本發(fā)明涉及對吸附元件的吸嘴進行檢查的裝置。

背景技術：
以往提出有專利文獻1所示的電子元件安裝裝置的方案。這樣的電子元件安裝裝置是利用吸嘴對所供給的電子元件進行吸附并搬運至電子基板的安裝位置而將該電子元件安裝到電子基板上的裝置。隨著電子元件安裝裝置的運轉，在吸嘴的吸嘴孔內蓄積有焊料、塵埃等異物。這樣一來，由吸嘴產生的電子元件的吸附力下降，在最差的情況是，導致無法利用吸嘴吸附電子元件或由吸嘴吸附的電子元件脫落等情況，可能生產出不良基板。因此，定期地從電子元件安裝裝置將吸嘴拆卸，利用超聲波清洗機或鉆孔裝置等清掃裝置對拆卸下來的吸嘴的吸嘴孔進行清掃。專利文獻專利文獻1：日本特開2004-179636號公報然而，由于吸嘴孔的內部難以目視確認，因此難以確認吸嘴孔的清掃是否可靠地進行，在吸嘴孔內殘存有異物時，會產生由上述的吸嘴產生的電子元件的抽吸力下降的問題。

技術實現(xiàn)要素：
本發(fā)明鑒于這樣的情況而作出，提供一種能夠檢查清掃后的吸嘴的清掃狀態(tài)的吸嘴檢查裝置。為了解決上述的課題，根據(jù)技術方案1的本發(fā)明是一種吸嘴檢查裝置，對用于吸附元件的吸嘴的清掃狀態(tài)進行檢查，該吸嘴檢查裝置具備：安裝臺；吸嘴保持托盤，以能夠旋轉的方式設于上述安裝臺，且在圓周上等間隔地設有以垂直狀態(tài)保持上述吸嘴的多個吸嘴保持部；旋轉裝置，使上述吸嘴保持托盤每次旋轉規(guī)定的旋轉角而使上述吸嘴保持部依次轉位到檢查位置；吸嘴連接部，以能夠沿著上下方向移動的方式設置，與在轉位到上述檢查位置的上述吸嘴的基端開口的吸嘴孔連接，以供給或抽吸空氣；流量檢測部，檢測經(jīng)由上述吸嘴連接部供給至上述吸嘴孔的空氣的流量或經(jīng)由上述吸嘴連接部從上述吸嘴孔抽吸的空氣的流量；及清掃狀態(tài)判定部，基于由上述流量檢測部檢測出的空氣的流量，來判定上述吸嘴的清掃狀態(tài)。技術方案2的發(fā)明以技術方案1或2為基礎，其中，在上述旋轉裝置上具有能夠相對于上述安裝臺旋轉的轉臺，上述吸嘴保持托盤以能夠拆裝的方式安裝于上述轉臺。技術方案3的發(fā)明以技術方案1或2為基礎，其中，上述吸嘴檢查裝置具有對上述吸嘴的前端部進行拍攝的吸嘴拍攝裝置，上述清掃狀態(tài)判定部基于由上述吸嘴拍攝裝置拍攝到的上述吸嘴的前端部的圖像來判定上述吸嘴的清掃狀態(tài)。技術方案4的發(fā)明以技術方案1至3中任一項為基礎，其中，在上述吸嘴上設有記載或存儲用于識別該吸嘴的識別信息的識別部，上述吸嘴檢查裝置具有：識別信息讀取部，讀取上述識別部的識別信息；及對應建立部將，將由上述清掃狀態(tài)判定部判定的上述吸嘴的清掃狀態(tài)與由上述識別信息讀取部讀取的上述識別信息建立對應地進行存儲。技術方案5的發(fā)明以技術方案4的發(fā)明為基礎，其中，上述識別部是用于識別上述吸嘴的圖案，上述識別信息讀取部是拍攝上述圖案的識別部拍攝裝置，上述清掃狀態(tài)判定部基于由上述識別部拍攝裝置拍攝到的圖案的污損狀態(tài)來判定上述吸嘴的清掃狀態(tài)。技術方案6的發(fā)明以技術方案1至5中任一項為基礎，其中，在上述吸嘴保持托盤或上述轉臺上，在與上述各吸嘴保持部對應的位置分別設有顯示上述吸嘴的清掃狀態(tài)是否良好的結果的顯示部，上述吸嘴檢查裝置具有判定結果反映部，該判定結果反映部基于上述清掃狀態(tài)判定部對上述吸嘴的清掃狀態(tài)的判定結果使上述顯示部反映上述吸嘴的清掃狀態(tài)是否良好的結果。發(fā)明效果根據(jù)技術方案1的發(fā)明，清掃狀態(tài)判定部基于由流量檢測部檢測出的流通吸嘴孔的空氣的流量來判定吸嘴的清掃狀態(tài)。即，清掃狀態(tài)判定部在判斷為流通吸嘴孔的空氣的流量低于規(guī)定的適當值的下限時，判定為吸嘴孔內殘存有異物、吸嘴的清掃狀態(tài)不充分。這樣一來，通過使空氣實際流通于吸嘴孔，判斷吸嘴孔內是否殘存有異物，從而判定吸嘴的清掃狀態(tài)，因此能夠可靠地檢測吸嘴的抽吸力的下降，能夠可靠地檢測清掃后的吸嘴的清掃狀態(tài)。根據(jù)技術方案2的發(fā)明，吸嘴保持托盤以能夠拆裝的方式安裝于轉臺。