振動(dòng)元件、振動(dòng)器、電子器件、電子設(shè)備以及移動(dòng)體的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供振動(dòng)元件、振動(dòng)器、電子器件、電子設(shè)備以及移動(dòng)體，其頻率溫度特性優(yōu)異、具有較大的頻率變動(dòng)幅度。振動(dòng)元件的特征在于，包含：振動(dòng)片，其包含振動(dòng)部以及設(shè)置在所述振動(dòng)部的兩個(gè)主面上的激勵(lì)電極；中間基板，其以與所述振動(dòng)片的所述激勵(lì)電極之間設(shè)有間隙的方式支撐所述振動(dòng)片；以及螺旋狀的電極圖案，其設(shè)置在所述中間基板的至少一個(gè)主面上，所述電極圖案與所述激勵(lì)電極電連接。
【專利說(shuō)明】振動(dòng)元件、振動(dòng)器、電子器件、電子設(shè)備以及移動(dòng)體
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及振動(dòng)元件、振動(dòng)器、電子器件、電子設(shè)備以及移動(dòng)體。
【背景技術(shù)】
[0002]以往，將在壓電基板上形成有激勵(lì)電極的壓電振動(dòng)片氣密密封到封裝內(nèi)而構(gòu)成的表面安裝型的電子器件被廣泛使用。此處，壓電振動(dòng)片利用了如下特性:以預(yù)定的角度以及厚度切割石英等的壓電基板而成的薄板具有固有的共振頻率，例如，使用以所謂AT切割的切角切割壓電基板而成的薄板而進(jìn)行厚度剪切振動(dòng)的AT切割石英振動(dòng)片等被使用。
[0003]作為使用這樣的石英振動(dòng)片的電子器件，例如表面安裝型的石英振蕩器被作為頻率或時(shí)間等的基準(zhǔn)源而廣泛應(yīng)用，所述表面安裝型的石英振蕩器通過(guò)將石英振動(dòng)片和包含有使該石英振動(dòng)片振蕩的振蕩電路的半導(dǎo)體電路元件等的電子部件安裝并密封入同一封裝內(nèi)而成。
[0004]專利文獻(xiàn)I公開(kāi)了具有如下特征的石英振蕩器:在利用導(dǎo)電性粘接劑等直接將石英振動(dòng)片安裝入封裝時(shí)，由于外部溫度變化，會(huì)產(chǎn)生因封裝材料和石英之間的線性膨脹系數(shù)差導(dǎo)致的應(yīng)變，因此，為了解決無(wú)法獲得穩(wěn)定的頻率溫度特性這樣的課題，在電子部件和IC的上部，將石英振動(dòng)器搭載在由石英構(gòu)成的基座上，其中，該基座以幾乎覆蓋容器的凹部的開(kāi)口部的方式配置。
[0005]圖7是示出現(xiàn)有的電壓控制型的石英振蕩器的一例的電路圖，Xl表示石英振動(dòng)器，Al表放大器，Ca和Cb表電容器，Dl表不變?nèi)荻O管，IN表不控制電壓輸入端子，Rd表示施加控制電壓用電阻，OUT表示電壓控制型石英振蕩器的頻率輸出端子。
[0006]此外，圖8示出石英振動(dòng)器Xl的一般等效電路。在圖8中，LI是等效串聯(lián)電感，Cl是等效串聯(lián)電容，Rl是等效串聯(lián)電阻，CO是并聯(lián)電容。
[0007]在從石英振動(dòng)器Xl觀看時(shí)，設(shè)包含放大器Al的電路側(cè)的負(fù)載電容(合成電容)為CL，設(shè)電容比為Y (C0/C1)，則由該負(fù)載電容CL導(dǎo)致的共振頻率f0的變化量Λ f/fO由公知的下式表示。
[0008]Δ f/fO = CO/ (2 Y (CO + CL))
[0009]g卩，電壓控制型石英振蕩器的頻率由于振蕩環(huán)中的負(fù)載電容的變化，其共振頻率變化。
[0010]此外，變?nèi)荻O管Dl是根據(jù)施加在其2端子之間的反向電壓而電容值發(fā)生變化的二極管。因此，通過(guò)在振蕩環(huán)中插入變?nèi)荻O管D1，改變其施加電壓，能夠控制振蕩頻率。
[0011]然而，隨著近年來(lái)移動(dòng)電話和信息終端等的小型化，在實(shí)現(xiàn)石英振動(dòng)器的小型化時(shí)，由于石英振動(dòng)片的激勵(lì)電極變小，因而與等效串聯(lián)電容Cl對(duì)應(yīng)的封裝的電容和電極之間的的雜散電容的比率變大，其結(jié)果是，存在因石英振動(dòng)器的電容比Y變大而無(wú)法獲得期望的頻率變動(dòng)幅度的問(wèn)題。
[0012]作為能夠進(jìn)行這樣的頻率變動(dòng)幅度的調(diào)整的壓電振動(dòng)器，例如專利文獻(xiàn)2公開(kāi)了如下構(gòu)成的壓電振動(dòng)器:在封裝中設(shè)置電感電路圖案，使容納在封裝內(nèi)的壓電振動(dòng)片與電感L連接。出于這樣的目的而被插入到振蕩環(huán)中的電感L 一般被稱作擴(kuò)展線圈(或者簡(jiǎn)單稱作“線圈”)。其基于如下原理:在將壓電振動(dòng)器Xl與電感L串聯(lián)連接時(shí)，共振頻率比插入電感L之前的頻率低，但是反共振頻率無(wú)變化，因此，共振/反共振頻率的間隔大。
[0013][專利文獻(xiàn)I]日本特開(kāi)2010-50508號(hào)公報(bào)
[0014][專利文獻(xiàn)2]日本特開(kāi)平2-226905號(hào)公報(bào)
[0015]但是，在專利文獻(xiàn)2所公開(kāi)的壓電振動(dòng)器中，存在如下問(wèn)題:由于需要設(shè)置有電感器電路圖案的專用封裝，因而不具有封裝通用性。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0016]本發(fā)明是為了至少部分地解決上述課題而完成的，其可以用如下的方式或者應(yīng)用例來(lái)實(shí)現(xiàn)。
[0017][應(yīng)用例I]本應(yīng)用例的振動(dòng)元件的特征在于，包含:振動(dòng)片，其包含振動(dòng)部以及設(shè)置在所述振動(dòng)部的兩個(gè)主面上的激勵(lì)電極；基板，其以與所述激勵(lì)電極之間設(shè)有間隙的方式安裝有所述振動(dòng)片；以及設(shè)置在所述中間基板上的螺旋狀的電極圖案，所述電極圖案與所述激勵(lì)電極電連接。
[0018]根據(jù)本應(yīng)用例，由于采用將穩(wěn)定地進(jìn)行激勵(lì)的振動(dòng)片安裝在中間基板上的結(jié)構(gòu)，因此，能夠緩解在安裝到封裝中時(shí)、中間基板與封裝之間的線性膨脹系數(shù)差導(dǎo)致的應(yīng)變，獲得穩(wěn)定的頻率溫度特性。還具有如下效果:即使電容比Y隨著小型化而增大，由于具有由在中間基板上形成的螺旋狀的電極圖案產(chǎn)生的電感，因此，在構(gòu)成振蕩器時(shí)，可獲得期望的頻率變動(dòng)幅度。
[0019][應(yīng)用例2]在上述應(yīng)用例所述的振動(dòng)元件中，其特征在于，所述電極圖案與所述激勵(lì)電極串聯(lián)連接或者并聯(lián)連接。
[0020]根據(jù)本應(yīng)用例，具有如下效果:在串聯(lián)連接的情況下，成為在振蕩器的振蕩環(huán)中插入電感的情況，增大了頻率變動(dòng)幅度。此外具有如下效果:在并聯(lián)連接的情況下，能夠抑制振蕩器中的各電極之間的雜散電容等、不需要的電容的影響。
[0021][應(yīng)用例3]在上述應(yīng)用例所述的振動(dòng)元件中，其特征在于，所述電極圖案與所述激勵(lì)電極被配置成在俯視時(shí)不重合。
[0022]根據(jù)本應(yīng)用例，具有如下效果:通過(guò)將激勵(lì)電極和電感用電極圖案設(shè)置成不重合，能夠抑制由激勵(lì)電極和電感用電極圖案的電極之間的雜散電容導(dǎo)致的、對(duì)振蕩特性的不良影響。
[0023][應(yīng)用例4]在上述應(yīng)用例所述的振動(dòng)元件中，其特征在于，所述電極圖案設(shè)置在所述中間基板的兩個(gè)主面上，所述電極圖案彼此串聯(lián)連接。
[0024]根據(jù)本應(yīng)用例，具有如下效果:與僅在中間基板的一個(gè)面上形成電感的情況相比，由于能夠不增大中間基板的尺寸而加長(zhǎng)電極圖案的長(zhǎng)度，增大電感，因此能夠更有效地增加頻率變動(dòng)幅度。
[0025][應(yīng)用例5]在上述應(yīng)用例所述的振動(dòng)元件中，其特征在于，在所述中間基板的相互處于表里關(guān)系的兩個(gè)主面中的一個(gè)主面上設(shè)置有所述電極圖案，在另一個(gè)主面上設(shè)置有屏蔽電極，所述另一個(gè)主面與所述激勵(lì)電極相對(duì)。
[0026]根據(jù)本應(yīng)用例，具有如下效果:通過(guò)在激勵(lì)電極和電感用電極圖案之間設(shè)置屏蔽電極，能夠抑制由激勵(lì)電極和電感用電極圖案的電極之間的雜散電容導(dǎo)致的、對(duì)振蕩特性的不良影響。
