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一種鋁線路板表面微細(xì)線路蝕刻設(shè)備的制作方法

文檔序號(hào):40565988發(fā)布日期:2025-01-03 11:26閱讀:8來(lái)源:國(guó)知局
一種鋁線路板表面微細(xì)線路蝕刻設(shè)備的制作方法

本發(fā)明涉及線路板微細(xì)線路蝕刻,具體為一種鋁線路板表面微細(xì)線路蝕刻設(shè)備。


背景技術(shù):

1、鋁線路板表面微細(xì)線路蝕刻設(shè)備是用于在鋁線路板表面制作微細(xì)線路的關(guān)鍵設(shè)備。這類設(shè)備通常具有高精度、高穩(wěn)定性和高自動(dòng)化程度的特點(diǎn)。

2、由于鋁線路板常用于高精度的電子產(chǎn)品中,表面線路通常為精度要求較高的微細(xì)線路,對(duì)于其微細(xì)電路的蝕刻,現(xiàn)有的方式主要通過(guò)化學(xué)蝕刻的方式,利用酸性或堿性的化學(xué)藥液與鋁線路板上暴露的銅發(fā)生化學(xué)反應(yīng),微細(xì)線路上覆蓋錫保護(hù)層,蝕刻完成后,去除錫保護(hù)層可得到微細(xì)電路。

3、然后現(xiàn)有在蝕刻的過(guò)程中采用噴淋的藥液的方式進(jìn)行化學(xué)蝕刻,其中噴淋的方式有水平式噴淋與垂直式噴淋,垂直式噴淋較與水平式噴淋效果較佳,垂直式噴淋通常不會(huì)出現(xiàn)“水池效應(yīng)”,但是兩者都還是會(huì)產(chǎn)生不同程度的側(cè)蝕現(xiàn)象,其主要原因?yàn)閮烧呶g刻后的銅斷面與化學(xué)藥劑的接觸時(shí)間長(zhǎng)導(dǎo)致的,進(jìn)而使得鋁線路板表面高精度微細(xì)線路制造困難,制造過(guò)程中的報(bào)廢率高。


技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本發(fā)明的目的在于提供一種鋁線路板表面微細(xì)線路蝕刻設(shè)備,以解決背景技術(shù)中提出的問(wèn)題。

2、為實(shí)現(xiàn)上述目的,本發(fā)明提供如下技術(shù)方案:一種鋁線路板表面微細(xì)線路蝕刻設(shè)備,包括外殼,所述外殼的內(nèi)側(cè)固定安裝有蝕刻機(jī)構(gòu),所述外殼的內(nèi)側(cè)通過(guò)矩形板固定安裝有運(yùn)輸機(jī)構(gòu),所述運(yùn)輸機(jī)構(gòu)上活動(dòng)連接有吸附機(jī)構(gòu),所述外殼的內(nèi)側(cè)底部固定安裝有引流機(jī)構(gòu);

3、所述蝕刻機(jī)構(gòu)包括驅(qū)動(dòng)組件、檢測(cè)組件、噴淋組件,所述外殼的內(nèi)側(cè)固定安裝有驅(qū)動(dòng)組件,所述驅(qū)動(dòng)組件的靠近運(yùn)輸機(jī)構(gòu)的一側(cè)固定安裝有噴淋組件,所述驅(qū)動(dòng)組件的兩側(cè)且在噴淋組件的外側(cè)固定連接有分布均勻的檢測(cè)組件;

4、所述噴淋組件包括吸管、噴淋管、噴頭、吸頭,所述驅(qū)動(dòng)組件靠近運(yùn)輸機(jī)構(gòu)的一側(cè)設(shè)置有交錯(cuò)分布的吸管、噴淋管,所述噴淋管上連通有分布均勻的噴頭,所述吸管上連通有分布均勻的吸頭;

5、所述吸附機(jī)構(gòu)包括鋁線路板,通過(guò)交錯(cuò)分布的所述噴頭、吸頭,對(duì)所述鋁線路板進(jìn)行交錯(cuò)式,噴淋與吸液。

6、噴頭向外噴淋藥液的形狀為扇形,同時(shí)吸頭對(duì)線路板內(nèi)微細(xì)線路槽內(nèi)的殘留藥液抽動(dòng),藥液的流通形態(tài)也為扇形形態(tài),使得藥液由線路板內(nèi)微細(xì)線路槽內(nèi)的兩側(cè)向吸頭集中匯聚,又由于噴頭、吸頭交錯(cuò)式設(shè)置有分布均勻的多組,經(jīng)過(guò)多次交錯(cuò)式的噴淋與吸液操作,以及鋁線路板與噴淋組件相向運(yùn)動(dòng),使得微細(xì)線路槽內(nèi)中部的銅與藥液的接觸時(shí)間增加,微細(xì)線路槽內(nèi)兩側(cè)面的銅與藥液的接觸時(shí)間減少,同時(shí)整體縮短微細(xì)線路槽內(nèi)的銅與藥液的接觸時(shí)間;進(jìn)而有效的減少了側(cè)蝕現(xiàn)象的發(fā)生;

