本實用新型涉及一種曝光裝置，具體涉及一種柔性電路板曝光裝置。

背景技術：

直寫式曝光技術是近年來發(fā)展較快的、以替代傳統(tǒng)的掩膜板式曝光技術的影像直接轉移技術，在半導體及PCB生產(chǎn)領域中有著越來越重要的地位。利用該技術可以縮短工藝流程，并降低生產(chǎn)成本。目前市場上主流的直寫式曝光機大多以單工件臺方式進行掃描曝光，先將被曝光工件的A面曝光完成后，再進行翻版，然后對B面進行曝光。在單工件臺系統(tǒng)中，用于曝光的基板的上板、對準、曝光、下板是依次進行的。依據(jù)目前的結構系統(tǒng)，各操作流程均已經(jīng)達到耗時的上限，很難再縮短某個操作步驟的操作時間，即單工件臺的直寫式曝光機由于各操作流程的串行性質，已很難再提高產(chǎn)能，柔性電路板受其特性限制，曝光效率低。

技術實現(xiàn)要素：

針對上述現(xiàn)有技術存在的問題，本實用新型提供一種柔性電路板曝光裝置，曝光簡便、高效，大大提高曝光速度和曝光質量。

為了實現(xiàn)上述目的，本實用新型采用的技術方案是：一種柔性電路板曝光裝置，包括曝光平臺和曝光光路，曝光平臺為roll to roll平臺，曝光光路設置在曝光平臺的上方，曝光光路由沿著柔性電路板傳動方向排成一列的子光路組成，子光路包括支撐板、二維震鏡、激光器和f-theta鏡，二維震鏡、激光器和f-theta鏡均設置在支撐板上，兩個二維震鏡設置在支撐板的一側，激光器設置在其中一個二維震鏡的上方，f-theta鏡設置在支撐板的一側，位置與另一個二維震鏡對應。

所述曝光平臺兩側設置傳動裝置。

本實用新型的有益效果為：利用二維震鏡將激光器發(fā)出的激光反射，反射光隨著兩個震鏡相互配合震動，完成二維掃描；經(jīng)過二維震鏡的光最后由f-theta鏡匯聚到曝光平臺上的被曝光的柔性電路板表面，兩側的傳動裝置將柔性電路板傳送到曝光平臺上，曝光平臺將柔性電路板展開并平整；只需一次曝光，就能完成曝光平臺上全部面板的曝光，曝光完后傳動裝置將柔性電路板卷曲整理成卷，同時將未曝光的部分傳送至曝光平臺上，并以此循環(huán)。

附圖說明

圖1為本實用新型的結構示意圖；

圖中：1、曝光光路，2、曝光平臺，3、二維震鏡，4、激光器，5、f-theta鏡，6、支撐板。

具體實施方式

下面結合附圖對本實用新型作進一步說明。

如圖1所示，本柔性電路板曝光裝置，包括曝光平臺2和曝光光路1，曝光平臺2為roll to roll平臺，曝光光路1設置在曝光平臺2的上方，曝光光路1由排成一列的子光路組成，子光路包括支撐板6、二維震鏡3、激光器4和f-theta鏡5，二維震鏡3、激光器4和f-theta鏡5均設置在支撐板6上，兩個二維震鏡3設置在支撐板6的一側，激光器4設置在其中一個二維震鏡3的上方，f-theta鏡5設置在支撐板6的一側，位置與另一個二維震鏡3對應，曝光平臺2兩側設置傳動裝置。

利用二維震鏡3將激光器4發(fā)出的激光反射，反射光隨著兩個二維震鏡3相互配合震動，完成二維掃描；經(jīng)過二維震鏡的光最后由f-theta鏡5匯聚到曝光平臺2上的被曝光的柔性電路板表面，兩側的傳動裝置將柔性電路板傳送到曝光平臺2上，曝光平臺2將柔性電路板展開并平整；只需一次曝光，就能完成曝光平臺2上全部面板的曝光，曝光完后傳動裝置將柔性電路板卷曲整理成卷，同時將未曝光的部分傳送至曝光平臺2上，并以此循環(huán)。

Roll-to-Roll技術是指撓性覆銅板通過成卷連續(xù)的方式進行FPC制作的工藝技術。采用Roll-to-Roll生產(chǎn)工藝，不僅能提高生產(chǎn)率，而更重要的是提高自動化程度。這種高自動化的生產(chǎn)明顯地減少了人為操作和管理因素，受環(huán)境條件(溫度、濕度潔凈度等)影響變化小，因而具有更均勻一致而穩(wěn)定的尺寸偏差，從而也易于進行修正和補償，所以它具有更高的產(chǎn)品合格率、質量和可靠性。