[0027][應(yīng)用例6]在上述應(yīng)用例所述的振動(dòng)元件中，其特征在于，所述振動(dòng)片還包含與所述振動(dòng)部的外緣一體化的、厚度比所述振動(dòng)部薄的外緣部。
[0028]根據(jù)本應(yīng)用例，具有如下效果:由于振動(dòng)片的振動(dòng)部是臺(tái)面結(jié)構(gòu)，因此，能夠避免與輪廓系統(tǒng)寄生信號(hào)的耦合，僅保持主振動(dòng)的振動(dòng)能量，從而可獲得Cl較小且抑制共振頻率附近的寄生信號(hào)的振動(dòng)元件。
[0029][應(yīng)用例7]在上述應(yīng)用例所述的振動(dòng)元件中，其特征在于，所述振動(dòng)片還包含與所述振動(dòng)部的外緣一體化的、厚度比所述振動(dòng)部厚的外緣部。
[0030]根據(jù)本應(yīng)用例，具有如下效果:即使是振動(dòng)片的振動(dòng)部非常薄的高頻振動(dòng)元件，也能夠利用與振動(dòng)部一體化的厚部來(lái)進(jìn)行安裝，因而可獲得耐沖擊性和耐振動(dòng)性優(yōu)異的、高可靠性的振動(dòng)元件。
[0031][應(yīng)用例8]本應(yīng)用例的振動(dòng)器的特征在于，具有上述應(yīng)用例所述的振動(dòng)元件以及通過(guò)安裝所述中間基板而搭載有所述振動(dòng)元件的封裝。
[0032]根據(jù)本應(yīng)用例，具有如下效果:通過(guò)將振動(dòng)元件容納到封裝中，能夠防止因溫度變化、濕度變化等外部干擾的影響以及因污染而導(dǎo)致的影響，從而可獲得頻率再現(xiàn)性、頻率溫度特性、Cl溫度特性以及頻率老化特性優(yōu)異、具有較大的頻率變動(dòng)幅度的振動(dòng)器。
[0033][應(yīng)用例9]本應(yīng)用例的電子器件的特征在于，具有:上述應(yīng)用例所述的振動(dòng)元件；封裝，其通過(guò)安裝所述中間基板而搭載有所述振動(dòng)元件；以及激勵(lì)所述振動(dòng)部的振蕩電路。
[0034]根據(jù)本應(yīng)用例，具有如下效果:由于使用具有電感的振動(dòng)元件，因而可獲得頻率溫度特性優(yōu)異、頻率變動(dòng)幅度大的電壓控制型振蕩器等的電子器件。
[0035][應(yīng)用例10]在上述應(yīng)用例所述的電子器件中，其特征在于，具有:上述應(yīng)用例所述的振動(dòng)元件；以及通過(guò)安裝所述中間基板而搭載有所述振動(dòng)元件的封裝；以及激勵(lì)所述振動(dòng)部的振蕩電路，所述屏蔽電極與所述封裝的接地端子連接。
[0036]根據(jù)本應(yīng)用例，具有如下效果:在將在激勵(lì)電極和電感用電極圖案之間具有屏蔽電極的石英振動(dòng)元件安裝到封裝中的情況下，通過(guò)將石英振動(dòng)元件的屏蔽電極連接到振蕩器的接地端子，能夠更有效地抑制由激勵(lì)電極與電感用電極圖案的電極之間的雜散電容導(dǎo)致的、對(duì)振蕩特性的不良影響。
[0037][應(yīng)用例11]本應(yīng)用例的電子設(shè)備的特征在于，具有上述應(yīng)用例所述的振動(dòng)元件。
[0038]根據(jù)本應(yīng)用例，具有如下效果:通過(guò)使用頻率溫度特性優(yōu)異的振動(dòng)元件，能夠構(gòu)成具有良好的基準(zhǔn)頻率源的電子設(shè)備。
[0039][應(yīng)用例12]本應(yīng)用例的移動(dòng)體的特征在于,具有上述應(yīng)用例所述的振動(dòng)元件。
[0040]根據(jù)本應(yīng)用例，具有如下效果:通過(guò)使用頻率溫度特性良好的振動(dòng)元件，能夠構(gòu)成穩(wěn)定的基準(zhǔn)頻率源，從而構(gòu)成具有穩(wěn)定且準(zhǔn)確的電子控制單元的移動(dòng)體。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0041]圖1是示出本發(fā)明第I實(shí)施方式的振動(dòng)片的結(jié)構(gòu)的示意圖，其中，(a)是從上側(cè)觀察到的平面圖，(b)是A-A剖視圖。
[0042]圖2是示出本發(fā)明第I實(shí)施方式的中間基板的結(jié)構(gòu)的示意圖，其中，(a)是從上側(cè)觀察到的平面圖，(b)是B-B剖視圖，(c)是從下側(cè)觀察到的平面圖。
[0043]圖3是示出本發(fā)明第I實(shí)施方式的振動(dòng)元件的結(jié)構(gòu)的示意圖，其中，(a)是從上側(cè)觀察到的平面圖，(b)是C-C剖視圖。
[0044]圖4是示出本發(fā)明第I實(shí)施方式的振動(dòng)器的結(jié)構(gòu)的示意圖，其中，(a)是從上側(cè)觀察到的平面圖，(b)是N-N剖視圖。
[0045]圖5是示出本發(fā)明第I實(shí)施方式的電子器件的結(jié)構(gòu)的示意圖，其中，(a)是從上側(cè)觀察到的平面圖，(b)是D-D剖視圖。
[0046]圖6是示出振蕩器的電路的一例的電路圖。
[0047]圖7是說(shuō)明作為現(xiàn)有振蕩器的電壓控制型石英振蕩電路的一例的電路圖。
[0048]圖8是說(shuō)明石英振動(dòng)器的等效電路的一例的電路圖。
[0049]圖9是示出本發(fā)明第2實(shí)施方式的中間基板的結(jié)構(gòu)的示意圖，其中，(a)是從上側(cè)觀察到的平面圖，(b)是E-E剖視圖，(c)是從下側(cè)觀察到的平面圖。
[0050]圖10是示出本發(fā)明第2實(shí)施方式的振動(dòng)元件的結(jié)構(gòu)的示意圖，其中，Ca)是從上側(cè)觀察到的平面圖，(b)是F-F剖視圖。
[0051]圖11是示出本發(fā)明第3實(shí)施方式的中間基板的結(jié)構(gòu)的示意圖，其中，Ca)是從上側(cè)觀察到的平面圖，(b)是G-G剖視圖，(c)是從下側(cè)觀察到的平面圖。
[0052]圖12是示出本發(fā)明的第3實(shí)施方式的振動(dòng)元件的結(jié)構(gòu)的示意圖，其中，Ca)是從上側(cè)觀察到的平面圖，(b)是H-H剖視圖。
[0053]圖13是示出本發(fā)明第4實(shí)施方式的中間基板的結(jié)構(gòu)的示意圖，其中，Ca)是從上側(cè)觀察到的平面圖，(b)是1-1剖視圖，(C)是從下側(cè)觀察到的平面圖。
[0054]圖14是示出本發(fā)明第4實(shí)施方式的振動(dòng)元件的結(jié)構(gòu)的示意圖，其中，Ca)是從上側(cè)觀察到的平面圖，(b)是J-J剖視圖。
[0055]圖15是示出本發(fā)明第4實(shí)施方式的電子器件的結(jié)構(gòu)的示意圖，其中，Ca)是從上側(cè)觀察到的平面圖，(b)是K-K剖視圖。
[0056]圖16是示出本發(fā)明第5實(shí)施方式的振動(dòng)片的結(jié)構(gòu)的示意圖，其中，Ca)是從上側(cè)觀察到的平面圖，(b)是L-L剖視圖。
[0057]圖17是示出本發(fā)明第5實(shí)施方式的振動(dòng)元件的結(jié)構(gòu)的示意圖，其中，Ca)是從上側(cè)觀察到的平面圖，(b)是M-M剖視圖。
[0058]圖18是示出本發(fā)明第6實(shí)施方式的振動(dòng)片的結(jié)構(gòu)的示意圖，其中，Ca)是從上側(cè)觀察到的平面圖，(b)是0-0剖視圖。
[0059]圖19是示出本發(fā)明第6實(shí)施方式的振動(dòng)元件的結(jié)構(gòu)的示意圖，其中，Ca)是從上側(cè)觀察到的平面圖，(b)是P-P剖視圖。
[0060]圖20是示出作為具有本發(fā)明第I實(shí)施方式的振動(dòng)元件的電子設(shè)備的移動(dòng)型(或者筆記本型)個(gè)人計(jì)算機(jī)的結(jié)構(gòu)的立體圖。
[0061]圖21是示出作為具有本發(fā)明第I實(shí)施方式的振動(dòng)元件的電子設(shè)備的移動(dòng)電話機(jī)(也包括PHS)的結(jié)構(gòu)的立體圖。
[0062]圖22是示出作為具有本發(fā)明第I實(shí)施方式的振動(dòng)元件的電子設(shè)備的數(shù)碼照相機(jī)的結(jié)構(gòu)的立體圖。
[0063]圖23是示出作為應(yīng)用具有本發(fā)明第I實(shí)施方式的振動(dòng)元件的振動(dòng)器或電子器件的移動(dòng)體的汽車的結(jié)構(gòu)的立體圖。
[0064][標(biāo)號(hào)說(shuō)明]
