本技術涉及顯示,具體涉及一種顯示面板、制作方法及顯示裝置。
背景技術:
1、目前更大的屏占比已成為未來發(fā)展趨勢之一,即全面屏技術;實現(xiàn)全面屏,屏下攝像頭技術為其關鍵因素之一,下面簡稱cup(camera?under?panel,屏下攝像頭)技術。目前其主流技術為使用透明pi(有機材料,柔性面板襯底)加透明電極走線來提高光透過率,使成像效果達到最優(yōu)化;通過透明電極走線實現(xiàn)aa(active?area,可操作區(qū))區(qū)tft(thinfilm?transistor,薄膜晶體管)驅動cup區(qū)域像素;其缺點為aa區(qū)陽極anode(像素陽極層)與下方sd(source/drain)金屬間通過2層透明電極ito(indium?tin?oxide,氧化銦錫)來進行連接(fig1),由于ito金屬本身不穩(wěn)定且電阻值較大,會使anode與sd間接觸阻抗變大而影響el發(fā)光效率及顯示效果。
技術實現(xiàn)思路
1、本技術實施例提供一種顯示面板、制作方法及顯示裝置,通過在第二平坦層及電極絕緣組合直接開孔連接像素陽極層與第二金屬層,從而規(guī)避了anode與ito連接而接觸阻抗變大的問題。
2、第一方面,本技術實施例提供一種顯示面板,包括:
3、基板;
4、有源層,設于所述基板上;
5、柵極絕緣組合,設于所述有源層和所述基板上;
6、層間介電層,設于所述柵極絕緣組合上,所述層間介電層設有第一過孔,且所述第一過孔穿透所述柵極絕緣組合暴露所述有源層的一部分;
7、第一金屬層,設于所述層間介電層上,且所述第一金屬層沉積在所述第一過孔中與所述有源層接觸;
8、第一平坦層,所述第一平坦層覆蓋所述第一金屬層和所述層間介電層,所述第一平坦層設有第二過孔,且所述第二過孔暴露所述第一金屬層的一部分;
9、第二金屬層,設于所述第一平坦層上,且所述第二金屬層沉積在所述第二過孔中與所述第一金屬層接觸;
10、電極絕緣組合,設于所述第二金屬層和所述第一平坦層上;
11、第二平坦層,設于所述電極絕緣組合上,所述第二平坦層設有第三過孔,且所述第三過孔穿透所述電極絕緣組合暴露所述第二金屬層的一部分;
12、像素陽極層,設于所述第二平坦層上,且所述像素陽極層沉積在所述第三過孔中與所述第二金屬層接觸。
13、在一些實施例中,所述柵極絕緣組合包括:
14、第一柵極絕緣層,所述第一柵極絕緣層覆蓋所述有源層和所述基板;
15、第一柵極層,設于所述第一柵極絕緣層上;
16、第二柵極絕緣層,所述第二柵極絕緣層覆蓋所述第一柵極層和所述第一柵極絕緣層;
17、第二柵極層,設于所述第一柵極絕緣層上;
18、所述層間介電層覆蓋所述第二柵極層和所述第二柵極絕緣層,所述第一過孔穿透所述第一柵極絕緣層和所述第二柵極絕緣層暴露所述有源層的一部分。
19、在一些實施例中,所述有源層包括溝道區(qū)和設于所述溝道區(qū)兩側的導體區(qū),所述第一柵極層與所述溝道區(qū)相對設置,所述第一金屬層與所述兩側的導體區(qū)接觸。
20、在一些實施例中,所述電極絕緣組合包括:
21、第一電極絕緣層,所述第一電極絕緣層覆蓋所述第二金屬層和所述第一平坦層上;
22、第一電極層,設于所述第一電極絕緣層上;
23、第二電極絕緣層,所述第二電極絕緣層覆蓋所述第一電極層和所述第一電極絕緣層,所述第二電極絕緣層設有第四過孔,且所述第四過孔穿透所述第一電極層和所述第一電極絕緣層暴露所述第二金屬層的一部分;
