技術(shù)特征：

1.一種在厚度方向具有對稱結(jié)構(gòu)的tpobs蘭姆波諧振器，包括諧振區(qū)和非諧振區(qū)，其特征在于，所述諧振器上下結(jié)構(gòu)對稱，諧振區(qū)的結(jié)構(gòu)沿厚度方向由下至上依次為底部叉指電極(2)、底部壓電層(5)、諧振硅層(6)、頂部壓電層(4)、頂部叉指電極(1)；

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種在厚度方向具有對稱結(jié)構(gòu)的tpobs蘭姆波諧振器，其特征在于，所述頂部叉指電極(1)包括頂部第一叉指電極(101)、頂部第二叉指電極(102)，其中叉指電極為n個平行電極條，頂部第一叉指電極(101)的電極條通過同一匯流條連接，頂部第二叉指電極(102)的電極條通過同一匯流條連接，對通過同一匯流條連接的叉指電極施加相同的電信號；頂部第一叉指電極(101)與頂部第二叉指電極(102)的電極條平行間隔排布，分別通過不同的金屬電極盤施加信號；

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種在厚度方向具有對稱結(jié)構(gòu)的tpobs蘭姆波諧振器，其特征在于，當(dāng)該諧振器的頂部第一叉指電極(101)和底部第二叉指電極(202)通過通孔相連，形成一個叉指電極對，頂部第二叉指電極(102)和底部第一叉指電極(201)通過通孔相連，形成一個叉指電極對時，對兩個叉指電極對施加幅值相同，相位相反的電壓，且諧振硅層接地時，激發(fā)s1模態(tài)；

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種在厚度方向具有對稱結(jié)構(gòu)的tpobs蘭姆波諧振器，其特征在于，所述金屬電極盤、頂部叉指電極和底部叉指電極為同一種金屬材料，具體為鋁、銅、金、鎳或鉛，頂部叉指電極和底部叉指電極的厚度相同。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種在厚度方向具有對稱結(jié)構(gòu)的tpobs蘭姆波諧振器，其特征在于，頂部壓電層(4)和底部壓電層(5)的材料為同一種材料，具體為氮化鋁、鋯鈦酸鉛、氧化鋅、鈮酸鋰、鉭酸鋰，厚度為0.5μm至1.5μm。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種在厚度方向具有對稱結(jié)構(gòu)的tpobs蘭姆波諧振器，其特征在于，諧振硅層(6)的材料為摻雜硅，厚度為5μm至50μm。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種在厚度方向具有對稱結(jié)構(gòu)的tpobs蘭姆波諧振器，其特征在于，所述接地金屬電極盤(10)有4個，位于諧振硅層上表面兩個金屬電極盤的兩側(cè)。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種在厚度方向具有對稱結(jié)構(gòu)的tpobs蘭姆波諧振器，其特征在于，諧振硅層與二氧化硅(9)之間還有一層頂部壓電層(4)；位于諧振硅層(6)下表面的金屬電極盤(12)與諧振硅層(6)之間還有一層底部壓電層(5)。

9.一種在厚度方向具有對稱結(jié)構(gòu)的tpobs蘭姆波諧振器的制備方法，用于制備如權(quán)利要求1-8任一所述的諧振器，其特征在于，包括以下步驟：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供了一種在厚度方向具有對稱結(jié)構(gòu)的硅上下壓電薄膜蘭姆波諧振器及其制備方法，屬于微機電技術(shù)領(lǐng)域。該諧振器的諧振區(qū)自下而上分別為底部叉指電極、底部壓電層、諧振硅層、頂部壓電層、頂部叉指電極。通過金屬電極盤使諧振硅層接地，同時對兩個叉指電極對施加一定頻率的交流信號，使諧振器發(fā)生諧振。該諧振器可以通過控制上下同一位置的金屬電極的相位來決定所激發(fā)A1或是S1模態(tài)。當(dāng)上下同一位置的金屬電極施加幅值相同，相位相同的電信號時，該諧振器可激發(fā)無雜散的A1模態(tài)，當(dāng)上下同一位置的金屬電極施加幅值相同，相位相反的電信號時，該諧振器可激發(fā)無雜散的S1模態(tài)。

技術(shù)研發(fā)人員：涂程,李佳思,閆曉劍,張曉升
受保護的技術(shù)使用者：電子科技大學(xué)
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/12/23