本發(fā)明涉及振動片及其制造方法、振蕩器、電子設(shè)備、移動體及基站。
背景技術(shù)：
：在使用了振動片的振動器件中，公知有由于被稱為寄生的副振動的影響，在起動時引起振動片異常振蕩，其中，該振動片使用了石英。特別地，在能夠在大溫度范圍內(nèi)使輸出頻率穩(wěn)定的sc切振動片的情況下，與通常使用的at切振動片相比，ci(crystalimpedance：晶體阻抗)值高，而且由于使用三次泛音(overtone)，因此，ci值進(jìn)一步變高，所以難以實現(xiàn)基于主振動(c模式)的振蕩。此外，在sc切振動片的情況下，當(dāng)b模式的寄生為1.09倍時，處于與主振動接近處，由于使用b模式抑制濾波器進(jìn)行振蕩，因此難以振蕩，由于ci值變動等而導(dǎo)致b模式的寄生的影響度變化，容易引起異常振蕩。另外，為了使ci值變小，公知有使振動片成為大尺寸，但在強(qiáng)烈偏愛小型化的現(xiàn)狀下，難以在實際應(yīng)用中實現(xiàn)。為了應(yīng)對這些情況，例如在專利文獻(xiàn)1中公開了如下技術(shù)：通過對石英的厚度與規(guī)定的軸向(xx’方向)的尺寸的比率進(jìn)行規(guī)定來抑制寄生的出現(xiàn)。專利文獻(xiàn)1：日本特開平5-335877號公報但是，為了實現(xiàn)在專利文獻(xiàn)1中公開的厚度與規(guī)定的軸向(xx’方向)的尺寸的比率，需要使電極面積變小等，因此，無法充分地使ci值降低，受到寄生的影響而引起異常振蕩等，可能無法避免寄生的影響。技術(shù)實現(xiàn)要素：本發(fā)明是為了解決上述課題的至少一部分而完成的，能夠作為以下的方式或者應(yīng)用例而實現(xiàn)。[應(yīng)用例1]本應(yīng)用例的振動片的特征在于，具有：具有厚度t的sc切石英基板；以及激勵電極，其配置于所述石英基板的主面，所述主面為方形或者矩形，當(dāng)設(shè)所述主面的一邊的長度為l時，滿足28≤l/t≤60的關(guān)系。根據(jù)本應(yīng)用例的振動片，能夠抑制寄生的出現(xiàn)，避免寄生的影響。因此，能夠減少由寄生的影響導(dǎo)致的異常振蕩等。[應(yīng)用例2]在上述應(yīng)用例所記載的振動片中，優(yōu)選的是，滿足33≤l/t≤55的關(guān)系。根據(jù)本應(yīng)用例，能夠抑制寄生的出現(xiàn)，避免或減少由寄生的影響導(dǎo)致的異常振蕩。[應(yīng)用例3]在上述應(yīng)用例所記載的振動片中，優(yōu)選的是，滿足35≤l/t≤45的關(guān)系。根據(jù)本應(yīng)用例，能夠進(jìn)一步抑制寄生的出現(xiàn)，能夠更好地避免由寄生的影響導(dǎo)致的異常振蕩。[應(yīng)用例4]在上述應(yīng)用例所記載的振動片中，優(yōu)選的是，所述振動片包含與所述主面處于正反關(guān)系的反面，連接所述主面與反面的側(cè)面的算術(shù)平均粗糙度比所述主面的算術(shù)平均粗糙度大。根據(jù)本應(yīng)用例，通過使側(cè)面的算術(shù)平均粗糙度比主面的算術(shù)平均粗糙度大，能夠進(jìn)一步減少寄生的出現(xiàn)。[應(yīng)用例5]在上述應(yīng)用例所記載的振動片中，優(yōu)選的是，在所述側(cè)面設(shè)置有突出部。根據(jù)本應(yīng)用例，通過突起部使側(cè)面成為變形的形狀，由此，能夠減少寄生的出現(xiàn)。[應(yīng)用例6]本應(yīng)用例的振動片的制造方法的特征在于，包含如下工序：切出sc切石英基板，該sc切石英基板具有呈方形或者矩形、且一邊的長度為l的主面，厚度為t；以及在所述主面上形成激勵電極，其中，滿足28≤l/t≤60。根據(jù)本應(yīng)用例的振動片的制造方法，可得到能夠抑制寄生的出現(xiàn)、避免寄生的影響的振動片。因此，本振動片能夠減少由寄生的影響導(dǎo)致的異常振蕩等。[應(yīng)用例7]本應(yīng)用例的振蕩器的特征在于，具有：上述應(yīng)用例的任意一例所述的振動片；振蕩電路，其使所述振動片振蕩；溫度控制元件，其控制所述振動片的溫度；以及溫度控制電路，其控制所述溫度控制元件的動作。根據(jù)本應(yīng)用例，得到了如下的可靠性高的振蕩器，其能夠不被使用環(huán)境影響地將振動片的溫度保持為大致恒定，并且抑制了寄生的影響。