1.一種半導(dǎo)體器件,其特征在于,包括:
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體器件,其特征在于,還包括:
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體器件,其特征在于,還包括:
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的半導(dǎo)體器件,其特征在于,
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的半導(dǎo)體器件,其特征在于,所述半導(dǎo)體器件包括核心區(qū)和階梯區(qū),所述頂部選擇柵極層設(shè)置在所述核心區(qū),所述半導(dǎo)體器件還包括:
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的半導(dǎo)體器件,其特征在于,
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的半導(dǎo)體器件,其特征在于,
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體器件,其特征在于,還包括:
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體器件,其特征在于,還包括:
10.根據(jù)權(quán)利要求3所述的半導(dǎo)體器件,其特征在于,還包括:
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的半導(dǎo)體器件,其特征在于,
12.根據(jù)權(quán)利要求1至11中任一項所述的半導(dǎo)體器件,其特征在于,還包括:
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的半導(dǎo)體器件,其特征在于,
14.一種半導(dǎo)體器件,其特征在于,包括:
15.一種半導(dǎo)體器件的制備方法,其特征在于,包括:
16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的制備方法,其特征在于,所述形成第一電介質(zhì)層,包括:
17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的制備方法,其特征在于,還包括:
18.根據(jù)權(quán)利要求17所述的制備方法,其特征在于,所述半導(dǎo)體器件包括核心區(qū)和階梯區(qū),所述形成溝道局部觸點,包括:
19.根據(jù)權(quán)利要求18所述的制備方法,其特征在于,所述在所述核心區(qū)對所述蓋帽層和所述第一電介質(zhì)層執(zhí)行刻蝕操作,包括:
20.根據(jù)權(quán)利要求18所述的制備方法,其特征在于,所述在所述核心區(qū)對所述蓋帽層和所述第一電介質(zhì)層執(zhí)行刻蝕操作,還包括:
21.根據(jù)權(quán)利要求18所述的制備方法,其特征在于,在所述核心區(qū)對所述蓋帽層和所述第一電介質(zhì)層執(zhí)行刻蝕操作,形成溝道局部接觸窗之后,還包括:
22.根據(jù)權(quán)利要求20或21所述的制備方法,其特征在于,還包括:
23.根據(jù)權(quán)利要求22所述的制備方法,其特征在于,所述在所述溝道局部接觸窗內(nèi)填充導(dǎo)電材料,還包括:
24.根據(jù)權(quán)利要求17至21中任一項所述的制備方法,其特征在于,還包括:
25.根據(jù)權(quán)利要求15至21中任一項所述的制備方法,其特征在于,還包括:
26.根據(jù)權(quán)利要求25所述的制備方法,其特征在于,還包括: