本技術(shù)涉及顯示，特別是涉及一種顯示面板及其制作方法。

背景技術(shù)：

1、有機(jī)發(fā)光二極管（organic?light?emitting?display，oled）因具有高畫質(zhì)、省電、機(jī)身薄及應(yīng)用范圍廣等優(yōu)點(diǎn)，而被廣泛的應(yīng)用于手機(jī)、電視、筆記本電腦、臺(tái)式電腦等各種消費(fèi)性電子產(chǎn)品，成為顯示裝置中的主流。

2、但目前的oled顯示面板的性能有待提升。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、基于此，有必要針對(duì)上述技術(shù)問題，提供一種顯示面板及其制作方法。

2、第一方面，本技術(shù)提供一種顯示面板的制作方法，包括以下步驟：

3、提供基板；

4、在所述基板上形成第一電極；

5、在所述第一電極遠(yuǎn)離所述基板的一側(cè)形成像素定義層及貫穿所述像素定義層的像素定義孔，令所述第一電極的部分自對(duì)應(yīng)的所述像素定義孔暴露；

6、形成第一金屬材料層，令部分所述第一金屬材料層覆蓋自所述像素定義孔暴露的所述第一電極，所述第一金屬材料層與所述第一電極包括刻蝕速率不同的材料；

7、在所述像素定義層遠(yuǎn)離所述第一電極的一側(cè)形成隔斷結(jié)構(gòu)；

8、刻蝕所述第一金屬材料層形成第一金屬層，以令所述第一電極自對(duì)應(yīng)的所述像素定義孔暴露第一電極。

9、上述顯示面板的制作方法，在形成隔斷結(jié)構(gòu)之前，在隔斷結(jié)構(gòu)和第一電極之間形成第一金屬材料層，通過第一金屬材料層保護(hù)第一電極，以避免形成隔斷結(jié)構(gòu)的刻蝕步驟損傷像素定義孔暴露出的第一電極，并在形成隔斷結(jié)構(gòu)之后，刻蝕第一金屬材料層令像素定義孔暴露出第一電極的表面，由于第一金屬材料層與第一電極的刻蝕速率不同，可以通過刻蝕液選擇性刻蝕第一金屬材料層，能夠避免刻蝕第一金屬材料層的過程損傷第一電極，保證第一電極的結(jié)構(gòu)完整沒有刻蝕損傷，能夠避免第一電極損傷導(dǎo)致屏體顯示暗點(diǎn)以及其他顯示問題，有利于提升顯示面板的顯示效果。

10、在其中一個(gè)實(shí)施例中，刻蝕所述第一金屬材料層形成第一金屬層，包括：

11、采用第一刻蝕液刻蝕所述第一金屬材料層，所述第一電極對(duì)第一刻蝕液的耐刻蝕性大于所述第一金屬材料層對(duì)所述第一刻蝕液的耐刻蝕性；

12、所述第一刻蝕液對(duì)所述第一金屬材料層具有高刻蝕速率，所述第一刻蝕液對(duì)所述第一電極具有低刻蝕速率；

13、優(yōu)選地，所述第一刻蝕液對(duì)所述第一電極的刻蝕速率為零；

14、優(yōu)選地，所述第一刻蝕液包括四甲基氫氧化銨；所述第一電極的材料包括透明金屬氧化物；所述第一金屬材料層的材料包括金屬鋁。

15、這樣，第一電極對(duì)第一刻蝕液具有高耐刻蝕性，采用第一刻蝕液刻蝕第一金屬材料層，避免第一刻蝕液損傷第一電極，保證第一電極的表面完整，沒有刻蝕損傷。

16、在其中一個(gè)實(shí)施例中，在所述像素定義層遠(yuǎn)離所述第一電極的一側(cè)形成隔斷結(jié)構(gòu)，包括：

17、在所述像素定義層遠(yuǎn)離所述基板的一側(cè)依次形成導(dǎo)電材料層和阻擋材料層；

18、圖案化所述阻擋材料層形成阻擋部并令所述阻擋部在所述基板的正投影落在所述像素定義層在所述基板的正投影中；

19、根據(jù)所述阻擋部刻蝕去除所述像素定義孔中的所述導(dǎo)電材料層形成隔離體，所述阻擋部在所述基板上的至少部分正投影外輪廓位于所述隔離體在所述基板上的正投影外輪廓的外圍；

20、優(yōu)選地，所述隔離體的材料包括金屬銅或金屬鉬中的至少一種；

21、優(yōu)選地，所述阻擋部的材料包括導(dǎo)電材料或絕緣材料；

22、優(yōu)選地，所述阻擋部的材料包括金屬鈦、氮化鈦、氮化硅、碳化硅或氮氧化硅中的至少一種；

23、優(yōu)選地，所述像素定義層的材料包括氮化硅或碳化硅中的至少一種。

24、這樣，在形成隔斷結(jié)構(gòu)的刻蝕步驟中，第一電極的表面被第一金屬材料層保護(hù)，避免第一電極被刻蝕損傷。

25、在其中一個(gè)實(shí)施例中，在形成所述像素定義層之前形成所述第一金屬材料層，所述第一金屬材料層覆蓋所述第一電極的頂面，所述第一金屬材料層在所述基板上的正投影與所述第一電極在所述基板上的正投影重合；刻蝕所述第一金屬材料層形成第一金屬層，包括：