24、第二電極層,設于所述第一電極絕緣層上,且所述第二電極層沉積在所述第四過孔中與所述第二金屬層接觸;
25、所述第二平坦層覆蓋所述第二電極層和所述第二電極絕緣層,所述第三過孔穿透所述第一電極絕緣層和所述第二電極絕緣層暴露所述第二金屬層的一部分。
26、在一些實施例中,所述顯示面板還包括:
27、像素定義層,所述像素定義層覆蓋所述第二平坦層和所述像素陽極層,所述像素定義層設有第五過孔,且所述第五過孔暴露所述像素陽極層的一部分;
28、支撐層,設于所述像素定義層上。
29、在一些實施例中,所述基板包括:
30、襯底層;
31、緩沖層,設于所述襯底層上,所述有源層和所述柵極絕緣組合設于所述緩沖層上。
32、第二方面,本技術提供一種顯示面板制作方法,包括:
33、提供基板,在所述基板上制備有源層;
34、在所述基板和所述有源層上制備柵極絕緣組合;
35、在所述柵極絕緣組合上沉積層間介電層,并在所述層間介電層上蝕刻出第一過孔,所述第一過孔穿透所述柵極絕緣組合暴露所述有源層的一部分;
36、在所述層間介電層上沉積第一金屬層,且所述第一金屬層沉積在所述第一過孔中與所述有源層接觸;
37、在所述第一金屬層和所述層間介電層上沉積第一平坦層,并在所述第一平坦層上蝕刻出第二過孔,所述第二過孔暴露所述第一金屬層的一部分;
38、在所述第一平坦層上沉積第二金屬層,且所述第二金屬層沉積在所述第二過孔中與所述第一金屬層接觸;
39、在所述第二金屬層和所述第一平坦層上制備電極絕緣組合;
40、在所述電極絕緣組合上沉積第二平坦層,并在所述第二平坦層上蝕刻出第三過孔,所述第三過孔穿透所述電極絕緣組合暴露所述第二金屬層的一部分;
41、在所述第二平坦層上沉積像素陽極層,且所述像素陽極層沉積在所述第三過孔中與所述第二金屬層接觸。
42、在一個實施例中,所述在所述第二金屬層和所述第一平坦層上制備電極絕緣組合包括:
43、在所述第二金屬層和所述第一平坦層上沉積第一電極絕緣層;
44、在所述第一電極絕緣層上沉積第一電極層;
45、在所述第一電極層和所述第一電極絕緣層上沉積第二電極絕緣層,并在所述第二電極絕緣層上蝕刻出第四過孔,所述第四過孔穿透所述第一電極層和所述第一電極絕緣層暴露所述第二金屬層的一部分;
46、在所述第二電極絕緣層上沉積第二電極層,所述第二電極層沉積在所述第四過孔中與所述第二金屬層接觸。
47、在一個實施例中,還包括:
48、在所述第二平坦層和所述像素陽極層上沉積像素定義層,并在所述像素定義層上蝕刻出第五過孔,所述第五過孔暴露所述像素陽極層的一部分;
49、在所述像素定義層上制備支撐層。
50、在一個實施例中,所述在所述基板和所述有源層上制備柵極絕緣組合包括:
51、在所述有源層和所述基板上沉積第一柵極絕緣層;
52、在所述第一柵極絕緣層上沉積金屬作為第一柵極層,并蝕刻出圖形;
53、在所述第一柵極層和所述第一柵極絕緣層上沉積第二柵極絕緣層;
54、在所述第一柵極絕緣層上沉積金屬作為第二柵極層,并蝕刻出圖形。
55、第三方面,本技術提供一種顯示裝置,所述顯示裝置包括上述任意一項所述的顯示面板。
56、本技術實施例提供的顯示面板、制作方法及顯示裝置,通過在第二平坦層及電極絕緣組合直接開孔連接像素陽極層與第二金屬層,從而規(guī)避了anode與ito連接而接觸阻抗變大的問題。