[0065]I…石英振動(dòng)片，2…中間基板,3...石英振動(dòng)兀件,4…石英振動(dòng)器,5...石英振蕩器，10…石英基板，12…振動(dòng)部，14…支撐部，15…基板，17…基部,20a、20b…激勵(lì)電極，21a、21b、31、33、36…引導(dǎo)電極，22a、22b…外部連接端子，23a、23b…側(cè)面電極，30...電極圖案，32a、32b…接合用端子，34a、34b…連接端子，35a、35b…側(cè)面電極，37…層內(nèi)布線，40、42、44…接合部件，46...凸點(diǎn)，50…IC芯片，50a、50b…端子，55…絕緣膜，60…封裝主體，61…第I基板，62…第2基板，63…第3基板,65…空腔,66、216…凹部,68...密封圈，70...蓋部件，81、82…元件搭載焊盤，84...1C接合端子，86…安裝端子，100…顯示部，116…臺(tái)面部，340…屏蔽電極，341、343…焊盤電極，1100...個(gè)人計(jì)算機(jī)，1102...鍵盤，1104…主體部，1106…顯示單元，1200…移動(dòng)電話機(jī)，1202…操作按鈕，1204…聽(tīng)筒，1206…送話口，1300...數(shù)碼照相機(jī)，1302…殼體，1304…受光單元，1306…快門按鈕，1308…存儲(chǔ)器，1312…視頻信號(hào)輸出端子，1314…輸入/輸出端子，1430…電視監(jiān)視器，1440…個(gè)人計(jì)算機(jī)，2106…汽車，2107...車體，2108…電子控制單元，2109...輪胎。
【具體實(shí)施方式】
[0066]以下，基于附圖，對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。
[0067](振動(dòng)片)
[0068]圖1 (a)是從上側(cè)觀察作為本發(fā)明第I實(shí)施方式的振動(dòng)片的石英振動(dòng)片的一例的不意平面圖，圖1 (b)是圖1 (a)的A-A劑視圖。
[0069]使用石英形成的石英振動(dòng)片I例如是使用作為單晶基板的石英晶片形成的，其中，單晶基板是從在塊狀形成的 石英朗伯(9 > 〃一卜)中，明確晶軸(光軸)而以預(yù)定的切割角度來(lái)切去人工石英原石的一部分而形成的。此處，所謂預(yù)定的切割角度是指相對(duì)于石英的晶軸以預(yù)定角度傾斜的切割角，在本實(shí)施方式中，對(duì)呈厚度剪切振動(dòng)模式的石英振動(dòng)片I進(jìn)行說(shuō)明，其中，石英振動(dòng)片I是使用以與晶軸之間傾斜35° 15'的切割角度切割出的所謂AT切割石英形成的。使用這樣的AT切割石英而得到的石英振動(dòng)片I是可在寬范圍的溫度區(qū)域中獲得穩(wěn)定的頻率的、具有優(yōu)異溫度特性的壓電振動(dòng)片。
[0070]如圖1 (a)所示，石英振動(dòng)片I具有石英基板10、激勵(lì)電極20a、20b以及外部連接端子22a、22b。石英基板10具有作為固定端(圖1中的石英振動(dòng)片I的左側(cè))的支撐部14以及作為自由端(石英振動(dòng)片I的不固定側(cè)的一端(圖1中的石英振動(dòng)片I的右側(cè))的振動(dòng)部12。支撐部14是指振動(dòng)部12和石英振動(dòng)片I的固定端(左側(cè))之間的區(qū)域。在振動(dòng)部12的兩個(gè)主面上對(duì)置地設(shè)置有一對(duì)激勵(lì)電極20a、20b。此外，在支撐部14的兩個(gè)主面上設(shè)置有與各激勵(lì)電極20a、20b分別對(duì)應(yīng)的外部連接端子22a、22b，相對(duì)應(yīng)的各激勵(lì)電極20a、20b和外部連接端子22a、22b彼此通過(guò)引導(dǎo)電極21a、21b電連接。此外，對(duì)置地設(shè)置在支撐部14的兩個(gè)主面上的外部連接端子22a、22b分別通過(guò)側(cè)面電極23a、23b電連接。
[0071]這樣的電極和端子等的電極圖案可通過(guò)如下方法形成:在蝕刻石英基板10形成石英振動(dòng)片I的外形后，通過(guò)蒸鍍或者濺射，例如將鎳(Ni)或者鉻(Cr)作為基底層，在其上利用例如金(Au)形成金屬膜，然后使用光刻進(jìn)行圖案化。
[0072]在圖1 (a)所示的實(shí)施方式中，示出了激勵(lì)電極20a、20b的形狀是矩形的例子，但是不必受限于此，激勵(lì)電極20a、20b的形狀也可以是圓形或楕圓形。
[0073](中間基板)
[0074]圖2 Ca)是從上側(cè)觀察本發(fā)明第I實(shí)施方式的中間基板的示意平面圖，圖2 (b)是圖2 (a)的B-B劑視圖，圖2 (C)是從下側(cè)觀察圖2 (a)的不意平面圖。
[0075]如圖2所示，中間基板2具有:基板15、電感用電極圖案30、用于接合石英振動(dòng)片I的接合用端子32a、32b以及連接端子34a、34b?；?5是將基部17、石英振動(dòng)片I的接合區(qū)域和電感形成區(qū)域(形成螺旋狀的電極圖案30的區(qū)域)在平面內(nèi)以并排的狀態(tài)一體形成的。另外，如果基板15采用絕緣性材料的、具有與石英振動(dòng)片I相同切割角度的石英基板，則由于不存在線性膨脹系數(shù)差，因此不會(huì)產(chǎn)生因與石英振動(dòng)片I的接合而導(dǎo)致的應(yīng)變，可獲得穩(wěn)定的頻率溫度特性。
[0076]基部17是將重疊石英振動(dòng)片I和中間基板2而成的石英振動(dòng)元件3與封裝接合時(shí)成為固定部分的部分(參照?qǐng)D4和圖5)，在基部17上設(shè)置有連接端子34a、34b，用于石英振動(dòng)片I與電感用電極圖案30以及封裝的電連接。另外，對(duì)置地設(shè)置在基部17的兩個(gè)主面上的連接端子34a、34b分別通過(guò)側(cè)面電極35a、35b電連接。
[0077]如圖2 Ca)所示，基板15的一個(gè)主面是搭載有石英振動(dòng)片I的面，形成有接合用端子32a、32b和電感用電極圖案30。連接端子34a和用于接合石英振動(dòng)片I的接合用端子32a通過(guò)引導(dǎo)電極33電連接。此外，用于接合石英振動(dòng)片I的接合用端子32b通過(guò)引導(dǎo)電極31與電感用電極圖案30電連接。電感用電極圖案30是插入到石英振蕩器等的振蕩電路的振蕩環(huán)中的電感，一般被稱作擴(kuò)展線圈、或者簡(jiǎn)單稱作線圈。關(guān)于本實(shí)施方式的電感用電極圖案30，在基板15的一個(gè)主面上的電感形成區(qū)域中，細(xì)長(zhǎng)布線從外周朝內(nèi)周形成為矩形的螺旋形狀的線圈。另外，電感用電極圖案30的形狀不限于此，只要是從由布線形成的電感用圖案的開(kāi)始端起到終端止的長(zhǎng)度盡量長(zhǎng)的形狀即可，例如，可以是具有圓弧的通常的螺旋形狀，也可以形成為從一端部朝另一端部側(cè)折返多次的形狀的線圈。
[0078]此外，如圖2 (C)所示，基板15的另一個(gè)主面是與本實(shí)施方式的石英振動(dòng)器和石英振蕩器的封裝接合一側(cè)的面(參照?qǐng)D4和圖5)。從連接端子34b向電感形成區(qū)域引出引導(dǎo)電極36，環(huán)繞至設(shè)置在一個(gè)主面的電感用電極圖案30的中央的端部的正下方，利用通孔等的層內(nèi)布線37與電感用電極圖案30電連接。由此，在基板15的基部17中，設(shè)置在一個(gè)主面的用于接合石英振動(dòng)片I的接合用端子32b與設(shè)置在基部17的連接端子34b之間，形成一個(gè)由電感用電極圖案30產(chǎn)生的電感。另外，在本實(shí)施方式中，為了增大振蕩器的頻率變動(dòng)幅度，不限于將石英振動(dòng)片I與電感用電極圖案30串聯(lián)連接的結(jié)構(gòu)，為了抑制振蕩器中的各電極之間的雜散電容等不需要的電容的影響，石英振動(dòng)片I和電感用電極圖案30也可以是并聯(lián)連接的結(jié)構(gòu)。
[0079](振動(dòng)元件)
[0080]接下來(lái)，根據(jù)附圖，對(duì)本實(shí)施方式的層疊并接合石英振動(dòng)片I和中間基板2而成的振動(dòng)元件進(jìn)行說(shuō)明。
[0081]圖3 (a)是從上側(cè)觀察作為本發(fā)明第I實(shí)施方式的振動(dòng)元件的石英振動(dòng)元件的一例的示意平面圖，圖3 (b)是圖3 (a)的C-C剖視圖。
[0082]如圖3所不,石央振動(dòng)兀件3在中間基板2上彳合載有石央振動(dòng)片I。使設(shè)直在中間基板2的一個(gè)主面的用于接合石英振動(dòng)片I的接合用端子32a、32b的位置對(duì)準(zhǔn)石英振動(dòng)片I的對(duì)應(yīng)的外部連接端子22a、22b，并利用接合部件40進(jìn)行接合。關(guān)于接合部件40，例如通過(guò)使用導(dǎo)電性粘接劑或焊料等導(dǎo)電性接合部件40，能夠在實(shí)現(xiàn)電連接的同時(shí)進(jìn)行機(jī)械接合。此外，通過(guò)接合部件40，將石英振動(dòng)片I的振動(dòng)部12配置成與中間基板2的形成有電感用電極圖案30的一個(gè)主面之間設(shè)有間隙。