[應(yīng)用例8]在上述應(yīng)用例所記載的振蕩器中，優(yōu)選的是，所述振動片在一個部位被支承于所述溫度控制元件。根據(jù)本應(yīng)用例的振蕩器，由于振動片在一個部位被支承于溫度控制元件，因此，振動片不容易受到由熱變形等導(dǎo)致的應(yīng)力變化等的影響，從而能夠得到更高精度的振蕩器。[應(yīng)用例9]在上述應(yīng)用例記載的振蕩器中，優(yōu)選的是，該振蕩器具有至少收納所述振動片的封裝，所述振動片在一個部位被支承于所述封裝。根據(jù)本應(yīng)用例，由于振動片在一個部位被支承于封裝，因此，振動片不容易受到由熱變形等導(dǎo)致的應(yīng)力變化等的影響，從而能夠得到更高精度的振蕩器。[應(yīng)用例10]本應(yīng)用例的電子設(shè)備的特征在于，具有上述應(yīng)用例中的任意一例所述的振動片。根據(jù)本應(yīng)用例，能夠得到可靠性高的電子設(shè)備。[應(yīng)用例11]本應(yīng)用例的移動體的特征在于，具有上述應(yīng)用例中的任意一例所述的振動片。根據(jù)本應(yīng)用例，能夠得到可靠性高的移動體。[應(yīng)用例12]本應(yīng)用例的基站的特征在于，具有上述應(yīng)用例中的任意一例所述的振動片。根據(jù)本應(yīng)用例，能夠得到可靠性高的基站。附圖說明圖1是本發(fā)明實施方式的振蕩器的剖視圖。圖2是圖1所示的振蕩器所具有的封裝的放大剖視圖。圖3是圖2所示的封裝的俯視圖。圖4是振動片的俯視圖(頂視圖)。圖5是振動片的俯視圖(透視圖)。圖6是用于說明sc切的圖。圖7a是示出振動片的實施例1的ci值與溫度的相關(guān)的曲線圖。圖7b是示出振動片的實施例2的ci值與溫度的相關(guān)的曲線圖。圖7c是示出振動片的實施例3的ci值與溫度的相關(guān)的曲線圖。圖8是示出振動片的比較例1的ci值與溫度的相關(guān)的曲線圖。圖9是沿著x’軸或者z’軸對石英基板進(jìn)行剖視而觀察到的圖。圖10是示出作為本發(fā)明的電子設(shè)備的移動型(或者筆記本型)的個人計算機(jī)的結(jié)構(gòu)的立體圖。圖11是示出作為本發(fā)明的電子設(shè)備的移動電話機(jī)(也包括phs在內(nèi))的結(jié)構(gòu)的立體圖。圖12是示出作為本發(fā)明的電子設(shè)備的數(shù)字靜態(tài)照相機(jī)的結(jié)構(gòu)的立體圖。圖13是示出作為本發(fā)明的移動體的汽車的立體圖。圖14是示出應(yīng)用了本發(fā)明的基站的定位系統(tǒng)的概略結(jié)構(gòu)圖。標(biāo)號說明1：振蕩器；2：振動片；2a：短邊；2b：長邊；21：石英基板；22：電極；221a：第1激勵電極；221b：第1引出電極；222a：第2激勵電極；222b：第2引出電極；3：控制電路元件；4：發(fā)熱部；43：端子；5：封裝；51：基底；511：凹部；52：蓋；531、533、534：內(nèi)部端子；535：外部端子；6：外側(cè)封裝；61：基底基板；62：帽；63：引線框；7：固定部件；8：電路部件；1100：個人計算機(jī)；1200：移動電話機(jī)；1300：數(shù)字靜態(tài)照相機(jī)；1500：作為移動體的汽車；1600：定位系統(tǒng)；1620：基站；s、s1：內(nèi)部空間；l：短邊的長度；t：厚度。具體實施方式以下，根據(jù)附圖所示的實施方式對本發(fā)明的振動片、振蕩器、電子設(shè)備、移動體以及基站進(jìn)行詳細(xì)說明。<實施方式>圖1是本發(fā)明的實施方式的振蕩器的剖視圖。圖2是圖1所示的振蕩器所具有的封裝的放大剖視圖。圖3是圖2所示的封裝的俯視圖。圖4是振動片的俯視圖(頂視圖)。圖5是振動片的俯視圖(透視圖)。圖6是用于說明sc切的圖。圖7a～圖7c示出振動片的ci值與溫度的相關(guān)，圖7a是示出本發(fā)明的實施例1的曲線圖，圖7b是示出本發(fā)明的實施例2的曲線圖，圖7c是示出本發(fā)明的實施例3的曲線圖。圖8是示出比較例1的振動片的ci值與溫度的相關(guān)的曲線圖。另外，以下為了便于說明，有時將圖1中的上側(cè)稱為“上”，將下側(cè)稱為“下”。圖1所示的振蕩器1是ocxo(恒溫槽型石英振蕩器)，其具有：振動片2；控制電路元件3；封裝5，其收納作為溫度控制元件的發(fā)熱部4；以及外側(cè)封裝6，其覆蓋封裝5。