表面聲波器件、表面聲波振蕩器以及電子設(shè)備的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供表面聲波器件、表面聲波振蕩器以及電子設(shè)備，它們能夠?qū)崿F(xiàn)良好的頻率溫度特性。表面聲波器件的特征在于，具有石英基板(30)和激勵(lì)出阻帶上端模式的表面聲波的IDT(12)，石英基板(30)的歐拉角為
【專利說明】表面聲波器件、表面聲波振蕩器以及電子設(shè)備
[0001] 本申請(qǐng)是申請(qǐng)日為2011年08月24日，申請(qǐng)?zhí)枮?01110246685. 4,發(fā)明名稱為"表 面聲波器件、表面聲波振蕩器以及電子設(shè)備"的發(fā)明專利申請(qǐng)的分案申請(qǐng)。

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0002] 本發(fā)明涉及表面聲波器件、搭載有該表面聲波器件的表面聲波振蕩器以及電子設(shè) 備，尤其涉及頻率溫度特性良好的表面聲波器件、搭載有該表面聲波器件的表面聲波振蕩 器以及電子設(shè)備。

【背景技術(shù)】
[0003] 在表面聲波（SAW :surface acoustic wave)器件（例如SAW諧振器）中，SAW的 阻帶（stopband)、石英基板的切角以及IDT (interdigital transducer :叉指換能器）的形 成方式等對(duì)頻率溫度特性的變化影響很大。
[0004] 例如，在專利文獻(xiàn)1中，公開了 SAW的阻帶的上端模式和下端模式各自的進(jìn)行激勵(lì) 的結(jié)構(gòu)以及阻帶的上端模式和下端模式各自的駐波分布等。
[0005] 另外，在專利文獻(xiàn)2?5中記載了如下情況：SAW的阻帶上端模式的頻率溫度特性 優(yōu)于阻帶下端模式。并且，在專利文獻(xiàn)2、3中記載了如下情況：在利用了瑞利波的SAW裝置 中，為了獲得良好的頻率溫度特性，對(duì)石英基板的切角進(jìn)行調(diào)整，并且將電極的基準(zhǔn)化膜厚 (H/X)增厚到〇. 1左右。
[0006] 并且，在專利文獻(xiàn)4中記載了如下情況：在利用了瑞利波的SAW裝置中，對(duì)石英基 板的切角進(jìn)行調(diào)整，并且使電極的基準(zhǔn)化膜厚（H/X)加厚0.045以上。
[0007] 此外，在專利文獻(xiàn)5中記載了如下情況：通過采用旋轉(zhuǎn)Y切X傳播的石英基板并利 用阻帶上端的諧振，由此，與利用阻帶下端的諧振的情況相比，頻率溫度特性提高。
[0008] 此外，在專利文獻(xiàn)6以及非專利文獻(xiàn)1中記載了如下情況：在使用ST切石英基 板的SAW器件中，在構(gòu)成IDT的電極指之間以及構(gòu)成反射器的導(dǎo)體帶（strip)之間設(shè)有槽 (Groove)。另外在非專利文獻(xiàn)1中，記載了頻率溫度特性隨槽的深度而變化的情況。
[0009] 另外，在專利文獻(xiàn)7中，記載了在采用LST切石英基板的SAW器件中用于使表示頻 率溫度特性的曲線成為三次曲線的結(jié)構(gòu)，并且還記載了如下情況：在使用瑞利波的SAW器 件中，未發(fā)現(xiàn)具有由三次曲線表示的溫度特性的切角的基板。
[0010] 【專利文獻(xiàn)1】日本特開平11 一 214958號(hào)公報(bào)
[0011] 【專利文獻(xiàn)2】日本特開2006 - 148622號(hào)公報(bào)
[0012] 【專利文獻(xiàn)3】日本特開2007 - 208871號(hào)公報(bào)
[0013] 【專利文獻(xiàn)4】日本特開2007 - 267033號(hào)公報(bào)
[0014] 【專利文獻(xiàn)5】日本特開2002 - 100959號(hào)公報(bào)
[0015] 【專利文獻(xiàn)6】日本特開昭57 - 5418號(hào)公報(bào)
[0016] 【專利文獻(xiàn)7】日本特許第3851336號(hào)公報(bào)
[0017] 【非專利文獻(xiàn)1】夕少一7°形SAW共振器?製造條件t特性（電子通信學(xué)會(huì)技術(shù)研 宄報(bào)告麗82 - 59(1982))
[0018] 如上所述，用于改善頻率溫度特性的要素有很多，尤其在利用了瑞利波的SAW器 件中，認(rèn)為增加構(gòu)成IDT的電極的膜厚是改善頻率溫度特性的要因之一。但是，本申請(qǐng)的發(fā) 明人在實(shí)驗(yàn)中發(fā)現(xiàn)，當(dāng)增加了電極的膜厚時(shí)，老化特性及耐溫度沖擊特性等耐環(huán)境特性發(fā) 生劣化。另外，在以改善頻率溫度特性為主要目的的情況下，如前所述必需增加電極膜厚， 與此相伴，無法避免老化特性及耐溫度沖擊特性等的劣化。這對(duì)于Q值也是適用的，因此很 難在不增加電極膜厚的情況下實(shí)現(xiàn)高Q化。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0019] 因此，在本申請(qǐng)發(fā)明中，提供表面聲波器件、表面聲波振蕩器以及電子設(shè)備時(shí)的課 題在于實(shí)現(xiàn)良好的頻率溫度特性。
[0020] 本發(fā)明正是為了解決上述課題中的至少一部分而完成的，可作為以下方式或應(yīng)用 例來實(shí)現(xiàn)。
[0021] [應(yīng)用例1] 一種表面聲波器件，其特征在于，具有IDT，該IDT被設(shè)置在以下三種 石英基板中的任意一者的主面上，激勵(lì)出阻帶上端模式的表面聲波，所述三種石英基板是：

