振動(dòng)元件、振子、振蕩器、電子設(shè)備以及移動(dòng)體的制作方法
【專利摘要】振動(dòng)元件、振子、振蕩器、電子設(shè)備以及移動(dòng)體。振動(dòng)元件（1）具有壓電基板（2），該壓電基板（2）包含振動(dòng)部（21）和厚度比振動(dòng)部（21）厚的厚壁部（22）。并且，厚壁部（22）具有：沿著振動(dòng)部（21）的第1外緣（211）設(shè)置的第1厚壁部（23）、沿著第2外緣（212）設(shè)置的第2厚壁部（24）、以及沿著第3外緣（213）設(shè)置的第3厚壁部（25），當(dāng)設(shè)第2厚壁部（24）在振動(dòng)方向的最大尺寸為L(zhǎng)max，最小尺寸為L(zhǎng)min時(shí)，平均尺寸（Lmax＋Lmin）/2為100μm以下。
【專利說(shuō)明】振動(dòng)元件、振子、振蕩器、電子設(shè)備以及移動(dòng)體

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及振動(dòng)元件、振子、振蕩器、電子設(shè)備以及移動(dòng)體。

【背景技術(shù)】
[0002]AT切石英振動(dòng)元件由于要激勵(lì)的主振動(dòng)的振動(dòng)模式是厚度剪切振動(dòng)，適合于小型化、高頻率化，而且頻率溫度特性呈現(xiàn)優(yōu)異的三次曲線，因而已用于壓電振蕩器、電子設(shè)備等的多個(gè)方面。
[0003]在專利文獻(xiàn)I中公開有具有薄壁的振動(dòng)部和設(shè)置在振動(dòng)部全周的厚壁部的反臺(tái)面結(jié)構(gòu)的AT切石英振動(dòng)元件,該AT切石英振動(dòng)元件在所述厚壁部的一端部通過(guò)粘接材料固定在封裝上。在AT切石英振動(dòng)元件被懸臂支撐的狀態(tài)下，對(duì)AT切石英振動(dòng)元件施加厚度方向的加速度時(shí)，具有前端部(振動(dòng)部)變形，振動(dòng)特性(頻率特性)不穩(wěn)定的問(wèn)題。特別是在專利文獻(xiàn)I記載的AT切石英振動(dòng)元件中，由于在振動(dòng)部整個(gè)周圍形成有厚壁部，前端部的重量重，因而對(duì)加速度的影響大，相應(yīng)地，頻率的偏移量也將變大。
[0004]【專利文獻(xiàn)I】日本特開2002-198772號(hào)公報(bào)


【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明的目的是提供振動(dòng)元件、振子、振蕩器、電子設(shè)備以及移動(dòng)體，可以在抑制大型化(厚壁化)的同時(shí)，減少由加速度(振動(dòng))等的外力引起的振動(dòng)特性的變化，發(fā)揮穩(wěn)定的振動(dòng)特性。
[0006]本發(fā)明正是為了解決上述課題的至少一部分而完成的，本發(fā)明能夠作為以下的應(yīng)用例實(shí)現(xiàn)。
[0007][應(yīng)用例I]
[0008]本發(fā)明的振動(dòng)元件，其特征在于，該振動(dòng)元件包含:
[0009]基板，其包含第I區(qū)域和第2區(qū)域，所述第I區(qū)域包含以厚度剪切振動(dòng)進(jìn)行振動(dòng)的振動(dòng)區(qū)域，所述第2區(qū)域與所述第I區(qū)域一體，厚度比所述第I區(qū)域厚；以及
[0010]激勵(lì)電極，其分別設(shè)置于所述振動(dòng)區(qū)域的正面和背面，
[0011]所述第I區(qū)域包含設(shè)置于所述厚度剪切振動(dòng)的振動(dòng)方向的一端的第I外緣和設(shè)置于另一端的第2外緣，
[0012]所述第I外緣和所述第2外緣在與所述振動(dòng)方向交叉的方向上延伸，
[0013]所述第I區(qū)域包含設(shè)置于與所述振動(dòng)方向交叉的方向的一端的第3外緣和設(shè)置于另一端的第4外緣，
[0014] 所述第4外緣從所述基板的側(cè)面露出，
[0015]所述第2區(qū)域包含:
[0016]第I厚壁部，其沿著所述第I外緣設(shè)置，設(shè)置有固定于對(duì)象物的固定部；
[0017]第2厚壁部，其沿著所述第2外緣設(shè)置；以及
[0018]第3厚壁部，其沿著所述第3外緣設(shè)置且與所述第I厚壁部和所述第2厚壁部連接，
[0019]當(dāng)設(shè)所述第2厚壁部沿著所述振動(dòng)方向的最大尺寸為L(zhǎng)max,最小尺寸為L(zhǎng)min時(shí)，平均尺寸(Lmax + Lmin) /2為100 μ m以下。
[0020]由此，能夠得到這樣的振動(dòng)元件:可減小前端側(cè)(固定部的相反側(cè))的質(zhì)量，可以抑制由加速度(振動(dòng))等的外力引起的振動(dòng)特性的變化，發(fā)揮穩(wěn)定的振動(dòng)特性。
[0021][應(yīng)用例2]
[0022]在本發(fā)明的振動(dòng)元件中，優(yōu)選的是，當(dāng)設(shè)所述第2厚壁部沿著所述振動(dòng)方向的最大尺寸為L(zhǎng)max,最小尺寸為L(zhǎng)min時(shí)，平均尺寸(Lmax + Lmin) /2為40 μ m以上。
[0023]由此，可以防止振動(dòng)元件的剛性過(guò)度下降。
[0024][應(yīng)用例3]
[0025]在本發(fā)明的振動(dòng)元件中，優(yōu)選的是，當(dāng)設(shè)所述第2區(qū)域的最大厚度為Tmax，最小厚度為Tmin時(shí),平均厚度(Tmax + Tmin) /2為50 μ m以上70 μ m以下。
[0026]由此，可以在提高振動(dòng)元件的剛性的同時(shí)，高精度地進(jìn)行第I區(qū)域的形成。
[0027][應(yīng)用例4]
[0028]在本發(fā)明的振動(dòng)元件中，優(yōu)選的是，當(dāng)設(shè)所述第3厚壁部沿著與所述振動(dòng)方向垂直的方向的最大尺寸為L(zhǎng)max,最小尺寸為L(zhǎng)min時(shí),平均尺寸(Lmax + Lmin)/2為200 μ m以上。
