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彈性波諧振器以及梯型濾波器的制作方法

文檔序號:12514859閱讀:266來源:國知局
彈性波諧振器以及梯型濾波器的制作方法與工藝

本發(fā)明涉及由被串聯(lián)分割的多個分割諧振器構成的彈性波諧振器以及具有該彈性波諧振器的梯型濾波器。



背景技術:

以往,在便攜式電話機的帶通濾波器等中廣泛使用了由多個彈性波諧振器構成的彈性波濾波器。

在下述的專利文獻1公開了構成這種彈性波濾波器的彈性波諧振器。在專利文獻1中,構成彈性波諧振器的IDT電極在電極指延伸的方向上被串聯(lián)分割。

此外,在下述的專利文獻2公開了具有多個彈性波諧振器的梯型濾波器。在專利文獻2中,記載了在未被串聯(lián)分割的IDT電極設置有虛設電極指的結構。

在先技術文獻

專利文獻

專利文獻1:日本特開昭57-119509號公報

專利文獻2:日本特開2003-324335號公報



技術實現(xiàn)要素:

發(fā)明要解決的課題

在像專利文獻1那樣具備被串聯(lián)分割的IDT電極的彈性波諧振器中,能夠提高耐電力性。然而,當彈性波泄漏到諧振器之外時,損耗容易增大。

在像專利文獻2那樣在IDT電極設置有虛設電極指的情況下,能夠抑制彈性波的泄漏。然而,在專利文獻1記載的被串聯(lián)分割的IDT電極設置有專利文獻2記載的虛設電極指的情況下,難以謀求小型化。

本發(fā)明的目的在于,提供一種能夠謀求小型化且能夠?qū)崿F(xiàn)低損耗的彈性波諧振器以及梯型濾波器。

用于解決課題的技術方案

本申請的第一發(fā)明涉及的彈性波諧振器在壓電基板上設置有在與彈性波傳播方向正交的方向上被串聯(lián)分割的多個分割諧振器,上述多個分割諧振器分別具有IDT電極,上述彈性波諧振器具備:第一外側匯流條和第二外側匯流條,是在與彈性波傳播方向正交的方向上位于最外側的兩側的匯流條;第一級間匯流條,對在與彈性波傳播方向正交的方向上相鄰的兩個上述IDT電極進行電連接;多條第一電極指,一端與上述第一外側匯流條連接;多條第二電極指,一端與上述第一級間匯流條連接,上述多條第二電極指與上述多條第一電極指彼此交叉插入;多條第三電極指,一端與上述第一級間匯流條的設置有上述多條第二電極指的一側的相反側連接;多條第四電極指,與上述多條第三電極指彼此交叉插入;多條第一虛設電極指,一端與上述第一外側匯流條連接,上述多條第一虛設電極指配置為與上述多條第二電極指隔開間隙對置;以及多條第二虛設電極指,一端與上述第二外側匯流條連接,在上述第一級間匯流條的設置有上述第二電極指的一側和設置有上述第三電極指的一側中的至少一方,未設置一端與上述第一級間匯流條連接的多條第三虛設電極指,或者,還具有在與彈性波傳播方向正交的方向上長度比上述多條第一虛設電極指和上述多條第二虛設電極指的長度短的上述多條第三虛設電極指,在與彈性波傳播方向正交的方向上,在上述第二電極指延伸的延長線上,隔著上述第一級間匯流條配置有上述第三電極指,上述第一電極指和上述第二電極指彼此交叉插入的部分的電極指的間距與上述第三電極指和上述第四電極指彼此交叉插入的部分的電極指的間距設為相等。

在本申請的第一發(fā)明涉及的彈性波諧振器的某個特定的局面中,在將設置有上述第一外側匯流條的上述IDT電極設為第一IDT電極并將在與彈性波傳播方向正交的方向上與上述第一IDT電極相鄰的上述IDT電極設為第二IDT電極時,由上述第一IDT電極傳播的彈性波與由上述第二IDT電極傳播的彈性波的相位以及波長設為相等。

