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靜電電容檢測(cè)式壓力開(kāi)關(guān)及壓力傳感器的制作方法

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技術(shù)特征:

1.一種靜電電容檢測(cè)式壓力開(kāi)關(guān),具備:

膜片,其根據(jù)從管路供給的工作介質(zhì)的壓力的變動(dòng)而進(jìn)行位移;

可動(dòng)電極,其電連接于上述膜片;

固定電極,其設(shè)在上述膜片的與上述管路相對(duì)的大氣壓側(cè);以及

絕緣被膜,其確保上述固定電極與上述膜片的絕緣,

上述靜電電容檢測(cè)式壓力開(kāi)關(guān)構(gòu)成為,根據(jù)上述工作介質(zhì)的壓力的變動(dòng),上述膜片進(jìn)行位移,將該位移作為與上述可動(dòng)電極連接的上述膜片和上述固定電極之間的靜電電容的變動(dòng)進(jìn)行檢測(cè),且基于該靜電電容的變動(dòng),檢測(cè)上述工作介質(zhì)的壓力,

上述靜電電容檢測(cè)式壓力開(kāi)關(guān)的特征在于,

形成有電極接觸部,其為在上述膜片的外周的一部分向外側(cè)延伸的至少一個(gè)突起部,且用于連接上述可動(dòng)電極。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的靜電電容檢測(cè)式壓力開(kāi)關(guān),其特征在于,

上述電極接觸部形成為與上述可動(dòng)電極進(jìn)行鉚接加工的形狀。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的靜電電容檢測(cè)式壓力開(kāi)關(guān),其特征在于,

上述電極接觸部形成為與上述可動(dòng)電極進(jìn)行點(diǎn)焊的形狀。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的靜電電容檢測(cè)式壓力開(kāi)關(guān),其特征在于,

上述電極接觸部形成為與上述可動(dòng)電極進(jìn)行激光焊接的形狀。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的靜電電容檢測(cè)式壓力開(kāi)關(guān),其特征在于,

上述電極接觸部形成為與上述可動(dòng)電極進(jìn)行連接器嵌合的形狀。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的靜電電容檢測(cè)式壓力開(kāi)關(guān),其特征在于,

上述電極接觸部形成為在上述膜片的外周設(shè)有板簧的碟形彈簧形狀,且通過(guò)上述碟形彈簧的彈力與上述可動(dòng)電極連接。

7.一種靜電電容檢測(cè)式壓力傳感器,具備:

膜片,其根據(jù)從管路供給的工作介質(zhì)的壓力的變動(dòng)而進(jìn)行位移;

可動(dòng)電極,其電連接于上述膜片;

固定電極,其設(shè)在上述膜片的與上述管路相對(duì)的大氣壓側(cè);以及

絕緣被膜,其確保上述固定電極與上述膜片的絕緣,

上述靜電電容檢測(cè)式壓力傳感器構(gòu)成為,根據(jù)上述工作介質(zhì)的壓力的變動(dòng),上述膜片進(jìn)行位移,將該位移作為與上述可動(dòng)電極連接的上述膜片和上述固定電極之間的靜電電容的變動(dòng)進(jìn)行檢測(cè),且基于該靜電電容的變動(dòng),檢測(cè)上述工作介質(zhì)的壓力,

上述靜電電容檢測(cè)式壓力傳感器的特征在于,

形成有電極接觸部,其為在上述膜片的外周的一部分向外側(cè)延伸的至少一個(gè)突起部,且用于連接上述可動(dòng)電極。

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