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基于碳化硅MOSFET和JFET的混合高壓器件的制作方法

文檔序號:12067592閱讀:414來源:國知局
基于碳化硅MOSFET和JFET的混合高壓器件的制作方法與工藝

本發(fā)明涉及一種基于碳化硅MOSFET和JFET的混合高壓器件,屬于電力電子技術(shù)領(lǐng)域。



背景技術(shù):

碳化硅(Silicon Carbide,SiC)作為第三代半導(dǎo)體材料,具有高耐壓、高耐溫等一系列優(yōu)點,得到了功率器件領(lǐng)域的廣泛關(guān)注。SiC器件歷經(jīng)了20多年的發(fā)展,到目前為止,只有1200V和1700V SiC MOSFET和SiC JFET已經(jīng)有一些商業(yè)化產(chǎn)品,更高電壓SiC器件還處于實驗室研究階段,由于技術(shù)和成本原因,目前還未得到大規(guī)模使用。其中SiC MOSFET具有開關(guān)頻率高、導(dǎo)通電阻小、輸入阻抗高、熱穩(wěn)定性能好、無二次擊穿問題等優(yōu)點,但電流反向流動時,其自身寄生二極管的導(dǎo)通壓降大。SiC JFET管具有高溫特性好、放大性能好、噪聲低、結(jié)構(gòu)簡單、制備工藝成熟,可靠性高、價格低廉等優(yōu)點,但其門極閥值常為負電壓,在未加驅(qū)動負壓時為常開器件,因此不能被工業(yè)界廣泛接受。



技術(shù)實現(xiàn)要素:

為了解決上述技術(shù)問題,本發(fā)明提供了一種基于碳化硅MOSFET和JFET的混合高壓器件。

為了達到上述目的,本發(fā)明所采用的技術(shù)方案是:

基于碳化硅MOSFET和JFET的混合高壓器件,包括MOSFET、N個JFET、N個JFET驅(qū)動電路、混合高壓器件的源極、混合高壓器件的柵極以及混合高壓器件的漏極;

MOSFET的源極與混合高壓器件的源極連接,MOSFET的柵極與混合高壓器件的柵極連接,N個JFET依次串聯(lián),第i個JFET的漏極與其相鄰的第i+1個JFET的源極連接,i為整數(shù),0<i<N,第1個JFET的源極與MOSFET的漏極連接,第N個JFET的漏極與混合高壓器件的漏極連接;

N個JFET驅(qū)動電路依次串聯(lián),第i個JFET驅(qū)動電路的輸出端與其相鄰的第i+1個JFET驅(qū)動電路的輸入端連接,第1個JFET驅(qū)動電路的輸入端與混合高壓器件的柵極連接,N個JFET驅(qū)動電路的輸出端分別與N個JFET的柵極連接。

還包括MOSFET驅(qū)動電阻和N個JFET驅(qū)動電阻;MOSFET驅(qū)動電阻的一端與MOSFET的柵極連接,另一端與混合高壓器件的柵極連接,JFET驅(qū)動電阻兩端分別與JFET驅(qū)動電路的輸出端以及該JFET驅(qū)動電路驅(qū)動的JFET柵極連接。

JFET驅(qū)動電路包括并聯(lián)的穩(wěn)壓管串、二極管以及電阻電容串聯(lián)回路,穩(wěn)壓管串的陽極、二極管的陽極以及電阻電容串聯(lián)回路的一端連接成第一節(jié)點,第一節(jié)點為JFET驅(qū)動電路的輸入端,穩(wěn)壓管串的陰極、二極管的陰極以及電阻電容串聯(lián)回路的另一端連接成第二節(jié)點,第二節(jié)點為JFET驅(qū)動電路的輸出端。

穩(wěn)壓管串包括若干個串聯(lián)的穩(wěn)壓管,第一個穩(wěn)壓管的陽極作為穩(wěn)壓管串的陽極,最后一個穩(wěn)壓管的陰極作為穩(wěn)壓管串的陰極,兩個相鄰穩(wěn)壓管的陽極與陰極連接。