[0083]另外，具有如下效果:在將具有與石英振動(dòng)片I相同的切割角度的石英基板作為中間基板2的基板15時(shí)，由于線性膨脹系數(shù)差不存在，層疊并接合石英振動(dòng)片I和中間基板2時(shí)產(chǎn)生的應(yīng)變較小，因此可獲得具有穩(wěn)定的頻率溫度特性的振動(dòng)元件。
[0084](振動(dòng)器)
[0085]圖4 (a)是從上側(cè)觀察作為本發(fā)明的第I實(shí)施方式的振動(dòng)器的石英振動(dòng)器的一例的示意平面圖，圖4 (b)是圖4 (a)的N-N剖視圖。另外，在圖4中，為了便于說(shuō)明石英振動(dòng)器的內(nèi)部結(jié)構(gòu)，示出了取下蓋部件的狀態(tài)。
[0086]石英振動(dòng)器4由石英振動(dòng)元件3、封裝主體60以及由金屬、陶瓷、玻璃等形成的蓋部件70構(gòu)成，其中，封裝主體60形成為矩形的盒狀，以容納石英振動(dòng)元件3。
[0087]如圖4(b)所示，封裝主體60是層疊第I基板61、第2基板62、密封圈68、安裝端子86而形成的。在第I基板61的外部底表面形成有多個(gè)安裝端子86。第2基板62是去除了中央部的環(huán)狀體，在第2基板62的上部周緣，形成有例如可伐等的密封圈68。
[0088]利用第2基板62形成容納石英振動(dòng)元件3的空腔65。在I基板61的上表面的預(yù)定的位置設(shè)置有多個(gè)元件搭載焊盤81，通過(guò)在第I基板61的內(nèi)部形成的導(dǎo)體(未圖示)，使該多個(gè)元件搭載焊盤81與安裝端子86電導(dǎo)通。在載置石英振動(dòng)元件3時(shí)，使元件搭載焊盤81與在中間基板2的基部17形成的連接端子34a、34b對(duì)應(yīng)地配置。
[0089]以上，所說(shuō)明的封裝主體60的第I基板61和第2基板62由陶瓷絕緣材料等構(gòu)成。此外，設(shè)置在封裝主體60上的各電極、端子或?qū)⑺鼈冸娺B接的布線圖案或?qū)觾?nèi)布線圖案等通常通過(guò)將鎢(W)、鑰(Mo)等的金屬布線材料進(jìn)行絲網(wǎng)印刷而燒結(jié)在陶瓷絕緣材料上，在其上進(jìn)行鎳(Ni)、金(Au)等的鍍覆而形成。
[0090]在支撐固定石英振動(dòng)元件3(安裝)時(shí)，首先，在與石英振動(dòng)元件3的連接端子34a、34b對(duì)應(yīng)的元件搭載焊盤81處、以及在與構(gòu)成石英振動(dòng)元件3的中間基板2的基部17相反一側(cè)的端部(圖4中的石英振動(dòng)元件3的右側(cè))對(duì)應(yīng)的位置處，涂布接合部件42和接合部件44、例如導(dǎo)電性粘接劑，在其上載置石英振動(dòng)元件3的連接端子34a、34b以及石英振動(dòng)元件3的中間基板2的端部并施加荷重。
[0091]接下來(lái)，為了使接合部件42和接合部件44固化，將其放入預(yù)定溫度的高溫爐中達(dá)預(yù)定的時(shí)間。在接合部件42和接合部件44硬化后，實(shí)施退火處理，在激勵(lì)電極20a上附加質(zhì)量或者減少質(zhì)量而進(jìn)行頻率調(diào)整。然后，將蓋部件70載置在封裝主體60的第2基板62的上表面形成的密封圈68上，在真空中或者氮?dú)鈿夥罩?，?duì)蓋部件70實(shí)施縫焊而進(jìn)行密封，從而完成石英振動(dòng)器4?；蛘?，也可采用如下方法:將蓋部件70載置在涂布在封裝主體60的上表面的低融點(diǎn)玻璃上，進(jìn)行溶融并密合。在該情況下，也使封裝主體60的空腔65內(nèi)成為真空或者填充有氮?dú)獾榷栊詺怏w，從而完成石英振動(dòng)器4。
[0092]另外，在本實(shí)施方式中，作為接合部件44，示出了使用導(dǎo)電性粘接劑的例子，但是在不需要電連接的情況下，也可以是非導(dǎo)電性粘接劑。此外，為了提高石英振動(dòng)元件3的安裝強(qiáng)度，采用了將石英振動(dòng)元件3的連接端子34a、34b的相反一側(cè)的端部接合的結(jié)構(gòu)，但是不限于此，也可以不進(jìn)行接合。
[0093](電子器件)
[0094]圖5 (a)是從上側(cè)觀察作為本發(fā)明的第I實(shí)施方式的電子器件的石英振蕩器的一例的不意平面圖，圖5 (b)是圖5 (a)的D-D首I]視圖。另夕卜，在圖5中，為了便于說(shuō)明石英振蕩器的內(nèi)部結(jié)構(gòu)，示出了取下蓋部件的狀態(tài)。
[0095]石英振蕩器5具有封裝主體60a、蓋部件70、石英振動(dòng)元件3以及搭載有激勵(lì)石英振動(dòng)元件3的振蕩電路的IC芯片50。
[0096]本實(shí)施方式的石英振蕩器5是將石英振動(dòng)片I和包含有振蕩電路的IC芯片50接合到封裝主體60a的內(nèi)部空腔65中進(jìn)行密封的、能夠表面安裝的所謂SMD(Surface MountDevice:表面貼裝設(shè)備)類型的單芯片石英振蕩器。此外，關(guān)于標(biāo)準(zhǔn)化為表面安裝部件的、SMD類型的石英振蕩器5，例如，如同利用筒狀的帽覆蓋與基板接合的石英振動(dòng)片來(lái)進(jìn)行密封這一類型的石英振動(dòng)器那樣，不需要配合外部基板的連接端子形狀來(lái)切斷和形成用于外部連接的引線，易于實(shí)現(xiàn)在外部基板上的搭載的自動(dòng)化，從而有利于安裝工序的簡(jiǎn)化和低成本化。
[0097]如圖5 (b)所示，封裝主體60a是層疊第I基板61、第2基板62、第3基板63、密封圈68以及安裝端子86而形成的。在第I基板61的外部底表面形成有多個(gè)安裝端子86。第2基板62和第3基板63是去除了中央部的環(huán)狀體，在第2基板62的上部周緣形成有例如可伐等的密封圈68。
[0098]通過(guò)第2基板62和第3基板63，形成容納石英振動(dòng)元件3的空腔65和容納IC芯片50的凹部66，該IC芯片50搭載有激勵(lì)石英振動(dòng)元件3的振蕩電路。在形成凹部66的凹入部分的第I基板61的上表面，設(shè)置有連接IC芯片50的多個(gè)IC接合端子84。在第3基板63的上表面的預(yù)定的位置，設(shè)置有利用在第I基板61和第3基板63的內(nèi)部形成的導(dǎo)體(未圖示)與安裝端子86電導(dǎo)通的多個(gè)元件搭載焊盤81。在載置石英振動(dòng)元件3時(shí)，使元件搭載焊盤81與在中間基板2的基部17形成的連接端子34a、34b對(duì)應(yīng)地配置。
[0099]以上，所說(shuō)明的封裝主體60a的第I基板61?第3基板63由陶瓷絕緣材料等構(gòu)成。此外，設(shè)置在封裝主體60a上的各電極、端子或者將它們電連接的布線圖案和層內(nèi)布線圖案等，通常通過(guò)將鎢(W)、鑰(Mo)等的金屬布線材料進(jìn)行絲網(wǎng)印刷而燒結(jié)在陶瓷絕緣材料上，并在其上施加鎳(Ni)、金(Au)等的鍍覆而形成。
[0100]圖5 (b)中，作為包含用于驅(qū)動(dòng)石英振動(dòng)片I而使其振動(dòng)的驅(qū)動(dòng)電路的半導(dǎo)體電路元件的IC芯片50，例如利用釬料或粘接劑與設(shè)置在封裝主體60a的凹部66的凹入部分的IC接合端子84接合。在本實(shí)施方式中，利用預(yù)先設(shè)置在IC芯片50的電極焊盤(未圖示)上的、由金屬或者焊料等構(gòu)成的凸點(diǎn)46，將IC芯片50面朝下接合到IC接合端子84上。利用面朝下接合而進(jìn)行的IC芯片50的接合有利于石英振蕩器5的薄型化(厚度降低)。另夕卜，在利用凸點(diǎn)46面朝下地接合IC芯片50后，在IC芯片50和封裝主體60a的凹部66的凹入部分之間填充填充材料并使之固化，由此,能夠進(jìn)一步提高IC芯片50的接合強(qiáng)度。此夕卜，在封裝主體60a上的IC芯片50的接合不限于面朝下接合，也可利用焊線等的其它IC安裝技術(shù)來(lái)進(jìn)行。
[0101]在中間基板2上接合石英振動(dòng)片I而得到的石英振動(dòng)元件3，在封裝主體60a的空腔65中，以與中間基板2的連接端子34a、34b所對(duì)應(yīng)的元件搭載焊盤81位置對(duì)準(zhǔn)的狀態(tài)，被例如導(dǎo)電性粘接劑等的導(dǎo)電性接合部件42和接合部件44所接合。另外，關(guān)于元件搭載焊盤81的位置和個(gè)數(shù)，不限于圖5所示的方式，可根據(jù)石英振動(dòng)片I和電感用電極圖案30的連接關(guān)系、以及石英振動(dòng)元件3和IC芯片50的連接關(guān)系適當(dāng)進(jìn)行變更。此外，關(guān)于石英振動(dòng)元件3和元件搭載焊盤81的連接，不限于面朝下接合，可通過(guò)焊線進(jìn)行連接，或者，也可通過(guò)面朝下接合和焊線的組合進(jìn)行連接。此外，也可構(gòu)成為在石英振動(dòng)片I的接合用端子32a、32b和元件搭載焊盤81之間直接進(jìn)行焊線。
