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共振裝置的制作方法

文檔序號:11161922閱讀:來源:國知局
技術(shù)總結(jié)
在共振裝置中,實現(xiàn)薄型化并且抑制變形、破損。共振裝置具備:下側(cè)基板;上側(cè)基板,與下側(cè)基板之間形成振動空間;突起部,形成在下側(cè)基板或者上側(cè)基板的內(nèi)面,并向振動空間突出;以及共振子,被配置在振動空間內(nèi)。共振子具有基部、和從基部并列地沿下側(cè)基板或者上側(cè)基板的內(nèi)面延伸并朝向內(nèi)面在垂直方向進行振動的多個振動臂。

技術(shù)研發(fā)人員:后藤雄一;廣田和香奈
受保護的技術(shù)使用者:株式會社村田制作所
文檔號碼:201580041879
技術(shù)研發(fā)日:2015.09.18
技術(shù)公布日:2017.05.10

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