本申請的第二發(fā)明涉及的彈性波諧振器在壓電基板上設置有在與彈性波傳播方向正交的方向上被串聯(lián)分割的多個分割諧振器,上述多個分割諧振器分別具有IDT電極,上述彈性波諧振器具備:第一外側匯流條和第二外側匯流條,是在與彈性波傳播方向正交的方向上位于最外側的兩側的匯流條;第一級間匯流條,對在與彈性波傳播方向正交的方向上相鄰的兩個上述IDT電極進行電連接;多條第一電極指,一端與上述第一外側匯流條連接;多條第二電極指,一端與上述第一級間匯流條連接,上述多條第二電極指與上述多條第一電極指彼此交叉插入;多條第三電極指,一端與上述第一級間匯流條的設置有上述多條第二電極指的一側的相反側連接;多條第四電極指,與上述多條第三電極指彼此交叉插入;多條第一虛設電極指,一端與上述第一外側匯流條連接,上述多條第一虛設電極指配置為與上述多條第二電極指隔開間隙對置;以及多條第二虛設電極指,一端與上述第二外側匯流條連接,在上述第一級間匯流條的設置有上述第二電極指的一側和設置有上述第三電極指的一側中的至少一方,未設置一端與上述第一級間匯流條連接的多條第三虛設電極指,或者,還具有在與彈性波傳播方向正交的方向上長度比上述多條第一虛設電極指和上述多條第二虛設電極指的長度短的上述多條第三虛設電極指,在將設置有上述第一外側匯流條的上述IDT電極設為第一IDT電極并將在與彈性波傳播方向正交的方向上與上述第一IDT電極相鄰的上述IDT電極設為第二IDT電極時,由上述第一IDT電極傳播的彈性波與由上述第二IDT電極傳播的彈性波的相位以及波長設為相等。

在本申請的第二發(fā)明涉及的彈性波諧振器的某個特定的局面中,在與彈性波傳播方向正交的方向上,在上述第二電極指延伸的延長線上,隔著上述第一級間匯流條配置有上述第三電極指,上述第一電極指和上述第二電極指彼此交叉插入的部分的電極指的間距與上述第三電極指和上述第四電極指彼此交叉插入的部分的電極指的間距設為相等。

以下,有時將第一發(fā)明和第二發(fā)明統(tǒng)稱為本發(fā)明。

在本發(fā)明涉及的彈性波諧振器的另一個特定的局面中,在上述第一級間匯流條的設置有上述第二電極指的一側和設置有上述第三電極指的一側這雙方,未設置一端與上述第一級間匯流條連接的上述多條第三虛設電極指。

在本發(fā)明涉及的彈性波諧振器的另一個特定的局面中,在上述第一級間匯流條的設置有上述第二電極指的一側和設置有上述第三電極指的一側中的一方,設置有一端與上述第一級間匯流條連接的上述多條第三虛設電極指,在上述第一級間匯流條的設置有上述第二電極指的一側和設置有上述第三電極指的一側中的另一方,未設置上述多條第三虛設電極指。

在本發(fā)明涉及的彈性波諧振器的另一個特定的局面中,在上述第一級間匯流條的設置有上述第二電極指的一側和設置有上述第三電極指的一側這雙方,設置有一端與上述第一級間匯流條連接的上述多條第三虛設電極指,在與彈性波傳播方向正交的方向上,上述多條第三虛設電極指的長度比上述多條第一虛設電極指和上述多條第二虛設電極指的長度短。

在本發(fā)明涉及的彈性波諧振器的另一個特定的局面中,上述多條第四電極指的一端與上述第二外側匯流條連接,上述多條第二虛設電極指的未與上述第二外側匯流條連接的一側的另一端配置為與上述多條第三電極指隔開間隙對置。

