振動(dòng)器件、電子器件、電子設(shè)備以及移動(dòng)體的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供振動(dòng)器件、電子器件、電子設(shè)備以及移動(dòng)體。作為課題，提供一種振動(dòng)器件，其通過減小由于安裝基板的變形而對振動(dòng)片施加的應(yīng)力的影響，使得振動(dòng)特性穩(wěn)定。本發(fā)明的振動(dòng)器件包含：底座基板，其具有安裝到安裝基板上的固定部和自由端；振動(dòng)元件，其一端與位于所述底座基板的自由端側(cè)的連接部連接；以及蓋體，其將所述振動(dòng)元件氣密密封在該蓋體與所述底座基板之間。
【專利說明】振動(dòng)器件、電子器件、電子設(shè)備以及移動(dòng)體
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及振動(dòng)器件、使用了該振動(dòng)器件的電子器件、電子設(shè)備以及移動(dòng)體。
【背景技術(shù)】
[0002]已提出有作為振動(dòng)器件的石英振蕩器(例如，參照專利文獻(xiàn)1)，該振動(dòng)器件在矩形的底座(基板)上搭載有矩形的IC芯片和振動(dòng)片。在專利文獻(xiàn)I記載的石英振蕩器中，通過將連接端子配置在IC芯片的長邊側(cè)、并使該連接端子對準(zhǔn)底座的短邊側(cè)進(jìn)行連接，由此將IC芯片搭載在底座上。此外，振動(dòng)片的兩端支撐在底座的長邊側(cè)的兩端部，底座的安裝端子也被設(shè)置在底座的長邊側(cè)的兩端部。
[0003]專利文獻(xiàn)1:日本特開2002-176316號(hào)公報(bào)
[0004]在上述這樣的結(jié)構(gòu)中，在對底座(基板)施加外力的情況下或者由于安裝基板和底座的熱膨脹系數(shù)的差異等，有時(shí)會(huì)在底座上產(chǎn)生變形，且底座的長邊側(cè)的變形量大于短邊側(cè)的變形量。在上述石英振蕩器中，存在如下問題:由于固定于安裝基板的安裝端子和振動(dòng)片的兩端支撐被設(shè)置在底座的長邊側(cè)，因此容易受到由外力或者熱膨脹系數(shù)的差異引起的底座變形的影響，并且施加給振動(dòng)片的應(yīng)力會(huì)導(dǎo)致振動(dòng)特性發(fā)生變化。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明是為了解決上述課題的至少一部分而完成的，可以作為以下方式或者應(yīng)用例來實(shí)現(xiàn)。
[0006][應(yīng)用例I]本應(yīng)用例的振動(dòng)器件的特征在于，該振動(dòng)器件包含:底座基板，其具有安裝到安裝基板上的固定部、自由端以及俯視時(shí)處于所述固定部和所述自由端之間的連接部；振動(dòng)元件，其具有安裝到所述連接部上的部位和振動(dòng)部；以及蓋體，其將所述振動(dòng)元件氣密密封在該蓋體與所述底座基板之間。
[0007]根據(jù)本應(yīng)用例，振動(dòng)元件被固定到底座基板上的與固定部遠(yuǎn)離的自由端側(cè)。因此，即使安裝基板由于外力或者加熱等而發(fā)生變形，在底座基板中，應(yīng)力也只是集中于固定部，應(yīng)力幾乎不會(huì)傳遞到自由端。也就是說，即使在安裝基板發(fā)生變形的情況下，該應(yīng)力也幾乎不會(huì)傳遞到通過自由端側(cè)的連接部與底座基板連接的振動(dòng)元件，能夠防止振動(dòng)元件的振動(dòng)特性發(fā)生變化。
[0008][應(yīng)用例2]在上述應(yīng)用例所述的振動(dòng)器件中，其特征在于，至少具有2個(gè)所述固定部，并且所述固定部沿著所述底座基板的一邊排列。
[0009]根據(jù)本應(yīng)用例，由于固定部沿著底座基板的一邊設(shè)置，從而能夠增大與自由端的間隔(距離)，因此能夠進(jìn)一步提高應(yīng)力釋放效果。因此，能夠進(jìn)一步抑制固定部所承受的安裝基板的變形應(yīng)力到達(dá)自由端。也就是說，能夠進(jìn)一步抑制對振動(dòng)元件的特性的影響。
[0010][應(yīng)用例3]在上述應(yīng)用例所述的振動(dòng)器件中，其特征在于，至少具有2個(gè)所述固定部，在俯視時(shí)，與所述固定部排列的方向垂直的所述底座基板的中心線和沿著所述部位與所述振動(dòng)部排列的方向的所述振動(dòng)元件的中心線是錯(cuò)開的。[0011]根據(jù)本應(yīng)用例，在安裝基板發(fā)生變形的情況下，與底座基板的固定部排列的方向垂直的中心線的部分的基板應(yīng)力（底座基板的變形量）變大，但是由于底座基板的中心線與振動(dòng)元件的中心線被配置在錯(cuò)開的位置，因此，能夠使得振動(dòng)元件的連接部的變形小于固定部的變形。因此，能夠抑制安裝基板或者底座基板的變形對振動(dòng)元件的特性的影響。
[0012][應(yīng)用例4]在上述應(yīng)用例所述的振動(dòng)器件中，其特征在于，在俯視時(shí)，與所述固定部排列的方向垂直的所述底座基板的中心線和沿著所述部位與所述振動(dòng)部排列的方向的所述振動(dòng)元件的中心線是錯(cuò)開的。
