本發(fā)明涉及壓電振動(dòng)片的制造方法。

背景技術(shù)：

例如，在便攜電話、便攜信息終端設(shè)備等電子設(shè)備中，作為用于時(shí)刻源、控制信號(hào)等的定時(shí)源、參考信號(hào)源等的器件，使用利用了水晶等的壓電振動(dòng)器。作為此種壓電振動(dòng)器，已知在形成有腔的封裝件(package)內(nèi)氣密密封了壓電振動(dòng)片的壓電振動(dòng)器。近年來，伴隨電子設(shè)備的小型化，對(duì)壓電振動(dòng)器及壓電振動(dòng)片的小型化的要求日益高漲。

例如，如專利文獻(xiàn)1所記載的那樣，壓電振動(dòng)片利用由壓電材料形成的圓片(wafer)一次制造多個(gè)。此時(shí)，壓電振動(dòng)片在相對(duì)于支撐壓電板的框架部通過連結(jié)部連結(jié)的狀態(tài)下形成。在圓片的一個(gè)主面上，從壓電板通過連結(jié)部延伸到框架部的一對(duì)延伸電極與各壓電振動(dòng)片對(duì)應(yīng)地形成。關(guān)于壓電振動(dòng)片，將探頭等推抵于框架部上的延伸電極以測(cè)定頻率。之后，壓電振動(dòng)片在連結(jié)部處被截?cái)?，以單片化?/p>

另外，關(guān)于壓電振動(dòng)片，存在各部分的強(qiáng)度伴隨其小型化而降低的情況。因此，壓電振動(dòng)片具有因在單片化時(shí)經(jīng)由連結(jié)部作用的應(yīng)力而損傷的風(fēng)險(xiǎn)。從而，連結(jié)部?jī)?yōu)選地寬度更窄地形成，以變得能夠容易截?cái)唷?/p>

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本特開2009-194630號(hào)公報(bào)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

發(fā)明要解決的課題

但是，關(guān)于現(xiàn)有技術(shù)，由于在連結(jié)部的一個(gè)主面上并列地形成有一對(duì)延伸電極，故在延伸電極的圖案的精度方面，對(duì)于防止一對(duì)延伸電極之間的短路，并且使連結(jié)部的寬度變窄而言存在極限。從而，關(guān)于現(xiàn)有技術(shù)的壓電振動(dòng)片的制造方法，在使壓電振動(dòng)片小型化，以在單片化時(shí)防止壓電振動(dòng)片損傷這一點(diǎn)方面存在問題。

因此本發(fā)明提供能夠在單片化時(shí)防止壓電振動(dòng)片損傷的壓電振動(dòng)片的制造方法。

用于解決問題的方案

本發(fā)明的壓電振動(dòng)片的制造方法利用由壓電材料形成的圓片來制造壓電振動(dòng)片，所述壓電振動(dòng)片具有壓電板、和在所述壓電板上形成，且在被施加既定的驅(qū)動(dòng)電壓時(shí)使所述壓電板振動(dòng)的一對(duì)激振電極，其特征在于，具備：外形形成工序，在所述圓片，形成所述壓電板、和經(jīng)由連結(jié)部支撐所述壓電板的框架部；電極形成工序，在所述圓片的主面上及側(cè)面上構(gòu)圖電極膜，對(duì)所述壓電板形成一對(duì)激振電極，并且形成從所述壓電板通過所述連結(jié)部延伸到所述框架部，且相對(duì)于所述一對(duì)激振電極分別電連接的一對(duì)延伸電極；單片化工序，截?cái)嗨鲞B結(jié)部，以使所述壓電板單片化，在所述電極形成工序中，將所述一對(duì)延伸電極之中的至少任一個(gè)延伸電極形成在所述連結(jié)部的側(cè)面上。

根據(jù)本發(fā)明，由于將至少一個(gè)延伸電極形成在連結(jié)部的側(cè)面上，故能夠防止一對(duì)延伸電極在連結(jié)部的主面上形成于接近的位置。由此，能夠防止一對(duì)延伸電極短路，并且與一對(duì)延伸電極在連結(jié)部的一個(gè)主面上形成的現(xiàn)有技術(shù)相比較使連結(jié)部的寬度較窄地形成。從而，能夠容易地截?cái)噙B結(jié)部，能夠在單片化時(shí)防止壓電振動(dòng)片損傷。

在上述壓電振動(dòng)片的制造方法中，優(yōu)選地，在所述外形形成工序中，在所述連結(jié)部的側(cè)面形成異形部，所述異形部具有相對(duì)于所述圓片的主面傾斜的面，在所述電極形成工序中，將所述一對(duì)延伸電極之中的至少任一個(gè)延伸電極形成于所述異形部。