在本發(fā)明涉及的彈性波諧振器的另一個特定的局面中,還具備:第二級間匯流條,連接上述多條第四電極指的一端,并對在與彈性波傳播方向正交的方向上相鄰的兩個上述IDT電極進行電連接;多條第五電極指,一端與上述第二級間匯流條的設置有上述多條第四電極指的一側的相反側連接;以及多條第六電極指,與上述多條第五電極指彼此交叉插入,在上述第二級間匯流條的設置有上述第四電極指的一側和設置有上述第五電極指的一側中的至少一方,未設置一端與上述第二級間匯流條連接的多條第四虛設電極指,或者,還具有在與彈性波傳播方向正交的方向上長度比上述多條第一虛設電極指和上述多條第二虛設電極指的長度短的上述多條第四虛設電極指。

在本發(fā)明涉及的彈性波諧振器的另一個特定的局面中,在與彈性波傳播方向正交的方向上,在上述第四電極指延伸的延長線上,隔著上述第二級間匯流條配置有上述第五電極指,上述第三電極指和上述第四電極指彼此交叉插入的部分的電極指的間距與上述第五電極指和上述第六電極指彼此交叉插入的部分的電極指的間距設為相等。

在本發(fā)明涉及的彈性波諧振器的另一個特定的局面中,在將設置有上述第一外側匯流條的上述IDT電極設為第一IDT電極、將在與彈性波傳播方向正交的方向上與上述第一IDT電極相鄰的上述IDT電極設為第二IDT電極、并將在與彈性波傳播方向正交的方向上與上述第二IDT電極的和上述第一IDT電極相鄰的一側的相反側相鄰的上述IDT電極設為第三IDT電極時,由上述第二IDT電極傳播的彈性波和由上述第三IDT電極傳播的彈性波的相位以及波長設為相等。

在本發(fā)明涉及的彈性波諧振器的另一個特定的局面中,上述多條第六電極指的一端與上述第二外側匯流條連接,上述多條第二虛設電極指的未與上述第二外側匯流條連接的一側的另一端配置為與上述多條第五電極指隔開間隙對置。

本發(fā)明涉及的梯型濾波器具備:多個串聯(lián)臂諧振器,設置在連結輸入端子和輸出端子的串聯(lián)臂;以及多個并聯(lián)臂諧振器,分別設置在連結上述串聯(lián)臂和接地電位的多個并聯(lián)臂,上述多個串聯(lián)臂諧振器以及上述多個并聯(lián)臂諧振器中的至少一個諧振器是上述本發(fā)明涉及的彈性波諧振器。

發(fā)明效果

根據(jù)本發(fā)明,能夠提供一種能夠謀求小型化且能夠?qū)崿F(xiàn)低損耗的彈性波諧振器以及梯型濾波器。

附圖說明

圖1是本發(fā)明的第一實施方式涉及的彈性波諧振器的示意性俯視圖。

圖2是本發(fā)明的第二實施方式涉及的彈性波諧振器的示意性俯視圖。

圖3是本發(fā)明的第三實施方式涉及的彈性波諧振器的示意性俯視圖。

圖4是本發(fā)明的第四實施方式涉及的彈性波諧振器的示意性俯視圖。

圖5是本發(fā)明的第五實施方式涉及的彈性波諧振器的示意性俯視圖。

圖6是本發(fā)明的一個實施方式涉及的梯型濾波器的電路圖。

圖7是示出梯型濾波器的衰減量頻率特性的圖。

圖8是構成比較例的梯型濾波器的彈性波諧振器的示意性俯視圖。

具體實施方式

以下,參照附圖對本發(fā)明的具體的實施方式進行說明,從而明確本發(fā)明。

另外,需要指出,本說明書記載的各實施方式是例示性的,能夠在不同的實施方式之間進行結構的部分置換或組合。

(第一實施方式)

圖1是本發(fā)明的第一實施方式涉及的彈性波諧振器的示意性俯視圖。如圖1所示,彈性波諧振器1具有矩形板狀的壓電基板2。壓電基板2由LiTaO3、LiNbO3那樣的壓電單晶基板構成。壓電基板2也可以由壓電陶瓷形成。

在壓電基板2的主面上設置有第一分割諧振器1A和第二分割諧振器1B。第一分割諧振器1A和第二分割諧振器1B在與彈性波傳播方向正交的方向上被串聯(lián)分割。更詳細地,第二分割諧振器1B在與彈性波傳播方向正交的方向上與第一分割諧振器1A串聯(lián)連接。