以下，依次對各結(jié)構(gòu)要素進(jìn)行說明。(封裝)如圖2以及圖3所示，封裝5具有：腔狀的基底51，其具有向上表面開口的凹部511；以及板狀的蓋52，其封住凹部511的開口并且與基底51接合。這樣的封裝5具有通過凹部511的開口被蓋52封住而形成的內(nèi)部空間s，在該內(nèi)部空間s中收納有振動片2、控制電路元件3以及發(fā)熱部4。被蓋52密封的內(nèi)部空間s能夠?qū)⑵鋬?nèi)部壓力設(shè)定為期望的氣壓。例如，通過采用真空(被比通常的大氣壓低的壓力(1×105pa～1×10-10pa以下(jisz8126-1：1999))的氣體充滿的空間的狀態(tài))，能夠繼續(xù)更穩(wěn)定的振動片2的振動。此外，內(nèi)部空間s的環(huán)境通過凹部511的開口被封住而密封，優(yōu)選采用填充氮氣而成為大氣壓，或者采用真空(比通常的大氣壓低的壓力(被1×105pa～1×10-10pa以下的氣體充滿的空間的狀態(tài)))，但不限于此。例如，也可以在內(nèi)部空間s填充氮、氦、氬等非活性氣體(惰性氣體)而成為大氣壓。作為基底51的構(gòu)成材料，沒有特別限定，例如，能夠使用氧化鋁等各種陶瓷、玻璃材料、金屬材料等。此外，作為蓋52的構(gòu)成材料，沒有特別限定，但只要是與基底51的構(gòu)成材料的線膨脹系數(shù)近似的部件即可。例如，當(dāng)使基底51的構(gòu)成材料是上述那樣的陶瓷的情況下，優(yōu)選柯伐等合金。此外，基底51具有面向內(nèi)部空間s的多個內(nèi)部端子531、533、534以及配置于底面的外部端子535。內(nèi)部端子531經(jīng)由未圖示的內(nèi)部布線等與內(nèi)部端子533連接，內(nèi)部端子534經(jīng)由未圖示的內(nèi)部布線與外部端子535連接。(發(fā)熱部)作為溫度控制元件的發(fā)熱部4收納于封裝5的內(nèi)部空間s，固定于基底51。發(fā)熱部4是對振動片2進(jìn)行加熱，將振動片2的溫度保持為大致恒定，具有所謂的“恒溫功能”的電子部件。由于具有這樣的發(fā)熱部4，因此，能夠抑制由使用環(huán)境的溫度變化導(dǎo)致的輸出頻率的變動，能夠得到具有優(yōu)異的頻率穩(wěn)定度的振蕩器1。另外，優(yōu)選發(fā)熱部4以接近于表示零溫度系數(shù)的頂點溫度(通常為大約85℃)的方式控制振動片2的溫度。由此，能夠發(fā)揮更優(yōu)異的頻率穩(wěn)定度。發(fā)熱部4例如具有：由功率晶體管構(gòu)成的發(fā)熱體；以及由二極管或熱敏電阻構(gòu)成的溫度傳感器，通過溫度傳感器控制發(fā)熱體的溫度，能夠保持為恒定溫度。這樣的發(fā)熱部4經(jīng)由接合線與內(nèi)部端子531電連接。另外，作為發(fā)熱部4的結(jié)構(gòu)，只要能夠?qū)⒄駝悠?保持為恒定溫度，則沒有特別限定。(振動片)如圖2、圖4以及圖5所示，振動片2具有：石英基板21，其具有上表面21a(第1主面)、與上表面21a(第1主面)處于正反關(guān)系的石英基板21的下表面21b(第2主面)、和連接上表面21a(第1主面)與下表面21b(第2主面)的側(cè)面；以及電極22，其配置于石英基板21。振動片2收納于內(nèi)部空間s，在一個部位被接合(支承)于作為溫度控制元件的發(fā)熱部4。本方式中的一個部位包含在俯視時作為石英基板21的上表面21a(第1主面)的外周端(側(cè)面所處的部位)的一個短邊2a的一部分，相當(dāng)于后述的第1引出電極221b的端部。這樣，由于振動片2在一個部位被支承于發(fā)熱部4，因此，振動片2不容易受到由于熱變形等而產(chǎn)生的應(yīng)力的變化等的影響，能夠降低輸出頻率的變動，因此，能夠成為更高精度的振蕩器1。此外，振動片2被直接支承于發(fā)熱部4，因此，能夠高效地將發(fā)熱部4的熱傳遞給振動片2，能夠提高發(fā)熱效率并且提高振動片2的溫度控制的精度。石英基板21是通過對sc切石英原板進(jìn)行蝕刻等而構(gòu)圖成具有長邊2b以及短邊2a的矩形的俯視形狀的基板，具有規(guī)定的厚度t(參照圖2)。通過使用這樣的sc切石英原板，能夠得到基于寄生振動的頻率跳變或電阻上升變少、溫度特性也穩(wěn)定的振動片2。這里，對sc切進(jìn)行簡單說明。