若在外形形成工序中對(duì)水晶等壓電材料進(jìn)行濕法蝕刻加工，則有時(shí)例如在連結(jié)部與壓電板的邊界部的角部等，作為蝕刻殘留，形成由壓電材料的自然結(jié)晶面構(gòu)成的異形部。根據(jù)本發(fā)明，由于將延伸電極形成在連結(jié)部側(cè)面的異形部上，故能夠防止一對(duì)延伸電極在連結(jié)部的主面上形成于接近的位置。由此，能夠防止一對(duì)延伸電極短路，并且與現(xiàn)有技術(shù)相比較使連結(jié)部的寬度較窄地形成。從而，能夠容易地截?cái)噙B結(jié)部，能夠在單片化時(shí)防止壓電振動(dòng)片損傷。

在上述壓電振動(dòng)片的制造方法中，優(yōu)選地，在所述外形形成工序中，以寬度從所述框架部朝所述壓電板變窄的方式形成所述連結(jié)部，在所述電極形成工序中，在所述連結(jié)部之中寬度最窄的窄寬度部的側(cè)面，形成所述一對(duì)延伸電極之中的至少任一個(gè)延伸電極。

根據(jù)本發(fā)明，由于在連結(jié)部之中寬度最窄的窄寬度部的側(cè)面形成延伸電極，故能夠更為可靠地防止一對(duì)延伸電極形成于接近的位置。由此，能夠防止一對(duì)延伸電極短路，并且與現(xiàn)有技術(shù)相比較使連結(jié)部的寬度更窄地形成。從而，能夠更容易地截?cái)噙B結(jié)部，能夠在單片化時(shí)防止壓電振動(dòng)片損傷。

發(fā)明效果

根據(jù)本發(fā)明，由于將至少一個(gè)延伸電極形成在連結(jié)部的側(cè)面上，故能夠防止一對(duì)延伸電極在連結(jié)部的主面上形成于接近的位置。由此，能夠防止一對(duì)延伸電極短路，并且與一對(duì)延伸電極在連結(jié)部的一個(gè)主面上形成的現(xiàn)有技術(shù)相比較使連結(jié)部的寬度較窄地形成。從而，能夠容易地截?cái)噙B結(jié)部，能夠在單片化時(shí)防止壓電振動(dòng)片損傷。

附圖說明

圖1是實(shí)施方式所涉及的壓電振動(dòng)器的外觀立體圖；

圖2是實(shí)施方式所涉及的壓電振動(dòng)器的內(nèi)部構(gòu)成圖；

圖3是圖2的ⅲ-ⅲ線處的截面圖；

圖4是實(shí)施方式所涉及的壓電振動(dòng)器的分解立體圖；

圖5是實(shí)施方式所涉及的壓電振動(dòng)片的俯視圖；

圖6是示出實(shí)施方式所涉及的壓電振動(dòng)片的制造方法的流程圖；

圖7是用于說明實(shí)施方式所涉及的壓電振動(dòng)片的制造方法的工序圖，是圓片的部分俯視圖；

圖8是用于說明實(shí)施方式所涉及的壓電振動(dòng)片的制造方法的工序圖，是圓片的部分俯視圖；

圖9是用于說明實(shí)施方式所涉及的壓電振動(dòng)片的制造方法的工序圖，是從第二支撐臂部側(cè)看圓片連結(jié)部的立體圖；

圖10是用于說明實(shí)施方式的第一變形例所涉及的壓電振動(dòng)片的制造方法的工序圖，是從一個(gè)主面?zhèn)瓤磮A片的部分俯視圖；

圖11是用于說明實(shí)施方式的第二變形例所涉及的壓電振動(dòng)片的制造方法的工序圖，是從一個(gè)主面?zhèn)瓤磮A片的部分俯視圖；

圖12是從長(zhǎng)度方向看圖11所示的圓片連結(jié)部的截面圖；

圖13是用于說明實(shí)施方式的第三變形例所涉及的壓電振動(dòng)片的制造方法的工序圖，是從一個(gè)主面?zhèn)瓤磮A片的部分俯視圖。

具體實(shí)施方式

以下，基于附圖說明本發(fā)明的實(shí)施方式。

(壓電振動(dòng)器)

圖1是實(shí)施方式所涉及的壓電振動(dòng)器的外觀立體圖。圖2是實(shí)施方式所涉及的壓電振動(dòng)器的內(nèi)部構(gòu)成圖。圖3是圖2的ⅲ-ⅲ線處的截面圖。圖4是實(shí)施方式所涉及的壓電振動(dòng)器的分解立體圖。

如圖1到圖4所示，本實(shí)施方式的壓電振動(dòng)器1采用陶瓷封裝件類型的表面安裝型振動(dòng)器，其具備在內(nèi)部具有氣密密封的腔c的封裝件2、以及容納在腔c內(nèi)的壓電振動(dòng)片3。