[0013]根據(jù)本應(yīng)用例，在安裝基板發(fā)生變形的情況下，與底座基板的固定部排列的方向垂直的中心線的部分的底座基板應(yīng)力（底座基板的變形量）變大，但是由于底座基板的中心線與振動(dòng)元件的中心線被配置在錯(cuò)開的位置，因此能夠使得振動(dòng)元件的連接部的變形小于固定部的變形。因此，能夠抑制安裝基板或者底座基板的變形對振動(dòng)元件的特性的影響。
[0014][應(yīng)用例5]其特征在于，本應(yīng)用例的電子器件包含上述應(yīng)用例中的任意一例所述的振動(dòng)器件以及安裝著所述振動(dòng)器件的所述安裝基板。
[0015]由于振動(dòng)器件的底座基板的固定部被安裝到安裝基板上，因此，能夠單側(cè)固定振動(dòng)器件。振動(dòng)器件難以受到安裝基板的變形的影響。此外，由于在所使用的振動(dòng)器件中，如上所述成為難以受到安裝基板的變形的影響的結(jié)構(gòu)，因此能夠提供抑制了由安裝基板的變形引起的特性變化的電子器件。
[0016][應(yīng)用例6]在上述應(yīng)用例所述的電子器件中，其特征在于，所述振動(dòng)器件被樹脂覆
至Jhl o
[0017]根據(jù)本應(yīng)用例，能夠保護(hù)振動(dòng)器件。此外，在將固定部排除在外的、振動(dòng)器件和安裝基板之間也填入了樹脂，因此，既能夠?qū)⒄駝?dòng)器件固定于安裝基板，又能夠利用樹脂的撓性，使得振動(dòng)器件難以受到安裝基板的變形的影響。
[0018][應(yīng)用例7]
[0019]本應(yīng)用例的電子設(shè)備的特征在于，搭載有上述應(yīng)用例中的任意一例所述的振動(dòng)器件。
[0020]根據(jù)本應(yīng)用例，由于使用了難以受到安裝基板的變形的影響的振動(dòng)器件，因此能夠提供抑制了由安裝基板的變形引起的特性變化的電子設(shè)備。
[0021][應(yīng)用例8]
[0022]本應(yīng)用例的移動(dòng)體的特征在于，搭載有上述應(yīng)用例中的任意一例所述的振動(dòng)器件。
[0023]根據(jù)本應(yīng)用例，由于使用了難以受到安裝基板的變形的影響的振動(dòng)器件，因此，能夠提供抑制了由安裝基板的變形引起的特性變化的移動(dòng)體。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0024]圖I是作為第I實(shí)施方式的振動(dòng)器件的石英振蕩器的概略圖，其中，（a)是俯視圖，(b)是（a)的Ql-Ql剖視圖，（C)是（a)的背面圖。
[0025]圖2是作為第2實(shí)施方式的振動(dòng)器件的石英振蕩器的概略圖，其中，（a)是俯視圖，(b)是（a)的Q2-Q2剖視圖，（C)是（a)的背面圖。
[0026]圖3是示出作為振動(dòng)器件的石英振蕩器的安裝狀態(tài)的概略的正面圖。[0027]圖4是示出作為電子器件的一例的SM卡的概略的正剖視圖。
[0028]圖5是示出作為電子設(shè)備的一例的IC卡的結(jié)構(gòu)的概略圖，其中，(a)是俯視圖，(b )是(a)的Q3-Q3剖視圖。
[0029]圖6是示出作為電子設(shè)備的一例的移動(dòng)型個(gè)人計(jì)算機(jī)的結(jié)構(gòu)的立體圖。
[0030]圖7是示出作為電子設(shè)備的一例的移動(dòng)電話的結(jié)構(gòu)的立體圖。
[0031]圖8是示出作為電子設(shè)備的一例的數(shù)字靜態(tài)照相機(jī)的結(jié)構(gòu)的立體圖。
[0032]圖9是示出作為移動(dòng)體的一例的汽車的結(jié)構(gòu)的立體圖。
[0033]標(biāo)號(hào)說明
[0034]1、2…石英振蕩器,3…作為電子器件的SIM卡,4…作為電子設(shè)備的IC卡、11、31…第I底座基板，lla、31a...電子部件搭載面，12、32…第2底座基板，12a、32a...第2底座基板面，13、33…第3底座基板，13a、33a…第3底座基板的開口，14、34…封裝、14a、34a、14b…自由端(一邊)，15、35…半導(dǎo)體裝置,16、36…振動(dòng)兀件,16a、36a...激勵(lì)電極，16b、36b...振動(dòng)片，17、37…連接部，17a、17b、37a、37b…導(dǎo)電性粘結(jié)劑，18、38…金凸塊，19、39…蓋體，20a、20b、20c、21、22…外部連接端子，23、24、25、26…凹形結(jié)構(gòu)，40a、40b、40c…外部連接端子，43、44、45、46…凹形結(jié)構(gòu)，106…作為移動(dòng)體的汽車，1100…作為電子設(shè)備的移動(dòng)型個(gè)人計(jì)算機(jī),1200…作為電子設(shè)備的移動(dòng)電話，1300…作為電子設(shè)備的數(shù)字靜態(tài)照相機(jī)，Pl> P3…固定部的重心，P2、P4…連接部的重心，L1、L3…第2中心線，L2、L4…第I中心線。
