本技術(shù)涉及半導(dǎo)體器件，更具體地說，涉及一種聲表面波諧振器及濾波器。

背景技術(shù)：

1、saw(surface?acoustic?wave，聲表面波)諧振器是聲表面波諧振器的簡稱，是一種利用其壓電效應(yīng)和聲表面波傳播的物理特性而制成的一種濾波專用器件，廣泛應(yīng)用于各種各樣的領(lǐng)域中，例如射頻領(lǐng)域。其中聲表面波是一種能量集中在表面附近的彈性波。

2、在目前的聲表面波產(chǎn)品設(shè)計中，saw諧振器往往不能使用于較高的功率環(huán)境，因其功率耐受性往往有較大的限制，因此如何提高saw諧振器的功率耐受性是本領(lǐng)域技術(shù)人員亟需解決的技術(shù)問題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、有鑒于此，為解決上述問題，本實(shí)用新型提供一種聲表面波諧振器及濾波器，技術(shù)方案如下：

2、一種聲表面波諧振器，所述聲表面波諧振器包括：

3、基板；

4、位于所述基板一側(cè)的叉指電極；

5、位于所述叉指電極背離所述基板一側(cè)的溫度補(bǔ)償層，所述溫度補(bǔ)償層在所述基板所在平面上的正投影至少完全覆蓋所述叉指電極在所述基板所在平面上的正投影；

6、位于所述溫度補(bǔ)償層背離所述基板一側(cè)的導(dǎo)熱層；所述導(dǎo)熱層在所述基板所在平面上的正投影至少覆蓋所述叉指電極在所述基板所在平面上的正投影。

7、優(yōu)選的，在上述聲表面波諧振器中，所述導(dǎo)熱層包括第一導(dǎo)熱層；

8、所述第一導(dǎo)熱層的厚度大于40nm。

9、優(yōu)選的，在上述聲表面波諧振器中，所述導(dǎo)熱層還包括：

10、位于所述第一導(dǎo)熱層背離所述基板一側(cè)的第二導(dǎo)熱層。

11、優(yōu)選的，在上述聲表面波諧振器中，所述溫度補(bǔ)償層的厚度范圍為0.2λ-0.5λ，其中，λ表示聲表面波諧振器的聲表面波的波長。

12、優(yōu)選的，在上述聲表面波諧振器中，所述叉指電極包括匯流條，所述匯流條包括在第一方向上相對設(shè)置的第一匯流條和第二匯流條，以及位于所述第一匯流條上的第一電極指條和位于所述第二匯流條上的第二電極指條；所述第一匯流條和第二匯流條的長度延伸方向相同，均沿第二方向延伸，所述第一方向和所述第二方向平行于所述基板所在平面，且所述第一方向和所述第二方向相交。

13、優(yōu)選的，在上述聲表面波諧振器中，所述聲表面波諧振器還包括：

14、位于所述第一匯流條上的多條第一假電極指條，位于所述第二匯流條上的多條第二假電極指條，所述第一假電極指條的長度延伸方向與所述第一方向平行，所述第二假電極指條的長度延伸方向與所述第一方向平行。

15、優(yōu)選的，在上述聲表面波諧振器中，位于所述叉指電極沿主聲學(xué)模式傳播方向的至少一端的反射柵；

16、所述導(dǎo)熱層在所述基板所在平面上的正投影還覆蓋所述反射柵在所述基板所在平面上的正投影。

17、本申請還提供了一種濾波器，所述濾波器包括上述任一項(xiàng)所述的聲表面波諧振器。

18、相較于現(xiàn)有技術(shù)，本實(shí)用新型實(shí)現(xiàn)的有益效果為：

19、本實(shí)用新型提供的一種聲表面波諧振器及濾波器，通過在溫度補(bǔ)償層的上方形成至少一層導(dǎo)熱層，使聲表面波諧振器產(chǎn)生的熱量可以通過該至少一層導(dǎo)熱層更容易的散發(fā)出去，以此提高表面波諧振器的最大功率耐受的效果，保證聲表面波諧振器可以使用于較高的功率環(huán)境。

技術(shù)特征：

1.一種聲表面波諧振器，其特征在于，所述聲表面波諧振器包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的聲表面波諧振器，其特征在于，所述導(dǎo)熱層包括第一導(dǎo)熱層；

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的聲表面波諧振器，其特征在于，所述導(dǎo)熱層還包括：

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的聲表面波諧振器，其特征在于，所述溫度補(bǔ)償層的厚度范圍為0.2λ-0.5λ，其中，λ表示聲表面波諧振器的聲表面波的波長。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的聲表面波諧振器，其特征在于，所述叉指電極包括匯流條，所述匯流條包括在第一方向上相對設(shè)置的第一匯流條和第二匯流條，以及位于所述第一匯流條上的第一電極指條和位于所述第二匯流條上的第二電極指條；所述第一匯流條和第二匯流條的長度延伸方向相同，均沿第二方向延伸，所述第一方向和所述第二方向平行于所述基板所在平面，且所述第一方向和所述第二方向相交。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的聲表面波諧振器，其特征在于，所述聲表面波諧振器還包括：

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的聲表面波諧振器，其特征在于，位于所述叉指電極沿主聲學(xué)模式傳播方向的至少一端的反射柵；

8.一種濾波器，其特征在于，所述濾波器包括權(quán)利要求1-7任一項(xiàng)所述的聲表面波諧振器。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)提供了一種聲表面波諧振器及濾波器，涉及半導(dǎo)體器件技術(shù)領(lǐng)域，通過在溫度補(bǔ)償層的上方形成至少一層導(dǎo)熱層，使聲表面波諧振器產(chǎn)生的熱量可以通過該至少一層導(dǎo)熱層更容易的散發(fā)出去，以此提高表面波諧振器的最大功率耐受的效果，保證聲表面波諧振器可以使用于較高的功率環(huán)境。

技術(shù)研發(fā)人員：孫越洋,高安明,路曉明,姜偉
受保護(hù)的技術(shù)使用者：浙江星曜半導(dǎo)體有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240109
技術(shù)公布日：2025/1/2