石英屬于三方晶系，具有作為互相垂直的晶軸的x軸(電軸)、y軸(機(jī)械軸)以及z軸(光軸)。而且，如圖6所示，當(dāng)設(shè)繞z軸而從x軸朝向y軸的方向為正、使x軸以及y軸繞z軸旋轉(zhuǎn)α(其中，3°≤α≤30°)而設(shè)定的軸為x’軸以及y’軸、繞x’軸而從y’軸朝向z軸的方向為正、使z軸以及y’軸繞x’軸旋轉(zhuǎn)β(其中，33°≤β≤36°)而得的軸為z’軸以及y”軸時，當(dāng)切出將x’軸以及z’軸包含于面內(nèi)方向、且以y”軸為厚度方向的石英板時，得到sc切石英原板。以下，對sc切的石英基板21以及振動片2的制造方法的一例進(jìn)行具體說明。首先，切出以y’軸為長度方向的石英的柱狀體(蘭伯特)。然后，從切出的柱狀體中切出將x’軸和z’軸包含于面內(nèi)方向的石英原板。接下來，通過蝕刻法等對將x’軸和z’軸包含于面內(nèi)方向的石英原板進(jìn)行加工，切出石英基板21，該石英基板21在沿著y”軸的俯視時，呈方形、或者具有長邊以及短邊的矩形，當(dāng)設(shè)方形的一邊的長度或者矩形的短邊的長度為l、y”軸方向的厚度為t時，例如滿足28≤l/t≤60。接下來，使用蒸鍍法或濺射法等在切出的石英基板21的正反的主面形成例如金(au)、鉻(cr)等的薄膜，形成激勵電極等電極22。通過這些工序，能夠得到sc切的石英基板21以及振動片2。在石英基板21的俯視的外形形狀中，通過設(shè)為以下說明的短邊2a的長度l與y”軸方向的厚度t的尺寸關(guān)系，能夠有效抑制副振動(寄生振動)的振蕩。另外，本說明書中的“矩形或者方形”包含在外緣的一部分形成缺口或形成突起的形狀、以及由于制造精度而在外緣形成微小的凹凸的形狀等。此外，也可以對石英基板21實施臺面加工、反向臺面加工、凸面加工等。電極22具有：配置于石英基板21的上表面21a(第1主面)的作為激勵電極的第1激勵電極221a和第1引出電極221b；以及配置于石英基板21的下表面21b(第2主面)的作為激勵電極的第2激勵電極222a和第2引出電極222b。此外，第1激勵電極221a的輪廓是大致圓形的俯視形狀，配置于石英基板21的上表面21a的中央部。此外，第1引出電極221b從第1激勵電極221a延伸至石英基板21的一個短邊2a。同樣地，第2激勵電極222a的輪廓是大致圓形的俯視形狀，配置于石英基板21的下表面21b的中央部。此外，第2引出電極222b從第2激勵電極222a延伸至石英基板21的一個短邊2a。這些第2激勵電極222a以及第2引出電極222b配置為隔著石英基板21與第1激勵電極221a以及第1引出電極221b重疊。本方式的第1激勵電極221a以及第2激勵電極222a使用在鉻(cr)的基底膜上形成金(au)的電極膜的結(jié)構(gòu)。另外，在圖4～圖6中，石英基板21的短邊2a以及長邊2b是與x’軸以及z’軸實質(zhì)平行的結(jié)構(gòu)，但也可以相對于x’軸以及z’軸傾斜。例如，短邊2a也可以相對于x’軸或者z’軸形成2°以上35°以下(在圖4以及圖5中，設(shè)逆時針為正)的角度。更具體而言，例如當(dāng)設(shè)α為23.30°、β為34°時，振動方向為大約13.6°的方向，因此，由于認(rèn)為與該振動方向傾斜時的影響較大，所以期望短邊2a相對于x’軸形成13.6°或者103.6°的角度。這里，在振動片2那樣的sc切的石英振動片中，除了作為主振動的厚度剪切振動模式(c模式)以外，還存在作為副振動(寄生)的厚度扭轉(zhuǎn)振動模式(b模式)以及厚度縱向振動模式(a模式)。a模式的振動的等效電阻的值(ci(crystalimpedance)值，以下，稱為"ci值”)比c模式的ci值大，因此，作為振蕩器，不易作為信號而輸出，不會特別成問題。與此相對，b模式的振動的ci值與c模式的ci值大致相等，或者有時比c模式的ci值小。而且，b模式的頻率與c模式的頻率接近。因此，在以往的振蕩器中，有時按照作為副振動的b模式進(jìn)行振蕩。發(fā)明者們發(fā)現(xiàn)通過在石英基板21的外形形狀中，對以下說明的短邊2a的長度l與厚度t的尺寸關(guān)系進(jìn)行設(shè)計，能夠使作為副振動的b模式的ci值相比作為主振動的c模式的ci值足夠大，從而有效抑制(減少)副振動(寄生振動)的振蕩。具體而言，通過使短邊2a的長度l與厚度t的尺寸關(guān)系為下述范圍，即使短邊2a的長度l與厚度t的尺寸關(guān)系因制造偏差而稍微發(fā)生偏差，也能夠穩(wěn)定制造具有大致相同特性(ci值特性)的振動片2。