【具體實(shí)施方式】
[0035]以下，參照附圖，通過第I實(shí)施方式和第2實(shí)施方式對本發(fā)明的振動(dòng)器件的實(shí)施方式進(jìn)行說明?！?br> [0036](振動(dòng)器件的第I實(shí)施方式)
[0037]首先，使用圖1對作為本發(fā)明的第I實(shí)施方式的振動(dòng)器件的石英振蕩器進(jìn)行說明。圖1示出了作為第I實(shí)施方式的振動(dòng)器件的石英振蕩器的概略，其中，(a)是俯視圖，(b)是(a)的Ql-Ql剖視圖，(C)是(a)的背面圖。另外，為了易于理解說明，圖1 (a)示出了去除蓋體后的狀態(tài)。
[0038]如圖1所示，作為振動(dòng)器件的石英振蕩器I在封裝14的凹部中收納有振動(dòng)元件16以及作為電子部件的半導(dǎo)體裝置(IC芯片)15，并利用蓋體19密封住封裝14的開口部，使內(nèi)部保持氣密。
[0039][振動(dòng)元件]
[0040]振動(dòng)元件16具有通過對基材(構(gòu)成主要部分的材料)進(jìn)行加工而一體形成的振動(dòng)片16b以及設(shè)置在振動(dòng)片16b的正反主面上的激勵(lì)電極16a (在圖示中，僅記載了一個(gè)主面)。
[0041]本例的基材是石英基板，石英基板的壓電材料屬于三方晶系，具有相互垂直的晶軸X、Y、Z。X軸、Y軸、Z軸分別被稱作電軸、機(jī)械軸、光軸。并且,關(guān)于石英基板，作為振動(dòng)兀件用途，采用了由所謂的旋轉(zhuǎn)Y切石英基板構(gòu)成的平板，該旋轉(zhuǎn)Y切石英基板是沿著使X-Z面繞X軸旋轉(zhuǎn)了預(yù)定角度Θ后的平面而從石英上切取得到的。
[0042]在本實(shí)施方式中使用了 AT切石英基板，當(dāng)以由X軸(電軸)、Y軸(機(jī)械軸)和Z軸(光軸)構(gòu)成的正交坐標(biāo)系的X軸為中心，并且設(shè)使Z軸朝向Y軸的-Y方向傾斜后的軸為V軸、使Y軸朝向Z軸的+Z方向傾斜后的軸為Y’軸時(shí)，該AT切石英基板由與X軸和V軸平行的面構(gòu)成，并把與Y’軸平行的方向作為厚度。此外，AT切石英基板以包含Z’軸的面為主面，并以厚度剪切振動(dòng)為主振動(dòng)進(jìn)行激勵(lì)。振動(dòng)元件16具有矩形形狀，該矩形形狀以與V軸平行的方向?yàn)楹穸确较?，以與X軸平行的方向?yàn)殚L邊，以與V軸平行的方向?yàn)槎踢叀?br> [0043]另外，振動(dòng)元件16不限于矩形，也可以是其它的四邊形、五邊形以上的多邊形或者包含橢圓、圓在內(nèi)的形狀等。此外，振動(dòng)部的一邊不限于直線的邊，也可以是具有曲率的邊，在振動(dòng)部的外形是多邊形的情況下，可以在所述一邊以及與其連接的另一邊之間的角部，設(shè)置其它的邊。此外，本實(shí)施方式的振動(dòng)元件不限于AT切，也可以是以厚度剪切振動(dòng)進(jìn)行激勵(lì)的BT切等振動(dòng)元件。
[0044][封裝]
[0045]封裝14具有平板狀的第I底座基板11、層疊在第I底座基板11上的框狀的第2底座基板12以及層疊在第2底座基板12上的框狀的第3底座基板13，并形成有收納半導(dǎo)體裝置15和振動(dòng)元件16的凹部。第I底座基板11、第2底座基板12以及第3底座基板13例如由陶瓷等形成。
[0046]第I底座基板11在凹部側(cè)的搭載半導(dǎo)體裝置15的電子部件搭載面Ila上設(shè)置有固定半導(dǎo)體裝置15的連接電極(未圖示)。設(shè)置在半導(dǎo)體裝置15上的多個(gè)電極焊盤(未圖示）與設(shè)置在電子部件搭載面Ila上的連接電極通過金凸塊18等連接。此外，連接電極均通過封裝14的未圖示的內(nèi)部布線與設(shè)置在第I底座基板11的外部底面上的多個(gè)外部連接端子 20a、20b、20c、21、22 電連接。
[0047]多個(gè)外部連接端子20a、20b、20c、21、22中的沿著第I底座基板11的一邊排列的3個(gè)外部連接端子20a、20b、20c是將石英振蕩器I安裝到未圖示的安裝基板上的安裝用端子。另外，設(shè)置這3個(gè)外部連接端子20a、20b、20c的區(qū)域是石英振蕩器I的固定部20。其它外部連接端子21、22是不固定到安裝基板上的端子。因此，第I底座基板11通過作為外部連接端子20a、20b、20c而配置的固定部20單側(cè)固定到安裝基板上。所謂單側(cè)固定，是指在一個(gè)部位處固定石英振蕩器1，且石英振蕩器I的至少一端成為自由端的狀態(tài)。在石英振蕩器I中，設(shè)置有其它外部連接端子21、22的一側(cè)的端部是不固定到安裝基板上的所謂的自由端。
[0048]另外，在本實(shí)施方式中，對作為石英振蕩器I的固定部20的3個(gè)外部連接端子20a.20b.20c沿著第I底座基板11的一邊進(jìn)行設(shè)置的例子進(jìn)行了說明，但是，作為固定部20的外部連接端子的配置不限于此。例如，外部連接端子的數(shù)量也可以是3個(gè)以外。此外，外部連接端子也并非一定要沿著第I底座基板11的一邊進(jìn)行設(shè)置，只要構(gòu)成為固定部集中于I個(gè)部位即可，其配置沒有限定。
