，可以增加噴嘴單元70的數(shù)量而不增加轉(zhuǎn)臺50的尺寸。也就是說，可以減小安裝頭部單元150的尺寸同時增加用于保持電子部件等的噴嘴單元70的數(shù)量。在該實施例中，所述多個齒輪201交替地設(shè)置在第一安裝位置311和第二安裝位置321上。于是，齒輪201安裝在噴嘴單元70上（兩個不同安裝位置），因此容易將多個齒輪201安裝到多個噴嘴單元70上。也就是說，相比多個齒輪201安裝在多個噴嘴單元70上的許多不同安裝位置的情況，這種安裝工作更加容易。而且，可以防止驅(qū)動機構(gòu)200的配置變復(fù)雜。注意，安裝位置可以設(shè)置為許多不同位置。修正示例根據(jù)本公開的實施例不限于上述實施例，可以有各種變體。在上述各個實施例中，轉(zhuǎn)臺的外圍面是錐形的，所支撐的噴嘴單元傾斜于轉(zhuǎn)臺的旋轉(zhuǎn)軸。然而，轉(zhuǎn)臺的旋轉(zhuǎn)軸和噴嘴單元的旋轉(zhuǎn)軸可以設(shè)置為互相平行。所述多個噴嘴單元的旋轉(zhuǎn)軸和縱方向可以都設(shè)置為沿著豎直方向。在這種情況下，接合面的方向沿豎直方向的驅(qū)動齒輪可以設(shè)置在由所述多個噴嘴單元所包圍的區(qū)域中。如上所述，所述多個噴嘴單元布置在轉(zhuǎn)臺的外周緣部，并且轉(zhuǎn)臺旋轉(zhuǎn)。因此，電子部件的吸附操作和安裝操作由多個噴嘴單元實現(xiàn)。也就是說，在該實施例中，旋轉(zhuǎn)頭用作安裝頭部單元。然而，線性頭可以用作安裝頭部單元。例如，所述多個噴嘴單元由沿著X軸方向的可移動主體部支撐。充當(dāng)旋轉(zhuǎn)機構(gòu)部的皮帶輪等等安裝在多個噴嘴單元中的每個上。所述皮帶輪等等安裝在噴嘴單元上，這樣所述皮帶輪等等安裝在互相毗鄰的噴嘴單元的縱方向的不同安裝位置上。這種皮帶輪均由包括皮帶等等的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動部旋轉(zhuǎn)。這樣，所述多個噴嘴單元變得獨立旋轉(zhuǎn)。同樣，對于這種配置，可以增加所述多個噴嘴單元的的布置密度。在上述各個實施例中，齒輪用作旋轉(zhuǎn)機構(gòu)部并且齒輪由驅(qū)動齒輪旋轉(zhuǎn)以旋轉(zhuǎn)所述噴嘴單元。作為旋轉(zhuǎn)機構(gòu)部的另一個示例，電機可以安裝在各個噴嘴單元上。電機可以被致動，以旋轉(zhuǎn)各個噴嘴單元。當(dāng)電機安裝在互相毗鄰的噴嘴單元的縱方向的不同安裝位置上時，可以增加所述噴嘴單元的布置密度。額外地，能夠在噴嘴單元中產(chǎn)生力矩的機構(gòu)可以適當(dāng)用作旋轉(zhuǎn)機構(gòu)部。盡管在上述各個實施例中，所述多個齒輪以Z字型方式一個接一個布置在多個噴嘴單元上（沿縱方向），也就是說，一個上，一個下，一個上，一個下，…，但是所述多個齒輪的布置不限于此。所述多個齒輪可以在縱方向上布置在三個高度級上，具體地，在噴嘴單元的縱方向的上、中、下、上、中、下，…，或者，上、中、下、中、上，…。額外地，只要互相毗鄰的齒輪可以操作而不互相影響，則齒輪的安裝位置不受限制。轉(zhuǎn)臺、噴嘴單元、驅(qū)動機構(gòu)等等的結(jié)構(gòu)不限于上述結(jié)構(gòu)，并且可以適當(dāng)改變設(shè)計。盡管在上述各個實施例中，當(dāng)安裝電子部件時，安裝頭部單元在大體上平行于基板安裝面的平面（X-Y平面）上移動，基板可以在該平面上移動?？商鎿Q地，安裝頭部單元和基板都可以在該平面上移動。例如，基座軸的上部分和下部分可以由支撐體支撐。通過使用這種兩端支撐結(jié)構(gòu)，安裝頭部單元能夠具有簡單、緊湊和高硬性的結(jié)構(gòu)。在上述各個實施例中，說明了用于旋轉(zhuǎn)安裝頭部單元的各個噴嘴單元的驅(qū)動機構(gòu)。然而，上述技術(shù)可以用于安裝頭部單元之外的裝置等等。例如，多個構(gòu)件均由主體部可旋轉(zhuǎn)地支撐。所述多個構(gòu)件均具有縱方向并且由布置于與縱方向相交的方向上的主體部支撐。所述多個構(gòu)件用于皮帶等，其旋轉(zhuǎn)例如作為輸送器構(gòu)的一部分以輸送部件等等?？商鎿Q地，所述多個構(gòu)件用于旋轉(zhuǎn)安裝在所述多個構(gòu)件上的部件?？商鎿Q地，所述多個構(gòu)件的使用不受限制。驅(qū)動機構(gòu)用于旋轉(zhuǎn)各個構(gòu)件。驅(qū)動機構(gòu)包括旋轉(zhuǎn)機構(gòu)部和旋轉(zhuǎn)驅(qū)動部。旋轉(zhuǎn)機構(gòu)部分別安裝在所述構(gòu)件上，這樣所述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)部安裝在互相毗鄰的構(gòu)件的縱方向上的不同安裝位置。旋轉(zhuǎn)驅(qū)動部用于旋轉(zhuǎn)安裝在所述多個構(gòu)件上的多個旋轉(zhuǎn)機構(gòu)部中的每個。