本技術(shù)涉及半導(dǎo)體，尤其涉及一種濾波器。

背景技術(shù)：

1、薄膜體聲波諧振器具有體積小、頻率高、功率容量大、靈敏度高等優(yōu)點，在通信、傳感器等領(lǐng)域發(fā)揮著重要作用。

2、單個濾波器中包括多個薄膜體聲波諧振器，在薄膜體聲波諧振器工作過程中不可避免的會產(chǎn)生熱能，由于薄膜體聲波諧振器中存在空腔結(jié)構(gòu)，空氣的導(dǎo)熱性差，導(dǎo)致熱量在空腔中累積，進而出現(xiàn)溫度過高，影響濾波器工作效率及壽命的問題。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本實用新型提供了一種濾波器，以解決現(xiàn)有技術(shù)中濾波器散熱效率低，易導(dǎo)致熱量在空腔中累積，進而影響濾波器工作效率及壽命的問題。

2、根據(jù)本實用新型提供的一種濾波器，其中包括：諧振器和散熱結(jié)構(gòu)；

3、諧振器包括襯底和設(shè)置在襯底一側(cè)的換能器堆疊結(jié)構(gòu)，襯底和換能器堆疊結(jié)構(gòu)之間設(shè)置有空腔；

4、散熱結(jié)構(gòu)包括至少一個第一散熱結(jié)構(gòu)和至少一個第二散熱結(jié)構(gòu)；

5、第一散熱結(jié)構(gòu)設(shè)置在襯底中且第一散熱結(jié)構(gòu)的熱導(dǎo)率大于襯底的熱導(dǎo)率；

6、第二散熱結(jié)構(gòu)與換能器堆疊結(jié)構(gòu)接觸；第二散熱結(jié)構(gòu)的熱導(dǎo)率大于空氣熱導(dǎo)率。

7、可選的，濾波器還包括電路板；

8、電路板設(shè)置在換能器堆疊結(jié)構(gòu)遠離襯底一側(cè)且與換能器堆疊結(jié)構(gòu)電連接；

9、第二散熱結(jié)構(gòu)還與電路板接觸。

10、可選的，換能器堆疊結(jié)構(gòu)包括壓電層，電路板包括電路板本體；

11、第二散熱結(jié)構(gòu)接觸壓電層并貫穿電路板本體。

12、可選的，散熱結(jié)構(gòu)還包括第三散熱結(jié)構(gòu)；

13、第三散熱結(jié)構(gòu)設(shè)置在襯底遠離換能器堆疊結(jié)構(gòu)一側(cè)且第三散熱結(jié)構(gòu)與第二散熱結(jié)構(gòu)接觸；