[0102]由此，在包含有使石央振動(dòng)片I進(jìn)彳丁振湯的振湯電路的IC芯片50和石央振動(dòng)片I之間，能夠通過(guò)中間基板2的電感用電極圖案30而串聯(lián)連接。圖6是示出經(jīng)由石英振蕩器中的石英振動(dòng)片I和IC芯片50之間的電感用電極圖案30的電路的一例的電路圖。如圖6所示，在石英振蕩器中，IC芯片50具有端子50a、50b，在這兩個(gè)端子之間，石英振動(dòng)片I和電感用電極圖案30的串聯(lián)電路可以構(gòu)成為，使端子50a與石英振動(dòng)片I連接，使端子50b與電感用電極圖案30連接。
[0103]此外，石英振動(dòng)片I配置于封裝主體60a，該石英振動(dòng)片I與IC芯片50之間隔著設(shè)置有電感用電極圖案30的中間基板2。
[0104]另外，在用于接合石英振動(dòng)元件3和封裝主體60a的接合部件42和接合部件44中，導(dǎo)電性接合部件42例如可使用在聚酰亞胺、硅類或環(huán)氧樹(shù)脂類等的樹(shù)脂中混入銀(Ag)絲或鎳(Ni)粉而得到的導(dǎo)電性粘接劑等。
[0105]在接合有IC芯片50和石英振動(dòng)元件3的封裝主體60a的第2基板62上，接合有蓋部件70。具體而言，例如，42合金(尤其包含42%鎳的鐵鎳合金)或可伐(鐵、鎳以及鈷的合金)等的金屬制造的蓋部件70通過(guò)將鐵-鎳(Fe-Ni)合金等沖切成框狀而形成的密封圈68進(jìn)行縫焊。另外，除上述金屬以外，蓋部件70可使用陶瓷或玻璃等，例如，在使用玻璃制造的蓋部件70的情況下，使用低融點(diǎn)玻璃作為接合部件等，可根據(jù)蓋部件70的材料適當(dāng)?shù)剡x擇接合部件，進(jìn)行封裝主體60a與蓋部件70的接合。
[0106]由封裝主體60a和蓋部件70形成的空腔65是用于石英振動(dòng)片I進(jìn)行動(dòng)作的空間。在本實(shí)施方式的石英振蕩器5中，該空腔65能夠在減壓空間或者惰性氣體氣氛中進(jìn)行密閉密封。例如，在將空腔65內(nèi)部變成減壓空間而進(jìn)行密閉密封時(shí)，在封裝主體60a的未圖示的密封孔中配置有固體的密封材料的狀態(tài)下，放入真空室內(nèi)，減壓至預(yù)定的真空度，從密封孔排出從石英振蕩器5內(nèi)側(cè)放出的氣體后，通過(guò)將固體的密封材料溶融后固化來(lái)閉塞密封孔，由此進(jìn)行密封。由此，能夠?qū)雍系椒庋b主體60a的凹部66內(nèi)部的石英振動(dòng)片I和IC芯片50進(jìn)行氣密密封。
[0107]另外，作為密封材料的材料，優(yōu)選其融點(diǎn)溫度比將完成后的石英振蕩器5安裝到外部安裝基板時(shí)的回焊溫度高，例如，可使用金和錫(Sn)的合金、或者金和鍺(Ge)的合金
坐寸ο
[0108]根據(jù)上述實(shí)施方式的石英振蕩器5，封裝主體60a內(nèi)部具有作為包含振蕩電路的半導(dǎo)體電路元件的IC芯片50、與作為壓電振動(dòng)片的石英振動(dòng)片I連接的電感用電極圖案30，因而能夠提供作為因單封裝結(jié)構(gòu)而提高了可靠性的、頻率變動(dòng)幅度大的單芯片的壓電振蕩器的石英振蕩器5。
[0109]尤其是，在上述實(shí)施方式的石英振蕩器5中，由于串聯(lián)連接有電感用電極圖案30和石英振動(dòng)片1，因而能夠更明顯地發(fā)揮因在石英振蕩器5的振蕩環(huán)中插入電感而產(chǎn)生的增大頻率變動(dòng)幅度的效果。
[0110]此外，由于構(gòu)成為在形成電感用電極圖案30的中間基板2上搭載有石英振動(dòng)片I，因而，能夠提供利用通用封裝而振蕩特性穩(wěn)定的單芯片的石英振蕩器5。
[0111]此外，由于在IC芯片50和石英振動(dòng)片I之間配置了形成有電感用電極圖案30的中間基板2，因而能夠使中間基板2發(fā)揮屏蔽效果、抑制由IC芯片50和石英振動(dòng)片I的電極之間的雜散電容而導(dǎo)致的對(duì)振蕩特性的影響。
[0112](中間基板的變形例I)
[0113]圖9是說(shuō)明圖2的中間基板的變形例的圖，圖9 Ca)是從上側(cè)觀察本發(fā)明的第2實(shí)施方式的中間基板的結(jié)構(gòu)的示意平面圖，圖9 (b)是圖9 (a)的E-E剖視圖，圖9 (c)是從下側(cè)觀察圖9 (a)的示意平面圖。
[0114]如圖9所示，本變形例的中間基板102具有基板115、電感用電極圖案130、用于接合石英振動(dòng)片I的接合用端子132a、132b以及連接端子134a、134b，其結(jié)構(gòu)與圖2所示的實(shí)施方式的中間基板2相同，電感用電極圖案130和石英振動(dòng)片I的接合用端子132a、132b之間的間隔與石英振動(dòng)片I的長(zhǎng)度是幾乎相同的長(zhǎng)度。
[0115]基板115的一個(gè)主面是搭載石英振動(dòng)片I的面，形成有電感用電極圖案130、接合用端子132a、132b以及連接端子134a、134b，分別通過(guò)引導(dǎo)電極131,133電連接。此外，在基板115的另一個(gè)主面上形成有連接端子134a、134b，從連接端子134b引出引導(dǎo)電極136，使引導(dǎo)電極136通過(guò)基于通孔的層內(nèi)布線37與設(shè)置在一個(gè)主面的電感用電極圖案30電連接，。
[0116]由于中間基板102的電感用電極圖案130和石英振動(dòng)片I的接合用端子132a、132b之間的間隔變大，因此，在層疊并接合石英振動(dòng)片I和中間基板102而構(gòu)成石英振動(dòng)元件的情況下，能夠使石英振動(dòng)片I的激勵(lì)電極20b和電感用電極圖案130不重合。
[0117](石英振動(dòng)元件的變形例I)
[0118]圖10是說(shuō)明石英振動(dòng)元件的變形例的圖，圖10 (a)是從上側(cè)觀察本發(fā)明的第2實(shí)施方式的石英振動(dòng)元件的結(jié)構(gòu)的示意平面圖，圖10 (b)是圖10 (a)的F-F剖視圖。
[0119]如圖10所示，本變形例的石英振動(dòng)元件103將石英振動(dòng)片I搭載在作為圖2所示的實(shí)施方式的中間基板2的變形例的中間基板102上。使設(shè)置在中間基板102的一個(gè)主面的用于接合石英振動(dòng)片I的接合用端子132a、132b與石英振動(dòng)片I的對(duì)應(yīng)的外部連接端子22a、22b位置對(duì)準(zhǔn)，并利用接合部件40進(jìn)行接合。此外，利用接合部件40將石英振動(dòng)片I的振動(dòng)部12配置成與中間基板102的形成有電感用電極圖案130的一個(gè)主面之間設(shè)有間隙。
[0120]在石英振動(dòng)元件103中，設(shè)置在中間基板102的一個(gè)主面的電感用電極圖案130與石英振動(dòng)片I的接合用端子132a、132b之間的間隔變大。因此，在中間基板102上接合有石英振動(dòng)片I的情況下，由于石英振動(dòng)片I的激勵(lì)電極20b和電感用電極圖案130不重合，因此能夠避免激勵(lì)電極20b和電感用電極圖案130的電極之間的雜散電容。
[0121](中間基板的變形例2)
[0122]圖11是說(shuō)明中間基板的變形例的圖，圖11 Ca)是從上側(cè)觀察本發(fā)明的第3實(shí)施方式的中間基板的結(jié)構(gòu)的示意平面圖，圖11 (b)是圖11 (a)的G-G剖視圖，圖11 (c)是從下側(cè)觀察圖11 (a)的示意平面圖。[0123]如圖11 (a)所示，在本變形例的中間基板202中，基板215的一個(gè)主面?zhèn)鹊慕Y(jié)構(gòu)與圖2所示的實(shí)施方式的中間基板2的結(jié)構(gòu)完全相同。即，在基板215上形成有電感用電極圖案230a、用于接合石英振動(dòng)片I的接合用端子232a、232b以及連接端子234a、234b。
[0124]此外，如圖11 (C)所示，在基板215的另一個(gè)主面中，從連接端子234b引出引導(dǎo)電極233b，使引導(dǎo)電極233b與在電感形成區(qū)域形成的電感用電極圖案230b連接。