7、進(jìn)一步的,所述運(yùn)輸機(jī)構(gòu)包括軌道架、導(dǎo)軌、鏈條、鏈輪、電機(jī)一、固定架,所述外殼內(nèi)側(cè)設(shè)置有軌道架,所述軌道架的一側(cè)固定連接有固定架,所述固定架上固定安裝有電機(jī)一,所述軌道架的四角均轉(zhuǎn)動(dòng)連接有鏈輪,一角所述鏈輪與電機(jī)一的輸出端固定連接,所述鏈輪的外側(cè)轉(zhuǎn)動(dòng)連接有矩形板,所述矩形板與外殼的內(nèi)側(cè)壁為固定連接,所述軌道架的一側(cè)固定連接有導(dǎo)軌,各鏈輪之間通過(guò)鏈條傳動(dòng)連接。

8、啟動(dòng)電機(jī)一,電機(jī)一的輸出端帶動(dòng)一角的鏈輪進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng),一角鏈輪在轉(zhuǎn)動(dòng)的同時(shí)通過(guò)鏈條的傳動(dòng)作用,進(jìn)而帶動(dòng)另三角的鏈輪進(jìn)行同步轉(zhuǎn)動(dòng),使得鏈條進(jìn)行環(huán)形轉(zhuǎn)動(dòng);

9、在鏈條進(jìn)行環(huán)形轉(zhuǎn)動(dòng)的同時(shí),通過(guò)連接板的連接作用,帶動(dòng)運(yùn)動(dòng)板通過(guò)滾輪在導(dǎo)軌的外側(cè)滾動(dòng),使得帶動(dòng)鋁線路板跟隨鏈條進(jìn)行環(huán)形運(yùn)動(dòng);

10、進(jìn)一步的,所述吸附機(jī)構(gòu)包括連接板、滾輪、運(yùn)動(dòng)板、固定板、安裝架、氣泵、吸盤、鋁線路板,所述鏈條遠(yuǎn)離軌道架的一側(cè)固定連接有連接板,所述連接板的一側(cè)固定連接有運(yùn)動(dòng)板,所述運(yùn)動(dòng)板上轉(zhuǎn)動(dòng)連接有分布均勻的滾輪,所述滾輪在導(dǎo)軌的外側(cè)滾動(dòng),所述運(yùn)動(dòng)板遠(yuǎn)離軌道架的一側(cè)固定連接有固定板,所述固定板遠(yuǎn)離運(yùn)動(dòng)板的一側(cè)固定連接有安裝架;

11、所述安裝架的內(nèi)側(cè)通過(guò)固定連接環(huán)固定連接有氣泵,所述安裝架上固定安裝有分布均勻的吸盤,所述氣泵與吸盤之間通過(guò)軟管連通,所述吸盤對(duì)鋁線路板進(jìn)行吸附。

12、啟動(dòng)氣泵,使得氣泵通過(guò)軟管對(duì)分布均勻的吸盤內(nèi)進(jìn)行抽氣,使得吸盤與鋁線路板的接觸區(qū)域形成負(fù)壓,進(jìn)而將鋁線路板穩(wěn)固吸附;

13、進(jìn)一步的,所述驅(qū)動(dòng)組件包括工作架臺(tái)、軌道板、電機(jī)二、螺紋桿、滑動(dòng)塊、承載臺(tái),所述外殼的內(nèi)側(cè)通過(guò)矩形板固定連接有工作架臺(tái),所述工作架臺(tái)靠近運(yùn)輸機(jī)構(gòu)的一側(cè)固定連接有軌道板,所述軌道板的上端固定連接有電機(jī)二,所述電機(jī)二的輸出端固定連接有螺紋桿,所述螺紋桿的另一端與軌道板的內(nèi)側(cè)壁為轉(zhuǎn)動(dòng)連接,所述軌道板上滑動(dòng)連接有滑動(dòng)塊,所述滑動(dòng)塊與螺紋桿為螺紋連接,所述滑動(dòng)塊靠近運(yùn)輸機(jī)構(gòu)的一側(cè)固定連接有承載臺(tái)。