[0029]由此，可以充分提高振動(dòng)元件的剛性。
[0030][應(yīng)用例5]
[0031]在本發(fā)明的振動(dòng)元件中，優(yōu)選的是，所述基板是這樣的石英板:所述基板是如下的石英板:在石英的晶軸即作為電氣軸的X軸、作為機(jī)械軸的Y軸和作為光學(xué)軸的Z軸中，將所述X軸作為旋轉(zhuǎn)軸，將使所述Z軸以+ Z側(cè)朝所述Y軸的一 Y方向旋轉(zhuǎn)的方式傾斜后的軸作為Z’軸，將使所述Y軸以十Y側(cè)朝所述Z軸的十Z方向旋轉(zhuǎn)的方式傾斜后的軸作為Y’軸，將包含所述X軸和所述Z’軸的面作為主面，將沿著所述Y’軸的方向作為厚度方向。
[0032]由此，可得到溫度特性優(yōu)異的振動(dòng)元件。
[0033][應(yīng)用例6]
[0034]本發(fā)明的振子，其特征在于，該振子具有:
[0035]本發(fā)明的振動(dòng)元件；以及
[0036]收納所述振動(dòng)元件的封裝。
[0037]由此，可得到具有高可靠性的振子。
[0038][應(yīng)用例7]
[0039]本發(fā)明的振蕩器，其特征在于，該振蕩器具有:
[0040]本發(fā)明的振動(dòng)元件；以及
[0041]驅(qū)動(dòng)所述振動(dòng)元件的振蕩電路。
[0042]由此，可得到具有高可靠性的振蕩器。
[0043][應(yīng)用例8]
[0044]本發(fā)明的電子設(shè)備，其特征在于，該電子設(shè)備具有本發(fā)明的振動(dòng)兀件。
[0045]由此，可得到具有高可靠性的電子設(shè)備。
[0046][應(yīng)用例9]
[0047]本發(fā)明的移動(dòng)體，其特征在于，該移動(dòng)體具有本發(fā)明的振動(dòng)元件。
[0048]由此，可得到具有高可靠性的移動(dòng)體。

【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0049]圖1是本發(fā)明的第I實(shí)施方式的振動(dòng)元件的立體圖。
[0050]圖2是圖1所示的振動(dòng)元件的平面圖。
[0051]圖3是說(shuō)明AT切石英基板與石英的晶軸的關(guān)系的圖。
[0052]圖4是示出將圖1所示的振動(dòng)元件固定在對(duì)象物上的狀態(tài)的側(cè)視圖。
[0053]圖5是示出第2厚壁部的寬度與G靈敏度的關(guān)系的曲線圖。
[0054]圖6是示出第2厚壁部的寬度與撓曲量的關(guān)系的曲線圖。
[0055]圖7是示出厚壁部的厚度與G靈敏度的關(guān)系的曲線圖。
[0056]圖8是示出第3厚壁部的寬度與G靈敏度的關(guān)系的曲線圖。
[0057]圖9是示出減小振動(dòng)元件的前端部的質(zhì)量的圖案的圖。
[0058]圖10是示出圖9所示的各圖案的去除部的力矩與G靈敏度的關(guān)系的曲線圖。
[0059]圖11是示出石英的晶軸與應(yīng)力靈敏度的關(guān)系的曲線圖。
[0060]圖12是本發(fā)明的第2實(shí)施方式的振動(dòng)元件的立體圖。
[0061]圖13是示出本發(fā)明的振子的優(yōu)選實(shí)施方式的截面圖。
[0062]圖14是示出本發(fā)明的振蕩器的優(yōu)選實(shí)施方式的截面圖。
[0063]圖15是示出應(yīng)用本發(fā)明的電子設(shè)備的移動(dòng)型(或者筆記本型)個(gè)人計(jì)算機(jī)的結(jié)構(gòu)的立體圖。
[0064]圖16是示出應(yīng)用本發(fā)明的電子設(shè)備的便攜電話(包含PHS)的結(jié)構(gòu)的立體圖。
[0065]圖17是示出應(yīng)用本發(fā)明的電子設(shè)備的數(shù)字靜止照相機(jī)的結(jié)構(gòu)的立體圖。
[0066]圖18是概略地示出作為本發(fā)明的移動(dòng)體的一例的汽車的立體圖。
[0067]標(biāo)號(hào)說(shuō)明
[0068]1:振動(dòng)兀件；10:振子；100:振湯器；110:1(]芯片；120:內(nèi)部端子；2:壓電基板；
21:振動(dòng)部；211:第I外緣；212:第2外緣；213:第3外緣；214:第4外緣；219:振動(dòng)區(qū)域；
22:厚壁部；23:第I厚壁部；231:傾斜部；232:厚壁部主體；24:第2厚壁部；241:傾斜部；242:厚壁部主體；25:第3厚壁部；251:傾斜部；252:厚壁部主體；29:安裝部；3:電極；31、32:激勵(lì)電極;33、34:盤電極;35、36:引出電極；91:粘接材料；92:對(duì)象物；4:封裝；41:基座；411:凹部；42:蓋；451、461:連接電極；452、462:外部安裝端子；51:導(dǎo)電性粘接材料；52:接合線；1100:個(gè)人計(jì)算機(jī)；1102:鍵盤；1104:主體部；1106:顯示單元；1200:便攜電話；1202:操作按鈕；1204:受話口 ；1206:送話口 ；1300:數(shù)字靜止照相機(jī)；1302:殼體；1304:受光單元；1306:快門按鈕；1308:存儲(chǔ)器；1312:視頻信號(hào)輸出端子；1314:輸入輸出端子；1430:電視監(jiān)視器；1440:個(gè)人計(jì)算機(jī)；1500:汽車；2000:顯示部；L:長(zhǎng)度；W、W24、W25:寬度；T:厚度；S:收納空間；P1、P2、P3、P4:圖案。

【具體實(shí)施方式】
[0069]以下，根據(jù)附圖所示的優(yōu)選實(shí)施方式詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明的振動(dòng)元件、振子、振蕩器、電子設(shè)備以及移動(dòng)體。
[0070] 1.振動(dòng)元件
[0071 ] 首先，對(duì)本發(fā)明的振動(dòng)元件進(jìn)行說(shuō)明。
[0072]<第I實(shí)施方式>