第一分割諧振器1A由第一IDT電極3和配置在第一IDT電極3的彈性波傳播方向兩側的反射器5、6形成。第二分割諧振器1B由第二IDT電極4和配置在第二IDT電極4的彈性波傳播方向兩側的反射器5、6形成。第一IDT電極3和第二IDT電極4在與彈性波傳播方向正交的方向上相鄰。反射器5、6由第一分割諧振器1A和第二分割諧振器1B所共有。第一IDT電極3和第二IDT電極4以及反射器5、6形成在壓電基板2的主面上。

第一IDT電極3和第二IDT電極4能夠由Al、Cu、Pt、Au、Ag、Ti、Ni、Cr、Mo、W或以這些金屬中的任一種為主體的合金等適當?shù)慕饘俨牧闲纬?。第一IDT電極3和第二IDT電極4可以是單層,也可以是層疊了兩種以上的金屬層的層疊體。

第一IDT電極3具有多條第一電極指3a和多條第二電極指3b。多條第一電極指3a和多條第二電極指3b在與彈性波傳播方向正交的方向上延伸。多條第一電極指3a和多條第二電極指3b彼此交叉插入。

多條第一電極指3a的一端與第一外側匯流條7連接。第一外側匯流條7是在與彈性波傳播方向正交的方向上位于最外側的兩側的匯流條中的一側的匯流條。

多條第一虛設電極指12的一端連接于在第一外側匯流條7。多條第一虛設電極指12的另一端配置為與第一IDT電極3的多條第二電極指3b隔開間隙對置。通過設置多條第一虛設電極指12,從而能夠有效地防止后面說明的彈性波向外部的泄漏。

多條第二電極指3b的一端與第一級間匯流條9連接。第一級間匯流條9作為對構成在與彈性波傳播方向正交的方向上相鄰的兩個分割諧振器的第一IDT電極3和第二IDT電極4進行電連接的一個公共的匯流條而設置為一體。

第二IDT電極4具有多條第三電極指4a和多條第四電極指4b。多條第三電極指4a和多條第四電極指4b在與彈性波傳播方向正交的方向上延伸。多條第三電極指4a和多條第四電極指4b彼此交叉插入。

多條第三電極指4a的一端與第一級間匯流條9的設置有多條第二電極指3b的一側的相反側連接。

此外,多條第四電極指4b的一端與第二外側匯流條8連接。第二外側匯流條8是在與彈性波傳播方向正交的方向上位于最外側的兩側的匯流條中的與第一外側匯流條7不同側的匯流條。

多條第二虛設電極指13的一端連接于第二外側匯流條8。多條第二虛設電極指13的另一端與第二IDT電極4的多條第三電極指4a隔開間隙對置。通過設置多條第二虛設電極指13,從而能夠抑制彈性波向外部的泄漏。

在本實施方式中,構成為第一IDT電極3的電極指的對數(shù)以及交叉寬度與第二IDT電極4的電極指的對數(shù)以及交叉寬度相同。不過,在本發(fā)明中,也可以形成為在第一IDT電極3和第二IDT電極4中電極指的對數(shù)以及交叉寬度不同,但是優(yōu)選像本實施方式那樣構成為在第一IDT電極3和第二IDT電極4中電極指的對數(shù)以及交叉寬度相同。這是因為,由此能夠抑制電容的偏差,從而使在各級施加的電力相等,能夠更進一步提高耐電力性。

如圖1所示,在第一IDT電極3的第二電極指3b延伸的延長線上,隔著第一級間匯流條9配置有第二IDT電極4的第三電極指4a。在本實施方式中,以第一級間匯流條9為對稱軸,第一IDT電極3的第二電極指3b和第二IDT電極4的第三電極指4a配置為軸對稱。

