本實(shí)用新型涉及碳化硅加工技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種碳化硅加工用脫膠加熱板。

背景技術(shù)：

在對(duì)碳化硅晶體進(jìn)行加工前會(huì)進(jìn)行上膠作業(yè)，然后按照加工工序加工到所要求的尺寸后，需要進(jìn)行脫膠作業(yè)，使成形的晶體脫離。該脫膠作業(yè)一個(gè)重要的條件是使晶體連同膠體被加熱到指定溫度，從而更順利的把膠體和晶體分離。目前，脫膠加熱板具有普遍的缺陷，其因加熱裝置的散熱面積有限，欲加工的碳化硅晶體受熱不均勻，溫度不穩(wěn)定，加熱速度慢，很難達(dá)到預(yù)期效果，特別對(duì)膠極難加熱融化，同時(shí)，溫度過高了又會(huì)致使膠體產(chǎn)生刺激性氣體，并且可能燒毀電熱元件，減少使用壽命，毀壞以后也不便于更換。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型的目的在于提供一種碳化硅加工用脫膠加熱板，以解決上述背景技術(shù)中提出的問題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案：一種碳化硅晶體加工用脫膠加熱板，包括加熱板，所述加熱板的內(nèi)腔設(shè)有加熱管，所述加熱板的內(nèi)腔底部設(shè)有導(dǎo)電板，所述導(dǎo)電板上均勻開有插孔，所述插孔的內(nèi)側(cè)壁設(shè)有內(nèi)螺紋，所述加熱管的一端外側(cè)壁設(shè)有與所述內(nèi)螺紋相配合的外螺紋，所述插孔和加熱管通過內(nèi)外螺紋配合連接，所述加熱板的頂端設(shè)有導(dǎo)熱鋁基板，所述導(dǎo)熱鋁基板的底端均勻設(shè)有受熱凸點(diǎn)，所述受熱凸點(diǎn)位于加熱板的內(nèi)腔上方，所述加熱板的內(nèi)壁均勻設(shè)有溫度感應(yīng)器，所述溫度感應(yīng)器電性連接設(shè)在隔熱層底端的控制裝置，所述隔熱層位于加熱板的底端，所述控制裝置電性連接導(dǎo)電板和報(bào)警器，所述報(bào)警器設(shè)在加熱板的右側(cè)。

優(yōu)選的，所述加熱管的內(nèi)腔設(shè)有電阻絲，所述電阻絲為螺旋結(jié)構(gòu)。

優(yōu)選的，所述隔熱層包括相配合的云母層和保溫棉層。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果是：該碳化硅晶體加工用脫膠加熱板結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，通過使用可拆卸的加熱管，在單一發(fā)熱元件受損的時(shí)候方便更換，加熱板的上方設(shè)有受熱凸點(diǎn)，受熱凸點(diǎn)連接在導(dǎo)熱鋁基板的底端，當(dāng)加熱管散發(fā)熱量時(shí)，熱量通過受熱凸點(diǎn)均勻的傳送給導(dǎo)熱鋁基板，其導(dǎo)熱鋁基板受熱均勻，并具有加熱速度快的特點(diǎn)，避免因?yàn)闇囟冗^高受熱不均勻致使膠體產(chǎn)生刺激性氣體，并使用溫度感應(yīng)器來實(shí)施監(jiān)控加熱板內(nèi)的溫度，及時(shí)記錄報(bào)警提醒工作人員，從而消除了溫度過高對(duì)發(fā)熱元件造成損傷的風(fēng)險(xiǎn)，使用安全，能夠快速達(dá)到準(zhǔn)確的熱脫離溫度，提高了工作效率，降低了能耗及人工成本。

附圖說明

圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實(shí)用新型的加熱板結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為圖2中的A處結(jié)構(gòu)放大圖；

圖4為本實(shí)用新型的隔熱層結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中：1導(dǎo)熱鋁基板、2加熱板、3導(dǎo)電板、4插孔、41內(nèi)螺紋、42外螺紋、5溫度感應(yīng)器、6受熱凸點(diǎn)、7報(bào)警裝置、8隔熱層、81云母層、82保溫棉層、9控制裝置、10加熱管。

具體實(shí)施方式

下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒緦?shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。

請(qǐng)參閱圖1-4，本實(shí)用新型提供一種技術(shù)方案：一種碳化硅晶體加工用脫膠加熱板，包括加熱板2，加熱板2的內(nèi)腔設(shè)有多個(gè)加熱管10，加熱板2的內(nèi)腔底部設(shè)有導(dǎo)電板3，導(dǎo)電板3上均勻開有多個(gè)插孔4，插孔4的內(nèi)側(cè)壁設(shè)有內(nèi)螺紋41，加熱管10的一端外側(cè)壁設(shè)有與內(nèi)螺紋41相配合的外螺紋42，插孔4和加熱管10通過內(nèi)外螺紋配合連接，加熱管10均獨(dú)立連接插孔4，即加熱管10獨(dú)立可拆卸，加熱管10的內(nèi)腔設(shè)有電阻絲，所述電阻絲為螺旋結(jié)構(gòu)，采用螺旋結(jié)構(gòu)電阻絲發(fā)熱更快更均勻，加熱板2的頂端設(shè)有導(dǎo)熱鋁基板1，導(dǎo)熱鋁基板1的底端均勻設(shè)有受熱凸點(diǎn)6，受熱凸點(diǎn)6位于加熱板2的內(nèi)腔上方，受熱凸點(diǎn)6可以使熱量散發(fā)到導(dǎo)熱鋁基板1時(shí)各個(gè)位置受熱更加均勻，同時(shí)導(dǎo)熱鋁基板1具有高效導(dǎo)熱效果，導(dǎo)熱鋁基板1溫度上升快，加熱板2的內(nèi)壁均勻設(shè)有溫度感應(yīng)器5，對(duì)應(yīng)發(fā)熱板2內(nèi)不同區(qū)域的溫度都對(duì)應(yīng)的設(shè)有溫度感應(yīng)器5可以實(shí)施監(jiān)測(cè)，溫度感應(yīng)器5電性連接設(shè)置在隔熱層8底端的控制裝置9，隔熱層8位于加熱板2的底端，隔熱層8包括相配合的云母層81和保溫棉層82，兩相配合的隔熱層8可以有效的防止熱量的散失，同時(shí)保護(hù)控制裝置9的安全，控制裝置9電性連接導(dǎo)電板3和報(bào)警器7，報(bào)警器7設(shè)在加熱板2的右側(cè)，控制裝置9既起到接收信號(hào)的作用，又起到觸發(fā)報(bào)警器7的作用，即為一個(gè)信號(hào)中轉(zhuǎn)站，當(dāng)溫度感應(yīng)器5檢測(cè)到加熱板2內(nèi)溫度過高時(shí)，將變化值轉(zhuǎn)換成電信號(hào)值，傳輸給控制裝置9，控制裝置9再觸發(fā)報(bào)警器7。

本實(shí)施例的其他部分均采用已有技術(shù)，在此不再贅述。

盡管已經(jīng)示出和描述了本實(shí)用新型的實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以理解在不脫離本實(shí)用新型的原理和精神的情況下可以對(duì)這些實(shí)施例進(jìn)行多種變化、修改、替換和變型，本實(shí)用新型的范圍由所附權(quán)利要求及其等同物限定。