此外，壓電振動(dòng)器1形成為俯視視圖長(zhǎng)方體狀，在本實(shí)施方式中，在俯視視圖中將壓電振動(dòng)器1的長(zhǎng)度方向稱為長(zhǎng)度方向l，將較短方向稱為寬度方向w，并將相對(duì)于這些長(zhǎng)度方向l以及寬度方向w正交的方向稱為厚度方向t。

如圖3所示，封裝件2具備封裝件本體5、以及相對(duì)于封裝件主體5接合，且在與封裝件主體5之間形成腔c的封口板6。

封裝件主體5具備以相互重合的狀態(tài)接合的第一基底基板10及第二基底基板11、以及接合在第二基底基板11上的密封圈12。

如圖4所示，在第一基底基板10及第二基底基板11的四角，俯視視圖1/4圓弧狀的切口部15遍及兩個(gè)基底基板10、11的厚度方向的整體而形成。在例如將圓片狀的陶瓷基板重疊兩片并接合之后，矩陣狀地形成貫穿兩個(gè)陶瓷基板的多個(gè)通孔，之后，在將各通孔作為基準(zhǔn)的同時(shí)格子狀地切斷兩個(gè)陶瓷基板，從而制作這些第一基底基板10及第二基底基板11。此時(shí)，通孔被一分為四，從而變?yōu)榍锌诓?5。

此外，雖然使第一基底基板10及第二基底基板11為陶瓷制，但作為其具體的陶瓷材料，能夠列舉例如氧化鋁制的htcc(hightemperatureco-firedceramic，高溫共燒陶瓷)、玻璃陶瓷制的ltcc(lowtemperatureco-firedceramic，低溫共燒陶瓷)等。

如圖3所示，第一基底基板10的上表面相當(dāng)于腔c的底面。

第二基底基板11與第一基底基板10重疊，且相對(duì)于第一基底基板10通過燒結(jié)等而結(jié)合。即，第二基底基板11與第一基底基板10一體化。

如圖4所示，在第二基底基板11形成有貫穿部11a。貫穿部11形成為四角帶有圓形的俯視視圖長(zhǎng)方形狀。貫穿部11a的內(nèi)側(cè)面構(gòu)成腔c的側(cè)壁的一部分(參照?qǐng)D3)。在貫穿部11a的寬度方向w兩側(cè)的內(nèi)側(cè)面，設(shè)有向內(nèi)側(cè)突出的安裝部14a、14b。安裝部14a、14b形成在貫穿部11a的長(zhǎng)度方向l的大致中央。

密封圈12是比第一基底基板10及第二基底基板11的外形小一圈的導(dǎo)電性框狀部件，且接合在第二基底基板11的上表面。具體而言，密封圈12通過對(duì)金屬接合層的熔敷等而接合，金屬接合層通過利用銀焊料等焊料、焊錫料等的燒焊而接合在第二基底基板11上，或者通過對(duì)形成(例如，除電解鍍、非電解鍍之外，通過蒸鍍、濺射等)在第二基底基板11上的金屬接合層的熔敷而接合。

作為密封圈12的材料，可列舉例如鎳基合金等，具體而言從柯伐合金(covar)、埃林瓦合金(elinvar)、殷鋼(invar)、42鎳鐵合金等中選擇即可。特別地，作為密封圈12的材料，優(yōu)選地選擇熱膨脹系數(shù)相對(duì)于為陶瓷制的第一基底基板10及第二基底基板11接近的材料。例如，在作為第一基底基板10及第二基底基板11而使用熱膨脹系數(shù)6.8×10^-6/℃的氧化鋁的情況下，作為密封圈12，優(yōu)選地使用熱膨脹系數(shù)5.2×10^-6/℃的柯伐合金、熱膨脹系數(shù)4.5～6.5×10^-6/℃的42鎳鐵合金。

如圖3所示，封口板6是重疊在密封圈12上的導(dǎo)電性基板，通過對(duì)密封圈12的接合而相對(duì)于封裝件主體5氣密地接合。由封口板6、密封圈12、第二基底基板11的貫穿部11a、及第一基底基板10的上表面限定的空間作為被氣密地密封的腔c起作用。

作為封口板6的焊接方法，能夠列舉例如通過使輥式電極接觸而進(jìn)行的縫焊、激光焊接、超聲波焊接等。另外，為了使封口板6與密封圈12的焊接更加可靠，優(yōu)選地將相互親和性好的鎳、金等的接合層至少分別形成在封口板6的下表面和密封圈12的上表面。

如圖4所示，在第二基底基板11的安裝部14a、14b的上表面形成有一對(duì)電極焊盤20a、20b，這一對(duì)電極焊盤20a、20b是與壓電振動(dòng)片3的連接電極。另外，在第一基底基板10的下表面，一對(duì)外部電極21a、21b在長(zhǎng)度方向l上隔開間隔地形成。電極焊盤20a、20b及外部電極21a、21b例如為通過蒸鍍、濺射等形成的由單一金屬構(gòu)成的單層膜、或者層疊了不同金屬的層疊膜，且通過未圖示的布線而相互分別導(dǎo)通。