作為第一級間匯流條9的寬度,沒有特別限定,但是優(yōu)選為1λ以下。另外,將由IDT電極的間距決定的波長的長度設為λ。當?shù)谝患夐g匯流條9的寬度超過1λ時,有時振動會衰減。從謀求更進一步的小型化的觀點出發(fā),第一級間匯流條9的寬度更優(yōu)選為λ/3以下,進一步優(yōu)選為λ/4以下。此外,優(yōu)選第一級間匯流條9的寬度為第一外側匯流條7和第二外側匯流條8的寬度以下。更優(yōu)選第一級間匯流條9的寬度小于第一外側匯流條7和第二外側匯流條8的寬度。

在第一實施方式中,如上所述,在第一IDT電極3的第二電極指3b延伸的延長線上配置有第二IDT電極4的第三電極指4a。此外,如圖1所示,第一電極指3a和第二電極指3b彼此交叉插入的部分的電極指的間距與第三電極指4a和第四電極指4b彼此交叉插入的部分的電極指的間距設為相等。像這樣,本說明書中的間距是指,在IDT電極中電極指彼此交叉插入的部分的電極指的間距。在像上述那樣將電極指的間距設為相等的情況下,能夠使相鄰的第一分割諧振器1A和第二分割諧振器1B激振,因此能夠?qū)崿F(xiàn)低損耗。

此外,在第一外側匯流條7和第二外側匯流條8設置有第一虛設電極指12和第二虛設電極指13。因此,能夠防止彈性波向外部的泄漏,能夠?qū)崿F(xiàn)低損耗。

另外,即使不具備像上述那樣在第二電極指3b延伸的延長線上配置有第三電極指4a且相鄰的第一IDT電極3和第二IDT電極4的電極指的間距設為相等的結構,只要由第一IDT電極3傳播的彈性波和由第二IDT電極4傳播的彈性波的相位以及波長相等,就能夠?qū)崿F(xiàn)低損耗。另外,彈性波的波長由上述電極指的間距決定。

進而,在第一實施方式中,在第一級間匯流條9的設置有第二電極指3b的一側和設置有第三電極指4a的一側這雙方,未設置一端與第一級間匯流條9連接的多條第三虛設電極指。因此,能夠謀求小型化。不過,在未在第一級間匯流條9設置上述多條第三虛設電極指的情況下,損耗有可能會增大。然而,在本實施方式中,通過采用上述的圖1的結構,從而實現(xiàn)低損耗。因此,能夠在謀求小型化的同時減小損耗。

具體地,由第一IDT電極3激振的彈性波和在彈性波從第一IDT電極3越過第一級間匯流條9而傳播到第二IDT電極4時由第二IDT電極4激振的彈性波,其波長和相位一致。由此,能夠抑制彈性波的能量損耗。

(第二實施方式)

圖2是本發(fā)明的第二實施方式涉及的彈性波諧振器的示意性俯視圖。在第二實施方式涉及的彈性波諧振器21中,在第一級間匯流條9的設置有第二電極指3b的一側,設置有一端與第一級間匯流條9連接的多條第三虛設電極指14。第三虛設電極指14的另一端配置為與第一IDT電極3的第一電極指3a隔開間隙對置。另外,在第二實施方式中,在第一級間匯流條9的設置有第三電極指4a的一側,未設置一端與第一級間匯流條9連接的多條第三虛設電極指。其它方面與第一實施方式相同。

在第二實施方式中,如上所述,在第一級間匯流條9的設置有第二電極指3b的一側設置有第三虛設電極指14,因此能夠謀求更進一步的低損耗化。另一方面,在第一級間匯流條9的設置有第三電極指4a的一側未設置第三虛設電極指,因此能夠謀求小型化。因此,能夠在謀求小型化的同時實現(xiàn)低損耗。另外,也可以部分地不設置配置在第一級間匯流條9的設置有第二電極指3b的一側的第三虛設電極指14。

(第三實施方式)

圖3是本發(fā)明的第三實施方式涉及的彈性波諧振器的示意性俯視圖。在第三實施方式涉及的彈性波諧振器31中,在第一級間匯流條9的設置有第三電極指4a的一側設置有一端與第一級間匯流條9連接的多條第三虛設電極指14。第三虛設電極指14的另一端配置為與第二IDT電極4的第四電極指4b隔開間隙對置。另外,在第三實施方式中,在第一級間匯流條9的設置有第二電極指3b的一側,未設置一端與第一級間匯流條9連接的多條第三虛設電極指。其它方面與第一實施方式相同。