N=5。

本發(fā)明所達到的有益效果:1、本發(fā)明電路功率部分通過碳化硅器件串聯(lián),并通過穩(wěn)壓管、二極管、電阻、電容等元件實現(xiàn)JFET驅(qū)動,最終的混合型高壓器件可實現(xiàn)至少6kV的高耐壓,相對其他高壓器件,本高壓器件成本低,可實現(xiàn)高頻率、高效率和高功率密度,適用中高壓電力電子變換器應(yīng)用領(lǐng)域;2、本發(fā)明開關(guān)頻率較其他高壓器件高很多,因此其組成的換流器功率密度高;3、本發(fā)明僅有一個驅(qū)動輸入端口,驅(qū)動比較簡單;4、穩(wěn)壓管串鉗位電路僅在靜態(tài)時有效,動態(tài)運行時,功率器件分壓由電阻電容決定,穩(wěn)壓管無需擊穿運行,因此,實際運行的開關(guān)損耗較??;5、本發(fā)明導(dǎo)通損耗相對較小,SiC MOSFET的正門極閥值具有很強的抗干擾能力;6、電路中電流反向流動時,通過對電容自動放電,電流僅流過SiC JFET通道,既降低了導(dǎo)通損耗,又節(jié)省了反并聯(lián)二極管;7、利用SiC MOSFET的正電壓驅(qū)動,并配置合適的正電壓SiC JFET驅(qū)動電路,加速混合型高壓器件的開通過程。

附圖說明

圖1為本發(fā)明的電路圖。

圖2為混合型高壓器件關(guān)斷時各器件電壓圖。

圖3為混合型高壓器件各器件電壓實測圖。

圖4為混合型高壓器件開通時各器件電壓圖。

具體實施方式

下面結(jié)合附圖對本發(fā)明作進一步描述。以下實施例僅用于更加清楚地說明本發(fā)明的技術(shù)方案,而不能以此來限制本發(fā)明的保護范圍。

如圖1所示,基于碳化硅MOSFET和JFET的混合高壓器件,包括MOSFET、MOSFET驅(qū)動電阻、5個JFET、5個JFET驅(qū)動電路、5個JFET驅(qū)動電阻、混合高壓器件的源極、混合高壓器件的柵極以及混合高壓器件的漏極。

MOSFET的源極與混合高壓器件的源極連接,MOSFET的柵極通過MOSFET驅(qū)動電阻與混合高壓器件的柵極連接,5個JFET依次串聯(lián),兩個相鄰JFET的漏極與源極連接,第1個JFET的源極與MOSFET的漏極連接,第5個JFET的漏極與混合高壓器件的漏極連接。

5個JFET驅(qū)動電路依次串聯(lián),兩個相鄰JFET驅(qū)動電路的輸出端與輸入端連接,第1個JFET驅(qū)動電路的輸入端與混合高壓器件的柵極連接,5個JFET驅(qū)動電路的輸出端分別通過5個JFET驅(qū)動電阻與5個JFET的柵極連接。

JFET驅(qū)動電路包括并聯(lián)的穩(wěn)壓管串、二極管以及電阻電容串聯(lián)回路,穩(wěn)壓管串的陽極、二極管的陽極以及電阻電容串聯(lián)回路的一端連接成第一節(jié)點,第一節(jié)點為JFET驅(qū)動電路的輸入端,穩(wěn)壓管串的陰極、二極管的陰極以及電阻電容串聯(lián)回路的另一端連接成第二節(jié)點,第二節(jié)點為JFET驅(qū)動電路的輸出端。

穩(wěn)壓管串包括若干個串聯(lián)的穩(wěn)壓管,第一個穩(wěn)壓管的陽極作為穩(wěn)壓管串的陽極,最后一個穩(wěn)壓管的陰極作為穩(wěn)壓管串的陰極,相鄰兩個穩(wěn)壓管的陽極與陰極連接。電阻電容串聯(lián)回路包括串聯(lián)的電阻和電容。

上述混合高壓器件的工作原理具體分為靜態(tài)工作、正常關(guān)斷過程、正常硬開關(guān)開通過程以及正常軟開關(guān)開通過程。

為了更好的說明上述工作原理,對圖1中的各符號進行說明:J1~J5分別代表5個JFET,M1代表MOSFET,R1~R5分別代表5個電阻電容串聯(lián)回路中的電阻,C1~C5分別代表5個電阻電容串聯(lián)回路中的電容,DZ1~DZ5分別代表5個JFET驅(qū)動電路中的穩(wěn)壓管串,DF1~DF5分別代表5個JFET驅(qū)動電路中的二極管,MGD1代表MOSFET驅(qū)動電阻,JGD1~JGD5代表5個JFET驅(qū)動電阻,CJS代表混合高壓器件源極,CJD代表混合高壓器件漏極,CJG代表混合高壓器件柵極,CJS1~CJS5分別代表J1~J5的源極,CJG1~CJG5分別代表J1~J5的驅(qū)動節(jié)點,即5個JFET驅(qū)動電路的輸出端,PGS代表驅(qū)動脈沖信號。