[0073]圖1是本發(fā)明的第I實(shí)施方式的振動(dòng)元件的立體圖。圖2是圖1所示的振動(dòng)元件的平面圖。圖3是說(shuō)明AT切石英基板與石英的晶軸的關(guān)系的圖。圖4是示出將圖1所示的振動(dòng)元件固定在對(duì)象物上的狀態(tài)的側(cè)視圖。圖5是示出第2厚壁部的寬度與G靈敏度的關(guān)系的曲線圖。圖6是示出第2厚壁部的寬度與撓曲量的關(guān)系的曲線圖。圖7是示出厚壁部的厚度與G靈敏度的關(guān)系的曲線圖。圖8是示出第3厚壁部的寬度與G靈敏度的關(guān)系的曲線圖。圖9是示出減小振動(dòng)元件的前端部的質(zhì)量的圖案的圖。圖10是示出圖9所示的各圖案的去除部的力矩與G靈敏度的關(guān)系的曲線圖。圖11是示出石英的晶軸與應(yīng)力靈敏度的關(guān)系的曲線圖。另外，以下，為了便于說(shuō)明，將圖2中的右側(cè)稱為前端，將左側(cè)稱為基端。
[0074]如圖1和圖2所不，振動(dòng)兀件I具有壓電基板(基板)2和形成在壓電基板2上的電極3。
[0075](壓電基板)
[0076]壓電基板2是板狀的石英基板。這里，作為壓電基板2的材料的石英屬于三方晶系，具有圖3所示彼此垂直的晶軸X、Y、Z。X軸、Y軸、Z軸分別稱為電氣軸、機(jī)械軸、光學(xué)軸。本實(shí)施方式的壓電基板2是沿著使XZ面繞X軸旋轉(zhuǎn)規(guī)定的角度Θ而成的平面切出的“旋轉(zhuǎn)Y切割石英基板”，例如沿著旋轉(zhuǎn)Θ =35° 15’而成的平面切出時(shí)的基板稱為“AT切石英基板”。通過(guò)使用這樣的石英基板，成為具有優(yōu)異的溫度特性的振動(dòng)元件I。不過(guò)，作為壓電基板2，只要能激勵(lì)厚度剪切振動(dòng)，就不限定于AT切的壓電基板，也可以使用例如BT切的壓電基板。
[0077]另外，以下，將對(duì)應(yīng)于角度Θ而繞X軸旋轉(zhuǎn)后的Y軸和Z軸稱為Y’軸和Ζ’軸。即，壓電基板2在Y’軸方向上具有厚度，在ΧΖ’面方向上具有寬度。
[0078]壓電基板2在俯視時(shí)呈以沿著X軸的方向?yàn)殚L(zhǎng)邊，以沿著Ζ’軸的方向?yàn)槎踢叺拇笾麻L(zhǎng)方形。并且，壓電基板2以一 X軸方向?yàn)榍岸藗?cè)，以+X軸方向?yàn)榛藗?cè)。
[0079]如圖1和圖2所示,壓電基板2具有:包含薄壁的振動(dòng)區(qū)域(封入有振動(dòng)能量的區(qū)域)219的振動(dòng)部(第I區(qū)域)21、以及與振動(dòng)部21 —體且厚度比振動(dòng)區(qū)域219厚的厚壁部(第2區(qū)域)22。振動(dòng)部21可以通過(guò)例如在石英基板的+ Y’軸側(cè)的主面利用濕式蝕刻形成凹陷部來(lái)形成。
[0080]如圖1和圖2所不，振動(dòng)部21相對(duì)于壓電基板2的中央，偏向一 X軸方向側(cè)和一V軸方向側(cè)，其外緣的一部分從厚壁部22露出。具體地說(shuō)，振動(dòng)部21具有:在俯視振動(dòng)元件I時(shí)在X軸方向(厚度剪切振動(dòng)的振動(dòng)方向)上隔開，在Ζ’軸方向(與X軸方向交叉的方向)上延伸的第I外緣211和第2外緣212 ;以及在Ζ’軸方向上隔開，在X軸方向上延伸的第3外緣213和第4外緣214。第I外緣211、第2外緣212中的第I外緣211位于+ X軸偵牝第2外緣212位于一 X軸側(cè)。并且，第3外緣213、第4外緣214中的第3外緣213位于+ V軸側(cè)，第4外緣214位于一 V軸側(cè)。
[0081]以包圍這樣的振動(dòng)部21的三個(gè)方向的方式設(shè)置厚壁部22。如圖1所示，厚壁部22的正面(+ Y’軸方向側(cè)的主面)被設(shè)置成與振動(dòng)部21的正面(+ Y’軸方向側(cè)的主面)相比朝+Υ’軸方向側(cè)突出。另一方面，厚壁部22的背面(一 Y’軸方向側(cè)的主面)被設(shè)置在與振動(dòng)部21的背面(一 Y’軸方向側(cè)的主面)相同的平面上。
[0082]如圖1和圖2所示，厚壁部22具有:沿著第I外緣211配置的第I厚壁部23、沿著第2外緣212配置的第2厚壁部24、以及沿著第3外緣213配置且與第I厚壁部23、第2厚壁部24連接的第3厚壁部25。因此，厚壁部22呈在俯視時(shí)沿著振動(dòng)部21彎曲的構(gòu)造。另一方面，在振動(dòng)部21的第4外緣214沒(méi)有形成薄壁部22，第4外緣214從厚壁部22露出。這樣，通過(guò)將厚壁部22部分地設(shè)置在振動(dòng)部21的外緣而不沿著第4外緣214設(shè)置，可以在保持振動(dòng)元件I (振動(dòng)部21)的剛性的同時(shí),減小振動(dòng)元件I的前端側(cè)的質(zhì)量。并且，可以實(shí)現(xiàn)振動(dòng)元件I的小型化。
[0083]這里，通過(guò)將第3厚壁部25相對(duì)于振動(dòng)部21設(shè)置在+ V軸側(cè)，與將第3厚壁部25設(shè)置在一 Z’軸側(cè)時(shí)相比，可以縮短后述的傾斜部251的寬度(Z’軸方向的長(zhǎng)度)。因此，根據(jù)這樣的厚壁部22，可以實(shí)現(xiàn)振動(dòng)元件I的小型化。
[0084]第I厚壁部23具有:與第I外緣211連設(shè)且厚度向+ X軸方向漸增的傾斜部(殘?jiān)?231、和與傾斜部231的+ X軸方向側(cè)的端緣連接的厚度大致固定的厚壁部主體232。同樣，第2厚壁部24具有:與第2外緣212連設(shè)且厚度向一 X軸方向漸增的傾斜部(殘?jiān)?241、和與傾斜部241的一 X軸方向側(cè)的端緣連接的厚度大致固定的厚壁部主體242。同樣，第3厚壁部25具有:與第3外緣213連設(shè)且厚度向+ Z’軸方向漸增的傾斜部(殘?jiān)?251、和與傾斜部251的+ V軸方向側(cè)的端緣連接的厚度大致固定的厚壁部主體252。
[0085]在第I厚壁部23的厚壁部主體232的正面即振動(dòng)元件I的基端側(cè)設(shè)置有安裝部(固定部)29。如圖4所示，振動(dòng)元件I通過(guò)該安裝部29使用粘接材料91固定在對(duì)象物92上。另外，安裝部29的位置沒(méi)有特別限定，例如也可以設(shè)置在厚壁部主體232的背面。
[0086](電極)