以下，關(guān)于該情況，還包含實驗結(jié)果在內(nèi)地進(jìn)行說明。詳細(xì)而言，如接下來的表1所示，1)優(yōu)選的是，石英基板21構(gòu)成為，當(dāng)設(shè)沿著x’軸方向的短邊2a的長度為l、石英基板2l的y”軸方向的厚度為t時，滿足28<l/t<60的關(guān)系。2)而且，更優(yōu)選的是，石英基板2l構(gòu)成為，當(dāng)設(shè)短邊2a的長度為l、石英基板21的y”軸方向的厚度為t時，滿足33<l/t<55的關(guān)系。3)此外，最優(yōu)選的是，構(gòu)成為當(dāng)設(shè)短邊2a的長度為l、石英基板2l的y”軸方向的厚度為t時，滿足35<l/t<45的關(guān)系。表1短邊長度l(mm)2.03.03.13.33.54.04.85.55.86.07.08.09.0l/t14.321.422.023.625.028.634.339.341.642.950.057.164.3判定×××××δ○◎◎◎○δ×上述表1表示實驗結(jié)果，表示石英基板21(振動片2)的厚度t和短邊2a的長度l的相關(guān)(l/t的值)、以及對每個l/t的值時的由于副振動(寄生振動)而產(chǎn)生的ci值變化的狀態(tài)進(jìn)行判定的結(jié)果。另外，對于在該實驗中使用的振動片2，作為石英基板21的外形形狀的一例，使用如下外形形狀：使用厚度t為0.14mm的sc切石英基板21，而使短邊2a的長度l從2.0mm依次變化至9.0mm。此外，在該判定時，對使石英基板21(振動片2)所處的環(huán)境溫度變化時的ci值進(jìn)行確認(rèn)(參照圖7a～圖7c以及圖8)，如以下所示的那樣進(jìn)行判定。此外，這里的ci值表示三次泛音中的激勵的ci值。另外，在實施例1～實施例3的石英基板21(振動片2)中，設(shè)第1激勵電極221a以及第2激勵電極222a的直徑為3.5mm。此外，第1激勵電極221a以及第2激勵電極222a采用作為基底的鉻(cr)層的厚度為7nm(納米)、作為其上層的金(au)層的厚度為100nm(納米)的雙層構(gòu)造。此外，石英基板21(振動片2)的上表面21a(第1主面)以及下表面21b(第2主面)的表面粗糙度為鏡面精加工(優(yōu)選#8000以上)。此外，在比較例1的石英基板21(振動片2)中，設(shè)第1激勵電極221a以及第2激勵電極222a的直徑為2.8mm。此外，第1激勵電極221a以及第2激勵電極222a采用作為基底的鉻(cr)層的厚度為7nm(納米)、作為其上層的金(au)層的厚度為200nm(納米)的雙層構(gòu)造。此外，石英基板21(振動片2)的上表面21a(第1主面)以及下表面21b(第2主面)的表面粗糙度與上述實施例相同。圖7a示出在實施例1的石英基板21(振動片2)中設(shè)短邊2a的長度l為4.0mm時(l/t＝28.6)的ci值與溫度的相關(guān)，縱軸為ci值(ω)，橫軸為溫度(℃)。如圖7a所示，在實施例1的石英基板21(振動片2)中，整體上ci值較大，并且ci值的偏差稍大，即使考慮到基于篩選等的成品率的下降等，也是能夠作為ocxo(恒溫槽型石英振蕩器)而使用的等級。因此，設(shè)短邊2a的長度l的下限側(cè)的判定結(jié)果為“△”。圖7b示出在實施例2的石英基板21(振動片2)中設(shè)短邊2a的長度l為4.8mm時(l/t＝34.3)的ci值與溫度的相關(guān)，縱軸為ci值(ω)，橫軸為溫度(℃)。如圖7b所示，在實施例2的石英基板21(振動片2)中，整體上ci值的水準(zhǔn)稍高，但不存在ci值的偏差，為良好的等級，能夠作為ocxo(恒溫槽型石英振蕩器)而順利地使用。因此，設(shè)短邊2a的長度l的下限側(cè)的判定結(jié)果為“○”。圖7c表示在實施例3的石英基板21(振動片2)中設(shè)短邊2a的長度l為5.8mm時(l/t＝41.6)的ci值與溫度的相關(guān)，縱軸為ci值(ω)，橫軸為溫度(℃)。如圖7c所示，在實施例3的石英基板21(振動片2)中，整體上ci值的水準(zhǔn)較低，ci值的偏差也較小，是極為良好的等級，上述效果更顯著。這樣，實施例3的石英基板21(振動片2)能夠作為ocxo(恒溫槽型石英振蕩器)而極其良好地使用。因此，設(shè)短邊2a的長度l的下限側(cè)的判定結(jié)果為“◎”。