(壓電振動(dòng)片)

圖5是實(shí)施方式所涉及的壓電振動(dòng)片的俯視圖。

如圖5所示，壓電振動(dòng)片3主要具備壓電板30、以及在壓電板30上形成的電極41～48。此外，壓電振動(dòng)器1的長(zhǎng)度方向l、寬度方向w及厚度方向t與壓電振動(dòng)片3的長(zhǎng)度方向、寬度方向及厚度方向一致。從而，在以下的說明中，關(guān)于壓電振動(dòng)片3的長(zhǎng)度方向、寬度方向及厚度方向中的各方向，附以與壓電振動(dòng)器1的長(zhǎng)度方向l、寬度方向w及厚度方向t中的各方向相同的符號(hào)來說明。

壓電板30由水晶、鉭酸鋰、鈮酸鋰等壓電材料形成。壓電板30具備一對(duì)振動(dòng)臂部(第一振動(dòng)臂部31及第二振動(dòng)臂部32)、基部35、以及一對(duì)支撐臂部(第一支撐臂部33及第二支撐臂部34)。壓電板30相對(duì)于沿著長(zhǎng)度方向l的中心軸o以從厚度方向t看的俯視視圖形狀大致對(duì)稱的方式形成。此外，在本實(shí)施方式中，作為形成壓電板30的壓電材料將水晶舉為例子進(jìn)行了說明。

各振動(dòng)臂部31、32沿長(zhǎng)度方向l延伸并且沿寬度方向w并列且平行地配置。各振動(dòng)臂部31、32將基端部作為固定端，且將頂端部作為自由端來振動(dòng)。各振動(dòng)臂部31、32具有位于基端的本體部31a、32a、以及位于頂端的錘部31b、32b。

各振動(dòng)臂部31、32的本體部31a、32a分別從各振動(dòng)臂部31、32的基端部沿長(zhǎng)度方向l延伸。在本體部31a、32a形成有槽部37。槽部37在本體部31a、32a的兩個(gè)主面上沿厚度方向t凹陷，且沿長(zhǎng)度方向l延伸。槽部37從各振動(dòng)臂部31、32的基端部遍及本體部31a、32a的頂端形成。

在各振動(dòng)臂部31、32的本體部31a、32a的外表面上，設(shè)有兩個(gè)系統(tǒng)的激振電極(第一激振電極41及第二激振電極42)。各激振電極41、42在被施加既定的驅(qū)動(dòng)電壓時(shí)使各振動(dòng)臂部31、32沿寬度方向w振動(dòng)。各激振電極41、42在相互電絕緣的狀態(tài)下被構(gòu)圖。

具體而言，第一激振電極41主要形成在第一振動(dòng)臂部31的槽部37上、和第二振動(dòng)臂部32的兩側(cè)面上。另外，第二激振電極42主要形成在第一振動(dòng)臂部31的兩側(cè)面上、和第二振動(dòng)臂部32的槽部37上。

各振動(dòng)臂部31、32的錘部31b、32b分別從本體部31a、32a的頂端沿長(zhǎng)度方向l延伸。錘部31b、32b為俯視視圖矩形狀，且寬度方向w上的寬度比本體31a、32a大。由此，能夠使各振動(dòng)臂部31、32的頂端的質(zhì)量及振動(dòng)時(shí)的慣性矩增大，因而與不具有錘部31b、32b的壓電振動(dòng)片相比較，能夠縮短各振動(dòng)臂部31、32。

在錘部31b、32b的主面上，形成有重錘金屬膜50。設(shè)置重錘金屬膜50以用于當(dāng)使各振動(dòng)臂部31、32的頂端處的質(zhì)量增加，使各振動(dòng)臂部31、32縮短時(shí)，抑制共振頻率的上升。在本實(shí)施方式中，重錘金屬膜50與第一激振電極41或第二激振電極42一體地形成。

基部35將各振動(dòng)臂部31、32的基端部彼此一體地連接。

各支撐臂部33、34在俯視視圖中形成為l字狀，以從寬度方向w的外側(cè)包圍基部35及各振動(dòng)臂部31、32(本體部31a、32a)。具體而言，各支撐臂部33、34在從基部35的寬度方向w的兩側(cè)面朝寬度方向w的外側(cè)突出設(shè)置之后，沿長(zhǎng)度方向l與各振動(dòng)臂部31、32平行地延伸。

作為將壓電振動(dòng)片3安裝于封裝件2時(shí)的裝配部，裝配電極(第一裝配電極43及第二裝配電極44)分別設(shè)在各支撐臂部33、34的主面上。具體而言，第一裝配電極43配置在第二支撐臂部34的頂端附近，第二裝配電極44配置在第一支撐臂部33的頂端附近。