由此，在將使用后的吸嘴由吸嘴保持托盤保持的狀態(tài)下，能夠利用清掃裝置對吸嘴進行清掃，因此無需為了檢查吸嘴的清掃狀態(tài)而將清洗后的吸嘴向吸嘴保持托盤移換，作業(yè)性良好。根據(jù)技術方案3的發(fā)明，清掃狀態(tài)判定部基于由吸嘴拍攝裝置拍攝到的吸嘴的前端部的圖像來判定吸嘴的清掃狀態(tài)。即，清掃狀態(tài)判定部基于拍攝到的吸嘴的前端部的圖像而判斷為在吸嘴的前端部開口的吸嘴孔處殘存有異物時，判定為吸嘴的清掃狀態(tài)不充分。由此，除了基于使空氣流通吸嘴孔的檢查之外，還檢查吸嘴孔的開口部的異物的有無殘存，因此能夠檢測吸嘴的抽吸力下降的征兆。而且，能夠防止異物從吸嘴孔的開口部落下。而且，清掃狀態(tài)判定部基于拍攝到的吸嘴的前端部的圖像而判斷為吸嘴的前端部的外周部附著有異物時，判定為吸嘴的清掃狀態(tài)不充分。因此，能夠防止異物從吸嘴對元件進行抽吸時的附著在吸嘴的前端部的外周部落下。而且，清掃狀態(tài)判定部基于拍攝到的吸嘴的前端部的圖像，也能夠檢測吸嘴的前端部的破損。根據(jù)技術方案4的發(fā)明，識別信息讀取部讀取吸嘴的識別信息，對應建立部將吸嘴的清掃狀態(tài)與識別信息建立對應地進行存儲。由此，通過參照與識別信息建立對應地進行存儲的吸嘴的清掃狀態(tài)，能夠確認各吸嘴的清掃狀態(tài)。而且，由于建立對應的吸嘴的清掃狀態(tài)和識別信息被依次存儲于存儲部，因此能夠進行吸嘴的清掃狀態(tài)的履歷管理。根據(jù)技術方案5的發(fā)明，在吸嘴的表面記載有用于識別該吸嘴的圖案即識別部，清掃狀態(tài)判定部基于由識別部拍攝裝置拍攝到的圖案的污損狀態(tài)來判定吸嘴的清掃狀態(tài)。由此，可判定用于識別吸嘴的圖案的污損狀態(tài)，因此能夠避免安裝吸嘴的裝置上的圖案的讀取出錯。根據(jù)技術方案6的發(fā)明，判定結果反映部使設于與吸嘴保持部對應的位置的各顯示部反映吸嘴的清掃狀態(tài)的是否良好的結果。由此，作業(yè)者能夠容易地識別哪個吸嘴存在清掃不良。附圖說明圖1是表示本實施方式的吸嘴檢查裝置的結構的俯視圖。圖2是表示本實施方式的吸嘴檢查裝置的結構的主視圖。圖3中，（A）是設置在移動臺上的旋轉裝置的俯視圖。（B）是（A）的主視圖。圖4中，（A）是吸嘴保持托盤的俯視圖。（B）是（A）的局部剖視圖。圖5中，（A）是吸嘴的俯視圖。（B）是沿著（A）的B-B的剖視圖。圖6是沿著圖1的A-A的剖視圖，是表示吸嘴拍攝裝置80的圖。圖7是表示吸嘴的清洗/檢查工序的流程圖。圖8是通過圖1所示的控制部執(zhí)行的吸嘴檢查處理的流程圖。圖9是表示通過圖1所示的控制部生成的吸嘴檢查信息的說明圖。附圖標記說明13…移動臺（安裝臺）20…旋轉裝置30…轉臺40…吸嘴保持托盤40f…吸嘴保持部40j…顯示部55…泵58…流量檢測傳感器（流量檢測部）60…頂起裝置（判定結果反映部）70…識別部拍攝裝置80…吸嘴拍攝裝置90…控制部（清掃狀態(tài)判定部，對應建立部）90a…存儲部100…吸嘴檢查裝置500…吸嘴501d…識別部501e…圖案502b…吸附部502f…吸嘴孔具體實施方式（吸嘴檢查裝置的概略）以下，基于附圖，說明本發(fā)明的實施方式。如圖1～圖3所示，本實施方式的吸嘴檢查裝置100主要包括基臺11、導軌12、移動臺13、滑動部件14、旋轉裝置20、轉臺30、吸嘴保持托盤40、流量檢查部50、頂起裝置60、識別部拍攝裝置70、吸嘴拍攝裝置80及控制部90。在基臺11上排列設置有多個導軌12。在各導軌12上分別以能夠滑動的方式安裝有滑動部件14。在滑動部件14上安裝有板狀的移動臺13。移動臺13通過氣缸等促動器15而在基臺11上的設置位置A與檢查位置B之間移動。（旋轉裝置）接著，使用圖3，對旋轉裝置20進行說明。旋轉裝置20將吸嘴保持托盤40的吸嘴保持部40f依次轉位給各檢查位置（1）～（3）（圖1所示），主要包括擺動部件21、旋轉部件22、促動器23、第一止動部件24、第二止動部件25及轉臺30。擺動部件21包括圓板狀的主體部21a和從該主體部21a的外緣向外周側突出的板狀的突出部21b，并能夠以主體部21a的中心為擺動中心進行擺動地安裝于移動臺13。