圖8示出在比較例1的石英基板21(振動片2)中設(shè)短邊2a的長度l為3.3mm時(l/t＝23.6)的ci值與溫度的相關(guān)，縱軸為ci值(ω)，橫軸為溫度(℃)。如圖8所示，在比較例1的石英基板21(振動片2)中，整體上，ci值的水準(zhǔn)較高(ci值較大)，并且ci值的偏差較大，即使進(jìn)行篩選等，能夠使用的等級的石英基板21(振動片2)的數(shù)量也較少，預(yù)測合格品成品率極低。因此，是無法作為ocxo(恒溫槽型石英振蕩器)而使用的等級，設(shè)短邊2a的長度l的下限側(cè)的判定結(jié)果為“×”。另外，雖然短邊2a的長度l越長(l/t越大)則ci值也越小，并且ci值的偏差也越小，但當(dāng)使短邊2a的長度l過大時，容易受到加速度的影響。此外，當(dāng)使短邊2a的長度l過大時，石英基板21(振動片2)的尺寸變大，在期望作為小型的振蕩器1的ocxo(恒溫槽型石英振蕩器)的狀況下，無法實際使用。這里，如果考慮到加速度的影響，則期望短邊2a的長度l不超過8.0mm(l/t＝57.1)。換言之，當(dāng)短邊2a的長度l超過8.0mm(l/t＝57.1)時，容易受到加速度的影響，作為石英基板21(振動片2)是不利的。此外，在尺寸上能夠容許的石英基板21(振動片2)的短邊2a的長度l以8.0mm左右(l/t＝57.1)為上限，設(shè)判定結(jié)果為“△”。此外，為了進(jìn)一步實現(xiàn)振蕩器1的小型化，優(yōu)選短邊2a的長度l為7.0mm(l/t＝42.9)，因此，設(shè)上限側(cè)的判定結(jié)果為“○”。此外，更優(yōu)選短邊2a的長度l為6.0mm(l/t＝42.9)，由此，能夠?qū)崿F(xiàn)更小型的ocxo(恒溫槽型石英振蕩器)。因此，設(shè)上限側(cè)的判定結(jié)果為“◎”。另外，石英基板21(振動片2)不限于具有短邊2a和長邊2b的矩形形狀，也能夠是方形形狀。在該情況下，將一邊的長度換讀作“短邊2a的長度l”，設(shè)與厚度t的關(guān)系為“l(fā)/t”。此外，短邊2a與長邊2b的交叉部、或者方形的情況下的各邊的交叉部可以包含倒角狀、在外緣的一部分形成缺口或突起、或者由于制造精度而在外緣形成微小的凹凸等情況。此外，石英基板21的連接上表面21a(第1主面)與下表面21b(第2主面)的側(cè)面的算術(shù)平均粗糙度優(yōu)選為比上表面21a(第1主面)以及下表面21b(第2主面)的算術(shù)平均粗糙度大。這樣，通過使側(cè)面的算術(shù)平均粗糙度比上表面21a(第1主面)以及下表面21b(第2主面)的算術(shù)平均粗糙度大，能夠進(jìn)一步減少寄生的出現(xiàn)。此外，為了減少寄生的出現(xiàn)，如圖9所示，優(yōu)選在石英基板21的連接上表面21a(第1主面)與下表面21b(第2主面)的側(cè)面，設(shè)置在沿著x’軸、或者z’軸的剖視時偏向上表面21a(第1主面)或者下表面21b(第2主面)的一方而配置的突出部26。以往，公知有例如像“斜面加工”那樣，通過去掉(切除)石英基板的角部，減少寄生的出現(xiàn)。與此相對，在本例中，發(fā)現(xiàn)了通過如上述那樣設(shè)置的突出部26使側(cè)面25成為變形的形狀，由此，能夠減少寄生的出現(xiàn)。另外，圖9是沿著x’軸或者z’軸對石英基板21進(jìn)行剖視觀察而得的圖。如圖2以及圖3所示，上述那樣的結(jié)構(gòu)的振動片2在外緣部經(jīng)由導(dǎo)電性的固定部件7固定于發(fā)熱部4。固定部件7將發(fā)熱部4與振動片2接合，并且使配置于發(fā)熱部4的上表面的端子43與振動片2的第2引出電極222b電連接，而且，使發(fā)熱部4與振動片2熱連接。端子43經(jīng)由接合線與內(nèi)部端子531電連接。另一方面，第1引出電極221b經(jīng)由接合線與內(nèi)部端子531電連接。另外，作為固定部件7，只要兼具有導(dǎo)電性和接合性，則沒有特別限定，例如，能夠使用金屬接合材料(例如金凸起)、合金接合材料(例如，金錫合金、焊料等凸起)、導(dǎo)電性粘接劑(例如，使銀填料等金屬微粒分散而得的聚酰亞胺系的粘接劑)等。(控制電路元件)如圖2以及圖3所示，控制電路元件3收納于內(nèi)部空間s，固定于基底51。此外，控制電路元件3經(jīng)由接合線與內(nèi)部端子533電連接，并經(jīng)由接合線與內(nèi)部端子534電連接。