兩個(gè)系統(tǒng)的激振電極41、42、和兩個(gè)系統(tǒng)的裝配電極43、44通過兩個(gè)系統(tǒng)的迂回電極(第一迂回電極45及第二迂回電極46)而分別導(dǎo)通。第一迂回電極45形成為從第二支撐臂部34經(jīng)由基部35到達(dá)各振動(dòng)臂部31、32的路徑。第二迂回電極46形成為從第一支撐臂部33經(jīng)由基部35到達(dá)各振動(dòng)臂部31、32的路徑。

各激振電極41、42、各裝配電極43、44及各迂回電極45、46例如以從厚度方向t看的俯視視圖形狀一致的方式形成在壓電板30的兩個(gè)主面上。

在基部35的主面上，設(shè)有一對(duì)延伸電極(第一延伸電極47及第二延伸電極48)。各延伸電極47、48相對(duì)于各激振電極41、42分別電連接。具體而言，第一延伸電極47在基部35的一個(gè)主面上，從第一迂回電極45朝與基部35的與各振動(dòng)臂部31、32的連接部分為相反側(cè)的端緣延伸，之后在基部35的側(cè)面上延伸。第二延伸電極48在基部35的一個(gè)主面上，從第二迂回電極46朝與基部35的與各振動(dòng)臂部31、32的連接部分為相反側(cè)的端緣延伸，之后在基部35的側(cè)面上延伸。第一延伸電極47和第二延伸電極48為相互電絕緣的狀態(tài)。

如圖2及圖3所示，如上所述地構(gòu)成的壓電振動(dòng)片3容納在被氣密密封的封裝件2的腔c內(nèi)。壓電振動(dòng)片3的各支撐臂部33、34分別經(jīng)由導(dǎo)電性粘接劑電氣地及機(jī)械地接合于在安裝部14a、14b設(shè)置的兩個(gè)電極焊盤20a、20b。由此，壓電振動(dòng)片3的各振動(dòng)臂部31、32經(jīng)由基部35而被懸臂支承，且第一裝配電極43相對(duì)于電極焊盤20b電連接，第二裝配電極44相對(duì)于電極焊盤20a電連接(參照?qǐng)D5)。

此外，作為將各支撐臂部33、34接合于電極焊盤20a、20b的導(dǎo)電性接合材料，能夠作為導(dǎo)電性粘接劑的代替使用金屬凸點(diǎn)(bump)。導(dǎo)電性粘接劑和金屬凸點(diǎn)的共同點(diǎn)是具有在接合初期階段具有流動(dòng)性，在接合后期階段固化并呈現(xiàn)接合強(qiáng)度的性質(zhì)的導(dǎo)電性接合材料。

若對(duì)外部電極21a、21b施加既定的電壓，則電流流到圖5所示的各激振電極41、42，在各激振電極41、42之間產(chǎn)生電場(chǎng)。各振動(dòng)臂部31、32通過因在各激振電極41、42之間產(chǎn)生的電場(chǎng)而引起的反壓電效應(yīng)而向例如相互接近、離開的方向(寬度方向w)在既定的共振頻率下振動(dòng)。各振動(dòng)臂部31、32的振動(dòng)用作時(shí)刻源、控制信號(hào)的定時(shí)源、參考信號(hào)源等。

(壓電振動(dòng)片的制造方法)

接著，說明本實(shí)施方式的壓電振動(dòng)片3的制造方法。此外，關(guān)于在以下的說明中的各構(gòu)成部件的符號(hào)，請(qǐng)參照?qǐng)D5。

圖6是示出實(shí)施方式所涉及的壓電振動(dòng)片的制造方法的流程圖。圖7到圖9是用于說明實(shí)施方式所涉及的壓電振動(dòng)片的制造方法的工序圖，圖7及圖8是從一個(gè)主面?zhèn)瓤磮A片的部分俯視圖，圖9是從第二支撐臂部側(cè)看圓片連結(jié)部的立體圖。此外，在圖8及圖9中，省略激振電極41、42、裝配電極43、44、迂回電極45、46以及重錘金屬膜50的圖示。

如圖6所示，本實(shí)施方式的壓電振動(dòng)片3的制造方法具有外形形成工序s10、電極形成工序s20、重錘金屬膜形成工序s30、頻率調(diào)整工序s40、和單片化工序s50。

(外形形成工序)

首先進(jìn)行外形形成工序s10。如圖7所示，在外形形成工序s10中，在圓片60形成多個(gè)壓電板30、和經(jīng)由連結(jié)部61支撐各壓電板30的框架部62。