旋轉部件22是在外周部間隔規(guī)定角度地形成有多個卡鎖22a的圓板狀，在擺動部件21中，以能夠旋轉的方式安裝于移動臺13。在本實施方式中，卡鎖22a以15°間隔形成于旋轉部件22的外周部。此外，旋轉部件22能夠相對于擺動部件21進行旋轉。第一止動部件24以可擺動的方式安裝在移動臺13上，由未圖示的施力部件向旋轉部件22的卡鎖22a側施力而與卡鎖22a卡合。通過這樣的結構，旋轉部件22僅能夠向一個方向（在本實施方式中為順時針）旋轉。第二止動部件25以能夠擺動的方式安裝于擺動部件21的突出部21b，由未圖示的施力部件向旋轉部件22的卡鎖22a側施力而與卡鎖22a卡合。促動器23在本實施方式中為氣缸，具有主體23a和以能夠從該主體23a退出的方式滑動的桿23b。促動器23與后述的控制部90連接，按照來自控制部90的控制信號使桿23b退出。主體23a以能夠擺動的方式安裝在移動臺13上。桿23b的前端經(jīng)由托架26而以可擺動的方式安裝在擺動部件21的突出部21b。通過這樣的結構，從桿23b退避到主體23a內的狀態(tài)開始，當該桿23b突出時，擺動部件21擺動規(guī)定角度。這樣一來，第二止動部件25與旋轉部件22的卡鎖22a卡合，因此旋轉部件22順時針地轉動規(guī)定角度（與卡鎖22a1的間距相當?shù)牧浚?。并且，當桿23b退避到主體23a內時，第一止動部件24與卡鎖22a卡合，因此可阻止旋轉部件22的逆時針的轉動。這樣一來，通過桿23b突出、退避的促動器23的一次動作，旋轉部件22轉動與卡鎖22a1間距相當?shù)牧俊＾D臺30為大致圓柱形狀，將旋轉中心設成與旋轉部件22相同而安裝在旋轉部件22上。這樣一來，轉臺30以可旋轉的方式安裝在移動臺13上。在轉臺30的上部形成有外徑比其他的部分的小的圓柱形狀的卡合部30a。在卡合部30a的基部的周圍形成有與轉臺30的旋轉軸垂直的平面即載置面30b。在載置面30b上形成有定位突起30c。在轉臺30的卡合部30a上間隔規(guī)定角度地設有多個識別傳感器30d。識別傳感器30d是在物體靠近該識別傳感器30d時將檢測信號向控制部90輸出的接近傳感器。（吸嘴保持托盤）接著，使用圖4，對吸嘴保持托盤40進行說明。吸嘴保持托盤40以垂直狀態(tài)保持后述的多個吸嘴500。吸嘴保持托盤40包括：在其下部形成的圓柱形狀的安裝部40a；與安裝部40a同軸地形成在安裝部40a上的圓板狀的保持部40b。在安裝部40a的下表面形成有內徑比卡合部30a（圖3所示）的外徑稍大的圓柱形狀的空間即卡合凹部40c。在安裝部40a的下表面的卡合凹部40c的外周部形成有內徑比定位突起30c（圖3所示）的外徑稍大的圓柱形狀的空間即定位凹部40d?？ê习疾?0c與卡合部30a卡合，并且定位凹部40d與定位突起30c卡合，從而將吸嘴保持托盤40同軸地定位安裝在轉臺30上（圖1、圖2所示）。這樣一來，吸嘴保持托盤40以可拆裝的方式安裝于轉臺30。在卡合凹部40c的底面上間隔規(guī)定角度地形成有單一或多個識別突起40e。在將吸嘴保持托盤40安裝于轉臺30時，識別突起40e配置在與轉臺30的識別傳感器30d對應的位置。識別突起40e的個數(shù)、位置根據(jù)吸嘴保持托盤40的不同而不同。例如，識別突起40e的個數(shù)、位置根據(jù)吸嘴保持部40f的個數(shù)、即相鄰的吸嘴保持部40f的角度的不同而不同。在將吸嘴保持托盤40安裝到轉臺30時，各識別傳感器30d檢測或不檢測識別突起40e，由此，在控制部90，可識別安裝于轉臺30的吸嘴保持托盤40。在保持部40b上，在圖4的單點劃線所示的圓周上等間隔（間隔相等角度）地貫通形成有吸嘴保持部40f。在本實施方式中，吸嘴保持部40f包括其上部的定位部40g和其下部的插通部40h，定位部40g的內徑比插通部40h的內徑大。在定位部40g與插通部40h之間形成有水平的面即載置面40i。在保持部40b上，在與各吸嘴保持部40f對應的位置設有顯示部40j。在本實施方式中，顯示部40j設置在各吸嘴保持部40f的外周側。