[0049]第2底座基板12形成為具有開口的框狀形狀，該開口具有能夠收納與連接電極連接的半導(dǎo)體裝置15的大小。在第2底座基板12上層疊、固定著第3底座基板13，該第3底座基板13具有比第2底座基板12的開口大的開口。并且，第3底座基板13層疊在第2底座基板12上，振動(dòng)元件16與第3底座基板13的開口內(nèi)側(cè)露出的第2底座基板面12a連接。關(guān)于振動(dòng)元件16，使振動(dòng)元件16的連接電極(未圖示）對準(zhǔn)第2底座基板面12a上形成的元件連接端子(未圖示）而進(jìn)行載置，并在振動(dòng)元件16的連接部17處利用導(dǎo)電性粘結(jié)劑17a、17b進(jìn)行粘結(jié)固定。[0050]振動(dòng)元件16被單側(cè)固定到第I底座基板11的自由端14a側(cè)的第2底座基板面12a上，其中，第I底座基板11的自由端14a側(cè)是與第I底座基板11的配置有外部連接端子20a、20b、20c的固定部20相反的一側(cè)。所謂單側(cè)固定，是指在一個(gè)部位處對振動(dòng)元件16進(jìn)行固定(固定端)，且振動(dòng)元件16的至少一端成為自由端的狀態(tài)。在圖1中，把振動(dòng)元件16的夾著激勵(lì)電極16a的短邊方向設(shè)為兩端,一個(gè)端部為固定端,另一個(gè)端部為自由端。
[0051]S卩，在本實(shí)施方式中，振動(dòng)元件16的自由端比振動(dòng)元件16的固定端更靠近第I底座基板11的固定部20，因而能夠延長從振動(dòng)元件16的自由端到第I底座基板11的固定部20的應(yīng)力傳遞路徑。
[0052]此外，在俯視封裝14 (第I底座基板11)時(shí)，振動(dòng)元件16被配置在使得第I中心線L2與第2中心線LI錯(cuò)開的位置處，并通過第2底座基板面12a的元件連接端子進(jìn)行了粘結(jié)固定，其中，第I中心線L2是經(jīng)過振動(dòng)元件16的連接部17的重心P2并沿著與第I底座基板11的自由端(一邊)14a垂直的方向引出的，第2中心線LI是經(jīng)過第I底座基板11的固定部20的重心Pl并沿著與第I底座基板11的自由端(一邊)14a垂直的方向引出的。
[0053]通過成為這樣的結(jié)構(gòu)，在安裝基板發(fā)生變形的情況下，由于第I中心線L2與第2中心線LI被配置在錯(cuò)開的位置處，因此，即使經(jīng)過封裝14 (第I底座基板11)的固定部20的重心Pl的第2中心線LI的部分的基板應(yīng)力(底座基板的變形量)變大，也能夠使得第I中心線L2所經(jīng)過的振動(dòng)元件16的連接部17的變形小于固定部20的變形。因此，能夠減小安裝基板或者第I底座基板11的變形對振動(dòng)元件16的特性的影響。
[0054]此外，在第3底座基板13的開口的上表面13a上配置有蓋體19，蓋體19將封裝14的開口封閉，使得封裝14的內(nèi)部被氣密密封，從而得到石英振蕩器I。
[0055]蓋體19例如可以使用42合金(在鐵中含有42%的鎳的合金)或者可伐合金(鐵、鎳和鈷的合金)等金屬、陶瓷或者玻璃等來形成。例如，在利用金屬形成蓋體19的情況下，隔著密封圈(未圖示)進(jìn)行縫焊而與封裝14接合，其中，所述密封圈是將可伐合金等沖切為矩形環(huán)狀而形成的。由封裝14和蓋體19形成的凹部空間是供振動(dòng)元件16工作的空間，因此優(yōu)選密閉/封閉成減壓空間或者惰性氣體環(huán)境。
[0056]此外，在封裝14的4角設(shè)置有將角部形成為凹狀并設(shè)置有布線電極的所謂凹形結(jié)構(gòu)(Castellation)23、24、25、26。
[0057]參照圖1和圖3，對上述第I實(shí)施方式的石英振蕩器I的效果進(jìn)行說明。圖3是示出作為振動(dòng)器件的石英振蕩器I在安裝基板上的安裝狀態(tài)的概略正面圖，Ca)示出安裝基板未發(fā)生變形的狀態(tài)，(b)、(C)示出安裝基板存在變形的狀態(tài)。如圖1和圖3 (a)所示，石英振蕩器I單側(cè)固定到安裝基板70上，振動(dòng)元件16單側(cè)連接于封裝14的與固定部20遠(yuǎn)離的自由端14a側(cè)(第2底座基板12)。
[0058]因此，如圖3 (b)所示，即使安裝基板由于外力或者加熱等像安裝基板70a那樣發(fā)生了變形，在封裝14 (第I底座基板11)中，應(yīng)力也只是集中于固定部20，應(yīng)力幾乎不會(huì)傳遞到封裝14 (第I底座基板11)的自由端14a側(cè)。另外，在應(yīng)力發(fā)生狀況的仿真結(jié)果中，確認(rèn)到:在本實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)中，與以往的結(jié)構(gòu)相比，發(fā)生的應(yīng)力為1/5左右。也就是說，即使在像安裝基板70a那樣發(fā)生了變形的情況下，其應(yīng)力也幾乎不會(huì)傳遞到通過自由端14a側(cè)的連接部17與第2底座基板12連接的振動(dòng)元件16，能夠防止振動(dòng)元件16的振動(dòng)特性的變化。[0059]另外，如圖3 (c)所示，在固定部20位于封裝14 (第I底座基板11)的中央部的情況下，封裝14 (第I底座基板11)的兩端成為自由端14a、14b。在該結(jié)構(gòu)中，如圖3 (c)所示，即使安裝基板70b以固定部20為中心而在兩側(cè)發(fā)生了變形，自由端14a、14b的部分也幾乎不會(huì)發(fā)生變形，因而具有與上述相同的效果。