具體而言，利用光刻技術(shù)在圓片60的兩面形成形狀與壓電板30、連結(jié)部61及框架部62的外形形狀對(duì)應(yīng)的掩模(外形掩模)。接著，對(duì)圓片60進(jìn)行濕法蝕刻加工。由此，選擇性地去除未由外形掩模掩蔽的區(qū)域，以形成多個(gè)壓電板30、連結(jié)部61及框架部62的外形形狀。此時(shí)，各壓電板30沿寬度方向w并列地排列，為分別經(jīng)由連結(jié)部61連結(jié)于框架部62的狀態(tài)。另外，在圓片60的外表面之中，通過濕法蝕刻形成的端面(側(cè)面)為水晶的自然結(jié)晶面。

接著，對(duì)各振動(dòng)臂部31、32進(jìn)行蝕刻加工，以在各振動(dòng)臂部31、32的兩個(gè)主面形成槽部37。

在此，連結(jié)部61將框架部62與壓電板30的基部35之中與長(zhǎng)度方向l的與各振動(dòng)臂部31、32為相反側(cè)的端緣連結(jié)。連結(jié)部61沿長(zhǎng)度方向l從框架部62朝壓電板30的基部35延伸。連結(jié)部61的在寬度方向w上的寬度從框架部62朝壓電板30的基部35逐漸變窄。連結(jié)部61和壓電板30的邊界部61a(窄寬度部)設(shè)于基部35的端緣的在寬度方向w上的中央部。邊界部61a在連結(jié)部61中寬度方向w的寬度最窄。邊界部61a的寬度尺寸例如為30～50μm左右。

(電極形成工序)

接著進(jìn)行電極形成工序s20。電極形成工序s20對(duì)晶圓60構(gòu)圖電極膜，以對(duì)壓電板30形成激振電極41、42、裝配電極43、44及迂回電極45、46，并且形成從各壓電板30通過連結(jié)部61延伸到框架部62的各延伸電極47、48。

具體而言，在圓片60的主面上及側(cè)面上通過濺射法、蒸鍍法等形成電極膜。電極膜由金等金屬的單層膜、將鉻等金屬作為基底層，且將金等金屬作為上方層的層疊膜等形成。

接著，利用光刻技術(shù)，在電極膜的表面形成形狀與各電極41、48的外形形狀對(duì)應(yīng)的由抗蝕劑材料構(gòu)成的掩模(電極掩模)。

接著，蝕刻加工電極膜，以選擇性地去除未被電極掩模掩蔽的區(qū)域的電極膜。由此，對(duì)壓電板30形成激振電極41、42、裝配電極43、44及迂回電極45、46。另外，如圖8及圖9所示，在從壓電板30通過連結(jié)部61到達(dá)框架部62的區(qū)域，形成各延伸電極47、48。

如圖8所示，第一延伸電極47包含在圓片60的一個(gè)主面上設(shè)置的主面上形成部47a、和在基部35的側(cè)面上及連結(jié)部61的側(cè)面61b上設(shè)置的側(cè)面上形成部47b。主面上形成部47a沿長(zhǎng)度方向l延伸，并且在與邊界部61a相比寬度方向w的第二支撐臂部34側(cè)分成在基部35形成的部分、和在連結(jié)部61及框架部62形成的部分。主面上形成部47a之中在基部35形成的部分在各振動(dòng)臂部31、32側(cè)的一端部連接于第一迂回電極45，在另一端部連接于側(cè)面上形成部47b。主面上形成部47a之中在連結(jié)部61及框架部62形成的部分在各振動(dòng)臂部31、32側(cè)的一端部連接于側(cè)面上形成部47b，在另一端部連接于矩形狀的第一焊盤部47a，第一焊盤部47a設(shè)于框架部62的一個(gè)主面上。如圖8及圖9所示，側(cè)面上形成部47b在寬度方向w的與中心軸o(參照?qǐng)D5)相比第二支撐臂部34側(cè)從基部35的側(cè)面上通過邊界部61a的側(cè)面上，且直到連結(jié)部61的側(cè)面61b上地形成。

如圖8所示，第二延伸電極48在與第一延伸電極47絕緣的狀態(tài)下設(shè)置。第二延伸電極48包含在圓片60的一個(gè)主面上設(shè)置的主面上形成部48a、和在基部35及連結(jié)部61的側(cè)面61b上設(shè)置的側(cè)面上形成部48b。主面上形成部48a沿長(zhǎng)度方向l延伸，并且在與邊界部61a相比寬度方向w的第一支撐臂部33側(cè)分成在基部35形成的部分、和在連結(jié)部61及框架部62形成的部分。主面上形成部48a之中在基部35形成的部分在各振動(dòng)臂部31、32側(cè)的一端部連接于第二迂回電極46，在另一端部連接于側(cè)面上形成部48b。主面上形成部48a之中在連結(jié)部61及框架部62形成的部分在各振動(dòng)臂部31、32側(cè)的一端部連接于側(cè)面上形成部48b，在另一端部連接于矩形狀的第二焊盤部48a，第二焊盤部48a設(shè)于框架部62的一個(gè)主面上。側(cè)面上形成部47b在寬度方向w的與中心軸o(參照?qǐng)D5)相比第一支撐臂部33側(cè)從基部35的側(cè)面上通過邊界部61a的側(cè)面上，且直到連結(jié)部61的側(cè)面61b上地形成。

如圖8所示，各焊盤部47a、48a與各壓電板30各自對(duì)應(yīng)地設(shè)置，且沿寬度方向w交替排列地設(shè)置。此外，各焊盤部47a、48a的位置不受到特別的限定，可以在寬度方向w上設(shè)于與壓電板30重疊的位置，還可以在寬度方向w上設(shè)于與相鄰的壓電板30彼此之間對(duì)應(yīng)的位置。

(重錘金屬膜形成工序)

接著進(jìn)行重錘金屬膜形成工序s30。在重錘金屬膜s30中，在各振動(dòng)臂部31、32的錘部31b、32b的表面形成頻率調(diào)整用的重錘金屬膜50。重錘金屬膜50例如能夠通過蒸鍍等而形成。此外，重錘金屬膜50還可以在電極形成工序s20中與各電極41～48同時(shí)形成。

(頻率調(diào)整工序)

接著進(jìn)行頻率調(diào)整工序s40。在頻率調(diào)整工序s40中，在各延伸電極47、48之間施加既定的驅(qū)動(dòng)電壓，通過使壓電板30的各振動(dòng)臂部31、32振動(dòng)來調(diào)整壓電振動(dòng)片3(壓電板30)的頻率。

具體而言，將用于施加驅(qū)動(dòng)電壓的測(cè)定器的探頭推抵于框架部62上的各焊盤部47a、48a。在該狀態(tài)下，經(jīng)由各延伸電極47、48在各激振電極41、42之間施加既定的驅(qū)動(dòng)電壓，以使各振動(dòng)臂部31、32振動(dòng)。與此時(shí)測(cè)定的頻率和預(yù)先決定的壓電振動(dòng)片3的目標(biāo)頻率之差對(duì)應(yīng)地部分地去除各振動(dòng)臂部31、32上的重錘金屬膜50。由此，各振動(dòng)臂部31、32的質(zhì)量變化，因而各振動(dòng)臂部31、32的振動(dòng)頻率(壓電振動(dòng)片3的頻率)變化。由此，能夠使壓電振動(dòng)片3的頻率接近目標(biāo)頻率。

(單片化工序)

接著進(jìn)行單片化工序s50。在單片化工序s50中，截?cái)噙B結(jié)部61，以使壓電板30單片化。

具體而言，將各壓電板30相對(duì)于框架部62彎折，以截?cái)喔鬟B結(jié)部61。此時(shí)，由于連結(jié)部61的寬度在邊界部61a處最窄，故連結(jié)部61在邊界部61a處被截?cái)唷?/p>

由此，能夠從一片圓片60一次批量制造多個(gè)壓電振動(dòng)片3。

如此，根據(jù)本實(shí)施方式的壓電振動(dòng)片3的制造方法，由于在連結(jié)部61的側(cè)面61b上形成延伸電極47、48，故能夠防止一對(duì)延伸電極47、48在連結(jié)部61的主面上形成于接近的位置。由此，能夠防止一對(duì)延伸電極47、48短路，并且與一對(duì)延伸電極在連結(jié)部的一個(gè)主面上形成的現(xiàn)有技術(shù)相比較使連結(jié)部61的寬度較窄地形成。從而，能夠容易地截?cái)噙B結(jié)部61，能夠在單片化時(shí)防止壓電振動(dòng)片3損傷。

另外，由于在連結(jié)部61之中寬度最窄的邊界部61a的側(cè)面形成一對(duì)延伸電極47、48，故能夠更為可靠地防止一對(duì)延伸電極47、48形成于接近的位置。由此，能夠防止一對(duì)延伸電極47、48短路，并且與現(xiàn)有技術(shù)相比較使連結(jié)部61的寬度更窄地形成。從而，能夠更容易地截?cái)噙B結(jié)部61，能夠在單片化時(shí)防止壓電振動(dòng)片3損傷。

此外，雖然在上述實(shí)施方式中，一對(duì)延伸電極47、48雙方形成在連結(jié)部61的側(cè)面61b上，但不限定于此。

圖10是用于說明實(shí)施方式的第一變形例所涉及的壓電振動(dòng)片的制造方法的工序圖，是從一個(gè)主面?zhèn)瓤磮A片的部分俯視圖。

如圖10所示，還可以是各延伸電極47、48中的任一個(gè)(在圖示的例子中為第一延伸電極47)僅在圓片60的一個(gè)主面上形成，另一個(gè)(在圖示的例子中為第二延伸電極48)在連結(jié)部61的側(cè)面61b上形成。