14、進(jìn)一步的,所述檢測(cè)組件包括連接桿、電動(dòng)伸縮桿、紅外傳感器、固定塊、軌道盒,所述工作架臺(tái)的兩側(cè)且在噴淋組件的外側(cè)固定連接有分布均勻的連接桿,所述連接桿的上端固定連接有軌道盒,所述軌道盒的兩側(cè)均固定連接有電動(dòng)伸縮桿,所述電動(dòng)伸縮桿的另一端固定連接有固定塊,所述固定塊的另一端固定連接有紅外傳感器,兩組所述紅外傳感器、固定塊在軌道盒的內(nèi)側(cè)滑動(dòng)。

15、在鋁線路板逐漸向上噴淋蝕刻的同時(shí),首先外置控制系統(tǒng)根據(jù)銅板的厚度,通過(guò)控制電動(dòng)伸縮桿,進(jìn)而帶動(dòng)兩側(cè)的紅外傳感器在軌道盒內(nèi)運(yùn)動(dòng),使得兩側(cè)紅外傳感器之間的射線間距等于銅板的厚度,兩射線各對(duì)應(yīng)銅板截面的兩端點(diǎn),鋁線路板上的各微細(xì)線路槽依次經(jīng)過(guò)多組紅外傳感器,兩側(cè)的紅外傳感器射線在與銅接觸時(shí),當(dāng)兩側(cè)的紅外傳感器射線與微細(xì)線路槽內(nèi)側(cè)面斷面銅的同時(shí)接觸時(shí),證明無(wú)側(cè)蝕現(xiàn)象發(fā)生,

16、當(dāng)兩側(cè)的紅外傳感器射線與微細(xì)線路槽內(nèi)側(cè)面斷面銅不同時(shí)接觸時(shí),其中所接觸的時(shí)間差,可以根據(jù)鋁線路板、噴淋組件的運(yùn)行速度,計(jì)算出,此時(shí)的側(cè)蝕程度,進(jìn)而外置控制系統(tǒng)及時(shí)調(diào)整,吸頭的吸力強(qiáng)度,進(jìn)而控制微細(xì)線路槽內(nèi)中部的銅與藥液的接觸時(shí)間增或減,微細(xì)線路槽內(nèi)兩側(cè)面的銅與藥液的接觸時(shí)間增或減;

17、進(jìn)一步的,所述噴淋組件還包括連接框、導(dǎo)流管、注液管,所述承載臺(tái)靠近運(yùn)輸機(jī)構(gòu)的一側(cè)固定連接有連接框,所述連接框與噴淋管、吸管為固定連接,所述噴淋管上連通有注液管,所述吸管上連通有導(dǎo)流管。

18、啟動(dòng)電機(jī)二,電機(jī)二帶動(dòng)螺紋桿轉(zhuǎn)動(dòng),使得螺紋桿在轉(zhuǎn)動(dòng)的同時(shí)帶動(dòng)滑動(dòng)塊沿著電機(jī)二向下滑動(dòng),進(jìn)而同步帶動(dòng)噴淋組件向下運(yùn)動(dòng),使得噴淋組件與鋁線路板相向運(yùn)動(dòng);

19、在鋁線路板與最底側(cè)的噴頭相交接時(shí),外置的控制系統(tǒng)啟動(dòng)外置的藥液供給設(shè)備對(duì)注液管內(nèi)通入蝕刻藥液,使得噴頭對(duì)鋁線路板進(jìn)行扇形噴淋藥液,此時(shí)鋁線路板與噴淋組件相向運(yùn)動(dòng),同時(shí)進(jìn)行;

20、進(jìn)一步的,所述引流機(jī)構(gòu)包括引流組件、引力組件,所述外殼的內(nèi)側(cè)底部固定安裝有引流組件,所述引流組件靠近運(yùn)輸機(jī)構(gòu)的一側(cè)連通有引力組件。

21、進(jìn)一步的,所述引流組件包括引流盒、蜂窩板、流道假體、引流吸盤,所述外殼的內(nèi)側(cè)底部固定連接有引流盒,所述引流盒的內(nèi)側(cè)固定連接有蜂窩板,所述引流盒的上側(cè)連通有分布均勻的引流吸盤,所述蜂窩板的內(nèi)側(cè)設(shè)置有流道假體,所述蜂窩板的內(nèi)側(cè)開(kāi)設(shè)有與流道假體相對(duì)應(yīng)的流道,所述引流盒的上部?jī)?nèi)側(cè)與引流吸盤之間設(shè)置有空腔。

22、進(jìn)一步的,所述引力組件包括支撐架、電機(jī)三、風(fēng)筒、鼓風(fēng)葉輪,所述外殼的內(nèi)部底側(cè)壁固定連接有支撐架,所述支撐架的上側(cè)固定連接有電機(jī)三,所述支撐架靠近引流組件的一側(cè)固定連接有風(fēng)筒,所述風(fēng)筒的內(nèi)側(cè)設(shè)置有鼓風(fēng)葉輪,所述電機(jī)三的輸出端與鼓風(fēng)葉輪為固定連接,所述風(fēng)筒設(shè)置有兩出口,一所述出口通過(guò)直通管與流道假體相連通,另一所述出口與外殼內(nèi)側(cè)底部空腔相對(duì)應(yīng)。