[0060]另外，在上述說明中，以在封裝14的4角設(shè)置有凹形結(jié)構(gòu)23、24、25、26的例子進(jìn)行了說明，但是關(guān)于凹形結(jié)構(gòu)，更優(yōu)選的是，不設(shè)置封裝14 (第I底座基板11)的設(shè)置有固定部20的端部側(cè)的凹形結(jié)構(gòu)23、24。這是因?yàn)榇嬖谌缦滦Ч和ㄟ^在封裝14 (第I底座基板11)的設(shè)置有固定部20的端部側(cè)具有角部，由此，在利用熔融的焊料等將固定部20固定到安裝基板上時(shí)，能夠起到防止封裝14 (第I底座基板11)翹起的作用，即所謂的支撐作用。
[0061](振動(dòng)器件的第2實(shí)施方式）
[0062]接下來，使用圖2，對作為本發(fā)明的第2實(shí)施方式的振動(dòng)器件的石英振蕩器進(jìn)行說明。圖2示出了作為第2實(shí)施方式的振動(dòng)器件的石英振蕩器的概略，其中，Ca)是俯視圖，(b)是（a)的Q2-Q2剖視圖，（C)是（a)的背面圖。另外，為了易于理解說明，圖2 (a)示出了去除蓋體后的狀態(tài)。此外，在本第2實(shí)施方式的說明中，對于與上述第I實(shí)施方式相同的結(jié)構(gòu)，有時(shí)會(huì)省略詳細(xì)的說明。
[0063]如圖2所示，作為振動(dòng)器件的石英振蕩器2在封裝34的凹部中收納有振動(dòng)元件36以及作為電子部件的半導(dǎo)體裝置（IC芯片）35，并利用蓋體39密封住封裝34的開口部，使內(nèi)部保持氣密。
[0064][振動(dòng)元件]
[0065]振動(dòng)元件36具有對基材（主要部分構(gòu)成的材料）進(jìn)行加工而一體形成的振動(dòng)片36b以及設(shè)置在振動(dòng)片36b的正反主面上的激勵(lì)電極36a (在圖示中，僅記載了一個(gè)主面)。另外，關(guān)于基材，由于與第I實(shí)施方式相同，因而省略其說明。
[0066][封裝]
[0067]封裝34具有平板狀的第I底座基板31、層疊在第I底座基板31上的框狀的第2底座基板32以及層疊在第2底座基板32上的框狀的第3底座基板33，并形成有收納半導(dǎo)體裝置35和振動(dòng)元件36的凹部。第I底座基板31、第2底座基板32以及第3底座基板33例如由陶瓷等形成。
[0068]第I底座基板31在凹部側(cè)的搭載半導(dǎo)體裝置35的電子部件搭載面31a上設(shè)置有固定半導(dǎo)體裝置35的連接電極(未圖示)。設(shè)置在半導(dǎo)體裝置35上的多個(gè)電極焊盤(未圖示）與設(shè)置在電子部件搭載面31a上的連接電極通過金凸塊38等連接。此外，連接電極均通過封裝34的未圖示的內(nèi)部布線與設(shè)置在第I底座基板31的外部底面上的多個(gè)外部連接端子 40a、40b、40c、41、42 電連接。
[0069]多個(gè)外部連接端子40a、40b、40c、41、42中的沿著第I底座基板31的一邊排列的3個(gè)外部連接端子40a、40b、40c是將石英振蕩器2安裝到未圖示的安裝基板上的安裝用端子。另外，設(shè)置有這3個(gè)外部連接端子40a、40b、40c的區(qū)域是石英振蕩器2的固定部40。其它外部連接端子41、42是不固定到安裝基板上的端子。因此，第I底座基板31通過作為外部連接端子40a、40b、40c而配置的固定部40單側(cè)固定到安裝基板上，設(shè)置有其它外部連接端子41、42的一側(cè)的端部是不固定到安裝基板上的、所謂的自由端。[0070]另外，在本實(shí)施方式中，對作為石英振蕩器2的固定部40的3個(gè)外部連接端子40a.40b.40c沿著第I底座基板31的一邊進(jìn)行設(shè)置的例子進(jìn)行了說明，但是，作為固定部40的外部連接端子的配置不限于此。例如，外部連接端子的數(shù)量也可以設(shè)為3個(gè)以外的數(shù)量，此外，并非一定要沿著第I底座基板31的一邊進(jìn)行設(shè)置，只要構(gòu)成為固定部集中于I個(gè)部位即可，對外部連接端子的配置沒有限定。
[0071]第2底座基板32形成為具有開口的框狀形狀，該開口具有能夠收納與連接電極連接的半導(dǎo)體裝置35的大小。在第2底座基板32上層疊、固定著第3底座基板33，第3底座基板33具有比第2底座基板32的開口大的開口。并且，第3底座基板33層疊在第2底座基板32上，振動(dòng)元件36與第3底座基板33的開口內(nèi)側(cè)露出的第2底座基板面32a連接。關(guān)于振動(dòng)元件36，使振動(dòng)元件36的連接電極(未圖示)對準(zhǔn)第2底座基板面32a上形成的元件連接端子(未圖示)而進(jìn)行載置，并在振動(dòng)元件36的連接部37處利用導(dǎo)電性粘結(jié)劑37a、37b進(jìn)行粘結(jié)固定。
[0072]振動(dòng)元件36以單側(cè)連接方式固定到第I底座基板31的自由端34a側(cè)的第2底座基板面32a上，其中，所述第I底座基板31的自由端34a側(cè)是與第I底座基板31的配置有外部連接端子40a、40b、40c的固定部40相反的一側(cè)。
[0073]此外，在俯視封裝34 (第I底座基板31)時(shí)，振動(dòng)元件36被配置在使得第I中心線L4與第2中心線L3錯(cuò)開的位置，并通過第2底座基板面32a的元件連接端子進(jìn)行了粘結(jié)固定，其中，第I中心線L4是經(jīng)過振動(dòng)元件36的連接部37的重心P4并沿著與第I底座基板31的自由端(一邊)34a垂直的方向引出的，第2中心線L3是經(jīng)過第I底座基板31的固定部40的重心P3并沿著與第I底座基板31的自由端(一邊)34a垂直的方向引出的。
[0074]通過成為這樣的結(jié)構(gòu)，在安裝基板發(fā)生變形的情況下，由于第I中心線L4與第2中心線L3被配置在錯(cuò)開的位置，因此，即使經(jīng)過封裝34 (第I底座基板31)的固定部40的重心P3的第2中心線L3的部分的基板應(yīng)力(底座基板的變形量)變大，也能夠使得第I中心線L4所經(jīng)過的振動(dòng)元件36的連接部37的變形小于固定部40的變形。因此，能夠減小安裝基板或者第I底座基板31的變形對振動(dòng)元件36的特性的影響。
[0075]此外，在第3底座基板33的開口的上表面33a上配置有蓋體39，蓋體39將封裝34的開口封閉，使得封裝34的內(nèi)部被氣密密封，從而得到石英振蕩器2。蓋體39的結(jié)構(gòu)、封閉方法與第I實(shí)施方式相同，因而省略說明。由于由封裝34和蓋體39形成的凹部空間是供振動(dòng)元件36工作的空間，因此優(yōu)選密閉/封閉成減壓空間或者惰性氣體環(huán)境。
[0076]此外，在封裝34的4角設(shè)置有將角部形成為凹狀并設(shè)置有布線電極的所謂凹形結(jié)構(gòu) 43、44、45、46。
[0077]上述第2實(shí)施方式的石英振蕩器2也具有與上述第I實(shí)施方式的石英振蕩器I相同的效果。即，振動(dòng)元件36單側(cè)連接于封裝34的與固定部40遠(yuǎn)離的自由端34a側(cè)(第2底座基板32 )，單側(cè)固定到安裝基板(未圖示)上。
[0078]因此，即使安裝基板因外力或者加熱等而發(fā)生變形，在封裝34 (第I底座基板31)中，應(yīng)力也只是集中于固定部40，應(yīng)力幾乎不會(huì)傳遞到封裝34 (第I底座基板31)的自由端34a側(cè)。另外，在應(yīng)力發(fā)生狀況的仿真結(jié)果中，確認(rèn)到:在本實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)中，與以往的結(jié)構(gòu)相比，發(fā)生的應(yīng)力為1/5左右。也就是說，即使在安裝基板發(fā)生變形的情況下，其應(yīng)力也幾乎不會(huì)傳遞到通過自由端34a側(cè)的連接部37與第2底座基板32連接的振動(dòng)元件36，能夠防止振動(dòng)元件36的振動(dòng)特性的變化。此外，在固定部40位于封裝34 (第I底座基板31)的中央部的情況下，也具有與上述第I實(shí)施方式的石英振蕩器I相同的效果。
[0079]另外，在上述說明中，以在封裝34的4角設(shè)置有凹形結(jié)構(gòu)43、44、45、46的例子進(jìn)行了說明，但是關(guān)于凹形結(jié)構(gòu)，更優(yōu)選的是，不設(shè)置封裝34 (第I底座基板31)的設(shè)置有固定部40的端部側(cè)的凹形結(jié)構(gòu)43、44。這是因?yàn)榇嬖谌缦滦Ч和ㄟ^在封裝34 (第I底座基板31)的設(shè)置有固定部40的端部側(cè)具有角部，由此，在利用熔融的焊料等將固定部40固定到安裝基板時(shí)，能夠起到防止封裝34 (第I底座基板31)翹起的作用，即所謂的支撐作用。
[0080](電子器件）
[0081 ] 接下來，使用圖4，對使用了作為本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的振動(dòng)器件的石英振蕩器I的電子器件的實(shí)施方式進(jìn)行說明。圖4是示出作為電子器件一例的SIM卡（SubscriberIdentity Module Card :用戶識(shí)別模塊卡）的概略的正剖視圖。
[0082]如圖4所示，作為電子器件的一例的SIM卡3具有：形成有導(dǎo)電布線53的安裝基板50 ;作為與安裝基板50上的導(dǎo)電布線53連接固定的振動(dòng)器件的石英振蕩器I ;以及電子部件52。石英振蕩器I通過焊料等連接材料51以單側(cè)支撐方式與安裝基板50上的導(dǎo)電布線53連接。并且，除作為與外部的連接部分的導(dǎo)電布線53的一部分以外，安裝基板50上的導(dǎo)電布線53、石英振蕩器I以及電子部件52例如利用作為樹脂的聚氯乙烯（PVC)、乙二醇改性-聚對苯二甲酸乙二醇酯（PET-G)等涂覆材料54進(jìn)行了涂覆。除連接材料51的部分以外，涂布材料54填入到石英振蕩器I和安裝基板50之間，將石英振蕩器I與安裝基板50固定在一起。此外，涂布材料54具有比焊料等連接材料51軟的撓性。
[0083]這樣的SIM卡大多是為了確定移動(dòng)電話固有的ID編號(hào)等而安裝的，要求小型化、薄型化。因此，由于安裝時(shí)的拆裝而容易發(fā)生SIM卡的變形等，因而，在使用了本發(fā)明的振動(dòng)器件(石英振蕩器I)的結(jié)構(gòu)中，能夠防止由SIM卡的變形引起的振動(dòng)器件(石英振蕩器I)的特性變化，能夠持續(xù)進(jìn)行穩(wěn)定的動(dòng)作。
[0084](電子設(shè)備）
[0085]接下來，基于圖5?圖9，對應(yīng)用了作為本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的振動(dòng)器件的石英振蕩器1、2或者電子器件的電子設(shè)備進(jìn)行詳細(xì)說明。另外，在說明中，示出了使用作為振動(dòng)器件的石英振蕩器I的例子。
[0086]圖5不出了作為具有作為本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的振動(dòng)器件的石英振蕩器I的電子設(shè)備的接觸型IC卡的結(jié)構(gòu)概略，其中，（a)是從安裝基板側(cè)觀察到的俯視圖，（b)是Q3-Q3剖視圖。在該圖中，IC卡4具有：安裝基板60 ;石英振蕩器1，其通過焊料等接合材料61單側(cè)固定到安裝基板60上；以及外裝部63，其設(shè)置在安裝基板60的固定著石英振蕩器I和電子部件64的一面?zhèn)?。除接合材?1的部分以外，在安裝基板60與石英振蕩器I之間，設(shè)置有上述那樣的樹脂等涂布材料54。涂布材料54可以設(shè)置為覆蓋石英振蕩器I的整體。此外，在安裝基板60的固定著石英振蕩器I和電子部件64的一面的背面，設(shè)置有電極62，并通過未圖示的導(dǎo)電布線與電子部件64導(dǎo)通。
[0087]IC卡4通過石英振蕩器I中內(nèi)置的未圖示的半導(dǎo)體裝置（IC芯片)保持各種信息，并利用讀卡器進(jìn)行信息的讀寫。
[0088]圖6是示出作為具有本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的石英振蕩器I的電子設(shè)備的移動(dòng)型(或者筆記本型)個(gè)人計(jì)算機(jī)的結(jié)構(gòu)概略的立體圖。在該圖中，個(gè)人計(jì)算機(jī)1100由具有鍵盤1102的主體部1104以及具有顯示部100的顯示單元1106構(gòu)成,顯示單元1106通過鉸鏈構(gòu)造部以能夠轉(zhuǎn)動(dòng)的方式支承在主體部1104上。在這樣的個(gè)人計(jì)算機(jī)1100中，內(nèi)置有石英振蕩器I。
[0089]圖7是示出作為具有本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的石英振蕩器I的電子設(shè)備的便攜電話(也包括PHS)的結(jié)構(gòu)概略的立體圖。在該圖中，便攜電話1200具有多個(gè)操作按鈕1202、接聽口 1204以及通話口 1206，在操作按鈕1202與接聽口 1204之間配置有顯示部100。在這樣的移動(dòng)電話1200中，內(nèi)置有石英振蕩器I。
[0090]圖8是示出作為具有本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的石英振蕩器I的電子設(shè)備的數(shù)字靜態(tài)照相機(jī)的結(jié)構(gòu)概略的立體圖。另外，在該圖中，還簡單地示出了與外部設(shè)備之間的連接。這里，以往的照相機(jī)是通過被攝體的光像對銀鹽膠片進(jìn)行感光，與此相對，數(shù)字靜態(tài)照相機(jī)1300則通過CCD (Charge Coupled Device :電荷稱合器件）等攝像元件對被攝體的光像進(jìn)行光電轉(zhuǎn)換來生成攝像信號(hào)（圖像信號(hào))。
[0091]在數(shù)字靜態(tài)照相機(jī)1300的外殼(機(jī)身）1302的背面設(shè)置有顯示部100，構(gòu)成為根據(jù)CCD的攝像信號(hào)進(jìn)行顯示，顯示部100作為將被攝體顯示為電子圖像的取景器發(fā)揮功能。并且，在外殼1302的正面?zhèn)龋▓D中背面?zhèn)龋┰O(shè)置有包含光學(xué)鏡頭(攝像光學(xué)系統(tǒng)）和CXD等的受光單元1304。
[0092]攝影者確認(rèn)顯示部100中顯示的被攝體像，當(dāng)按下快門按鈕1306時(shí)，該時(shí)刻的CXD的攝像信號(hào)被傳輸?shù)酱鎯?chǔ)器1308內(nèi)進(jìn)行存儲(chǔ)。并且，在該數(shù)字靜態(tài)照相機(jī)1300中，在外殼1302的側(cè)面設(shè)置有視頻信號(hào)輸出端子1312和數(shù)據(jù)通信用的輸入輸出端子1314。而且，如圖所示，根據(jù)需要，在視頻信號(hào)輸出端子1312上連接電視監(jiān)視器1430，在數(shù)據(jù)通信用的輸入輸出端子1314上連接個(gè)人計(jì)算機(jī)1440。此外，構(gòu)成為通過預(yù)定的操作，將存儲(chǔ)器1308中存儲(chǔ)的攝像信號(hào)輸出到電視監(jiān)視器1430或者個(gè)人計(jì)算機(jī)1440。在這樣的數(shù)字靜態(tài)照相機(jī)1300中內(nèi)置有石英振蕩器I。
[0093]另外，除了圖6的個(gè)人計(jì)算機(jī)(移動(dòng)型個(gè)人計(jì)算機(jī))、圖7的便攜電話、圖8的數(shù)字靜態(tài)照相機(jī)以外，本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式的石英振蕩器I例如還可以應(yīng)用于噴墨式排出裝置(例如噴墨打印機(jī))、膝上型個(gè)人計(jì)算機(jī)、電視、攝像機(jī)、錄像機(jī)、車載導(dǎo)航裝置、尋呼機(jī)、電子記事本(也包含帶通信功能的電子記事本)、電子辭典、計(jì)算器、電子游戲設(shè)備、文字處理器、工作站、視頻電話、防范用電視監(jiān)視器、電子望遠(yuǎn)鏡、POS終端、醫(yī)療設(shè)備(例如電子體溫計(jì)、血壓計(jì)、血糖計(jì)、心電圖計(jì)測裝置、超聲波診斷裝置、電子內(nèi)窺鏡)、魚群探測器、各種測定設(shè)備、計(jì)量儀器類(例如車輛、飛機(jī)、船舶的計(jì)量儀器類)、飛行模擬器等電子設(shè)備。
[0094](移動(dòng)體）
[0095]圖9是概略地示出作為移動(dòng)體的一例的汽車的立體圖。在汽車106中搭載有作為本發(fā)明的振動(dòng)器件的一例的石英振蕩器I。例如，如該圖所示，作為移動(dòng)體的汽車106在車體107上搭載有電子控制單元108，該電子控制單元108內(nèi)置有石英振蕩器I并控制輪胎109等。除此之外，石英振蕩器I還可以廣泛應(yīng)用于無鑰匙門禁、防盜器、汽車導(dǎo)航系統(tǒng)、汽車空調(diào)、防抱死制動(dòng)系統(tǒng)（ABS)、安全氣囊、輪胎壓力監(jiān)測系統(tǒng)（TPMS =Tire PressureMonitoring System)、發(fā)動(dòng)機(jī)控制器、混合動(dòng)力汽車及電動(dòng)汽車的電池監(jiān)視器、以及車體姿勢控制系統(tǒng)等的電子控制單元（EQJ :electronic control unit)。
【權(quán)利要求】
1.一種振動(dòng)器件，其特征在于，該振動(dòng)器件包含： 底座基板，其具有安裝到安裝基板上的固定部、自由端以及俯視時(shí)處于所述固定部和所述自由端之間的連接部； 振動(dòng)元件，其具有安裝到所述連接部上的部位和振動(dòng)部；以及 蓋體，其將所述振動(dòng)元件氣密密封在該蓋體與所述底座基板之間。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的振動(dòng)器件，其特征在于， 至少具有2個(gè)所述固定部，并且所述固定部沿著所述底座基板的一邊排列。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的振動(dòng)器件，其特征在于， 至少具有2個(gè)所述固定部， 在俯視時(shí)，與所述固定部排列的方向垂直的所述底座基板的中心線和沿著所述部位與所述振動(dòng)部排列的方向的所述振動(dòng)元件的中心線是錯(cuò)開的。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的振動(dòng)器件，其特征在于， 在俯視時(shí)，與所述固定部排列的方向垂直的所述底座基板的中心線和沿著所述部位與所述振動(dòng)部排列的方向的所述振動(dòng)元件的中心線是錯(cuò)開的。
5.一種電子器件，其特征在于，該電子器件包含： 權(quán)利要求I?4中的任意一項(xiàng)所述的振動(dòng)器件；以及 安裝著所述振動(dòng)器件的所述安裝基板。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的電子器件，其特征在于， 所述振動(dòng)器件被樹脂覆蓋。
7.—種電子設(shè)備,其特征在于， 該電子設(shè)備搭載有權(quán)利要求I?4中的任意一項(xiàng)所述的振動(dòng)器件。
8.一種移動(dòng)體，其特征在于， 該移動(dòng)體搭載有權(quán)利要求I?4中的任意一項(xiàng)所述的振動(dòng)器件。
【文檔編號(hào)】H03H9/19GK103580639SQ201310335558
【公開日】2014年2月12日 申請日期:2013年8月5日 優(yōu)先權(quán)日:2012年8月6日
【發(fā)明者】千葉誠一 申請人:精工愛普生株式會(huì)社