顯示部40j包括圓柱形狀的顯示筒40k、貫通形成于保持部40b并將顯示筒40k以能夠沿著上下方向滑動的方式進行收容的收容部40m、對顯示筒40k的外周面進行按壓的按壓部件40n。在顯示筒40k上的從上向下的不同的位置分別在全周上形成有上側定位槽40p和下側定位槽40q。按壓部件40n在本實施方式中是具有與定位槽40p、40q卡合的球40r的球塞。通過這樣的結構，顯示筒40k被定位在如下兩個位置：球40r與上側定位槽40p卡合而使顯示筒40k完全收容在收容部40m內的位置；和球40r與下側定位槽40q卡合而使顯示筒40k從保持部40b的上表面突出的位置。（吸嘴）接著使用圖5，說明由本實施方式的吸嘴檢查裝置100進行檢查的吸嘴500。元件安裝裝置的吸嘴500對依次供給至供給位置的電子元件等的元件進行吸附并搬運到基板等被安裝物的安裝位置，用于將該元件安裝于被安裝物。如圖5的（B）所示，吸嘴500包括固定部501、可動部502、螺旋彈簧503。固定部501以可拆裝的方式安裝在元件安裝裝置的吸嘴支架上，包括圓筒狀的筒部501a和從該筒部501a的中途部分向外周側形成的圓板狀的凸緣部501b。在比凸緣部501b靠上部的筒部501a形成有向外周側突出的安裝桿501c。筒部501a的上部與吸嘴支架嵌合，安裝桿501c與吸嘴支架卡合，從而將吸嘴500安裝于吸嘴支架。如圖5的（A）所示，在凸緣部501b的上表面設有識別部501d。在識別部501d以二維或三維的圖案501e（二維代碼或三維代碼）記載有各吸嘴500固有的“識別信息”。當將吸嘴500安裝于吸嘴支架時，識別部501d由設于吸嘴支架的拍攝裝置讀取，元件安裝裝置基于讀取的識別部501d的圖案501e來識別吸嘴500的規(guī)格?？蓜硬?02包括基部側吸嘴502a、吸附部502b及彈簧承受部502c?；總任?02a是圓筒形狀，其上部以可滑動的方式插通到筒部501a內。吸附部502b安裝在基部側吸嘴502a的下端，下端的外徑比其他的部分的外徑小。基部側吸嘴502a及吸附部502b的流路成為吸嘴孔502f，通過從該吸嘴孔502f抽吸空氣，利用吸附部502b來吸附元件。彈簧承受部502c包括：從基部側吸嘴502a的中途部分或下部向外周側形成的圓板形狀的承受部502d；和在該承受部502d的外緣向上方形成的圓筒形狀的彈簧保持部502e。螺旋彈簧503配置在筒部501a的下部的外周側與彈簧保持部502e的內周側之間，其上部與凸緣部501b的下表面抵接，并且其下端與承受部502d抵接，將可動部502相對于固定部501向下方施力。通過這樣的結構，可動部502被安裝成能夠相對于固定部501而沿著上下方向滑動?？蓜硬?02穿過吸嘴保持部40f，凸緣部501b載置在載置面40i上，多個吸嘴500由吸嘴保持托盤40的吸嘴保持部40f保持為垂直狀態(tài)（圖1所示）。此外，定位部40g（圖4示）的內徑的尺寸比凸緣部501b（圖5示）的外徑的尺寸稍大。因此，吸嘴500在吸嘴保持托盤40的水平方向上被定位。（流量檢查部）接著，使用圖1及圖2，對流量檢查部50進行說明。此外，在圖2中，未表示后述的上下移動裝置52。如圖1所示，流量檢查部50包括吸嘴連接部51、上下移動裝置52、空氣流路54、泵55、蓄壓部56、電磁閥57、流量檢測傳感器58及壓力傳感器59。如圖1所示，吸嘴連接部51為塊狀，配置在轉位到檢查位置（3）的吸嘴保持托盤40的吸嘴保持部40f的正上方。如圖2所示，在吸嘴連接部51形成有在其下端開口的空氣通路51a。而且，在空氣通路51a的開口部安裝有由橡膠、樹脂等軟性材料構成的環(huán)狀的密封件51b。上下移動裝置52是對吸嘴連接部51進行支承并沿著上下方向移動的裝置，安裝在基臺11上。上下移動裝置52具備：將吸嘴連接部51安裝成能夠沿著上下方向移動的直線引導件等的引導部（未圖示）；和使吸嘴連接部51沿著上下方向移動的移動部52a，該移動部52a由滾珠絲杠、滾珠螺母及使?jié)L珠絲杠旋轉的電動機等構成。移動部52a以能夠通信的方式與控制部90連接，按照從控制部90輸出的控制信號，移動部52a運轉，吸嘴連接部51沿著上下方向移動。泵55通過空氣流路54與吸嘴連接部51的空氣通路51a連接，并向空氣通路51a供給空氣。如圖1所示，在空氣流路54的中途，從泵55側依次設有蓄壓部56、電磁閥57、流量檢測傳感器58。