23、啟動(dòng)電機(jī)三,電機(jī)三帶動(dòng)鼓風(fēng)葉輪進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng),使得其產(chǎn)生由直通管向風(fēng)筒處的風(fēng)力,進(jìn)而對(duì)導(dǎo)流管內(nèi)進(jìn)行抽氣,在對(duì)導(dǎo)流管內(nèi)進(jìn)行抽氣的同時(shí),使得與之相連通的吸頭處形成負(fù)壓,進(jìn)而外殼對(duì)線路板內(nèi)進(jìn)行噴淋殘留的藥液進(jìn)行抽動(dòng);

24、進(jìn)一步的,所述直通管與導(dǎo)流管相連通,所述外殼的外側(cè)底部連通有排液管。

25、在導(dǎo)流管將藥液通過(guò)直通管經(jīng)過(guò)風(fēng)筒向外殼內(nèi)側(cè)底部排出的同時(shí),直通管對(duì)蜂窩板內(nèi)產(chǎn)生吸力,由于直通管與蜂窩板內(nèi)開(kāi)設(shè)的流道假體流道相連通,根據(jù)氣體由低阻路徑優(yōu)先的流通原則,使得蜂窩板對(duì)引流吸盤生產(chǎn)分布均勻的向下吸力,進(jìn)而引流吸盤對(duì)上側(cè)噴淋產(chǎn)生的藥液霧氣引導(dǎo)其向下流通,避免了霧氣長(zhǎng)時(shí)間停留在鋁線路板上,對(duì)線路蝕刻產(chǎn)生不良影響,外殼內(nèi)側(cè)底部的廢藥液通過(guò)排液管向外置的收集裝置內(nèi)流通。

26、與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明提供了一種鋁線路板表面微細(xì)線路蝕刻設(shè)備,具備以下有益效果:

27、1、該鋁線路板表面微細(xì)線路蝕刻設(shè)備,通過(guò)運(yùn)輸機(jī)構(gòu)、吸附機(jī)構(gòu)、蝕刻機(jī)構(gòu)、引流機(jī)構(gòu)之間的配合作用,進(jìn)而實(shí)現(xiàn)了可以全自動(dòng)化,進(jìn)行垂直化學(xué)噴淋的蝕刻鋁線路板的目的,大幅提高了鋁線路板微細(xì)線路的蝕刻效率,同時(shí)通過(guò)多次交錯(cuò)式的噴淋與吸液操作,以及鋁線路板與噴淋組件相向運(yùn)動(dòng),使得微細(xì)線路槽內(nèi)中部的銅與藥液的接觸時(shí)間增加,微細(xì)線路槽內(nèi)兩側(cè)面的銅與藥液的接觸時(shí)間減少,同時(shí)整體縮短微細(xì)線路槽內(nèi)的銅與藥液的接觸時(shí)間;進(jìn)而有效的減少了側(cè)蝕現(xiàn)象的發(fā)生,解決了現(xiàn)有蝕刻后的銅斷面與化學(xué)藥劑的接觸時(shí)間長(zhǎng)導(dǎo)致的,進(jìn)而使得鋁線路板表面高精度微細(xì)線路制造困難,制造過(guò)程中的報(bào)廢率高的問(wèn)題。

28、2、該鋁線路板表面微細(xì)線路蝕刻設(shè)備,通過(guò)檢測(cè)組件中兩側(cè)的紅外傳感器與微細(xì)線路槽內(nèi)側(cè)面斷面銅的接觸情況,可以實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)鋁線路板微細(xì)線路槽內(nèi)的側(cè)蝕程度,通過(guò)實(shí)時(shí)側(cè)蝕程度數(shù)據(jù)反饋,可以對(duì)應(yīng)的及時(shí)調(diào)整的吸力強(qiáng)度,進(jìn)而控制微細(xì)線路槽內(nèi)中部的銅與藥液的接觸時(shí)間增或減,微細(xì)線路槽內(nèi)兩側(cè)面的銅與藥液的接觸時(shí)間增或減,進(jìn)一步有效避免側(cè)蝕現(xiàn)象發(fā)生。

29、3、該鋁線路板表面微細(xì)線路蝕刻設(shè)備,通過(guò)引流機(jī)構(gòu)可以對(duì)噴淋產(chǎn)生的藥液霧氣均勻的引導(dǎo)其向下流通,避免了霧氣長(zhǎng)時(shí)間停留在鋁線路板上,對(duì)線路蝕刻產(chǎn)生不良影響。

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