14、第三散熱結(jié)構(gòu)的熱導(dǎo)率大于襯底的熱導(dǎo)率。

15、可選的，沿濾波器的厚度方向，第三散熱結(jié)構(gòu)覆蓋襯底。

16、可選的，襯底包括第一襯底分部，沿濾波器的厚度方向，第一襯底分部與空腔交疊；

17、第一散熱結(jié)構(gòu)設(shè)置于第一襯底分部中。

18、可選的，沿濾波器的厚度方向，第一散熱結(jié)構(gòu)貫穿第一襯底分部。

19、可選的，襯底包括第二襯底分部，沿濾波器的厚度方向，第二襯底分部與空腔不交疊且第二襯底分部與換能器堆疊結(jié)構(gòu)接觸；

20、第一散熱結(jié)構(gòu)設(shè)置于第二襯底分部中。

21、可選的，沿濾波器的厚度方向，第一散熱結(jié)構(gòu)貫穿第二襯底分部。

22、可選的，濾波器還包括封裝層，封裝層至少覆蓋襯底的下表面和側(cè)面且覆蓋換能器堆疊結(jié)構(gòu)的側(cè)面；

23、第二散熱結(jié)構(gòu)與封裝層接觸；

24、襯底的下表面包括遠離換能器堆疊結(jié)構(gòu)的表面。

25、本實用新型的技術(shù)方案，通過在濾波器中設(shè)置散熱結(jié)構(gòu)，將第一散熱結(jié)構(gòu)設(shè)置在襯底中，第一散熱結(jié)構(gòu)的熱導(dǎo)率大于襯底的熱導(dǎo)率使得空腔中累積的熱量快速導(dǎo)出，避免空腔中的熱量累積導(dǎo)致器件損壞的問題；同時，將第二散熱結(jié)構(gòu)設(shè)置與換能器堆疊結(jié)構(gòu)接觸，進一步提高換能器堆疊結(jié)構(gòu)的散熱效率，使得換能器堆疊結(jié)構(gòu)的熱量優(yōu)先傳輸至第二散熱結(jié)構(gòu)或者襯底中，避免了空腔中熱量的累積，提高了濾波器的散熱效率，達到提高濾波器功率容量的目的。

26、應(yīng)當理解，本部分所描述的內(nèi)容并非旨在標識本實用新型的實施例的關(guān)鍵或重要特征，也不用于限制本實用新型的范圍。本實用新型的其它特征將通過以下的說明書而變得容易理解。

技術(shù)特征：

1.一種濾波器，其特征在于，包括：諧振器和散熱結(jié)構(gòu)；

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的濾波器，其特征在于，所述濾波器還包括電路板；

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的濾波器，其特征在于，所述換能器堆疊結(jié)構(gòu)包括壓電層，所述電路板包括電路板本體；

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的濾波器，其特征在于，所述散熱結(jié)構(gòu)還包括第三散熱結(jié)構(gòu)；

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的濾波器，其特征在于，沿所述濾波器的厚度方向，所述第三散熱結(jié)構(gòu)覆蓋所述襯底。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的濾波器，其特征在于，所述襯底包括第一襯底分部，沿所述濾波器的厚度方向，所述第一襯底分部與所述空腔交疊；

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的濾波器，其特征在于，沿所述濾波器的厚度方向，所述第一散熱結(jié)構(gòu)貫穿所述第一襯底分部。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的濾波器，其特征在于，所述襯底包括第二襯底分部，沿所述濾波器的厚度方向，所述第二襯底分部與所述空腔不交疊且所述第二襯底分部與所述換能器堆疊結(jié)構(gòu)接觸；

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的濾波器，其特征在于，沿所述濾波器的厚度方向，所述第一散熱結(jié)構(gòu)貫穿所述第二襯底分部。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的濾波器，其特征在于，所述濾波器還包括封裝層，所述封裝層至少覆蓋所述襯底的下表面和側(cè)面且覆蓋所述換能器堆疊結(jié)構(gòu)的側(cè)面；

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)公開了一種濾波器。其中，該濾波器包括：諧振器和散熱結(jié)構(gòu)；諧振器包括襯底和設(shè)置在襯底一側(cè)的換能器堆疊結(jié)構(gòu)，襯底和換能器堆疊結(jié)構(gòu)之間設(shè)置有空腔；散熱結(jié)構(gòu)包括至少一個第一散熱結(jié)構(gòu)和至少一個第二散熱結(jié)構(gòu)；第一散熱結(jié)構(gòu)設(shè)置在襯底中且第一散熱結(jié)構(gòu)的熱導(dǎo)率大于襯底的熱導(dǎo)率；第二散熱結(jié)構(gòu)與換能器堆疊結(jié)構(gòu)接觸；第二散熱結(jié)構(gòu)的熱導(dǎo)率大于空氣熱導(dǎo)率。本技術(shù)的技術(shù)方案，通過在濾波器中設(shè)置散熱結(jié)構(gòu)，將第一散熱結(jié)構(gòu)設(shè)置在襯底中，避免空腔中的熱量累積導(dǎo)致器件損壞的問題；同時，將第二散熱結(jié)構(gòu)設(shè)置與換能器堆疊結(jié)構(gòu)接觸，進一步提高換能器堆疊結(jié)構(gòu)的散熱效率，提高了濾波器的散熱效率，達到提高濾波器功率容量的目的。

技術(shù)研發(fā)人員：王雅馨,蔡耀,代金豪,楊超翔,劉炎,孫博文,孫成亮
受保護的技術(shù)使用者：武漢敏聲新技術(shù)有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240517
技術(shù)公布日：2025/1/9