[0125]在另一個(gè)主面上形成的電感用電極圖案230b和在一個(gè)主面形成的電感用電極圖案230a，以相同的形狀和配置形成為在俯視時(shí)重合。這樣，能夠抑制在兩個(gè)主面的電感用電極圖案230a、230b的形狀和配置發(fā)生偏離的情況下，例如在矩形的螺旋狀的旋轉(zhuǎn)方向相反的情況下，由電感用電極圖案彼此之間的電感發(fā)生相互抵消而導(dǎo)致的頻率變動(dòng)靈敏度下降等的問(wèn)題。
[0126]在中間基板202的兩個(gè)主面上形成的電感用電極圖案230a和電感用電極圖案230b在電感形成區(qū)域的中央部，通過(guò)通孔等的層內(nèi)布線237電連接。由此，能夠提供如下中間基板202:在從設(shè)置在一個(gè)主面的用于接合石英振動(dòng)片I的接合用端子232b到設(shè)置在另一個(gè)主面的連接端子234b之間，兩個(gè)電感用電極圖案230a、230b串聯(lián)連接。
[0127]根據(jù)本變形例的中間基板202，在中間基板202的兩個(gè)主面上形成的兩個(gè)電感用電極圖案230a、230b以串聯(lián)連接的狀態(tài)形成，由此，與僅在中間基板的一個(gè)面設(shè)置電感用電極圖案的情況相比，能夠在不增大中間基板的尺寸的情況下提高因電感用電極圖案230a、230b產(chǎn)生的頻率變動(dòng)幅度變大的效果。
[0128](石英振動(dòng)元件的變形例2)
[0129]圖12是說(shuō)明石英振動(dòng)元件的變形例的圖，圖12 Ca)是從上側(cè)觀察本發(fā)明的第3實(shí)施方式的石英振動(dòng)元件的結(jié)構(gòu)的示意平面圖，圖12 (b)是圖12 (a)的H-H剖視圖。
[0130]如圖12所示，本變形例的石英振動(dòng)元件203將石英振動(dòng)片I搭載在作為圖2所示的實(shí)施方式的中間基板2的變形例的中間基板202上。使設(shè)置在中間基板202的一個(gè)主面的用于接合石英振動(dòng)片I的接合用端子232a、232b與石英振動(dòng)片I的對(duì)應(yīng)的外部連接端子22a、22b位置對(duì)準(zhǔn)，并利用接合部件40進(jìn)行接合。此外，利用接合部件40，將石英振動(dòng)片I的振動(dòng)部12配置成與中間基板202的形成有電感用電極圖案230a的一個(gè)主面之間設(shè)有間隙。
[0131]在石英振動(dòng)元件203中，由于設(shè)置在中間基板202的兩個(gè)主面的電感用電極圖案230a、230b以串聯(lián)連接的狀態(tài)形成，因而與圖3所示的實(shí)施方式的石英振動(dòng)元件3相比，能夠獲得更大的頻率變動(dòng)幅度。
[0132](中間基板的變形例3)
[0133]圖13是說(shuō)明中間基板的變形例的圖，圖13 Ca)是從上側(cè)觀察本發(fā)明的第4實(shí)施方式的中間基板的結(jié)構(gòu)的示意平面圖，圖13 (b)是圖13 Ca)的1-1剖視圖，圖13 (c)是從下側(cè)觀察圖13 Ca)的示意平面圖。
[0134]如圖13所示，本變形例的中間基板302具有基板315、屏蔽電極340、用于接合石英振動(dòng)片I的接合用端子332a、332b、連接端子334a、334b以及電感用電極圖案330。
[0135]基板315的一個(gè)主面是搭載石英振動(dòng)片I的面，形成有屏蔽電極340、焊盤電極341、接合用端子332a、332b、連接端子334a、334b以及引導(dǎo)電極333a、333b。
[0136]在基板315的另一個(gè)主面上，形成有電感用電極圖案330、焊盤電極343、連接端子334a、334b以及引導(dǎo)電極331b、336。電感用電極圖案330和連接端子334b，通過(guò)引導(dǎo)電極336電連接。另外，為了防止電感用電極圖案330和引導(dǎo)電極336短路，在電感用電極圖案330上形成有絕緣膜55、例如硅氧化膜。
[0137]在基板315的兩個(gè)主面上形成的連接端子334a、334b、引導(dǎo)電極331b、333b以及焊盤電極341、343分別通過(guò)側(cè)面電極335a、335b、337b、342電連接。
[0138]在中間基板302中，由于在搭載有石英振動(dòng)片I的面上形成有屏蔽電極340，因此，在層疊并接合石英振動(dòng)片I和中間基板102而構(gòu)成石英振動(dòng)元件的情況下，能夠利用屏蔽電極340防止石英振動(dòng)片I的激勵(lì)電極20b和電感用電極圖案330的電極之間的雜散電容的影響。
[0139]另外，在本變形例的中間基板302中，使接合用端子332a、332b形成在形成有屏蔽電極340的面上，但是，也可以構(gòu)成為使接合用端子332a、332b形成在形成有電感用電極圖案330的面上，其中，該電感用電極圖案330具有利用絕緣膜55來(lái)防止短路的結(jié)構(gòu)。
[0140]此外，也可以構(gòu)成為:與圖2所示的實(shí)施方式的中間基板2同樣，在相同的面上形成有電感用電極圖案330與接合用端子332a、332b，但不形成屏蔽電極340，其中，所述電感用電極圖案330具有利用絕緣膜55來(lái)防止短路的結(jié)構(gòu)。
[0141](石英振動(dòng)元件的變形例3)
[0142]圖14是說(shuō)明石英振動(dòng)元件的變形例的圖，圖14 Ca)是從上側(cè)觀察本發(fā)明的第4實(shí)施方式的石英振動(dòng)元件的結(jié)構(gòu)的示意平面圖，圖14 (b)是圖14 Ca)的J-J剖視圖。
[0143]如圖14所示，本變形例的石英振動(dòng)元件303將石英振動(dòng)片I搭載在作為圖2所示的實(shí)施方式的中間基板2的變形例的中間基板302上。使設(shè)置在中間基板302的一個(gè)主面的用于接合石英振動(dòng)片I的接合用端子332a、332b與石英振動(dòng)片I的對(duì)應(yīng)的外部連接端子22a、22b位置對(duì)準(zhǔn)，并利用接合部件40進(jìn)行接合。此外，利用接合部件40，將石英振動(dòng)片I的振動(dòng)部12配置成與中間基板302的形成有屏蔽電極340的一個(gè)主面之間設(shè)有間隙。
[0144]在石英振動(dòng)元件303中，由于在搭載有中間基板302的石英振動(dòng)片I的面上形成有屏蔽電極340，因此，能夠抑制由石英振動(dòng)片I的激勵(lì)電極20b和電感用電極圖案330的電極之間的雜散電容導(dǎo)致的、對(duì)振蕩特性的不良影響。
[0145]另外，在本變形例的石英振動(dòng)元件303中，如果采用在形成有電感用電極圖案330的面上形成有接合用端子332a、332b的中間基板(未圖示)，則在搭載有石英振動(dòng)片I的面上形成電感用電極圖案330，在與IC芯片50相對(duì)的面上形成屏蔽電極340，因而，在構(gòu)成石英振蕩器時(shí)，能夠抑制由電感用電極圖案330和IC芯片50的電極之間的雜散電容導(dǎo)致的、對(duì)振蕩特性的不良影響，其中，所述電感用電極圖案330具有利用絕緣膜55來(lái)防止短路的結(jié)構(gòu)。
[0146]此外，如果使用在相同的面上形成有電感用電極圖案330和接合用端子332a、332b、但沒(méi)有形成屏蔽電極340的中間基板(未圖示)來(lái)構(gòu)成石英振動(dòng)元件，并用于石英振蕩器，則能夠獲得與圖5所示的實(shí)施方式的石英振蕩器5相同的特性，其中，所述電感用電極圖案330具有利用絕緣膜55來(lái)防止短路的結(jié)構(gòu)。
[0147](石英振蕩器的變形例I)
[0148]圖15是說(shuō)明石英振蕩器的變形例的圖，圖15 Ca)是從上側(cè)觀察本發(fā)明的第4實(shí)施方式的石英振蕩器的結(jié)構(gòu)的示意平面圖，圖15 (b)是圖15 (a)的K-K剖視圖。另外，圖15中，為了便于說(shuō)明石英振蕩器的內(nèi)部結(jié)構(gòu)，示出了取下蓋部件的狀態(tài)。
[0149]如圖15所示，本變形例的石英振蕩器501搭載有作為圖3所示的實(shí)施方式的石英振動(dòng)元件3的變形例的石英振動(dòng)元件303，因此，封裝主體60b的結(jié)構(gòu)的一部分與圖5所示的實(shí)施方式的石英振蕩器5不同。另外，對(duì)于與圖5所不的實(shí)施方式的石英振蕩器5相同的結(jié)構(gòu)，省略其說(shuō)明。
[0150]石英振蕩器501具有封裝主體60b、蓋部件70、石英振動(dòng)元件303以及IC芯片50，所述IC芯片50搭載有激勵(lì)石英振動(dòng)元件303的振蕩電路。
[0151]在封裝主體60b中，為了使設(shè)置在石英振動(dòng)元件303的中間基板302上的屏蔽電極340與封裝主體60b的安裝端子86之一的接地端子電連接，在第3基板63b的上表面上形成有元件搭載焊盤82。另外，通過(guò)在第I基板61和第3基板63b內(nèi)部形成的導(dǎo)體(未圖示)，使作為接地端子的安裝端子86和元件搭載焊盤82電導(dǎo)通。在載置石英振動(dòng)元件303時(shí)，使元件搭載焊盤81與在中間基板302上形成的連接端子334a、334b對(duì)應(yīng)地配置，在載置石英振動(dòng)元件303時(shí)，使元件搭載焊盤82與在中間基板302上形成的焊盤電極343對(duì)應(yīng)地配置。