[0087]電極3具有一對(duì)激勵(lì)電極31、32、一對(duì)盤電極33、34以及一對(duì)引出電極35、36。激勵(lì)電極31形成在振動(dòng)區(qū)域219的正面。另一方面，激勵(lì)電極32與激勵(lì)電極31相對(duì)地配置在振動(dòng)區(qū)域219的背面。激勵(lì)電極31、32分別是以X軸方向?yàn)殚L(zhǎng)邊，以Z’軸方向?yàn)槎踢叺拇笾戮匦?。并且，背面?zhèn)鹊募?lì)電極32的面積比正面?zhèn)鹊募?lì)電極31大，在俯視振動(dòng)元件I時(shí)，激勵(lì)電極31的整個(gè)區(qū)域位于激勵(lì)電極32內(nèi)。
[0088]盤電極33形成在厚壁部主體232的正面的安裝部29上。另一方面，盤電極34與盤電極33相對(duì)地形成在厚壁部主體232的背面。
[0089]從激勵(lì)電極31延伸出引出電極35，激勵(lì)電極31和盤電極33經(jīng)由該引出電極35電連接。并且，從激勵(lì)電極32延伸出引出電極36，激勵(lì)電極32和盤電極34經(jīng)由該引出電極36電連接。引出電極36被設(shè)置成在俯視時(shí)不隔著壓電基板2與引出電極35重合。由此，可以抑制引出電極35、36之間的靜電電容。
[0090]這樣的電極3的結(jié)構(gòu)沒(méi)有特別限定，例如可以使用在Cr (鉻)、Ni (鎳)等的基底層層疊Au (金)或Al (鋁)和以Au (金)或Al (鋁)為主成分的合金而成的金屬覆膜構(gòu)成。
[0091]以上，對(duì)振動(dòng)元件I的基本結(jié)構(gòu)作了說(shuō)明。下面，對(duì)振動(dòng)元件I的厚壁部22的厚度T、第2厚壁部24的寬度W24以及第3厚壁部25的寬度W25進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。另外，厚度T是指厚壁部22的厚壁部主體232、242、252的平均厚度(當(dāng)設(shè)Y’軸方向的最大厚度為Tmax，最小厚度為Tmin時(shí)，由(Tmax + Tmin) /2構(gòu)成的厚度)，寬度W24是指厚壁部主體242的平均寬度(由X軸方向的最大尺寸和最小尺寸構(gòu)成的平均尺寸)，寬度W25是指厚壁部主體252的平均寬度(當(dāng)設(shè)V軸方向的最大尺寸為L(zhǎng)max,最小尺寸為L(zhǎng)min時(shí)，由(Lmax + Lmin) /2構(gòu)成的平均寬度)。并且，以下所述的厚度T、寬度W24、寬度W25的值分別為振動(dòng)元件I的外形(長(zhǎng)度L、寬度W)處于規(guī)定的范圍內(nèi)時(shí)特別有效的值。該規(guī)定的范圍是指滿足5_的關(guān)系且滿足W ^ 3mm的關(guān)系的范圍。
[0092]首先，對(duì)厚壁部主體242的寬度W24進(jìn)行說(shuō)明。寬度W24被設(shè)定為10ljIii以下。由此，可以充分減小第2厚壁部24的質(zhì)量，可以減小振動(dòng)元件I的前端側(cè)的質(zhì)量。因此，如圖4所示，在安裝部29中通過(guò)粘接材料固定在對(duì)象物上的狀態(tài)下，可以減小對(duì)振動(dòng)元件I施加Y’軸方向的角速度時(shí)的振動(dòng)元件I的前端側(cè)(振動(dòng)部21)的撓曲量。結(jié)果，可以抑制由Y’軸方向的加速度引起的振動(dòng)特性的變化，可以使振動(dòng)元件I對(duì)Y’軸方向的加速度的靈敏度變得遲鈍。因此，振動(dòng)元件I不管是否施加Y’軸方向的加速度，都可以發(fā)揮穩(wěn)定的振動(dòng)特性。
[0093]圖5的曲線圖示出由施加Y’軸方向的加速度時(shí)的寬度W24的差異引起的G靈敏度特性的變化。如圖5所示可知，寬度W24越小，則頻率變化越小，對(duì)Y’軸方向的加速度的靈敏度變得越遲鈍。并且，圖6示出寬度W24不同的2個(gè)振動(dòng)元件在施加一 Y’軸方向的加速度負(fù)載時(shí)的撓曲量的差異。在圖6中，實(shí)線所示的振動(dòng)元件的寬度W24被設(shè)定成比虛線所示的振動(dòng)元件的寬度W24小，實(shí)線所示的振動(dòng)元件的撓曲量小。因此可知，寬度W24小的振動(dòng)元件I對(duì)Y’軸方向的加速度的靈敏度遲鈍。另外，圖5和圖6分別是列舉一例示出振動(dòng)元件I的傾向的曲線圖，振動(dòng)元件I不限定于圖5和圖6中的數(shù)值。
[0094]這里，從振動(dòng)元件I的前端部的質(zhì)量減小效果的觀點(diǎn)來(lái)看，寬度W24越小越好，然而當(dāng)寬度W24過(guò)小時(shí)，由于厚壁部22的厚度T而使振動(dòng)元件I的強(qiáng)度過(guò)度下降，有可能導(dǎo)致振動(dòng)元件I損壞。因此，在確保振動(dòng)元件I的機(jī)械強(qiáng)度的觀點(diǎn)上，優(yōu)選的是，寬度W24為40^以上。即，通過(guò)滿足40^ ( W24 ( 100,m的關(guān)系，可以在確保振動(dòng)元件I的機(jī)械強(qiáng)度的同時(shí)，減小振動(dòng)元件I的前端部的質(zhì)量。由此，可以進(jìn)一步減小對(duì)振動(dòng)元件I施加Y’軸方向的角速度時(shí)的振動(dòng)元件I的前端側(cè)的撓曲量，振動(dòng)元件I不管是否施加Y’軸方向的加速度，都可以發(fā)揮更穩(wěn)定的振動(dòng)特性。而且，通過(guò)滿足45 μ m < W24 < 55 μ m的關(guān)系，可以更顯著地發(fā)揮上述效果。
