技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種整體點(diǎn)陣反射加權(quán)的聲表面波諧振器，包括壓電基片，在所述壓電基片上濺射金屬叉指換能器和反射柵，所述反射柵包括分別設(shè)置在金屬叉指換能器左右兩側(cè)的第一短路柵和第二短路柵，所述第一短路柵和第二短路柵在所述金屬叉指換能器左右兩側(cè)對(duì)稱分布，在所述金屬叉指換能器的假指與相鄰電極之間、第一短路柵的相鄰柵條之間和第二短路柵的相鄰柵條之間分別設(shè)置金屬點(diǎn)陣。本發(fā)明的有益效果是在金屬叉指換能器的假指以及第一短路柵和第二短路柵上設(shè)置金屬加權(quán)點(diǎn)陣,可降低由于金屬叉指換能器和反射柵反射引起的旁峰干擾，提高SAW諧振器的頻率響應(yīng)性能。

技術(shù)研發(fā)人員：游瑞煌
受保護(hù)的技術(shù)使用者：中科微聲（天津）傳感技術(shù)有限公司
文檔號(hào)碼：201710012685
技術(shù)研發(fā)日：2017.01.09
技術(shù)公布日：2017.05.31