由此，控制電路元件3與發(fā)熱部4電連接，控制電路元件3與振動片2電連接，控制電路元件3與外部端子535電連接。因此，控制電路元件3能夠控制發(fā)熱部4以及振動片2，并且還能夠經(jīng)由外部端子535與外部進(jìn)行通信。這樣的控制電路元件3至少具有驅(qū)動振動片2的未圖示的振蕩電路、以及作為溫度控制元件的控制發(fā)熱部4的動作的未圖示的發(fā)熱體控制電路(溫度控制電路)。(外側(cè)封裝)如圖1所示，外側(cè)封裝6具有由印刷布線基板構(gòu)成的基底基板61以及與基底基板61接合的帽62，在由它們形成的內(nèi)部空間s1中收納有封裝5、電容和電阻等電路部件8。封裝5經(jīng)由引線框63與基底基板61接合，以從基底基板61游離的狀態(tài)被支承。另外，引線框63將封裝5固定于基底基板61，并且使封裝5的外部端子535與形成于基底基板61的未圖示的端子電連接。此外，電路部件8固定于基底基板61。另外，內(nèi)部空間s1被氣密密封，成為減壓狀態(tài)(10pa以下的程度。優(yōu)選為真空)。由此，內(nèi)部空間s1作為隔熱層而發(fā)揮功能，振動片2更不容易受到使用環(huán)境的溫度變化的影響。因此，能夠更可靠地將振動片2的溫度保持為恒定。但是，作為內(nèi)部空間s1的環(huán)境，不限于此，例如，可以填充氮、氦、氬等惰性氣體，也可以朝大氣敞開。根據(jù)上述那樣的實施方式的振蕩器1，通過使所配置的振動片2的短邊2a的長度l與厚度t的尺寸關(guān)系(l/t)處于規(guī)定的范圍內(nèi)，能夠使作為副振動的b模式的ci值相比作為主振動的c模式的ci值足夠大，從而有效地抑制(減少)副振動(寄生振動)的振蕩。此外，得到了如下的可靠性高的振蕩器1：外側(cè)封裝6的內(nèi)部空間s1作為隔熱層而發(fā)揮功能，能夠不被使用環(huán)境影響地將振動片2的溫度保持為大致恒定，并且抑制了寄生的影響。另外，在上述實施方式中，對如下結(jié)構(gòu)進(jìn)行了說明，但不限于此：振動片2收納于內(nèi)部空間s，在俯視時石英基板21的上表面21a(第1主面)的外周端(側(cè)面所處的部位)的一部分(一個部位)處被接合(支承)于發(fā)熱部4。也可以是如下結(jié)構(gòu)：振動片2收納于封裝5的內(nèi)部空間s，在俯視時石英基板21的上表面21a(第1主面)的外周端(側(cè)面所處的部位)的一部分(一個部位)處被接合(支承)于封裝5的一部分。即使是這樣的結(jié)構(gòu)，振動片2也在一個部位處被支承于封裝5，由此振動片2不容易受到由于熱變形等而產(chǎn)生的應(yīng)力的變化等的影響，能夠降低輸出頻率的變動，因此，能夠成為更高精度的振蕩器1。[電子設(shè)備]接下來，對具有本發(fā)明的振蕩器1或者振動片2的電子設(shè)備進(jìn)行說明。另外，以下，例示出應(yīng)用具有振動片2的振蕩器1的結(jié)構(gòu)。圖10是示出作為本發(fā)明的電子設(shè)備的移動型(或者筆記本型)的個人計算機(jī)的結(jié)構(gòu)的立體圖。在該圖中，個人計算機(jī)1100由具備鍵盤1102的主體部1104和具備顯示部1108的顯示單元1106構(gòu)成，顯示單元1106經(jīng)由鉸鏈構(gòu)造部而以能夠轉(zhuǎn)動的方式被支承在主體部1104上。在這樣的個人計算機(jī)1100中內(nèi)置有振蕩器1(振動片2)。圖11是示出作為發(fā)明的電子設(shè)備的移動電話機(jī)(也包括phs在內(nèi))的結(jié)構(gòu)的立體圖。在該圖中，移動電話機(jī)1200具備天線(未圖示)、多個操作按鈕1202、接聽口1204和通話口1206，在操作按鈕1202與接聽口1204之間配置有顯示部1208。在這樣的移動電話機(jī)1200中內(nèi)置有振蕩器1(振動片2)。圖12是示出作為本發(fā)明的電子設(shè)備的數(shù)字靜態(tài)照相機(jī)的結(jié)構(gòu)的立體圖。在數(shù)字靜態(tài)照相機(jī)1300的殼體(機(jī)身)1302的背面，設(shè)置有顯示部1310，成為基于ccd的攝像信號進(jìn)行顯示的結(jié)構(gòu)，顯示部1310作為將被攝體顯示為電子圖像的取景器發(fā)揮功能。另外，在殼體1302的正面?zhèn)?