本發(fā)明涉及諧振裝置。

背景技術(shù)：

1、在移動通信終端、通信基站、家電等各種電子設(shè)備中，在定時設(shè)備、傳感器、振蕩器等各種用途中使用諧振裝置。作為這樣的諧振裝置的一種，已知有所謂的mems(microelectro?mechanical?systems：微機(jī)電系統(tǒng))諧振裝置，該諧振裝置具備：下蓋、在與下蓋之間形成振動空間的上蓋以及具有在該振動空間保持為能夠振動的振動臂的諧振器。

2、例如，在專利文獻(xiàn)1中公開了一種諧振裝置，該諧振裝置具備諧振器、下蓋以及上蓋，下蓋具有在厚度方向上與諧振器的支承臂隔開第一距離而設(shè)置的限制部，限制部包括在與下蓋的凹部的底面之間形成階梯差的臺階，支承臂在厚度方向上的最大振幅被限制為第一距離。

3、專利文獻(xiàn)1：國際公開第2020-261630號

4、然而，在專利文獻(xiàn)1所記載的諧振裝置中，在支承臂和限制部碰撞時，有支承臂和限制部中的至少一方被刮擦，由此產(chǎn)生的粉塵飛散而使頻率變動的情況。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本發(fā)明是鑒于這樣的情況而完成的，本發(fā)明的目的在于提供能夠抑制頻率的變動的諧振裝置。

2、本發(fā)明的一個方式的諧振裝置具備：諧振器，具有：振動部；保持部，配置于振動部周圍的至少一部分；以及支承臂連接振動部和保持部；以及第一基板，具有第一底板、第一側(cè)壁以及第一限制部，其中，上述第一底板在厚度方向上與振動部隔開間隔來設(shè)置，上述第一側(cè)壁從第一底板的周緣部向保持部延伸，厚度方向上的上述第一限制部與諧振器之間的距離小于諧振器與第一底板之間的距離，在第一限制部的在厚度方向上與諧振器對置的前端部設(shè)置有作為吸氣劑發(fā)揮功能的第一金屬膜。

3、根據(jù)本發(fā)明，能夠提供能夠抑制頻率的變動的諧振裝置。

技術(shù)特征：

1.一種諧振裝置，具備：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的諧振裝置，其中，

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的諧振裝置，其中，

4.根據(jù)權(quán)利要求1～3中任一項所述的諧振裝置，其中，

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的諧振裝置，其中，

6.根據(jù)權(quán)利要求1～5中任一項所述的諧振裝置，其中，

7.根據(jù)權(quán)利要求1～6中任一項所述的諧振裝置，其中，

8.根據(jù)權(quán)利要求1～7中任一項所述的諧振裝置，其中，

9.根據(jù)權(quán)利要求1～8中任一項所述的諧振裝置，其中，

10.根據(jù)權(quán)利要求1～8中任一項所述的諧振裝置，其中，

11.根據(jù)權(quán)利要求1～10中任一項所述的諧振裝置，其中，

12.根據(jù)權(quán)利要求1～11中任一項所述的諧振裝置，其中，

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明的諧振裝置(1)具備：諧振器(10)，具有：振動部(110)；保持部(140)，配置于振動部(110)周圍的至少一部分；以及支承臂(150)，連接振動部(110)和保持部(140)；以及第一基板(20)，具有第一底板(22)、第一側(cè)壁(23)以及第一限制部(25)，其中，上述第一底板(22)在厚度方向上與振動部(110)隔開間隔來設(shè)置，上述第一側(cè)壁(23)從第一底板(22)的周緣部向保持部(140)延伸，厚度方向上的上述第一限制部(25)與諧振器(10)之間的距離小于諧振器(10)與第一底板(22)之間的距離的，在第一限制部(25)的在厚度方向上與諧振器(10)對置的前端部設(shè)置有作為吸氣劑發(fā)揮功能的第一金屬膜(M2)。

技術(shù)研發(fā)人員：樋口敬之,福光政和,遠(yuǎn)藤史也
受保護(hù)的技術(shù)使用者：株式會社村田制作所
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/1/6