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半導(dǎo)體器件及其制備方法與流程

文檔序號:40646570發(fā)布日期:2025-01-10 18:52閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種半導(dǎo)體器件,其特征在于,包括:

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體器件,其特征在于,還包括:

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體器件,其特征在于,還包括:

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的半導(dǎo)體器件,其特征在于,

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的半導(dǎo)體器件,其特征在于,所述半導(dǎo)體器件包括核心區(qū)和階梯區(qū),所述頂部選擇柵極層設(shè)置在所述核心區(qū),所述半導(dǎo)體器件還包括:

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的半導(dǎo)體器件,其特征在于,

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的半導(dǎo)體器件,其特征在于,

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體器件,其特征在于,還包括:

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體器件,其特征在于,還包括:

10.根據(jù)權(quán)利要求3所述的半導(dǎo)體器件,其特征在于,還包括:

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的半導(dǎo)體器件,其特征在于,

12.根據(jù)權(quán)利要求1至11中任一項所述的半導(dǎo)體器件,其特征在于,還包括:

13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的半導(dǎo)體器件,其特征在于,

14.一種半導(dǎo)體器件,其特征在于,包括:

15.一種半導(dǎo)體器件的制備方法,其特征在于,包括:

16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的制備方法,其特征在于,所述形成第一電介質(zhì)層,包括:

17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的制備方法,其特征在于,還包括:

18.根據(jù)權(quán)利要求17所述的制備方法,其特征在于,所述半導(dǎo)體器件包括核心區(qū)和階梯區(qū),所述形成溝道局部觸點,包括:

19.根據(jù)權(quán)利要求18所述的制備方法,其特征在于,所述在所述核心區(qū)對所述蓋帽層和所述第一電介質(zhì)層執(zhí)行刻蝕操作,包括:

20.根據(jù)權(quán)利要求18所述的制備方法,其特征在于,所述在所述核心區(qū)對所述蓋帽層和所述第一電介質(zhì)層執(zhí)行刻蝕操作,還包括:

21.根據(jù)權(quán)利要求18所述的制備方法,其特征在于,在所述核心區(qū)對所述蓋帽層和所述第一電介質(zhì)層執(zhí)行刻蝕操作,形成溝道局部接觸窗之后,還包括:

22.根據(jù)權(quán)利要求20或21所述的制備方法,其特征在于,還包括:

23.根據(jù)權(quán)利要求22所述的制備方法,其特征在于,所述在所述溝道局部接觸窗內(nèi)填充導(dǎo)電材料,還包括:

24.根據(jù)權(quán)利要求17至21中任一項所述的制備方法,其特征在于,還包括:

25.根據(jù)權(quán)利要求15至21中任一項所述的制備方法,其特征在于,還包括:

26.根據(jù)權(quán)利要求25所述的制備方法,其特征在于,還包括:


技術(shù)總結(jié)
本公開提供了一種半導(dǎo)體器件及其制備方法,涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域。其中,半導(dǎo)體器件包括:堆疊層;頂部選擇柵極層,位于所述堆疊層上;柵線隔離結(jié)構(gòu),貫穿所述頂部選擇柵極層和所述堆疊層,所述柵線隔離結(jié)構(gòu)中穿過所述頂部選擇柵極層的部分為第一隔離結(jié)構(gòu),所述第一隔離結(jié)構(gòu)包括與所述頂部選擇柵極層接觸的接觸層溝道結(jié)構(gòu),貫穿所述堆疊層;第一電介質(zhì)層,位于所述頂部選擇柵極層上,所述第一電介質(zhì)層和所述接觸層包括不同的絕緣介質(zhì);溝道局部觸點,貫穿所述第一電介質(zhì)層,并與所述溝道結(jié)構(gòu)對應(yīng)設(shè)置。通過本公開的技術(shù)方案,能夠減小第一電介質(zhì)層的刻蝕操作對柵線隔離結(jié)構(gòu)的接觸層的影響,進而提高半導(dǎo)體器件的良率。

技術(shù)研發(fā)人員:張中,張慶福,王迪,周文犀
受保護的技術(shù)使用者:長江存儲科技有限責(zé)任公司
技術(shù)研發(fā)日:
技術(shù)公布日:2025/1/9
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