在第三實施方式中,如上所述,在第一級間匯流條9的設置有第三電極指4a的一側設置有第三虛設電極指14,因此能夠謀求更進一步的低損耗化。此外,在第一級間匯流條9的設置有第二電極指3b的一側未設置第三虛設電極指,因此能夠謀求小型化。因此,能夠在謀求小型化的同時實現(xiàn)低損耗。

(第四實施方式)

圖4是本發(fā)明的第四實施方式涉及的彈性波裝置的示意性俯視圖。在第四實施方式涉及的彈性波諧振器41中,在第一級間匯流條9的設置有第二電極指3b的一側和設置有第三電極指4a的一側這雙方,設置有一端與第一級間匯流條9連接的多條第三虛設電極指14、14。多條第三虛設電極指14、14的另一端配置為與多條第一電極指3a或多條第四電極指4b隔開間隙對置。在與彈性波傳播方向正交的方向上,第三虛設電極指14、14的長度比第一虛設電極指12和第二虛設電極指13的長度短。其它方面與第一實施方式相同。另外,還能夠與部分地不設置第三虛設電極指14、14的結構進行組合。

在第四實施方式中,如上所述,在第一級間匯流條9的設置有第二電極指3b的一側和設置有第三電極指4a的一側這雙方,設置有多條第三虛設電極指14、14,因此能夠謀求更進一步的低損耗化。此外,在與彈性波傳播方向正交的方向上,第三虛設電極指14、14的長度比第一虛設電極指12和第二虛設電極指13的長度短,因此能夠謀求小型化。因此,能夠在謀求小型化的同時實現(xiàn)低損耗。

(第五實施方式)

圖5是本發(fā)明的第五實施方式涉及的彈性波諧振器的示意性俯視圖。在第五實施方式涉及的彈性波諧振器51中,在與彈性波傳播方向正交的方向上,在第二分割諧振器1B還串聯(lián)連接有第三分割諧振器1C。即,在第五實施方式中,在壓電基板2上設置有在與彈性波傳播方向正交的方向上被串聯(lián)分割的第一分割諧振器1A~第三分割諧振器1C。

第三分割諧振器1C由第三IDT電極11和配置在第三IDT電極11的彈性波傳播方向兩側的反射器5、6形成。第三IDT電極11在與彈性波傳播方向正交的方向上與第二IDT電極4的與第一IDT電極3相鄰的一側的相反側相鄰。反射器5、6被第一分割諧振器1A和第二分割諧振器1B所共有。第三IDT電極11以及反射器5、6形成在壓電基板2上。

第三IDT電極11具有多條第五電極指11a和多條第六電極指11b。多條第五電極指11a和多條第六電極指11b在與彈性波傳播方向正交的方向上延伸。多條第五電極指11a和多條第六電極指11b彼此交叉插入。

如圖5所示,在本實施方式中,多條第四電極指4b的一端未與第二外側匯流條8連接。多條第四電極指4b的一端與第二級間匯流條10連接。第二級間匯流條10對在與彈性波傳播方向正交的方向上相鄰的第二IDT電極4和第三IDT電極11進行電連接。

多條第五電極指11a的一端與第二級間匯流條10的設置有多條第四電極指4b的一側的相反側連接。

在本實施方式中,在第二級間匯流條10的設置有第四電極指4b的一側和設置有第五電極指11a的一側這雙方,未設置一端與第二級間匯流條10連接的多條第四虛設電極指。因此,能夠謀求更進一步的小型化。

多條第六電極指11b的一端與第二外側匯流條8連接。第二外側匯流條8是在與彈性波傳播方向正交的方向上位于最外側的兩側的匯流條中的與第一外側匯流條7不同側的匯流條。

多條第二虛設電極指13的一端連接于第二外側匯流條8。多條第二虛設電極指13的另一端配置為與第三IDT電極11的多條第五電極指11a隔開間隙對置。通過設置多條第二虛設電極指13,從而能夠抑制彈性波向外部的泄漏。