[0152]石英振動(dòng)元件303在被位置對(duì)準(zhǔn)成連接端子334a、334b和焊盤電極343與封裝主體60b的元件搭載焊盤81、82對(duì)應(yīng)的狀態(tài)下，例如利用導(dǎo)電性粘接劑等的導(dǎo)電性接合部件42和接合部件44進(jìn)行接合。
[0153]由此，搭載有具有屏蔽電極340的石英振動(dòng)元件303的石英振蕩器501能夠避免石英振動(dòng)片I的激勵(lì)電極20b和電感用電極圖案330的電極之間的雜散電容以及石英振動(dòng)片I的激勵(lì)電極20b和IC芯片50的電極之間的雜散電容，因而能夠獲得具有穩(wěn)定的振蕩特性的、頻率變動(dòng)幅度大的石英振蕩器。
[0154](石英振動(dòng)片的變形例I)
[0155]圖16是說(shuō)明石英振動(dòng)片的變形例的圖，圖16 Ca)是從上側(cè)觀察本發(fā)明的第5實(shí)施方式的石英振動(dòng)片的結(jié)構(gòu)的示意平面圖，圖16 (b)是圖16 Ca)的L-L剖視圖。
[0156]如圖16(a)所示，圖1所示的實(shí)施方式的石英振動(dòng)片I的變形例的石英振動(dòng)片101具有石英基板110、激勵(lì)電極120a、120b以及外部連接端子122a、122b。石英基板110具有作為固定端的支撐部114以及作為自由端的振動(dòng)部112。此處，本變形例的振動(dòng)部112是指被在石英基板110的兩個(gè)主面上形成的臺(tái)面部116包圍的區(qū)域。此外，支撐部114是指振動(dòng)部112和石英振動(dòng)片101的固定端(左側(cè))之間的區(qū)域。在振動(dòng)部112的兩個(gè)主面上，對(duì)置地設(shè)置有一對(duì)激勵(lì)電極120a、120b。此外，在支撐部114的兩個(gè)主面上，設(shè)置有與各激勵(lì)電極120a、120b分別對(duì)應(yīng)的外部連接端子122a、122b，相對(duì)應(yīng)的各激勵(lì)電極120a、120b和外部連接端子122a、122b彼此通過(guò)引導(dǎo)電極121a、121b電連接。此外，對(duì)置地設(shè)置在支撐部114的兩個(gè)主面上的外部連接端子122a、122b分別通過(guò)側(cè)面電極123a、123b電連接。
[0157]在石英振動(dòng)片101中，由于是在石英基板110的兩個(gè)主面上形成有臺(tái)面部116的臺(tái)面結(jié)構(gòu)，因此能夠避免與輪廓系統(tǒng)寄生信號(hào)的耦合，僅保持主振動(dòng)的振動(dòng)能量，從而能夠使Cl較小，抑制共振頻率附近的寄生信號(hào)。
[0158](石英振動(dòng)元件的變形例4)
[0159]圖17是說(shuō)明石英振動(dòng)元件的變形例的圖，圖17 Ca)是從上側(cè)觀察本發(fā)明的第5實(shí)施方式的石英振動(dòng)元件的結(jié)構(gòu)的示意平面圖，圖17 (b)是圖17 (a)的M-M剖視圖。[0160]如圖17所示,本變形例的石英振動(dòng)元件304在中間基板2上搭載有作為圖1所示的實(shí)施方式的石英振動(dòng)片I的變形例的石英振動(dòng)片101。使設(shè)置在中間基板2的一個(gè)主面的用于接合石英振動(dòng)片101的接合用端子32a、32b與石英振動(dòng)片101的對(duì)應(yīng)的外部連接端子122a、122b位置對(duì)準(zhǔn)，并利用接合部件40進(jìn)行接合。此外，利用接合部件40，將石英振動(dòng)片101的振動(dòng)部112配置成與中間基板2的形成有電感用電極圖案30的一個(gè)主面之間設(shè)有間隙。
[0161]在石英振動(dòng)元件304中，由于在石英振動(dòng)片101的振動(dòng)部112上形成有臺(tái)面部116，因此能夠避免與輪廓系統(tǒng)寄生信號(hào)的耦合，僅保持主振動(dòng)的振動(dòng)能量，從而能夠作成Cl較小、且抑制共振頻率附近的寄生信號(hào)的振動(dòng)元件。
[0162](石英振動(dòng)片的變形例2)
[0163]圖18是說(shuō)明石英振動(dòng)片的變形例的圖，圖18 Ca)是從上側(cè)觀察本發(fā)明的第6實(shí)施方式的石英振動(dòng)片的結(jié)構(gòu)的示意平面圖，圖18 (b)是圖18 (a)的0-0剖視圖。
[0164]如圖18 (a)所示，作為圖1所示的實(shí)施方式的石英振動(dòng)片I的變形例的石英振動(dòng)片201具有石英基板210、激勵(lì)電極220a、220b以及外部連接端子222a、222b。石英基板210具有作為固定端的支撐部214以及作為自由端的振動(dòng)部212。此處，本變形例的振動(dòng)部212是指夾在石英基板210的一個(gè)主面上形成的凹部216的內(nèi)陷部與沒(méi)有形成凹部216 —側(cè)的主面之間的區(qū)域。此外，支撐部214是指夾在石英基板210的兩個(gè)主面之間的厚的部分、并且位于振動(dòng)部212和石英振動(dòng)片201的固定端(左側(cè))之間的區(qū)域。在振動(dòng)部212的兩個(gè)主面上，對(duì)置地設(shè)置有一對(duì)激勵(lì)電極220a、220b。此外，在支撐部214的兩個(gè)主面上，設(shè)置有與各激勵(lì)電極220a、220b分別對(duì)應(yīng)的外部連接端子222a、222b，相對(duì)應(yīng)的各激勵(lì)電極220a、220b和外部連接端子222a、222b彼此通過(guò)引導(dǎo)電極221a、221b電連接。此外，對(duì)置地設(shè)置在支撐部214的兩個(gè)主面上的外部連接端子222a、222b分別通過(guò)側(cè)面電極223a、223b電連接。
[0165]由于石英振動(dòng)片201構(gòu)成為在振動(dòng)部212上形成有凹部216的逆臺(tái)面，因此能夠使振動(dòng)部212非常薄，實(shí)現(xiàn)高頻化。此外，由于能夠利用與振動(dòng)部212 —體化的厚部來(lái)進(jìn)行安裝，因此能夠期望優(yōu)異的耐沖擊性和耐振動(dòng)性。
[0166](石英振動(dòng)元件的變形例5)
[0167]圖19是說(shuō)明石英振動(dòng)元件的變形例的圖，圖19 Ca)是從上側(cè)觀察本發(fā)明的第6實(shí)施方式的石英振動(dòng)元件的結(jié)構(gòu)的示意平面圖，圖19 (b)是圖19 Ca)的P-P剖視圖。
[0168]如圖19所示，本變形例的石英振動(dòng)元件305在中間基板2上搭載有作為圖1所示的實(shí)施方式的石英振動(dòng)片I的變形例的石英振動(dòng)片201。使設(shè)置在中間基板2的一個(gè)主面的用于接合石英振動(dòng)片201的接合用端子32a、32b與石英振動(dòng)片201的對(duì)應(yīng)的外部連接端子222a、222b位置對(duì)準(zhǔn)，并利用接合部件40進(jìn)行接合。此外，利用接合部件40，將石英振動(dòng)片201的振動(dòng)部212配置為與中間基板2的形成有電感用電極圖案30的一個(gè)主面之間設(shè)有間隙。
[0169]由于石英振動(dòng)元件305在石英振動(dòng)片201的振動(dòng)部212上形成有凹部216，因此，能夠成為高頻的振動(dòng)元件，能夠利用與振動(dòng)部212 —體化的厚部進(jìn)行安裝，從而能夠作成耐沖擊性和耐振動(dòng)性優(yōu)異的高可靠性的振動(dòng)元件。
[0170]接下來(lái)，基于圖20?圖22，對(duì)應(yīng)用了作為本發(fā)明第I實(shí)施方式的振動(dòng)元件的一例的石英振動(dòng)元件的電子設(shè)備進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。
[0171]圖20是示出作為電子設(shè)備的移動(dòng)型(或者筆記本型)個(gè)人計(jì)算機(jī)的結(jié)構(gòu)的立體圖，其具有作為本發(fā)明一個(gè)實(shí)施方式的振動(dòng)元件的一例的石英振動(dòng)元件。在該圖中，個(gè)人計(jì)算機(jī)1100由具有鍵盤1102的主體部1104和具有顯示部100的顯示單元1106構(gòu)成，顯示單元1106通過(guò)鉸鏈結(jié)構(gòu)部被支撐為可相對(duì)于主體部1104轉(zhuǎn)動(dòng)。這樣的個(gè)人計(jì)算機(jī)1100中內(nèi)置有可作為濾波器、諧振器、基準(zhǔn)時(shí)鐘等而工作的石英振動(dòng)元件3。