圖中背面?zhèn)?，設(shè)置有包含光學(xué)鏡頭(攝像光學(xué)系統(tǒng))和ccd等的受光單元1304。并且，當(dāng)攝影者確認(rèn)顯示部1310中顯示的被攝體像而按下快門按鈕1306時，該時刻的ccd的攝像信號被傳送并保存到存儲器1308中。在這樣的數(shù)字靜態(tài)照相機(jī)1300中內(nèi)置有振蕩器1(振動片2)。這樣的電子設(shè)備由于具有振蕩器1(振動片2)，因此具有優(yōu)異的可靠性。另外，關(guān)于本發(fā)明的電子設(shè)備，除了可以應(yīng)用于圖10的個人計算機(jī)、圖11的移動電話機(jī)、圖12的數(shù)字靜態(tài)照相機(jī)以外，例如還可以應(yīng)用于智能手機(jī)、平板電腦終端、鐘表(包括智能手表)、噴墨式排出裝置(例如噴墨打印機(jī))、膝上型個人計算機(jī)、電視、hmd(頭戴顯示器)等可佩戴終端、攝像機(jī)、錄像機(jī)、汽車導(dǎo)航裝置、尋呼機(jī)、電子記事本(還包括帶通信功能的)、電子辭典、計算器、電子游戲設(shè)備、文字處理器、工作站、電視電話、防盜用視頻監(jiān)視器、電子雙筒望遠(yuǎn)鏡、pos終端、醫(yī)療設(shè)備(例如電子體溫計、血壓計、血糖計、心電圖計測裝置、超聲波診斷裝置、電子內(nèi)窺鏡)、魚群探測器、各種測量設(shè)備、移動終端基站用設(shè)備、計量儀器類(例如車輛、飛機(jī)、船舶的計量儀器類)、飛行模擬器、網(wǎng)絡(luò)服務(wù)器等。[移動體]接下來，對具有本發(fā)明的振蕩器1或者振動片2的移動體進(jìn)行說明。另外，以下，例示出應(yīng)用具有振動片2的振蕩器1的結(jié)構(gòu)。圖13是示出作為本發(fā)明的移動體的汽車的立體圖。如圖13所示，在汽車1500中內(nèi)置有振蕩器1(振動片2)。振蕩器1例如能夠廣泛應(yīng)用于無鑰匙門禁、發(fā)動機(jī)防盜系統(tǒng)、汽車導(dǎo)航系統(tǒng)、汽車空調(diào)、防抱死制動系統(tǒng)(abs)、安全氣囊、輪胎壓力監(jiān)測系統(tǒng)(tpms：tirepressuremonitoringsystem)、發(fā)動機(jī)控制器、混合動力汽車或電動汽車的電池監(jiān)視器、車體姿態(tài)控制系統(tǒng)等電子控制單元(ecu：electroniccontrolunit)。這樣，通過在汽車1500中內(nèi)置振蕩器1(振動片2)，得到了可靠性高的汽車1500。[基站]接下來，對具有本發(fā)明的振蕩器1或者振動片2的基站進(jìn)行說明。另外，以下，例示出應(yīng)用具有振動片2的振蕩器1的結(jié)構(gòu)。圖14是示出應(yīng)用了本發(fā)明的基站的定位系統(tǒng)的概要結(jié)構(gòu)圖。圖14所示的定位系統(tǒng)1600由gps衛(wèi)星1610、基站1620和gps接收裝置1630構(gòu)成。gps衛(wèi)星1610發(fā)送定位信息(gps信號)?；?620具有：接收裝置1622，其例如經(jīng)由設(shè)置于電子基準(zhǔn)點(gps連續(xù)觀測站)的天線1621，高精度地接收來自gps衛(wèi)星1610的定位信息；以及發(fā)送裝置1624，其經(jīng)由天線1623發(fā)送由該接收裝置1622接收到的定位信息。另外，由接收裝置1622接收到的定位信息由發(fā)送裝置1624實時地發(fā)送。在這樣的接收裝置1622中內(nèi)置有振蕩器1(振動片2)作為其基準(zhǔn)頻率振蕩源。gps接收裝置1630具備：衛(wèi)星接收部1632，其經(jīng)由天線1631接收來自gps衛(wèi)星1610的定位信息；和基站接收部1634，其經(jīng)由天線1633接收來自基站1620的定位信息。由于這樣的定位系統(tǒng)1600具有振蕩器1，因此，具有優(yōu)異的可靠性。以上，根據(jù)圖示的實施方式對本發(fā)明的振動片、振蕩器、電子設(shè)備、移動體以及基站進(jìn)行了說明，但本發(fā)明不限于此，能夠?qū)⒏鞑糠值慕Y(jié)構(gòu)替換為具有相同功能的任意結(jié)構(gòu)的部分。另外，還可以在本發(fā)明中附加其他任意的結(jié)構(gòu)物。當(dāng)前第1頁12