26、刻蝕去除所述像素定義孔中的所述第一金屬材料層，所述第一電極與所述像素定義層之間的所述第一金屬材料層形成所述第一金屬層。

27、這樣，有利于減少刻蝕第一金屬材料層的刻蝕時(shí)長，減少第一電極表面與第一刻蝕液的接觸時(shí)長，能夠進(jìn)一步減少第一電極表面的刻蝕損傷，保證第一電極結(jié)構(gòu)完整，避免第一電極損傷導(dǎo)致屏體顯示暗點(diǎn)以及其他顯示問題。

28、在其中一個(gè)實(shí)施例中，在形成所述像素定義層之后形成所述第一金屬材料層，所述第一金屬材料層形成在所述導(dǎo)電層和所述像素定義層之間；刻蝕所述第一金屬材料層形成第一金屬層，包括：

29、刻蝕去除所述像素定義孔中的所述第一金屬材料層，所述隔離體下方的所述第一金屬材料層形成所述第一金屬層，所述第一金屬層在所述基板上的正投影外輪廓，位于所述隔離體在所述基板上的正投影外輪廓的外圍。

30、這樣，第一金屬層與導(dǎo)電層的底面接觸，有利于降低隔斷結(jié)構(gòu)的整體電阻，提高隔斷結(jié)構(gòu)的導(dǎo)電性。

31、第二方面，本公開提供了一種顯示面板，包括：

32、基板；

33、第一電極，設(shè)于所述基板的一側(cè)；

34、像素定義層，設(shè)于所述第一電極遠(yuǎn)離所述基板的一側(cè)，所述像素定義層具有與所述第一電極對(duì)應(yīng)的像素定義孔，所述像素定義孔貫穿所述像素定義層并暴露出對(duì)應(yīng)的所述第一電極；

35、隔斷結(jié)構(gòu)，設(shè)于所述像素定義層遠(yuǎn)離所述第一電極的一側(cè)；

36、第一金屬層，設(shè)于所述隔斷結(jié)構(gòu)與所述第一電極之間，所述第一金屬層與所述第一電極包括刻蝕速率不同的材料。

37、上述顯示面板，在隔斷結(jié)構(gòu)和第一電極之間設(shè)置第一金屬層，一方面，用以形成第一金屬層的材料層可以在形成隔斷結(jié)構(gòu)的過程中保護(hù)第一電極，以避免形成隔斷結(jié)構(gòu)的刻蝕步驟損傷像素定義孔暴露出的第一電極；另一方面，由于第一金屬層與第一電極的刻蝕速率不同，在形成隔斷結(jié)構(gòu)之后，可以通過刻蝕液選擇性形成第一金屬令像素定義孔暴露出第一電極的表面，能夠避免形成第一金屬層的過程損傷第一電極，保證第一電極的結(jié)構(gòu)完整沒有刻蝕損傷，能夠避免第一電極損傷導(dǎo)致屏體顯示暗點(diǎn)以及其他顯示問題，有利于提升顯示面板的顯示效果。

38、在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述第一電極對(duì)第一刻蝕液的耐刻蝕性大于所述第一金屬層對(duì)所述第一刻蝕液的耐刻蝕性；

39、所述第一刻蝕液對(duì)所述第一金屬層具有高刻蝕速率，所述第一刻蝕液對(duì)所述第一電極具有低刻蝕速率；

40、優(yōu)選地，所述第一刻蝕液對(duì)所述第一電極的刻蝕速率為零；

41、優(yōu)選地，所述第一刻蝕液包括四甲基氫氧化銨；所述第一電極的材料包括透明金屬氧化物；所述第一金屬層的材料包括金屬鋁。

42、這樣，第一電極對(duì)第一刻蝕液具有高耐刻蝕性，采用第一刻蝕液刻蝕形成第一金屬層，避免第一刻蝕液損傷第一電極，保證第一電極的表面完整，第一電極的表面沒有刻蝕損傷。

43、在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述隔斷結(jié)構(gòu)包括依次層疊的隔離體和阻擋部，所述阻擋部在所述基板上的至少部分正投影外輪廓位于所述隔離體在所述基板上的正投影外輪廓的外圍。

44、在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述隔離體的材料包括金屬銅或金屬鉬中的至少一種；

45、在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述阻擋部的材料包括導(dǎo)電材料或絕緣材料。

46、在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述阻擋部的材料包括金屬鈦、氮化鈦、氮化硅、碳化硅或氮氧化硅中的至少一種。

47、優(yōu)選地，所述像素定義層的材料包括氮化硅或碳化硅中的至少一種。

48、這樣，使隔斷結(jié)構(gòu)形成上大下小的底切結(jié)構(gòu)，隔斷結(jié)構(gòu)可以將隔斷像素定義孔內(nèi)的發(fā)光材料。

49、在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述第一金屬層位于所述像素定義層與所述第一電極之間，所述第一金屬層在所述基板上的部分正投影外輪廓與所述第一電極在所述基板上的部分正投影外輪廓的重合，所述第一金屬層在所述基板上的另一部分正投影外輪廓位于所述第一電極在所述基板上的正投影內(nèi)。

50、這樣，能夠減少形成第一金屬層的過程中，第一電極的表面與刻蝕液的接觸時(shí)長，避免第一電極損傷導(dǎo)致屏體顯示暗點(diǎn)以及其他顯示問題。

51、在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述第一金屬層位于所述隔離體與所述像素定義層之間，所述第一金屬層在所述基板上的正投影外輪廓，位于所述隔離體在所述基板上的正投影外輪廓的外圍。

52、這樣，可以進(jìn)一步優(yōu)化顯示面板的布線。