所述多個構(gòu)件共用所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動部。根據(jù)上述各個實施例，具有這種配置的裝置可以用作旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機構(gòu)。在這種旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機構(gòu)中，所述多個構(gòu)件可以設(shè)置于主體部，這樣在與縱方向相交的方向上互相毗鄰的構(gòu)件互相足夠靠近。結(jié)果是，可以增加構(gòu)件數(shù)量而不增加主體部的尺寸。也就是說，可以減小旋轉(zhuǎn)驅(qū)動機構(gòu)的尺寸同時增加構(gòu)件數(shù)量。在上述各個實施例的特征中，可以組合至少兩個特征。應(yīng)當(dāng)注意，本公開還可以采用下面的配置。（1）一種安裝頭部單元，包括：主體部；多個保持部，所述多個保持部配置成能夠保持多個部件，所述多個保持部均為縱方向的并且由待布置于與所述縱軸相交的方向上的所述主體部可旋轉(zhuǎn)地支撐；和驅(qū)動機構(gòu)，所述驅(qū)動機構(gòu)包括多個旋轉(zhuǎn)機構(gòu)部，所述多個旋轉(zhuǎn)機構(gòu)部分別安裝在所述多個保持部上，以旋轉(zhuǎn)所述多個保持部中每個，從而所述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)部安裝在相互毗鄰的所述保持部的所述縱方向上的不同安裝位置。（2）根據(jù)項（1）所述的安裝頭部單元，其中，所述驅(qū)動機構(gòu)包括旋轉(zhuǎn)驅(qū)動部，所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動部配置成旋轉(zhuǎn)安裝在所述多個保持部上的所述多個旋轉(zhuǎn)機構(gòu)部中的每個。（3）根據(jù)項（2）所述的安裝頭部單元，其中，所述多個旋轉(zhuǎn)機構(gòu)部包括多個齒輪，并且所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動部包括驅(qū)動齒輪，所述驅(qū)動齒輪配置成與所述多個齒輪中的每個接合。（4）根據(jù)項（3）所述的安裝頭部單元，其中，所述主體部包括具有旋轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)體，所述多個保持部由所述旋轉(zhuǎn)體的外周緣部所支撐，并且所述驅(qū)動齒輪設(shè)置在由所述多個保持部所包圍的區(qū)域中，以能夠與所述旋轉(zhuǎn)軸同軸地旋轉(zhuǎn)。（5）根據(jù)項（4）所述的安裝頭部單元，其中，支撐所述多個保持部，使得所述縱方向相對于所述旋轉(zhuǎn)軸傾斜，并且所述安裝頭部單元進一步包括支撐體，所述支撐體配置成相對于豎直方向傾斜地支撐所述旋轉(zhuǎn)軸，從而所述多個保持部中至少一個保持部的縱方向沿著所述豎直方向。（6）根據(jù)項（5）所述的安裝頭部單元，其中，所述多個保持部由所述旋轉(zhuǎn)體傾斜地支撐，使得所述多個保持部的一個端部比所述多個保持部的其他端部更靠近所述旋轉(zhuǎn)軸，所述其他端部配置成保持所述多個部件，所述多個齒輪配置成獨立地旋轉(zhuǎn)，以安裝有所述多個齒輪的所述保持部的所述縱方向為軸線，并且所述驅(qū)動齒輪包括錐形接合面，所述錐形接合面設(shè)置在沿所述縱方向的方向上，以相對于所述旋轉(zhuǎn)軸傾斜，從而與所述多個齒輪中的每個接合。（7）根據(jù)項（6）所述的安裝頭部單元，其中，所述多個齒輪交替地安裝在所述多個保持部的縱方向的第一安裝位置以及不同于所述第一安裝位置的第二安裝位置上。（8）根據(jù)項（7）所述的安裝頭部單元，其中，所述驅(qū)動齒輪的齒形成在所述錐形接合面上，第一接合區(qū)域與第二接合區(qū)域之間的中間點為齒寬參考，所述第一接合區(qū)域配置成與安裝在所述第一安裝位置的所述齒輪接合，所述第二接合區(qū)域配置成與安裝在所述第二安裝位置的所述齒輪接合。（9）根據(jù)項（1）至（8）中的任一項所述的安裝頭部單元，其中，所述多個保持部包括配置成能夠吸附所述多個部件的多個噴嘴。（10）根據(jù)項（1）至（9）中任一項所述的安裝頭部單元，其中，所述旋轉(zhuǎn)機構(gòu)部包括電機。本公開包含的主題涉及2012年3月27日向日本專利局提出的日本優(yōu)先權(quán)專利申請JP2012-070862的主題，其全文通過引用結(jié)合于此。本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解，根據(jù)設(shè)計需要和其他因素，只要在所附權(quán)利要求及其等同物的保護范圍內(nèi)，可以進行各種修改、組合、子組合和替換。