【權(quán)利要求】
1. 一種表面聲波器件，其特征在于，該表面聲波器件包含： 以下三種石英基板中的任意一者：第1石英基板，其歐拉角為（一W°S(pS6()°，
及 叉指換能器，其由設(shè)置在所述石英基板的主面上的多個(gè)電極指構(gòu)成，激勵(lì)出阻帶上端 模式的表面聲波， 俯視時(shí)，在所述石英基板的位于所述電極指之間的部分處設(shè)有電極指間槽， 在設(shè)所述表面聲波的波長(zhǎng)為A，所述叉指換能器的線占有率為n，所述電極指間槽的 深度為G時(shí)，滿足如下關(guān)系： 0.Ol入彡G彡0. 094入
在設(shè)所述電極指的膜厚為H時(shí)，滿足如下關(guān)系： 0 <H彡 0? 035 入。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的表面聲波器件，其特征在于， 該表面聲波器件包含一對(duì)反射器，所述一對(duì)反射器被配置為，在俯視時(shí)在所述表面聲 波的傳播方向上夾著所述叉指換能器，對(duì)所述表面聲波進(jìn)行反射。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的表面聲波器件，其特征在于， 在設(shè)所述叉指換能器的阻帶上端模式的頻率為ft2,所述反射器的阻帶下端模式的頻 率為frl，所述反射器的阻帶上端模式的頻率為fr2時(shí)，滿足如下關(guān)系： frl<ft2 <fr2〇
4. 根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的表面聲波器件，其特征在于， 俯視時(shí)，在所述石英基板的位于構(gòu)成所述反射器的導(dǎo)體帶之間的部分處，設(shè)有導(dǎo)體帶 間槽，所述導(dǎo)體帶間槽的深度比所述電極指間槽的深度淺。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1-3中任意一項(xiàng)所述的表面聲波器件，其特征在于， 電極指是由鋁或以鋁為主體的合金構(gòu)成的。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1-3中任意一項(xiàng)所述的表面聲波器件，其特征在于， 滿足如下關(guān)系：
7. 根據(jù)權(quán)利要求1-3中任意一項(xiàng)所述的表面聲波器件，其特征在于， 滿足如下關(guān)系： 0.02入彡G彡0.04入。
8. -種表面聲波振蕩器，其特征在于，該表面聲波振蕩器具有權(quán)利要求1至3中任意一 項(xiàng)所述的表面聲波器件。
9. 一種電子設(shè)備，其特征在于，該電子設(shè)備具有權(quán)利要求1至3中任意一項(xiàng)所述的表面 聲波器件。
【文檔編號(hào)】H03H9/02GK104506159SQ201410616565
【公開日】2015年4月8日 申請(qǐng)日期:2011年8月24日 優(yōu)先權(quán)日:2010年8月26日
【發(fā)明者】大脅卓彌, 山中國(guó)人 申請(qǐng)人:精工愛普生株式會(huì)社