本發(fā)明涉及諧振裝置及其制造方法。

背景技術(shù)：

1、在移動(dòng)通信終端、通信基站、家電等各種電子設(shè)備中，在定時(shí)設(shè)備、傳感器、振蕩器等各種用途中使用了諧振裝置。作為這樣的諧振裝置的一種，已知有所謂的mems(microelectro?mechanical?systems：微機(jī)電系統(tǒng))諧振裝置，該諧振裝置具備：下蓋、在與下蓋之間形成振動(dòng)空間的上蓋以及具有在該振動(dòng)空間保持為能夠振動(dòng)的振動(dòng)臂的諧振器。

2、例如，在專利文獻(xiàn)1中公開了一種諧振裝置，該諧振裝置具備下蓋、上蓋以及具有能夠彎曲振動(dòng)的振動(dòng)臂的諧振器，振動(dòng)臂具有在與上蓋對(duì)置的一側(cè)設(shè)置有金屬膜的前端部，振動(dòng)臂的前端部與上蓋之間的間隙大于振動(dòng)臂的前端部與下蓋之間的間隙大。

3、專利文獻(xiàn)1：國際公開第2021－117272號(hào)

4、然而，在專利文獻(xiàn)1所記載的諧振裝置中，在使振動(dòng)臂與下蓋或者上蓋碰撞來調(diào)整諧振頻率時(shí)，有振動(dòng)臂與上蓋的碰撞所帶來的沖擊被金屬膜吸收的情況。在這樣的情況下，若為了避免振動(dòng)臂與上蓋的碰撞而增大振動(dòng)臂的前端部與上蓋之間的間隙則上蓋高背化，所以有阻礙諧振裝置的小型化的情況。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本發(fā)明是鑒于這樣的情況而完成的，本發(fā)明的目的在于提供能夠小型化的諧振裝置及其制造方法。

2、本發(fā)明的一方式的諧振裝置具備：諧振器，具有：振動(dòng)部；保持部，配置于振動(dòng)部周圍的至少一部分；以及支承臂，連接振動(dòng)部與保持部；以及第一基板，具有第一底板和第一側(cè)壁，其中，上述第一底板在厚度方向上與振動(dòng)部隔開間隔來設(shè)置，上述第一側(cè)壁從第一底板的周邊部向保持部延伸，振動(dòng)部具有振動(dòng)臂，上述振動(dòng)臂構(gòu)成為能夠進(jìn)行面外彎曲振動(dòng)，振動(dòng)臂的前端部具有：基端側(cè)部分和前端側(cè)部分，其中，上述基端側(cè)部分通過金屬膜設(shè)置與第一底板對(duì)置的面，上述前端側(cè)部分位于比基端側(cè)部分靠近開放端側(cè)且通過硅設(shè)置與第一底板對(duì)置的面。

3、本發(fā)明的另一方式的諧振裝置的制造方法，其中，上述諧振裝置具備：諧振器，具有：振動(dòng)部；保持部，配置于振動(dòng)部周圍的至少一部分；以及支承臂，連接振動(dòng)部與保持部；以及第一基板，具有第一底板和第一側(cè)壁，其中，上述第一底板在厚度方向上與振動(dòng)部隔開間隔來設(shè)置，上述第一側(cè)壁從第一底板的周邊部向保持部延伸，振動(dòng)部具有振動(dòng)臂，上述振動(dòng)臂構(gòu)成為能夠進(jìn)行面外彎曲振動(dòng)，振動(dòng)臂的前端部具有：基端側(cè)部分和前端側(cè)部分，其中，上述基端側(cè)部分通過金屬膜設(shè)置與第一底板對(duì)置的面，上述前端側(cè)部分位于比基端側(cè)部分靠近開放端側(cè)且通過硅設(shè)置與第一底板對(duì)置的面，上述諧振裝置的制造方法包含：準(zhǔn)備諧振器；準(zhǔn)備第一基板；將諧振器與第一基板接合；以及激勵(lì)諧振器使前端側(cè)部分與第一底板接觸來調(diào)整諧振器的頻率。

4、根據(jù)本發(fā)明，能夠提供能夠小型化的諧振裝置及其制造方法。

技術(shù)特征：

1.一種諧振裝置，具備：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的諧振裝置，其中，

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的諧振裝置，其中，

4.根據(jù)權(quán)利要求1～3中任一項(xiàng)所述的諧振裝置，其中，

5.根據(jù)權(quán)利要求1～4中任一項(xiàng)所述的諧振裝置，其中，

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的諧振裝置，其中，

7.根據(jù)權(quán)利要求5或6所述的諧振裝置，其中，

8.根據(jù)權(quán)利要求5～7中任一項(xiàng)所述的諧振裝置，其中，

9.根據(jù)權(quán)利要求5～7中任一項(xiàng)所述的諧振裝置，其中，

10.根據(jù)權(quán)利要求1～9中任一項(xiàng)所述的諧振裝置，其中，

11.一種諧振裝置的制造方法，上述諧振裝置具備：

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的諧振裝置的制造方法，其中，

13.根據(jù)權(quán)利要求11或12所述的諧振裝置的制造方法，其中，

14.根據(jù)權(quán)利要求11～13中任一項(xiàng)所述的諧振裝置的制造方法，其中，還包含：

15.根據(jù)權(quán)利要求11～14中任一項(xiàng)所述的諧振裝置的制造方法，其中，

16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的諧振裝置的制造方法，其中，

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供諧振裝置及其制造方法。諧振裝置(1)具備：諧振器(10)，具有振動(dòng)部(110)、配置于振動(dòng)部(110)周圍的至少一部分的保持部(140)以及連接振動(dòng)部(110)與保持部(140)的支承臂(150)；以及第一基板(30)，具有第一底板(32)和第一側(cè)壁(33)，其中，第一底板在厚度方向上與振動(dòng)部(110)隔開間隔來設(shè)置，該第一側(cè)壁從第一底板(32)的周邊部向保持部(140)延伸，振動(dòng)部(110)具有構(gòu)成為能夠進(jìn)行面外彎曲振動(dòng)的振動(dòng)臂(121A)，振動(dòng)臂(121A)的前端部(122A)具有：基端側(cè)部分和前端側(cè)部分，其中，基端側(cè)部分通過金屬膜(125A)設(shè)置與第一底板(32)對(duì)置的面，前端側(cè)部分位于比基端側(cè)部分靠近開放端側(cè)且通過硅設(shè)置與第一底板(32)對(duì)置的面。

技術(shù)研發(fā)人員：福光政和,樋口敬之,遠(yuǎn)藤史也
受保護(hù)的技術(shù)使用者：株式會(huì)社村田制作所
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/1/6