[0095]下面，對(duì)厚壁部22的厚度T進(jìn)行說(shuō)明。厚度T沒(méi)有特別限定，優(yōu)選的是，滿足50μπι< 70μπι的關(guān)系。由此，可以在確保振動(dòng)元件I的剛性的同時(shí)，高精度地進(jìn)行振動(dòng)部21的形成。因此，振動(dòng)元件I可以穩(wěn)定地發(fā)揮期望的振動(dòng)特性。與此相對(duì)，當(dāng)厚度T不到上述下限值時(shí)，由于振動(dòng)元件I的質(zhì)量(長(zhǎng)度L和寬度W等)，使得振動(dòng)元件I的剛性不足，有時(shí)不能充分減小對(duì)振動(dòng)元件I施加Y’軸方向的角速度時(shí)的振動(dòng)元件I的前端部(振動(dòng)部21)的撓曲量。相反，當(dāng)厚度T超過(guò)上述上限值時(shí)，有可能導(dǎo)致振動(dòng)元件I的過(guò)度大型化，或者導(dǎo)致振動(dòng)元件I的成品率下降。具體地說(shuō)，如上所述，振動(dòng)部21是通過(guò)利用濕式蝕刻在+Υ’側(cè)的主面形成凹陷部而得到的，當(dāng)厚度T變大時(shí)，凹陷部相應(yīng)地變深，伴隨于此，傾斜部231、241、251的寬度也變寬。因此，導(dǎo)致振動(dòng)元件I的大型化。并且，厚度T越大，則凹陷部的深度(蝕刻深度)越深，蝕刻精度越低。因此，將振動(dòng)部21整理成期望的厚度變得困難，結(jié)果，振動(dòng)元件的成品率下降。
[0096]圖7的曲線圖示出由施加Y’軸方向的加速度時(shí)的厚度T的差異引起的G靈敏度特性的變化。如圖7所示可知，厚度T越大，則頻率變化越小，對(duì)Y’軸方向的加速度的靈敏度變得越遲鈍。另外，在圖7中，顯示4個(gè)樣品的結(jié)果。并且，圖7是列舉一例示出振動(dòng)元件I的傾向的曲線圖，振動(dòng)元件I不限定于圖7中的數(shù)值。
[0097]下面，對(duì)厚壁部主體252的寬度W25進(jìn)行說(shuō)明。寬度W25沒(méi)有特別限定，優(yōu)選的是200 μ m以上。由此，可以充分確保振動(dòng)元件I的剛性，可以減小對(duì)振動(dòng)元件I施加Y’軸方向的角速度時(shí)的振動(dòng)元件I的前端側(cè)(振動(dòng)部21)的撓曲量。因此,振動(dòng)元件I不管是否施加Y’軸方向的加速度，都可以發(fā)揮穩(wěn)定的振動(dòng)特性。特別是在振動(dòng)元件I中，第I厚壁部23從X軸方向支撐振動(dòng)部21，第3厚壁部25從V軸方向支撐振動(dòng)部21，因而可以更有效地抑制振動(dòng)部21的Y’軸方向的撓曲。另外，寬度W25的上限值沒(méi)有特別限定，只要能夠以期望的尺寸形成振動(dòng)部21，則優(yōu)選較大的。由此，可以更顯著地發(fā)揮上述效果。
[0098]圖8的曲線圖示出由施加Y’軸方向的加速度時(shí)的寬度W25的差異引起的G靈敏度特性的變化。如圖8所示可知，寬度W25越大，則頻率變化越小，對(duì)Y’軸方向的加速度的靈敏度變得越遲鈍。并且，圖8是列舉一例示出振動(dòng)元件I的傾向的曲線圖，振動(dòng)元件I不限定于圖8中的數(shù)值。
[0099]如上所述，根據(jù)本實(shí)施方式的振動(dòng)元件1，可減小前端側(cè)的質(zhì)量，可減少由施加Y’軸方向的加速度引起的振動(dòng)特性的變化，可以發(fā)揮穩(wěn)定的振動(dòng)特性。
[0100]這里，為了減小圖9的(a)所示的振動(dòng)元件的前端部的質(zhì)量，可考慮如下情況:如圖9的(b)所示，減小厚壁部主體242的寬度，或者如圖9的(c)所示，減小厚壁部主體252的寬度，或者如圖9的(d)所示,去除前端部的+ Z’軸側(cè)的端部,或者如圖9的(e)所示,去除前端部的一 Z’軸側(cè)的端部。另外，以下，將圖9的(b)稱為圖案P1，將圖9的(c)稱為圖案P2，將圖9的(d)稱為圖案P3，將圖9的(e)稱為圖案P4。
[0101]圖10示出這些圖案Pl?P4對(duì)G靈敏度特性帶來(lái)的影響。圖10的曲線圖的橫軸是[去除部(虛線包圍的部分)的質(zhì)量]X [去除部的重心與支點(diǎn)(安裝部29)的隔開距離]的值，以下稱為“力矩”。圖8的曲線圖的縱軸是歸一化的G靈敏度，是將圖9的(a)所示的振動(dòng)元件的G靈敏度設(shè)為I而對(duì)各圖案Pl?P4的G靈敏度歸一化而成的值。
[0102]從圖10可知，在圖案Pl?P4中，G靈敏度特性的變化分別不同。例如，在圖案P1、P3、P4中，隨著去除部變大而G靈敏度下降，與此相對(duì)，對(duì)于圖案P2來(lái)說(shuō)，相反，隨著去除部變大而G靈敏度變高。并且，在圖案P1、P3、P4中，對(duì)于圖案P1、P3來(lái)說(shuō)，G靈敏度不是與去除部的大小成正比飽和而是線性下降，與此相對(duì)，對(duì)于圖案P4來(lái)說(shuō)，當(dāng)去除部的大小為一定以上時(shí)，G靈敏度的下降大致飽和。這樣的各圖案Pl?P4的G靈敏度特性變化的差異可認(rèn)為是由石英的晶軸和振動(dòng)元件的形狀引起的。
[0103]圖11是表示與由施加給石英振子的力F引起的諧振頻率的變化之間的關(guān)系的曲線圖。當(dāng)設(shè)力F與石英的X軸的交叉角度為φ時(shí)，當(dāng)φ=0°時(shí)，力F沿著X軸的方向作用，當(dāng)φ=90°時(shí)，力F沿著Ζ’軸的方向作用。
[0104]并且，從圖11可知，X軸和Ζ’軸的應(yīng)力靈敏度(Kf)正負(fù)相反。這成為一個(gè)原因，可認(rèn)為產(chǎn)生圖案Pl和圖案Ρ2的差異。并且，由于圖案Ρ3、Ρ4分別可認(rèn)為是圖案Ρ1、Ρ2的復(fù)合，因而可認(rèn)為呈現(xiàn)與圖案Ρ1、Ρ2不同的特性。并且，圖案Ρ3、Ρ4的差異可認(rèn)為除了所述應(yīng)力靈敏度以外，還起因于振動(dòng)元件I的形狀的差異。即，對(duì)于圖案Ρ3來(lái)說(shuō)，不管去除部的大小如何，厚壁部22都占去除部的整體，因而G靈敏度相對(duì)于去除部的大小線性地變遲鈍。另一方面，對(duì)于圖案Ρ4來(lái)說(shuō)，隨著去除部變大，振動(dòng)部21占去除部的比例變大，質(zhì)量減小效果減小，G靈敏度的下降飽和。
[0105]這樣，
【發(fā)明者】們發(fā)現(xiàn)，根據(jù)如何減小振動(dòng)元件的前端部的質(zhì)量，可以選擇G靈敏度變化的方式。在振動(dòng)元件I中，通過(guò)從圖案Pl?P4中選擇圖案P1，減小前端部的質(zhì)量，實(shí)現(xiàn)G靈敏度特性的提高。圖案Pl在不使G靈敏度的下降飽和而得到發(fā)揮方面是優(yōu)選的。并且，圖案Pl與其它圖案P2?P4相比，在可以縮短振動(dòng)元件I的X軸方向的長(zhǎng)度，可以實(shí)現(xiàn)小型化方面也是有效的。并且，如上所述，通過(guò)增大寬度W25，可以阻止圖案P2的效果的顯現(xiàn)，可以抑制G靈敏度的上升。
[0106]<第2實(shí)施方式>
[0107]下面，對(duì)本發(fā)明的振動(dòng)元件的第2實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。
[0108]圖12是本發(fā)明的第2實(shí)施方式的振動(dòng)元件的立體圖。
[0109]以下，對(duì)于第2實(shí)施方式的振動(dòng)元件，以與所述第I實(shí)施方式的不同點(diǎn)為中心進(jìn)行說(shuō)明，對(duì)于相同的事項(xiàng)，省略其說(shuō)明。
[0110]本發(fā)明的第2實(shí)施方式的振動(dòng)元件除了壓電基板的結(jié)構(gòu)不同以外，與所述第I實(shí)施方式相同。另外，對(duì)與所述第I實(shí)施方式相同的結(jié)構(gòu)標(biāo)注相同標(biāo)號(hào)。
[0111]如圖12所示，在本實(shí)施方式的振動(dòng)元件I中，通過(guò)在壓電基板2的兩個(gè)主面形成凹陷部來(lái)形成振動(dòng)部21。換句話說(shuō)，厚壁部22的正面(+ Y’軸方向側(cè)的主面)被設(shè)置成與振動(dòng)部21的正面(+ Y’軸方向側(cè)的主面)相比朝+ Y’軸方向側(cè)突出，厚壁部22的背面(一Y’軸方向側(cè)的主面)被設(shè)置成與振動(dòng)部21的背面(一 Y’軸方向側(cè)的主面)相比朝一 Y’軸方向側(cè)突出。這樣，通過(guò)在壓電基板2的兩個(gè)主面形成凹陷部來(lái)形成振動(dòng)部21，例如與所述第I實(shí)施方式相比，可以使凹陷部的蝕刻深度變淺。因此，可以更高精度地進(jìn)行蝕刻，可以更高精度地得到壓電基板2的外形形狀。
[0112]根據(jù)這樣的第2實(shí)施方式，可以發(fā)揮與所述第I實(shí)施方式相同的效果。
[0113]2.振子
[0114]下面，對(duì)應(yīng)用所述振動(dòng)元件I的振子(本發(fā)明的振子)進(jìn)行說(shuō)明。
[0115]圖13是示出本發(fā)明的振子的優(yōu)選實(shí)施方式的截面圖。
[0116]圖13所示的振子10具有所述振動(dòng)元件I以及收納振動(dòng)元件I的封裝4。
[0117](封裝)
[0118]封裝4具有:具有上面開放的凹部411的箱狀的基座41、以及堵塞凹部411的開口而與基座41接合的板狀的蓋42。并且，在通過(guò)使用蓋42堵塞凹部411而形成的收納空間S內(nèi)收納有振動(dòng)元件I。收納空間S可以處于減壓(真空)狀態(tài)，也可以封入有氮?dú)?、氦氣、氬氣等惰性氣體。
[0119]基座41的構(gòu)成材料沒(méi)有特別限定，可以使用氧化鋁等的各種陶瓷。并且，蓋42的構(gòu)成材料沒(méi)有特別限定，可以是線膨脹系數(shù)與基座41的構(gòu)成材料近似的材料。例如，在基座41的構(gòu)成材料采用上述陶瓷的情況下，優(yōu)選的是采用可伐合金等的合金。另外，基座41與蓋42的接合沒(méi)有特別限定，例如可以通過(guò)粘接材料接合，也可以通過(guò)縫焊等接合。
[0120]在基座41的凹部411的底面形成有連接電極451、461。并且，在基座41的下表面形成有外部安裝端子452、462。連接電極451經(jīng)由形成于基座41的未圖示的貫通電極而與外部安裝端子452電連接，連接電極461經(jīng)由形成于基座41的未圖示的貫通電極而與外部安裝端子462電連接。
[0121]連接電極451、461、外部安裝端子452、462的結(jié)構(gòu)沒(méi)有特別限定，只要分別具有導(dǎo)電性即可，例如可以使用在Cr (鉻)、W (鎢)等的金屬化層(基底層)層疊Ni (鎳)、Au (金)、Ag (銀)、Cu (銅)等的各覆膜而成的金屬覆膜構(gòu)成。
[0122]收納在收納空間S內(nèi)的振動(dòng)元件I使正面朝向基座41側(cè)，在安裝部29中，通過(guò)導(dǎo)電性粘接材料51固定在基座41上。導(dǎo)電性粘接材料51被設(shè)置成與連接電極451和盤電極33接觸。由此，通過(guò)導(dǎo)電性粘接材料51使連接電極451和盤電極33電連接。通過(guò)使用導(dǎo)電性粘接材料51在一個(gè)部位(一點(diǎn))支撐振動(dòng)兀件I，例如，可以抑制由于基座41與壓電基板2的熱膨脹率的差而在振動(dòng)元件I產(chǎn)生的應(yīng)力。
[0123]導(dǎo)電性粘接材料51沒(méi)有特別限定，只要具有導(dǎo)電性和粘接性即可，例如可以使用使導(dǎo)電性填料分散在硅系、環(huán)氧樹脂系、丙烯酸系、聚酰亞胺系、雙馬來(lái)酰亞胺系等的粘接材料內(nèi)而成的導(dǎo)電性粘接材料。
[0124]振動(dòng)元件I的盤電極34經(jīng)由接合線52而與連接電極461電連接。如上所述，盤電極34與盤電極33相對(duì)地配置，因而在振動(dòng)元件I固定于基座41上的狀態(tài)下，位于導(dǎo)電性粘接材料51的正上方。因此，可以抑制在線接合時(shí)對(duì)盤電極34的振動(dòng)(超聲波振動(dòng))泄漏，可以更可靠地進(jìn)行接合線52與盤電極34的連接。
[0125]3.振蕩器
[0126]下面，對(duì)應(yīng)用本發(fā)明的振動(dòng)元件的振蕩器(本發(fā)明的振蕩器)進(jìn)行說(shuō)明。
[0127]圖14是示出本發(fā)明的振蕩器的優(yōu)選實(shí)施方式的截面圖。
[0128]圖14所示的振蕩器100具有振子10以及用于驅(qū)動(dòng)振動(dòng)元件I的IC芯片110。以下，對(duì)于振蕩器100，以與所述振子的不同點(diǎn)為中心進(jìn)行說(shuō)明，對(duì)于相同的事項(xiàng)，省略其說(shuō)明。