另外，若在外形形成工序中對(duì)水晶進(jìn)行濕法蝕刻加工，則有時(shí)在連結(jié)部61的側(cè)面61b，作為蝕刻殘留，形成由壓電材料的自然結(jié)晶面構(gòu)成的異形部。以下，說明在連結(jié)部61的側(cè)面61b形成有異形部的情況。

圖11是用于說明實(shí)施方式的第二變形例所涉及的壓電振動(dòng)片的制造方法的工序圖，是從一個(gè)主面?zhèn)瓤磮A片的部分俯視圖。圖12是從長(zhǎng)度方向看圖11所示的晶圓連結(jié)部的截面圖。

例如，在圖11及圖12所示的例子中，異形部63在連結(jié)部61與壓電板30的基部35的邊界部61a處的寬度方向w兩側(cè)的兩處角部形成。異形部63的表面為相對(duì)于圓片60的主面傾斜的面。在該情況下，在電極形成工序s20中，將各延伸電極47、48形成于異形部63。由此，能夠防止一對(duì)延伸電極47、48在連結(jié)部61的主面上形成于接近的位置。由此，能夠防止一對(duì)延伸電極47、48短路，并且與現(xiàn)有技術(shù)相比較使連結(jié)部61的寬度較窄地形成。從而，能夠容易地截?cái)噙B結(jié)部61，能夠在單片化時(shí)防止壓電振動(dòng)片3損傷。

圖13是用于說明實(shí)施方式的第三變形例所涉及的壓電振動(dòng)片的制造方法的工序圖，是從一個(gè)主面?zhèn)瓤磮A片的部分俯視圖。

另外，在圖13所示的例子中，連結(jié)部61沿長(zhǎng)度方向l從框架部62朝壓電板30的基部35以一定的寬度延伸。異形部63在連結(jié)部61與基部35的邊界部61a的寬度方向w兩側(cè)的兩處角部、以及連結(jié)部61與框架部62的邊界部61c的寬度方向w兩側(cè)的兩處角部形成。在該情況下，通過在電極形成工序s20中將各延伸電極47、48形成于異形部63，也能夠與第二變形例同樣，防止一對(duì)延伸電極47、48在連結(jié)部61的主面上形成于接近的位置。由此，能夠防止一對(duì)延伸電極47、48短路，并且與現(xiàn)有技術(shù)相比較使連結(jié)部61的寬度較窄地形成。從而，能夠容易地截?cái)噙B結(jié)部61，能夠在單片化時(shí)防止壓電振動(dòng)片3損傷。

此外，本發(fā)明不限定于參照附圖說明的上述實(shí)施方式，而是在其技術(shù)范圍內(nèi)可考慮各種變形例。

例如，在上述實(shí)施方式中，壓電振動(dòng)片3是各支撐臂部33、34配置在各振動(dòng)臂部31、32外側(cè)的所謂側(cè)臂(sidearm)型的振動(dòng)片。但是不限定于其，壓電振動(dòng)片還可以是例如一個(gè)支撐臂部配置在一對(duì)振動(dòng)臂部之間的所謂中央臂(centerarm)型的振動(dòng)片、不具備支撐臂部的振動(dòng)片。另外，還可以是在各振動(dòng)臂部未形成槽部的構(gòu)成。

另外，雖然在上述實(shí)施方式中，在框架部62上，與各壓電板30對(duì)應(yīng)地形成的第一延伸電極47彼此及第二延伸電極48彼此在相互電絕緣的狀態(tài)下構(gòu)圖，但不限定于此。在框架部62上，與各壓電板30對(duì)應(yīng)地形成的第一延伸電極彼此、或第二延伸電極彼此也可以電連接。由此，當(dāng)在頻率調(diào)整工序中個(gè)別地測(cè)定多個(gè)壓電振動(dòng)片3的頻率時(shí)，能夠使推抵于相互電連接的一個(gè)延伸電極的測(cè)定器探頭維持在預(yù)先設(shè)定的既定位置。因此，在個(gè)別地測(cè)定多個(gè)壓電振動(dòng)片3的頻率時(shí)，與在每次測(cè)定時(shí)移動(dòng)一對(duì)探頭的情況相比，能夠防止花費(fèi)煩雜的工夫，能夠效率良好地進(jìn)行頻率測(cè)定。

另外，在不脫離本發(fā)明的主旨的范圍內(nèi)，能夠適當(dāng)?shù)貙⑸鲜鰧?shí)施方式中的構(gòu)成要素替換為公知的構(gòu)成要素。

符號(hào)說明

3壓電振動(dòng)片、30壓電板、41第一激振電極(激振電極)、42第二激振電極(激振電極)、47第一延伸電極(延伸電極)、48第二延伸電極(延伸電極)、60圓片、61連結(jié)部、61a邊界部(窄寬度部)、61b連結(jié)部的側(cè)面、62框架部、63異形部。