如圖5所示,在第二IDT電極4的第四電極指4b延伸的延長線上,隔著第二級間匯流條10配置有第三IDT電極11的第五電極指11a。此外,第三電極指4a和第四電極指4b彼此交叉插入的部分的電極指的間距與第五電極指11a和第六電極指11b彼此交叉插入的部分的電極指的間距設為相等。在該情況下,除了相鄰的第一分割諧振器1A和第二分割諧振器1B以外,還能夠使相鄰的第二分割諧振器1B和第三分割諧振器1C激振,因此能夠?qū)崿F(xiàn)低損耗。

另外,即使不具備像上述那樣在第四電極指4b延伸的延長線上配置有第五電極指11a且將相鄰的第二IDT電極4和第三IDT電極11的電極指的間距設為相等的結構,只要由第二IDT電極4傳播的彈性波和由第三IDT電極11傳播的彈性波的相位以及波長相等,就能夠?qū)崿F(xiàn)低損耗。這一點與第一實施方式相同。

此外,在第五實施方式中,也在第一外側匯流條7和第二外側匯流條8設置有第一虛設電極指12和第二虛設電極指13。因此,能夠防止彈性波向外部的泄漏,能夠?qū)崿F(xiàn)低損耗。

進而,在第五實施方式中,在第二級間匯流條10的設置有第四電極指4b的一側和設置有第五電極指11a的一側這雙方,未設置多條第四虛設電極指。因此,在第五實施方式中,在第一級間匯流條9和第二級間匯流條10均未設置虛設電極指,能夠謀求更進一步的小型化。不過,在未在第一級間匯流條9和第二級間匯流條10設置虛設電極指的情況下,損耗有可能會增大。然而,如上所述,在本實施方式中,通過采用圖5的結構,從而能夠?qū)崿F(xiàn)低損耗。因此,能夠在謀求小型化的同時實現(xiàn)低損耗。

(梯型濾波器)

圖6是本發(fā)明的一個實施方式涉及的梯型濾波器的電路圖。在圖6所示的梯型濾波器中,在連結輸入端子15和輸出端子16的串聯(lián)臂設置有串聯(lián)臂諧振器S1~S5。串聯(lián)臂諧振器S1被串聯(lián)分割。即,串聯(lián)臂諧振器S1被分割為兩個分割諧振器S1a、S1b。同樣地,串聯(lián)臂諧振器S2被分割為兩個分割諧振器S2a、S2b,串聯(lián)臂諧振器S3被分割為兩個分割諧振器S3a、S3b。此外,串聯(lián)臂諧振器S4被分割為兩個分割諧振器S4a、S4b,串聯(lián)臂諧振器S5被分割為3個分割諧振器S5a~S5c。

在將串聯(lián)臂諧振器S1與串聯(lián)臂諧振器S2之間的連接點與接地電位進行連結的并聯(lián)臂中,設置有并聯(lián)臂諧振器P1。并聯(lián)臂諧振器P1被分割為兩個分割諧振器P1a、P1b。

并聯(lián)臂諧振器P2的一端與串聯(lián)臂諧振器S2和串聯(lián)臂諧振器S3之間的連接點電連接,另一端與并聯(lián)臂諧振器P3、P4共同連接。并聯(lián)臂諧振器P3的一端與串聯(lián)臂諧振器S3、S4之間的連接點連接,另一端與并聯(lián)臂諧振器P2、P4共同連接。并聯(lián)臂諧振器P4的一端與串聯(lián)臂諧振器S4、S5之間的連接點連接,另一端與并聯(lián)臂諧振器P2、P3共同連接。在并聯(lián)臂諧振器P2~P4的共同連接的部分與接地電位之間連接有電感L。

并聯(lián)臂諧振器P2被分割為兩個分割諧振器P2a、P2b。同樣地,并聯(lián)臂諧振器P3被分割為兩個分割諧振器P3a、P3b,并聯(lián)臂諧振器P4被分割為兩個分割諧振器P4a、P4b。