[0129]如圖14所示，在振蕩器100中，在基座41的凹部411固定有IC芯片110。IC芯片110與形成在凹部411的底面上的多個(gè)內(nèi)部端子120電連接。在多個(gè)內(nèi)部端子120中，有的與連接電極451、461連接，有的與外部安裝端子452、462連接。IC芯片110具有用于控制振動(dòng)元件I的驅(qū)動(dòng)的振蕩電路。當(dāng)通過(guò)IC芯片110驅(qū)動(dòng)振動(dòng)元件I時(shí)，可以取出規(guī)定的頻率的信號(hào)。
[0130]4.電子設(shè)備
[0131]下面，對(duì)應(yīng)用本發(fā)明的振動(dòng)元件的電子設(shè)備(本發(fā)明的電子設(shè)備)進(jìn)行說(shuō)明。
[0132]圖15是示出應(yīng)用本發(fā)明的電子設(shè)備的移動(dòng)型(或者筆記本型)個(gè)人計(jì)算機(jī)的結(jié)構(gòu)的立體圖。在該圖中，個(gè)人計(jì)算機(jī)1100由具有鍵盤1102的主體部1104和具有顯示部2000的顯示單元1106構(gòu)成,顯示單元1106經(jīng)由鉸鏈結(jié)構(gòu)部可轉(zhuǎn)動(dòng)地支撐于主體部1104。在這樣的個(gè)人計(jì)算機(jī)1100中內(nèi)置有作為濾波器、諧振器、基準(zhǔn)時(shí)鐘等發(fā)揮功能的振子10 (振動(dòng)元件I)。
[0133]圖16是示出應(yīng)用本發(fā)明的電子設(shè)備的便攜電話(包含PHS)的結(jié)構(gòu)的立體圖。在該圖中，便攜電話1200具有多個(gè)操作按鈕1202、受話口 1204以及送話口 1206，在操作按鈕1202和受話口 1204之間配置有顯示部2000。在這樣的便攜電話1200中內(nèi)置有作為濾波器、諧振器等發(fā)揮功能的振子10 (振動(dòng)元件I)。
[0134]圖17是示出應(yīng)用本發(fā)明的電子設(shè)備的數(shù)字靜止照相機(jī)的結(jié)構(gòu)的立體圖。另外，在該圖中還簡(jiǎn)單地示出與外部設(shè)備的連接。這里，通常的照相機(jī)利用被攝體的光像對(duì)銀鹽膠卷進(jìn)行感光，而數(shù)字靜止照相機(jī)1300利用CCD (Charge Coupled Device:電荷稱合器件)等攝像元件對(duì)被攝體的光像進(jìn)行光電轉(zhuǎn)換來(lái)生成攝像信號(hào)(圖像信號(hào))。
[0135]在數(shù)字靜止照相機(jī)1300的殼體(主體)1302的背面設(shè)置有顯示部，成為根據(jù)CXD的攝像信號(hào)進(jìn)行顯示的結(jié)構(gòu)，顯示部作為將被攝體作為電子圖像進(jìn)行顯示的取景器發(fā)揮功能。并且，在殼體1302的正面?zhèn)?圖中背面?zhèn)?設(shè)置有包含光學(xué)鏡頭(攝像光學(xué)系統(tǒng))、CCD等的受光單元1304。
[0136]當(dāng)攝影者確認(rèn)顯示在顯示部的被攝體像并按下快門按鈕1306時(shí)，將該時(shí)點(diǎn)的CXD的攝像信號(hào)傳送到存儲(chǔ)器1308進(jìn)行存儲(chǔ)。并且，在該數(shù)字靜止照相機(jī)1300中，在殼體1302的側(cè)面設(shè)置有視頻信號(hào)輸出端子1312和數(shù)據(jù)通信用的輸入輸出端子1314。并且，如圖所示，根據(jù)需要，將電視監(jiān)視器1430與視頻信號(hào)輸出端子1312連接，將個(gè)人計(jì)算機(jī)1440與數(shù)據(jù)通信用的輸入輸出端子1314連接。而且，成為通過(guò)規(guī)定的操作，將存儲(chǔ)在存儲(chǔ)器1308內(nèi)的攝像信號(hào)輸出到電視監(jiān)視器1430或個(gè)人計(jì)算機(jī)1440的結(jié)構(gòu)。在這樣的數(shù)字靜止照相機(jī)300中內(nèi)置有作為濾波器、諧振器等發(fā)揮功能的振子10 (振動(dòng)元件I)。
[0137]另外，具有本發(fā)明的振動(dòng)元件的電子設(shè)備除了圖15的個(gè)人計(jì)算機(jī)(移動(dòng)型個(gè)人計(jì)算機(jī))、圖16的便攜電話、圖17的數(shù)字靜止照相機(jī)以外，還可以應(yīng)用于例如噴墨式排出裝置(例如噴墨式打印機(jī))、膝上型個(gè)人計(jì)算機(jī)、電視機(jī)、攝像機(jī)、錄像機(jī)、車載導(dǎo)航裝置、傳呼機(jī)、電子記事本(包含通信功能的電子記事本)、電子詞典、計(jì)算器、電子游戲設(shè)備、文字處理器、工作站、可視電話、保安用電視監(jiān)視器、電子雙筒望遠(yuǎn)鏡、POS終端、醫(yī)療設(shè)備(例如電子體溫計(jì)、血壓計(jì)、血糖計(jì)、心電圖計(jì)測(cè)裝置、超聲波診斷裝置、電子內(nèi)窺鏡)、魚群探測(cè)器、各種測(cè)定設(shè)備、計(jì)量?jī)x器類(例如車輛、飛機(jī)、船舶的計(jì)量?jī)x器類)、飛行模擬器等。
[0138]5.移動(dòng)體
[0139]下面，對(duì)應(yīng)用本發(fā)明的振動(dòng)元件的移動(dòng)體(本發(fā)明的移動(dòng)體)進(jìn)行說(shuō)明。
[0140]圖18是概略地示出作為本發(fā)明的移動(dòng)體的一例的汽車的立體圖。在汽車1500內(nèi)搭載有振子10(振動(dòng)元件I)。振子10可廣泛地應(yīng)用于無(wú)鑰匙進(jìn)入系統(tǒng)、發(fā)動(dòng)機(jī)防盜鎖止系統(tǒng)、汽車導(dǎo)航系統(tǒng)、汽車空調(diào)、防抱死制動(dòng)系統(tǒng)(ABS)、安全氣囊、輪胎壓力監(jiān)測(cè)系統(tǒng)(TPMS:Tire Pressure Monitoring System)、發(fā)動(dòng)機(jī)控制器、混合動(dòng)力汽車和電動(dòng)汽車的電池監(jiān)視器、車身姿態(tài)控制系統(tǒng)等的電子控制單元(EQJ !electronic control unit)。