蓄壓部56是積存由泵55生成的壓縮空氣的罐。在蓄壓部56設有檢測蓄壓部56的壓力并將檢測信號向控制部90輸出的壓力傳感器59。電磁閥57始終將空氣流路54堵塞，并以能夠通信的方式與控制部90連接。按照來自控制部90的控制信號，電磁閥57對空氣流路54進行打開或堵塞。流量檢測傳感器58是對在空氣流路54中流通的空氣的流量進行檢測的傳感器，并向控制部90輸出檢測信號。（頂起裝置）接著，使用圖2，對頂起裝置60進行說明。頂起裝置60將吸嘴保持托盤40的顯示筒40k向上方頂起，并設置在移動臺13上。頂起裝置60包括主體61和從主體61的上端面突出并安裝成能夠相對于主體61沿著上下方向移動的頂起銷62。頂起銷62配置在轉位到檢查位置（3）的吸嘴保持托盤40的顯示筒40k的正下方。主體61具有使頂起銷62沿著上下方向移動、且以能夠通信的方式與控制部90連接的促動器（未圖示）。按照來自控制部90的控制信號，促動器使頂起銷62向上方移動或者向下方退避。當頂起銷62向上方移動時，頂起銷62將處于其正上方的顯示筒40k頂起。（識別部拍攝）接著，使用圖1、圖2，說明識別部拍攝裝置70。識別部拍攝裝置70是讀取吸嘴500的識別部501d的圖案501e（圖5（A）所示）的裝置。識別部拍攝裝置70由拍攝裝置71和托架72構成。拍攝裝置71配置在轉位到檢查位置（1）的吸嘴保持托盤40的吸嘴保持部40f的正上方。拍攝裝置71具有CCD、CMOS等拍攝元件和在該拍攝元件上成像出被拍攝圖像的透鏡，對識別部501d進行拍攝，并將拍攝數(shù)據(jù)向控制部90輸出。托架72安裝在基臺11上，并將拍攝裝置71保持在轉位到檢查位置（1）的吸嘴保持部40f的正上方。（吸嘴拍攝裝置）接著，使用圖1、圖2、圖6，對吸嘴拍攝裝置80進行說明。吸嘴拍攝裝置80對由吸嘴保持托盤40的吸嘴保持部40f保持的吸嘴500的吸附部502b進行拍攝。吸嘴拍攝裝置80包括拍攝裝置81、光反射部82及托架83。吸嘴拍攝裝置80在吸嘴保持托盤40（轉臺30）的側方位置經(jīng)由托架83而安裝于基臺11。拍攝裝置81具有：下方開口的有底筒狀的框體81a；CCD、CMOS等拍攝元件81b；及在該拍攝元件81b上成像出被拍攝圖像的單個或多個透鏡81c。光反射部82在拍攝裝置81及吸嘴保持托盤40的下方位置經(jīng)由托架83而安裝于基臺11。光反射部82包括上方開口的箱形的框體82a、收納并安裝在框體82a內的棱鏡等反射部件82b、82c。反射部件82b配置在拍攝裝置81的正下方。反射部件82c配置在轉為到檢查位置（2）的吸嘴保持托盤40的吸嘴保持部40f的正下方。如圖6的雙點劃線所示，從吸嘴500的吸附部502b的周圍射出的光由反射部件82c及反射部件82b反射，向拍攝裝置81入射，由拍攝裝置81拍攝。（控制部）接著說明控制部90?？刂撇?0對吸嘴檢查裝置100進行綜合控制，具有微型計算機（未圖示），微型計算機具備經(jīng)由總線而分別連接的輸入輸出接口、CPU、RAM、ROM、非易失性存儲器等存儲部90a。CPU執(zhí)行與圖8所示的流程圖對應的程序。RAM暫時存儲該程序的執(zhí)行所需的變量，ROM、存儲部90a存儲上述程序?？刂撇?0被輸入來自流量檢測傳感器58的檢測信號并計算出在空氣流路54流通的空氣的流量、即經(jīng)由吸嘴連接部51向吸嘴500供給的空氣的流量。而且，控制部90被輸入來自壓力傳感器59的檢測信號，并向泵55輸出控制信號?？刂撇?0在判斷為由壓力傳感器59檢測到的蓄壓部56的壓力下降至規(guī)定壓力以下時，使泵55運轉。而且，控制部90通過向促動器15輸出控制信號而使移動臺13在基臺11上的設置位置A與檢查位置B之間（圖1所示）移動。而且，控制部90向電磁閥57輸出控制信號，對電磁閥57進行打開或堵塞。而且，控制部90向促動器23輸出控制信號，使促動器23的桿23b（圖3所示）退出。而且，控制部90向拍攝裝置71、81輸出控制信號，執(zhí)行由拍攝裝置71、81進行的拍攝。然后，向控制部90輸入來自拍攝裝置71、81的拍攝圖像。在控制部90上以能夠通信的方式連接有操作部91。