本公開涉及在柔性基底上制備金屬圖案/特征部的方法，以及通過該方法制成的裝置。

背景技術(shù)：

1、可通過各種技術(shù)在基底上制備金屬圖案。例如，在一個典型工藝中，聚(甲基丙烯酸甲酯)（pmma）可通過熱壓印平版印刷工藝首先在基底上進行圖案化，之后進行反應(yīng)離子蝕刻；然后將金屬沉積到整個表面上；用丙酮將pmma連同pmma上的金屬一起清洗掉；并且保留僅沉積到基底上的金屬。典型的熱壓印平版印刷工藝在例如美國專利5,772,905（chou等人）中有所描述。在另一典型工藝中，使用聚乙烯醇（pva）樹脂代替pmma，使得水可用于洗去步驟。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、簡而言之，在一個方面，本公開描述了一種在柔性基底上形成金屬圖案的方法。所述方法包括：在所述柔性基底上提供圖案化表面。所述圖案化表面包括一個或多個凹陷特征部和與凹陷部相鄰的一個或多個平臺特征部。所述方法還包括：用液體溶液涂覆所述圖案化表面，以至少部分地填充所述凹陷特征部；使所述液體溶液硬化，以在所述凹陷特征部中形成可剝離固體層；在使所述液體溶液硬化之后蝕刻所述圖案化表面；提供金屬層以覆蓋所述圖案化表面；以及將所述凹陷特征部中的所述固體層連同所述固體層上的所述金屬層一起從所述柔性基底移除，以在所述柔性基底的所述平臺特征部上形成金屬圖案。

2、在另一方面，本公開描述了一種根據(jù)上述方法制成的裝置。所述裝置包括僅設(shè)置在所述平臺特征部的頂部表面上的所述金屬圖案。所述平臺特征部具有約50nm至約5微米的平均線寬和約50nm至約5微米的平均高度。

3、在另一方面，本公開描述了一種形成金屬圖案的方法。所述方法包括：提供圖案化表面，所述圖案化表面包括一個或多個凹陷特征部和與凹陷部相鄰的一個或多個平臺特征部；用液體溶液涂覆所述圖案化表面，以至少部分地填充所述凹陷部；使所述液體溶液硬化，以在所述凹陷部中形成可剝離固體層；提供轉(zhuǎn)移層以粘合到所述圖案化表面；以及從所述圖案化表面移除所述轉(zhuǎn)移層，以在所述轉(zhuǎn)移層上形成圖案化構(gòu)造。所述固體層從所述圖案化表面轉(zhuǎn)移至所述轉(zhuǎn)移層，并且形成所述圖案化構(gòu)造的一個或多個平臺特征部。所述方法還包括：在所述轉(zhuǎn)移層的所述圖案化構(gòu)造上提供金屬層；以及將所述固體層連同所述固體層上的所述金屬層一起從所述圖案化構(gòu)造移除，以在所述轉(zhuǎn)移層上形成金屬圖案。

4、在另一方面，本公開描述了一種根據(jù)上述方法制成的裝置。所述裝置包括：所述轉(zhuǎn)移層，所述轉(zhuǎn)移層具有圖案化表面，所述圖案化表面包括一個或多個凹陷特征部和與所述凹陷部相鄰的一個或多個平臺特征部；以及所述金屬圖案，所述金屬圖案僅設(shè)置在所述凹陷特征部中。所述凹陷特征部具有約50nm至約5微米的平均線寬和約50nm至約5微米的平均深度。

5、在本公開的示例性實施方案中獲取各種意料不到的結(jié)果和優(yōu)點。本公開的示例性實施方案的一個此類優(yōu)點在于液體溶液可均一地涂覆在圖案化表面上。在所述液體溶液硬化之后，可在所述圖案化表面上選擇性地形成可剝離固體層，以用于在金屬化之后進行有效的剝離工藝。

6、已總結(jié)本公開的示例性實施方案的各種方面和優(yōu)點。上面的
技術(shù)實現(xiàn)要素：
并非旨在描述本公開的當前某些示例性實施方案的每個例示的實施方案或每種實施方式。下面的附圖和具體實施方式更具體地舉例說明了使用本文所公開的原理的某些優(yōu)選實施方案。

技術(shù)特征：

1.一種在柔性基底上形成金屬圖案的方法，所述方法包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中移除所述固體層還包括：將可固化樹脂外覆在所述金屬層上，并且使所述可固化樹脂固化以形成固化樹脂層；以及將所述固化樹脂層從所述柔性基底分離，以將所述凹陷特征部中的所述可剝離固體層連同所述可剝離固體層上的金屬層一起從所述柔性基底移除。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中在所述柔性基底上提供圖案化表面包括在所述柔性基底上形成微復(fù)制特征部。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所述剝離涂層使用六甲基二硅氧烷（hmdso）通過等離子體沉積工藝形成。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所述液體溶液包含聚(乙烯醇)（pva）。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所述柔性基底的所述平臺特征部上的所述金屬圖案形成具有大于95%的開口面積的網(wǎng)格形狀。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中具有所述金屬圖案的所述圖案化表面用與所述圖案化表面折射率匹配的材料回填。

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供在柔性基底上制備金屬圖案的方法。通過在柔性基底的圖案化表面上施加液體溶液來在該圖案化表面上選擇性地形成可剝離固體層。柔性基底上的金屬圖案可通過在金屬化之后移除可剝離固體層而形成。在一些情況下，可以將可剝離固體層從圖案化表面轉(zhuǎn)移至其中形成有金屬圖案的轉(zhuǎn)移層。

技術(shù)研發(fā)人員：亨里克·B·萬倫格里希,馬修·S·斯泰,卡爾布·T·尼爾森,戴維·J·塔爾諾夫斯基,大衛(wèi)·J·羅韋,埃德文·L·庫西勒克
受保護的技術(shù)使用者：3M創(chuàng)新有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/1/6