[0141]以上，根據(jù)圖示的實(shí)施方式對(duì)本發(fā)明的振動(dòng)元件、振子、振蕩器、電子設(shè)備以及移動(dòng)體作了說(shuō)明，然而本發(fā)明不限于此，各部分的結(jié)構(gòu)可以置換為具有相同功能的任意結(jié)構(gòu)。并且，也可以向本發(fā)明附加其它任意的構(gòu)成物。并且，可以適當(dāng)組合所述各實(shí)施方式。
[0142] 并且，在所述實(shí)施方式中，使用石英基板作為壓電基板，然而，也可以取代石英基板而使用例如鈮酸鋰、鉭酸鋰等的各種壓電基板。
【權(quán)利要求】
1.一種振動(dòng)元件，其特征在于，該振動(dòng)元件包含: 基板，其包含第I區(qū)域和第2區(qū)域，所述第I區(qū)域包含以厚度剪切振動(dòng)進(jìn)行振動(dòng)的振動(dòng)區(qū)域，所述第2區(qū)域與所述第I區(qū)域一體，厚度比所述第I區(qū)域厚；以及 激勵(lì)電極，其分別設(shè)置于所述振動(dòng)區(qū)域的正面和背面， 所述第I區(qū)域包含設(shè)置于所述厚度剪切振動(dòng)的振動(dòng)方向的一端的第I外緣和設(shè)置于另一端的第2外緣， 所述第I外緣和所述第2外緣在與所述振動(dòng)方向交叉的方向上延伸， 所述第I區(qū)域包含設(shè)置于與所述振動(dòng)方向交叉的方向的一端的第3外緣和設(shè)置于另一端的第4外緣， 所述第4外緣從所述基板的側(cè)面露出， 所述第2區(qū)域包含: 第I厚壁部，其沿著所述第I外緣設(shè)置，設(shè)置有固定于對(duì)象物的固定部； 第2厚壁部，其沿著所述第2外緣設(shè)置；以及 第3厚壁部，其 沿著所述第3外緣設(shè)置且與所述第I厚壁部和所述第2厚壁部連接， 當(dāng)設(shè)所述第2厚壁部沿著所述振動(dòng)方向的最大尺寸為L(zhǎng)max,最小尺寸為L(zhǎng)min時(shí),平均尺寸(Lmax + Lmin) /2 為 100 μ m 以下。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的振動(dòng)元件，其中，當(dāng)設(shè)所述第2厚壁部沿著所述振動(dòng)方向的最大尺寸為L(zhǎng)max,最小尺寸為L(zhǎng)min時(shí)，平均尺寸(Lmax + Lmin) /2為40 μ m以上。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的振動(dòng)元件，其中，當(dāng)設(shè)所述第2區(qū)域的最大厚度為Tmax，最小厚度為Tmin時(shí)，平均厚度(Tmax + Tmin) /2為50 μ m以上70 μ m以下。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的振動(dòng)元件，其中，當(dāng)設(shè)所述第2區(qū)域的最大厚度為Tmax，最小厚度為Tmin時(shí)，平均厚度(Tmax + Tmin)/2為50 μ m以上70 μ m以下。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的振動(dòng)元件，其中，在設(shè)所述第3厚壁部沿著與所述振動(dòng)方向垂直的方向的最大尺寸為L(zhǎng)max,最小尺寸為L(zhǎng)min時(shí),平均尺寸(Lmax + Lmin)/2為200 μ m以上。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的振動(dòng)元件，其中，當(dāng)設(shè)所述第3厚壁部沿著與所述振動(dòng)方向垂直的方向的最大尺寸為L(zhǎng)max,最小尺寸為L(zhǎng)min時(shí),平均尺寸(Lmax + Lmin)/2為200 μ m以上。
7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的振動(dòng)元件，其中，當(dāng)設(shè)所述第3厚壁部沿著與所述振動(dòng)方向垂直的方向的最大尺寸為L(zhǎng)max,最小尺寸為L(zhǎng)min時(shí),平均尺寸(Lmax + Lmin)/2為200 μ m以上。
8.根據(jù)權(quán)利要求4所述的振動(dòng)元件，其中，當(dāng)設(shè)所述第3厚壁部沿著與所述振動(dòng)方向垂直的方向的最大尺寸為L(zhǎng)max,最小尺寸為L(zhǎng)min時(shí),平均尺寸(Lmax + Lmin)/2為200 μ m以上。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的振動(dòng)元件，其中，所述基板是如下的石英板:在石英的晶軸即作為電氣軸的X軸、作為機(jī)械軸的Y軸和作為光學(xué)軸的Z軸中，將所述X軸作為旋轉(zhuǎn)軸，將使所述Z軸以+ Z側(cè)朝所述Y軸的一 Y方向旋轉(zhuǎn)的方式傾斜后的軸作為V軸，將使所述Y軸以+ Y側(cè)朝所述Z軸的+ Z方向旋轉(zhuǎn)的方式傾斜后的軸作為Y’軸，將包含所述X軸和所述Z’軸的面作為主面，將沿著所述Y’軸的方向作為厚度方向。
10.—種振子，其特征在于，該振子具有:權(quán)利要求1所述的振動(dòng)元件；以及收納所述振動(dòng)元件的封裝。
11.一種振蕩器，其特征在于，該振蕩器具有:權(quán)利要求1所述的振動(dòng)元件；以及驅(qū)動(dòng)所述振動(dòng)元件的振蕩電路。
12.一種電子設(shè)備，其特征在于，該電子設(shè)備具有權(quán)利要求1所述的振動(dòng)元件。
13.—種移動(dòng)體，其 特征在于，該移動(dòng)體具有權(quán)利要求1所述的振動(dòng)元件。
【文檔編號(hào)】H03H9/02GK104079254SQ201410104441
【公開日】2014年10月1日 申請(qǐng)日期:2014年3月20日 優(yōu)先權(quán)日:2013年3月29日
【發(fā)明者】菊島正幸, 田中雅子, 小幡直久, 海野幸浩 申請(qǐng)人:精工愛(ài)普生株式會(huì)社