操作部91用于對吸嘴檢查裝置100進行操作。當作業(yè)者對操作部91進行操作時，將與該操作對應的信號向控制部90輸入?？刂撇?0以能夠通信的方式與主機200連接，向主機200發(fā)送與各吸嘴500的“識別信息”建立了對應的各吸嘴500的檢查結果即“吸嘴檢查信息”（圖9所示）。主機200例如是所謂的個人計算機，依次存儲并蓄積“吸嘴檢查信息”。（吸嘴的清洗/檢查工序）接著，使用圖7所示的流程圖，說明吸嘴的清洗/檢查工序。在元件安裝裝置中，使用后的吸嘴500被以由吸嘴保持托盤40的各吸嘴保持部40f保持的狀態(tài)進行貯存（P1）。接著，在各吸嘴500由吸嘴保持托盤40保持的狀態(tài)下，通過清掃裝置對吸嘴500的吸附部502b、吸嘴孔502f、識別部501d進行清掃（P2），通過鼓風裝置向吸嘴孔502f內進給壓縮空氣，將吸嘴孔502f內的清洗液、異物除去（P3）。接著，在后述的“吸嘴檢查處理”中，在各吸嘴500由吸嘴保持托盤40保持的狀態(tài)下，對各吸嘴500進行檢查（P4）。檢查后的各吸嘴500以由吸嘴保持托盤40保持的狀態(tài)進行貯存（P5）。（吸嘴檢查處理）接著，使用圖8所示的流程圖，說明由控制部90執(zhí)行的“吸嘴檢查處理”。在“吸嘴檢查處理”中，依次生成圖9所示的“吸嘴檢查信息”?！拔鞕z查信息”是將“識別信息”與后述的S15“吸附部檢查”及S16“流量檢查”的檢查結果建立了對應的信息，在存儲于存儲部90a之后，向主機200發(fā)送。在鼓風（圖7的P3）之后，將保持有吸嘴500的吸嘴保持托盤40安裝到處于設置位置A（圖1所示）的轉臺30，開始“吸嘴檢查處理”，前進至S11。在S11中，控制部90向促動器15輸出控制信號，使移動臺13向檢查位置B移動，使程序前進至S12。在S12中，控制部90基于從多個識別傳感器30d輸出的檢測信號來識別吸嘴保持托盤40并識別相鄰的吸嘴保持部40f的角度而使程序進入S13。在S13中，控制部90向拍攝裝置71輸出拍攝指令，利用拍攝裝置71拍攝并讀取轉位到檢查位置（1）（圖1示）的吸嘴500的識別部501d。此時，控制部90在無法識別出識別部501d的圖案501e時，作為識別部501d的清洗不充分而發(fā)生污損，將識別部501d的讀取異常存儲在“吸嘴檢查信息”的“識別信息”的欄中。另一方面，在控制部90識別出識別部501d的圖案501e時，將與圖案501e對應的吸嘴500的“識別信息”存儲在“吸嘴檢查信息”的“識別信息”的欄中。當S13結束時，程序前進至S14。在S14中，控制部90向促動器23輸出控制信號，使促動器23一次或多次進行使桿23b突出并退避的動作，在S12中使轉臺30轉動與識別到的相鄰的吸嘴保持部40f的角度相當?shù)牧俊．擲14結束時，程序前進至S15。在S15中，控制部90向拍攝裝置81輸出拍攝指令，利用拍攝裝置81拍攝轉位到檢查位置（2）（圖1所示）的吸嘴500的吸附部502b?？刂撇?0通過對拍攝到的吸附部502b的拍攝圖像進行圖像處理，來判斷是否存在向吸附部502b的外周部、在吸附部502b開口的吸嘴孔502f內附著異物或者吸附部502b的破損等的異常，當存在異常時，將吸附部502b的異常與上述的“識別信息”建立關聯(lián)，并存儲在“吸嘴檢查信息”的“流量檢查”的欄中。當S15結束時，程序前進至S16。在S16中，控制部90向上下移動裝置52輸出控制信號，使吸嘴連接部51下降，使空氣通路51a與轉位到檢查位置（3）（圖1所示）的吸嘴500的吸嘴孔502f的開口部連接而連通。接著，控制部90向電磁閥57輸出控制信號，使電磁閥57打開，將空氣從蓄壓部56向吸嘴500的吸嘴孔502f供給。此時，控制部90將由流量檢測傳感器58檢測到的空氣的流量與上述的“識別信息”建立關聯(lián)，并與“吸嘴檢查信息”建立關聯(lián)地進行存儲。然后，控制部90基于由流量檢測傳感器58檢測到的空氣的流量來判斷吸嘴500的流路即吸嘴孔502f是否存在異常，當存在異常時，將吸嘴孔502f的異常與上述的“識別信息”建立關聯(lián)，并存儲在“吸嘴檢查信息”的“流量檢查”的欄中。