A、靜態(tài)工作(即沒有開關(guān)動作):此時加在CJG的驅(qū)動電路輸出信號為-5V或0V(0V即驅(qū)動電路不工作),此值小于M1的門極閾值,因此M1是關(guān)斷態(tài)。當高壓直流電壓接入混合型高壓器件的CJD和CJS之間時,M1漏極和源極兩端電壓會逐步上升;此時R1C1串聯(lián)回路兩端電壓也隨之上升,而DZ1和DF1必然反向截止;雖然M1漏極和源極兩端電壓以及R1C1串聯(lián)回路兩端電壓的上升率不同,但在該模式下,最終的運行狀態(tài)是,當CJG1和CJG兩端電壓等于DZ1的數(shù)值時,DZ1被擊穿,此后M1漏極和源極以及R1C1串聯(lián)回路兩端電壓被DZ1鉗位到固定數(shù)值,即M1的耐壓由DZ1擊穿電壓決定。如果高壓直流電壓很高,DZ2~DZ5會陸續(xù)被擊穿,即CJG2~CJG5也將會繼續(xù)被鉗位,該過程可以保證SiC MOSFET和各SiC JFET的承受耐壓在器件額定值范圍內(nèi),不會損壞功率器件。當然,實際電路使用會考慮電壓余量,一般CJG5不會被鉗位,即J5一直為導(dǎo)通狀態(tài),高壓直流電壓由SiC MOSFET和4個SiC JFET(J1~J4)分擔承受。

B、正常關(guān)斷過程:此時加在CJG的驅(qū)動電路輸出信號由正電壓轉(zhuǎn)為-5V,此值小于M1的門極閾值,因此M1進入關(guān)斷過程。實際電路關(guān)斷過程開始后,混合高壓器件的CJD和CJS之間必然承受一定高壓直流電壓,因此M1漏極和源極兩端電壓將會首先上升;此時M1通道部分電流轉(zhuǎn)移至J1的驅(qū)動電路流通,R1C1串聯(lián)回路兩端電壓必然也隨之上升,而DZ1和二極管DF1必然反向截止;由于M1漏極和源極兩端電壓的上升率小于R1C1串聯(lián)回路兩端電壓的上升率(M1漏極和源極的輸出電容值比C1值大),因此,此后M1漏極和源極兩端電壓上升至一定數(shù)值時,R1C1串聯(lián)回路兩端電壓被上升至M1漏極和源極兩端電壓與JFET閾值電壓之和,即J1柵極和源極兩端電壓差變?yōu)樾∮贘FET的門極閥值電壓,J1開始關(guān)斷過程,隨后J1漏極和源極兩端電壓開始上升,R2C2串聯(lián)回路兩端電壓也同步上升;相同原理,由于J1漏極和源極兩端電壓的上升率小于R2C2串聯(lián)回路兩端電壓的上升率(J1漏極和源極的輸出電容值比C2值大),當J1漏極和源極兩端電壓上升至一定數(shù)值時,J2也開始關(guān)斷過程;J3~J5的關(guān)斷過程類似,如圖2所示,各碳化硅器件關(guān)斷是個漸進過程。此外,如圖3所示,各個功率器件分擔的電壓都在DZ1~DZ5擊穿電壓之下,整個關(guān)斷過程無需DZ1~DZ5擊穿。因為正常情況下的開關(guān)頻率比較高,在每個開關(guān)周期很短的時間內(nèi),CJG1~CJG5各節(jié)點的電勢不會變化很大,即正常關(guān)斷過程不需要通過DZ1~DZ5來維持CJG1~CJG5各節(jié)點的電勢,此時其電勢由合理設(shè)置C1~C5數(shù)值來控制的電壓上升率維持。

C、正常硬開關(guān)開通過程:

(1)當開通信號剛加到CJG時,R1C1串聯(lián)回路的C1還未開始放電,DF1、DZ1都是逆向截止,此時所有SiC JFET截止狀態(tài)不受影響;由于M1的柵極接受驅(qū)動正脈沖,因此,M1的輸出電容開始通過M1通道放電,M1漏極和源極兩端電壓開始下降。由于R1C1串聯(lián)回路的C1電容仍未放電,即節(jié)點CJG1的相對電勢保持不變,隨著M1漏極和源極兩端電壓下降,即節(jié)點CJS1的電勢下降,J1柵極和源極兩端電壓差變?yōu)榇笥赟iC JFET的門極閥值電壓,J1開始緩慢導(dǎo)通,即J1漏極和源極兩端電壓開始下降,此時R1C1串聯(lián)回路的C1電容通過J1的柵極放電,即相當于輸出J1驅(qū)動脈沖信號。

