技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本申請描述了具有柔性膜的MEMS換能器，并且尋求減輕和/或重分布膜層內(nèi)的應力。描述了具有第一/活性區(qū)域和第二/非活性區(qū)域的膜。

技術(shù)研發(fā)人員：S·L·卡吉爾;C·R·詹金斯;E·J·博伊德;R·I·拉明
受保護的技術(shù)使用者：思睿邏輯國際半導體有限公司
技術(shù)研發(fā)日：2016.01.25
技術(shù)公布日：2017.09.26