具體而言，控制部90在判斷為由流量檢測傳感器58檢測到的空氣的流量不在適當流量的范圍內時，判斷為吸嘴孔502f存在異常。即，在吸嘴孔502f的清掃不充分，而在該吸嘴孔502f殘存有異物時，由流量檢測傳感器58檢測到的空氣的流量低于適當流量的下限，因此判斷為吸嘴500的流路的異常。另一方面，在判斷為吸嘴孔502f發(fā)生破損時，由流量檢測傳感器58檢測到的空氣的流量超過適當流量的上限，因此判斷為吸嘴孔502f的異常。此外，上述的適當流量的范圍因吸嘴500的規(guī)格的不同而不同，因此控制部90基于上述的“識別信息”，選擇與檢查的吸嘴500對應的適當流量（存儲于存儲部90a），判斷吸嘴孔502f有無異常。當S16結束時，程序前進至S17。在S17中，控制部90在判斷為與對在S13、S15、及S16中的至少任一個步驟中判斷出異常的吸嘴500進行保持的吸嘴保持部40f對應的顯示筒40k位于頂起裝置60上時，向頂起裝置60輸出控制信號，由頂起裝置60將上述顯示筒40k頂起，將吸嘴500的異常反映在顯示筒40k上。當S17的處理結束時，程序前進至S18。在S18中，控制部90在判斷為由吸嘴保持托盤40保持的全部的吸嘴500的檢查完成時（S18為是），使程序前進至S19，在判斷為由吸嘴保持托盤40保持的全部的吸嘴500的檢查未完成時（S18為否），使程序返回S13。在S19中，控制部90通過向促動器15輸出控制信號而使移動臺13向設置位置A移動，使程序前進至S20。在S20中，控制部90將存儲在存儲部90a中的與各吸嘴500的“識別信息”建立了對應的各吸嘴500的異常信息即“吸嘴檢查信息”向主機200發(fā)送，“吸嘴檢查處理”結束。作業(yè)者能夠通過確認與各吸嘴保持部40f對應的顯示筒40k是否被頂起而容易地識別吸嘴500的異常。而且，作業(yè)者能夠通過在主機200的顯示畫面上確認圖9所示的“吸嘴檢查信息”而識別吸嘴500的異常的種類。（本實施方式的效果）從上述的說明可知，在圖8的S16中，泵55使空氣經(jīng)由吸嘴連接部51向吸嘴500的吸嘴孔502f流通，控制部90（清掃狀態(tài)判定部）基于流量檢查傳感器58（流量檢測部）檢測到的流通吸嘴孔502f的空氣的流量來判定吸嘴500的清掃狀態(tài)。即，控制部90在判斷為流通吸嘴孔502f的空氣的流量低于規(guī)定的適當值的下限時，判定為吸嘴孔502f內殘存有異物，吸嘴500的清掃狀態(tài)不充分。這樣一來，通過使空氣實際流通于吸嘴孔502f，判斷吸嘴孔502f內是否殘存有異物，從而判定吸嘴500的清掃狀態(tài)，因此能夠可靠地檢測吸嘴500的抽吸力的下降。另外，吸嘴保持托盤40以可拆裝的方式安裝于轉臺30。由此，在使用后的吸嘴500由吸嘴保持托盤40保持的狀態(tài)下，能夠利用清掃裝置對吸嘴500進行清掃，因此無需為了檢查吸嘴500的清掃狀態(tài)而將清洗后的吸嘴500向吸嘴保持托盤40移換，作業(yè)性良好。另外，在圖8的S15中，控制部90基于由拍攝裝置81（吸嘴拍攝裝置）拍攝到的吸嘴500的前端部即吸附部502b的圖像來判定吸嘴500的清掃狀態(tài)。即，控制部90基于拍攝到的吸附部502b的圖像而判斷為在吸附部502b開口的吸嘴孔502f殘存有異物時，判定為吸嘴500的清掃狀態(tài)不充分。由此，除了基于使空氣流通吸嘴孔502f的檢查之外，還檢查吸嘴孔502f的開口部有無異物的殘存，因此能夠檢測吸嘴500的抽吸力的下降的征兆。而且，能夠防止異物從吸嘴孔502f的開口部落下。而且，控制部90基于拍攝到的吸附部502b的圖像而判斷為吸附部502b的外周部附著有異物時，判定為吸嘴500的清掃狀態(tài)不充分。因此，能夠防止吸嘴500對元件抽吸時的附著在吸附部502b的外周部的異物落下。而且，控制部90基于拍攝到的吸嘴500的前端部的圖像，也能夠檢測吸附部502b的破損。另外，在圖8的S13中，拍攝裝置71（識別信息讀取部）讀取吸嘴500的“識別信息”，控制部90（對應建立部）將吸嘴500的清掃狀態(tài)與“識別信息”建立對應，并在存儲部90a中存儲與“識別信息”建立了對應的吸嘴500的清掃狀態(tài)。