1.一種聲波諧振器設(shè)備(100),其特征在于,包括:
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的聲波諧振器設(shè)備(100),其特征在于,所述第一壓電層(110)的所述聲阻抗與所述第二壓電層(120)的所述聲阻抗的比值在0.8至1.2的范圍內(nèi)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的聲波諧振器設(shè)備(100),其特征在于,所述第一壓電層(110)的厚度(d1)和所述第二壓電層(120)的厚度(d2)在0.3λ至0.7λ的范圍內(nèi),其中,λ是諧振時(shí)的聲波波長(zhǎng)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的聲波諧振器設(shè)備(100),其特征在于,所述第一壓電層(110)的所述厚度(d1)和所述第二壓電層(120)的所述厚度(d2)在100nm至1100nm的范圍內(nèi)。
5.根據(jù)上述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的聲波諧振器設(shè)備(100),其特征在于,所述聲波諧振器設(shè)備(100)用于在3ghz至10ghz的頻率范圍內(nèi)運(yùn)行。
6.根據(jù)上述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的聲波諧振器設(shè)備(100),其特征在于,所述聲波諧振器設(shè)備(100)用于在所述聲波諧振器設(shè)備(100)的第二復(fù)合板厚度諧振下運(yùn)行。
7.根據(jù)上述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的聲波諧振器設(shè)備(100),其特征在于,所述第一壓電層(110)和所述第二壓電層(120)中的至少一個(gè)來(lái)自3m點(diǎn)群。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的聲波諧振器設(shè)備(100),其特征在于,
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的聲波諧振器設(shè)備(100),其特征在于,所述正壓縮c軸alscn層和所述負(fù)壓縮c軸alscn層是al(1–x)scxn層,其中,x>0.2。
10.根據(jù)權(quán)利要求8或9所述的聲波諧振器設(shè)備(100),其特征在于,所述alscn層生長(zhǎng)在所述linbo3層上,所述linbo3層是單晶層。
11.根據(jù)權(quán)利要求7所述的聲波諧振器設(shè)備(100),其特征在于,所述第一壓電層(110)是第一linbo3層,所述第二壓電層(120)是第二linbo3層,或者反之亦然,所述第一linbo3層和所述第二linbo3層具有在153°至173°范圍或–7°至–27°范圍中的任一范圍內(nèi)的旋轉(zhuǎn)y切,并且所述第一linbo3層具有相對(duì)于所述第二linbo3層的x軸旋轉(zhuǎn)180°的x軸。
12.根據(jù)權(quán)利要求7所述的聲波諧振器設(shè)備(100),其特征在于,所述第一壓電層(110)是具有第一旋轉(zhuǎn)y切的第一linbo3層,所述第二壓電層(120)是具有第二旋轉(zhuǎn)y切的第二linbo3層,或者反之亦然,其中,所述第一旋轉(zhuǎn)y切相對(duì)于所述第二旋轉(zhuǎn)y切繞linbo3層晶體的x軸旋轉(zhuǎn)180°,或者反之亦然。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的聲波諧振器設(shè)備(100),其特征在于,所述第一linbo3層具有在26°至46°范圍內(nèi)的旋轉(zhuǎn)y切,所述第二linbo3層具有在–134°至–154°范圍內(nèi)的旋轉(zhuǎn)y切。
14.根據(jù)權(quán)利要求12所述的聲波諧振器設(shè)備(100),其特征在于,所述第一linbo3層具有在153°至173°范圍內(nèi)的旋轉(zhuǎn)y切,所述第二linbo3層具有在–7°至–27°范圍內(nèi)的旋轉(zhuǎn)y切。
15.根據(jù)權(quán)利要求13或14所述的聲波諧振器設(shè)備(100),其特征在于,所述第一linbo3層具有相對(duì)于所述第二linbo3層的所述x軸旋轉(zhuǎn)0°、60°、90°、120°或180°的x軸。
16.根據(jù)權(quán)利要求12至15中任一項(xiàng)所述的聲波諧振器設(shè)備(100),其特征在于,所述第一linbo3層和所述第二linbo3層是單晶層。
17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的聲波諧振器設(shè)備(100),其特征在于,所述第一linbo3層通過(guò)鍵合附接在所述第二linbo3層上,或者反之亦然。
18.根據(jù)上述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的聲波諧振器設(shè)備(100),其特征在于,所述第二壓電層(120)與布拉格反射鏡(150)聲耦合,其中,所述布拉格反射鏡(150)包括具有不同聲阻抗的多個(gè)交替層(160)。
19.根據(jù)權(quán)利要求18所述的聲波諧振器設(shè)備(100),其特征在于,所述多個(gè)交替層(160)布置在支撐襯底(170)上,并與所述支撐襯底(170)聲耦合。