本申請(qǐng)涉及顯示,特別是涉及一種光電探測(cè)器及其制備方法、電子設(shè)備。
背景技術(shù):
1、光電探測(cè)器是一種基于光生伏特效應(yīng),將光轉(zhuǎn)變?yōu)殡姷墓怆娹D(zhuǎn)換器件。光電探測(cè)器具有響應(yīng)速度快、靈敏度高和線性范圍廣等優(yōu)點(diǎn),在通信、光電測(cè)量和醫(yī)療等領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。
2、為了提高光電探測(cè)器的性能,亟需對(duì)其進(jìn)行改進(jìn)。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、本申請(qǐng)主要提供一種光電探測(cè)器及其制備方法、電子設(shè)備,可以提高光電探測(cè)器的性能。
2、為解決上述技術(shù)問(wèn)題,本申請(qǐng)采用的技術(shù)方案是:提供一種光電探測(cè)器,包括:襯底;第一電極,設(shè)置在所述襯底一側(cè);第一平坦化層,設(shè)置在所述第一電極背離所述襯底一側(cè),所述第一平坦化層開(kāi)設(shè)有開(kāi)口,所述第一電極的至少部分自所述開(kāi)口中露出;光電轉(zhuǎn)換層,至少部分設(shè)置在所述開(kāi)口中,其中,在與所述襯底平行的方向上,距離所述開(kāi)口側(cè)壁預(yù)設(shè)距離內(nèi)的所述光電轉(zhuǎn)換層形成鈍化區(qū)域;第二電極,設(shè)置在所述光電轉(zhuǎn)換層背離所述襯底一側(cè)。
3、為解決上述技術(shù)問(wèn)題,本申請(qǐng)采用的另一個(gè)技術(shù)方案是:提供一種電子設(shè)備,其包括上述實(shí)施例中的光電探測(cè)器。
4、為解決上述技術(shù)問(wèn)題,本申請(qǐng)采用的另一個(gè)技術(shù)方案是:提供一種光電探測(cè)器的制備方法,該方法包括:在襯底一側(cè)形成第一電極;在所述第一電極背離所述襯底一側(cè)依次形成整面的第一平坦化層以及整面的第三平坦化層;形成貫通所述第一平坦化層以及所述第三平坦化層的開(kāi)口,以裸露所述第一電極的至少部分;在所述第一電極背離所述襯底一側(cè)形成整面的光電轉(zhuǎn)換層;將所述第三平坦化層與所述第一平坦化層剝離,并去除所述第三平坦化層;在剩余的所述光電轉(zhuǎn)換層背離所述襯底一側(cè)的表面形成第二電極。
5、本申請(qǐng)的有益效果是:本申請(qǐng)中光電轉(zhuǎn)換層朝向開(kāi)口側(cè)壁的表面形成鈍化區(qū)域,能夠阻斷漏電通道,提升光電探測(cè)器的性能。
1.一種光電探測(cè)器,其特征在于,包括:
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光電探測(cè)器,其特征在于,所述光電轉(zhuǎn)換層與所述開(kāi)口側(cè)壁之間形成有間隙;所述光電探測(cè)器進(jìn)一步包括:
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光電探測(cè)器,其特征在于,
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的光電探測(cè)器,其特征在于,
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光電探測(cè)器,其特征在于,所述光電探測(cè)器進(jìn)一步包括:
6.一種電子設(shè)備,其特征在于,包括如權(quán)利要求1-5任一項(xiàng)所述的光電探測(cè)器。
7.一種光電探測(cè)器的制備方法,其特征在于,所述方法包括:
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的制備方法,其特征在于,
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的制備方法,其特征在于,
10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的制備方法,其特征在于,