(2)隨著J1開通,J1的輸出電容開始通過J1通道放電,J1漏極和源極兩端電壓開始下降。由于R2C2串聯(lián)回路的C2電容仍未放電,即節(jié)點CJG2的相對電勢保持不變,隨著J1漏極和源極兩端電壓下降,即節(jié)點CJS2的電勢下降,J2柵極和源極兩端電壓差變?yōu)榇笥赟iC JFET的門極閥值電壓,J2開始緩慢導(dǎo)通,此時R2C2串聯(lián)回路的C2電容通過J2的柵極放電,即相當于輸出J2驅(qū)動脈沖信號。

(3)J3,J4,J5采用完全類似的開通過程,所有器件的整體過程是相關(guān)交叉,僅是依次相差一個小的延時(大約20~50ns),如圖4所示,其依次開通的先后延時由電阻電容串聯(lián)回路的電容控制。

(4)等所有器件都開通后,加到CJG的驅(qū)動信號通過DF1~DF5鉗位各SiC JFET的柵極電壓,保證SiC MOSFET和所有SiC JFET的柵極都處于門極閾值電壓以上,都能完全導(dǎo)通,并以此來減少導(dǎo)通電阻。

D、正常ZVS軟開關(guān)開通過程:ZVS軟開關(guān)開通過程和硬開關(guān)開通過程的區(qū)別在于,此時CJG沒有驅(qū)動信號,且此時電流的方向相反。具體的原理如下:

(1)此時CJG無驅(qū)動信號,R1C1串聯(lián)回路的C1電容還未開始放電,DF1、DZ1都是逆向截止,此時SiC MOSFET和所有SiC JFET截止狀態(tài)不受影響;由于電流的方向相反,因此,該反向電流對M1的輸出電容放電,M1漏極和源極兩端電壓開始下降。由于R1C1串聯(lián)回路的C1電容仍未放電,即節(jié)點CJG1的相對電勢保持不變,隨著M1漏極和源極兩端電壓下降,即節(jié)點CJS1的電勢下降,J1柵極和源極兩端電壓差變?yōu)榇笥赟iC JFET的門極閥值電壓,J1開始緩慢導(dǎo)通,J1漏極和源極兩端電壓開始下降,此時R1C1串聯(lián)回路的C1電容通過J1的柵極放電,即相當于輸出J1驅(qū)動脈沖信號。

(2)隨著J1開通,J1的輸出電容開始通過J1通道放電,同時反向電流也對J1的輸出電容放電,J1漏極和源極兩端電壓開始下降。由于R2C2串聯(lián)回路的C2電容仍未放電,即節(jié)點CJG2的相對電勢保持不變,隨著J1漏極和源極兩端電壓下降,即節(jié)點CJS2的電勢下降,J2柵極和源極兩端電壓差變?yōu)榇笥赟iC JFET的門極閥值電壓,J2開始緩慢導(dǎo)通,此時R2C2串聯(lián)回路的C2電容通過J2的柵極放電,即相當于輸出J2驅(qū)動脈沖信號。

(3)J3,J4,J5采用完全類似的開通過程,所有器件的整體過程是相關(guān)交叉,僅是依次相差一個小的延時,其依次開通的先后延時由電阻電容串聯(lián)回路的電容和反向電流大小控制。

(4)等所有器件都開通后,雖然M1的柵極沒有驅(qū)動信號,但反向電流可以走MOSFET相應(yīng)的寄生二極管,而所有JFET的柵極都處于“0”電位,因此所有JFET的柵極電壓都在門極閾值電壓以上,都能完全導(dǎo)通,該過程中所有JFET無需相應(yīng)的并聯(lián)二極管參與導(dǎo)通。如果此過程之后,M1柵極加驅(qū)動信號,即SiC MOSFET實現(xiàn)同步整流模式,反向電流可以由SiC MOSFET寄生二極管轉(zhuǎn)入SiC MOSFET的通道,以此來減少導(dǎo)通壓降。

上述實施例是取N=5時的情況,當然N也可為其他正整數(shù),具體數(shù)字根據(jù)實際的情況而定。

上述混合高壓器件的電路功率部分通過碳化硅器件串聯(lián),并通過穩(wěn)壓管、二極管、電阻、電容等元件實現(xiàn)JFET驅(qū)動,最終的混合型高壓器件可實現(xiàn)至少6kV的高耐壓,相對其他高壓器件,本高壓器件驅(qū)動比較簡單,開關(guān)損耗較小,導(dǎo)通損耗相對較小,抗干擾能力強,成本低,其組成的換流器功率密度高,可實現(xiàn)高頻率、高效率和高功率密度,適用中高壓電力電子變換器應(yīng)用領(lǐng)域。

以上所述僅是本發(fā)明的優(yōu)選實施方式,應(yīng)當指出,對于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說,在不脫離本發(fā)明技術(shù)原理的前提下,還可以做出若干改進和變形,這些改進和變形也應(yīng)視為本發(fā)明的保護范圍。

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