由此，能夠通過參照存儲部90a來確認各吸嘴500的清掃狀態(tài)。而且，由于與存儲部90a建立了對應的吸嘴500的清掃狀態(tài)和“識別信息”依次被存儲，因此能夠進行吸嘴500的清掃狀態(tài)的履歷管理。即，在圖8的S16所示的“流量檢查”中，在某特定的吸嘴500的流量逐漸下降時，能夠識別為異物在該吸嘴500的吸嘴孔502f內逐漸蓄積。而且，能夠基于某特定吸嘴500的流量變化來變更對吸嘴500進行清掃的間隔。另外，如圖5的（A）所示，在吸嘴500的表面設有識別部501d，該識別部501d記載有用于識別該吸嘴500的圖案501e。并且，在圖8的S13中，控制部90（清掃狀態(tài)判定部）基于由拍攝裝置71（識別部拍攝裝置）拍攝到的圖案501e的污損狀態(tài)來判定吸嘴500的清掃狀態(tài)。由此，元件安裝裝置判定用于識別吸嘴500的圖案501e的污損狀態(tài)，因此能夠避免元件安裝裝置的圖案501e的讀取出錯。另外，在圖8的S17中，頂起裝置60（判定結果反映部）通過將設置在與吸嘴保持部40f對應的位置上的各顯示部40j的顯示筒40k頂起，來反映吸嘴500的清掃狀態(tài)的是否良好的結果。由此，作業(yè)者能夠容易地識別哪個吸嘴500存在清掃不良等異常。另外，如圖1或圖2所示，安裝有轉臺30的移動臺13（安裝臺）在基臺11上的設置位置A與檢查位置B之間移動。而且，吸嘴檢查裝置100形成為如下結構：在設置位置A上向轉臺30設置吸嘴保持托盤40，而在檢查位置B判定由吸嘴保持托盤40保持的各吸嘴500的清掃狀態(tài)。因此，作業(yè)者在設置位置A上，能夠向轉臺30設置吸嘴保持托盤40，因此在設置時，吸嘴保持托盤40不會與流量檢查部50、識別部拍攝裝置70、吸嘴拍攝裝置80發(fā)生干擾，作業(yè)性良好。而且，作業(yè)者在向轉臺30設置了吸嘴保持托盤40之后，僅通過對操作部91進行操作，就能夠開始執(zhí)行吸嘴500的清掃狀態(tài)的檢查，因此作業(yè)性良好。（其他實施方式）此外，在以上說明的實施方式中，泵55向吸嘴連接部51的空氣通路51a供給空氣，流量檢測傳感器58通過泵55經(jīng)由吸嘴連接部51來檢測向吸嘴孔502f供給的空氣的流量，控制部90基于由流量檢測傳感器58檢測到的空氣的流量來判定吸嘴孔502f的清掃狀態(tài)。然而，也可以是如下實施方式：泵55從吸嘴連接部51的空氣通路51a抽吸空氣，流量檢測傳感器58檢測通過泵55經(jīng)由吸嘴連接部51而從吸嘴孔502f抽吸的空氣的流量，控制部90基于由流量檢測傳感器58檢測到的空氣的流量來判定吸嘴孔502f的清掃狀態(tài)。另外，在以上說明的實施方式中，泵55向吸嘴連接部51的空氣通路51a供給空氣。然而，也可以是從設置在吸嘴檢查裝置100的外部的泵等的空氣供給源向吸嘴連接部51的空氣通路51a供給空氣的實施方式。同樣地，也可以是設置在吸嘴檢查裝置100的外部的泵等的空氣抽吸裝置從吸嘴連接部51的空氣通路51a抽吸空氣的實施方式。另外，在以上說明的實施方式中，用于識別吸嘴500的識別部501d是記載在吸嘴500的表面上的圖案501e，讀取識別部501d的“識別信息”即圖案501e的識別信息讀取部是拍攝裝置71。然而，用于識別吸嘴500的識別部也可以是存儲有吸嘴500的“識別信息”的IC標簽、IC芯片、磁帶等。在該實施方式的情況下，讀取識別部的“識別信息”的識別信息讀取部是讀取存儲在IC標簽中的“識別信息”的IC標簽讀取器、或讀取存儲在IC芯片中的識別信息的IC芯片讀取器、讀取存儲在磁帶中的“識別信息”的磁帶讀取器等。另外，在以上說明的實施方式中，顯示吸嘴500的清掃狀態(tài)的是否良好的結果的顯示部40j設于吸嘴保持托盤40。然而，也可以將顯示吸嘴500的清掃狀態(tài)是否良好的結果的顯示部分別設置在與各吸嘴保持部40f對應的位置的轉臺30上。另外，在以上說明的實施方式中，吸嘴500的吸嘴孔502f的基端與吸嘴連接部51的空氣通路51a直接連接。然而，也可以是吸嘴500的吸嘴孔502f的基端經(jīng)由將吸嘴孔502f的基端與吸嘴連接部51的空氣通路51a連接的部件而與空氣通路51a連接的實施方式。