在本實施方式中,串聯(lián)臂諧振器S1~S5以及并聯(lián)臂諧振器P1~P4全部由本發(fā)明涉及的彈性波諧振器構成。更具體地,對串聯(lián)臂諧振器S1~S4以及并聯(lián)臂諧振器P1~P4應用了上述第一實施方式的彈性波諧振器1,對串聯(lián)臂諧振器S5應用了上述第五實施方式涉及的彈性波諧振器51。因此,本實施方式涉及的梯型濾波器能夠在謀求小型化的同時實現(xiàn)低損耗。以下,參照圖7進行更詳細的說明。

圖7是示出梯型濾波器的衰減量頻率特性的圖。圖7中,用實線示出上述本發(fā)明的一個實施方式涉及的梯型濾波器的實驗例的結果,用虛線示出比較例的結果。

在實驗例中,在圖6所示的梯型濾波器中,對串聯(lián)臂諧振器S1~S4以及并聯(lián)臂諧振器P1~P4應用了上述第一實施方式的彈性波諧振器1,對串聯(lián)臂諧振器S5應用了上述第五實施方式涉及的彈性波諧振器51。

另一方面,在比較例中,對圖6所示的梯型濾波器的全部諧振器應用了在級間匯流條的兩側設置有虛設電極指的彈性波諧振器。

更具體地,對圖6所示的梯型濾波器的串聯(lián)臂諧振器S1~S4以及并聯(lián)臂諧振器P1~P4應用了圖8所示的在級間匯流條的兩側設置有虛設電極指的彈性波諧振器。此外,雖然未圖示,但是對串聯(lián)臂諧振器S5應用了在對相鄰的3個IDT電極進行電連接的兩個級間匯流條中在各級間匯流條的兩側設置有虛設電極指的彈性波諧振器。設置在各級間匯流條的虛設電極指14比設置在外側匯流條的虛設電極指12、13長。另外,在本實驗例和比較例中,作為IDT電極使用了以下的IDT電極。以下,示出實施了本發(fā)明的串聯(lián)諧振器的參數(shù)的一部分。

IDT電極的交叉寬度:42μm

IDT電極的對數(shù):196對

電極指的間距:1.97μm

占空比(duty):0.58

頻帶:Band1(1950MHz頻段)

如圖7所示,可知在本實施方式涉及的梯型濾波器中,盡管未在全部的級間匯流條設置虛設電極指而謀求了小型化,但仍然示出了與在全部的級間匯流條的兩側設置有虛設電極指的比較例大致相同的衰減量頻率特性。由此能夠確認,在本實施方式涉及的梯型濾波器中,能夠謀求小型化且實現(xiàn)了低損耗。

另外,在本實驗例中,如上所述,對梯型濾波器的全部諧振器應用了本發(fā)明涉及的彈性波諧振器,但是只要對梯型濾波器的至少一個諧振器應用本發(fā)明涉及的彈性波諧振器,就能夠得到本發(fā)明效果。

附圖標記說明

1、21、31、41、51:彈性波諧振器;

1A、1B、1C:第一分割諧振器、第二分割諧振器、第三分割諧振器;

2:壓電基板;

3、4:第一IDT電極、第二IDT電極;

3a:第一電極指;

3b:第二電極指;

4a:第三電極指;

4b:第四電極指;

5、6:反射器;

7、8:第一外側匯流條、第二外側匯流條;

9、10:第一級間匯流條、第二級間匯流條;

11:第三IDT電極;

11a:第五電極指;

11b:第六電極指;

12~14:第一虛設電極指~第三虛設電極指;

15:輸入端子;

16:輸出端子;

P1~P4:并聯(lián)臂諧振器;

S1~S5:串聯(lián)臂諧振器;

S1a、S1b、S2a、S2b、S3a、S3b、S4a、S4b、S5a~S5c、P1a、P1b、P2a、P2b、P3a、P3b、P4a、P4b:分割諧振器。

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