[0172]圖21是示出作為電子設(shè)備的移動(dòng)電話機(jī)(PHS)的結(jié)構(gòu)的立體圖，其具有作為本發(fā)明第I實(shí)施方式的振動(dòng)元件的一例的石英振動(dòng)元件。在該圖中，移動(dòng)電話機(jī)1200具有多個(gè)操作按鈕1202、聽(tīng)筒1204以及送話口 1206，在操作按鈕1202和聽(tīng)筒1204之間，配置有顯示部100。在這樣的移動(dòng)電話機(jī)1200中內(nèi)置有作為濾波器、諧振器等的至少一個(gè)而工作的石英振動(dòng)元件3。
[0173]圖22是示出作為電子設(shè)備的數(shù)碼照相機(jī)的結(jié)構(gòu)的立體圖，其具有作為本發(fā)明第I實(shí)施方式的振動(dòng)元件的一例的石英振動(dòng)元件。另外，該圖還簡(jiǎn)易地示出與外部設(shè)備的連接。此處，相對(duì)于普通相機(jī)利用被攝體的光圖像使銀鹽照相膠卷感光的情況，數(shù)碼照相機(jī)1300利用CCD (Charge Coupled Device:電荷稱合器件)等的攝像元件對(duì)被攝體的光像進(jìn)行光電轉(zhuǎn)換，生成攝像信號(hào)(圖像信號(hào))。
[0174]在數(shù)碼照相機(jī)1300的殼體(主體)1302的背面設(shè)置有顯示部100，構(gòu)成為根據(jù)由CCD產(chǎn)生的攝像信號(hào)進(jìn)行顯示，顯示部100可作為將被攝體作為電子圖像進(jìn)行顯示的取景器來(lái)工作。此外，在殼體1302的正面?zhèn)?圖中的里面?zhèn)?設(shè)置有包含有光學(xué)鏡頭(攝像光學(xué)系統(tǒng))和CXD等的受光單元1304。
[0175]拍攝者確認(rèn)顯示部100中顯示的被攝體圖像，在按下快門按鈕1306時(shí)，此時(shí)的CXD的攝像信號(hào)被傳送并存儲(chǔ)到存儲(chǔ)器1308中。此外，在該數(shù)碼照相機(jī)1300中，在殼體1302的側(cè)面設(shè)置有視頻信號(hào)輸出端子1312、數(shù)據(jù)通信用輸入/輸出端子1314。進(jìn)而，如圖所示，分別根據(jù)需要，視頻信號(hào)輸出端子1312與電視監(jiān)視器1430連接，數(shù)據(jù)通信用輸入/輸出端子1314與個(gè)人計(jì)算機(jī)(PC)1440連接。此外，構(gòu)成為:通過(guò)預(yù)定的操作，將存儲(chǔ)器1308中存儲(chǔ)的攝像信號(hào)輸出到電視監(jiān)視器1430或個(gè)人計(jì)算機(jī)1440中。在這樣的數(shù)碼照相機(jī)1300中內(nèi)置有作為濾波器、諧振器等而工作的石英振動(dòng)元件3。
[0176]另外，具有作為本發(fā)明第I實(shí)施方式的振動(dòng)元件的一例的石英振動(dòng)元件的電子器件，除了圖20的個(gè)人計(jì)算機(jī)(移動(dòng)型個(gè)人計(jì)算機(jī))、圖21的移動(dòng)電話機(jī)以及圖22的數(shù)碼照相機(jī)之外，例如，還能夠應(yīng)用于噴射式噴出裝置(例如噴墨打印機(jī))、筆記本電腦型個(gè)人計(jì)算機(jī)、電視機(jī)、攝像機(jī)、錄像機(jī)、汽車導(dǎo)航裝置、呼叫器、電子助理(附帶通信功能)、電子詞典、計(jì)算器、電子游戲設(shè)備、文字處理器、工作站、可視電話、安保用電視監(jiān)視器、電子望遠(yuǎn)鏡、POS終端、醫(yī)療裝置(例如電子體溫計(jì)、血壓計(jì)、血糖計(jì)、心電圖測(cè)量裝置、超音波診斷裝置、電子內(nèi)視鏡)、魚(yú)群探測(cè)機(jī)、各種測(cè)量設(shè)備、儀器儀表(例如、車輛、飛機(jī)、船舶的儀器儀表)、飛行模擬器等。
[0177]圖23是示意地示出作為移動(dòng)體的一具體例的汽車2106的立體圖。在該圖中，在控制輪胎2109的電子控制單元2108中內(nèi)置有石英振動(dòng)元件3，搭載在車體2107上。
[0178]在汽車2106中搭載有具有本發(fā)明的振動(dòng)元件的振動(dòng)器和電子器件，例如，能夠廣泛應(yīng)用于無(wú)鑰匙進(jìn)入、防盜器、汽車導(dǎo)航系統(tǒng)、汽車空調(diào)機(jī)、防抱死制動(dòng)系統(tǒng)(ABS =AntilockBrake System)、安全氣囊、輪胎壓力監(jiān)測(cè)系統(tǒng)(TPMS:Tire Pressure MonitoringSystem)、發(fā)動(dòng)機(jī)控制、混合動(dòng)力汽車和電動(dòng)汽車的電池監(jiān)視器、車體姿勢(shì)控制系統(tǒng)等的電子控制單兀(ECU !electron ic control unit) 2108。
【權(quán)利要求】
1.一種振動(dòng)元件，其特征在于，該振動(dòng)元件包含: 振動(dòng)片，其包含振動(dòng)部以及設(shè)置在所述振動(dòng)部的兩個(gè)主面上的激勵(lì)電極； 中間基板，其以與所述激勵(lì)電極之間設(shè)有間隙的方式安裝有所述振動(dòng)片；以及 設(shè)置在所述中間基板上的螺旋狀的電極圖案， 所述電極圖案與所述激勵(lì)電極電連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的振動(dòng)元件，其特征在于， 所述電極圖案和所述激勵(lì)電極串聯(lián)連接或并聯(lián)連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的振動(dòng)元件，其特征在于， 所述電極圖案和所述激勵(lì)電極被配置成俯視時(shí)不重合。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的振動(dòng)元件，其特征在于， 在所述中間基板的相互處于表里關(guān)系的兩個(gè)主面上設(shè)置有所述電極圖案，所述電極圖案彼此串聯(lián)連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的振動(dòng)元件，其特征在于， 在所述中間基板的相互處于表里關(guān)系的兩個(gè)主面中的一個(gè)主面上設(shè)置有所述電極圖案，在另一個(gè)主面上設(shè)置有屏蔽電極，所述另一個(gè)主面與所述激勵(lì)電極相對(duì)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的振動(dòng)元件，其特征在于， 所述振動(dòng)片還包含: 外緣部，其與所述振動(dòng)部的外緣一體化，厚度比所述振動(dòng)部薄。
7.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的振動(dòng)元件，其特征在于， 所述振動(dòng)片還包含: 外緣部，其與所述振動(dòng)部的外緣一體化，厚度比所述振動(dòng)部厚。
8.一種振動(dòng)器，其特征在于，該振動(dòng)器具有: 權(quán)利要求1或2所述的振動(dòng)元件；以及 通過(guò)安裝所述中間基板而搭載有所述振動(dòng)元件的封裝。
9.一種電子器件，其特征在于，該電子器件具有 權(quán)利要求1或2所述的振動(dòng)元件； 通過(guò)安裝所述中間基板而搭載有所述振動(dòng)元件的封裝；以及 激勵(lì)所述振動(dòng)部的振蕩電路。
10.一種電子器件，其特征在于，該電子器件具有: 權(quán)利要求5所述的振動(dòng)元件； 通過(guò)安裝所述中間基板而搭載有所述振動(dòng)元件的封裝；以及 激勵(lì)所述振動(dòng)部的振蕩電路， 所述屏蔽電極與所述封裝的接地端子連接。
11.一種電子設(shè)備，其特征在于， 所述電子設(shè)備具有權(quán)利要求1或2所述的振動(dòng)元件。
12.—種移動(dòng)體，其特征在于， 所述移動(dòng)體具有權(quán)利要求1或2所述的振動(dòng)元件。
【文檔編號(hào)】H03H9/17GK103490744SQ201310233510
【公開(kāi)日】2014年1月1日 申請(qǐng)日期:2013年6月13日 優(yōu)先權(quán)日:2012年6月13日
【發(fā)明者】石井修, 野村昌生 申請(qǐng)人:精工愛(ài)普生株式會(huì)社