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一種表面波濾波器叉指條末端補(bǔ)償結(jié)構(gòu)的制作方法

文檔序號(hào):40593425發(fā)布日期:2025-01-07 20:33閱讀:8來(lái)源:國(guó)知局
一種表面波濾波器叉指條末端補(bǔ)償結(jié)構(gòu)的制作方法

本技術(shù)涉及聲表面波器件,尤其涉及一種表面波濾波器叉指條末端補(bǔ)償結(jié)構(gòu)。


背景技術(shù):

1、聲表面波器件是利用聲表面波對(duì)電信號(hào)進(jìn)行模擬處理的器件,主要包括聲表面波諧振器和聲表面波濾波器等相關(guān)器件,其主要換能單元稱為叉指換能器,為了抑制波導(dǎo)模式,往往在叉指換能器匯流條端設(shè)計(jì)假指,叉指換能器通過(guò)半導(dǎo)體工藝包括鍍膜、光刻等把掩膜版上的圖像轉(zhuǎn)嫁到壓電晶片上來(lái)完成,然后通過(guò)劃片、貼片、焊引線、封裝等工藝完成器件的制作,在光刻的過(guò)程中由于光學(xué)鄰近效應(yīng)的影響,造成指條末端邊緣失真變成圓角,邊緣圓角可能導(dǎo)致尖端放電,影響產(chǎn)品性能,對(duì)于指條末端補(bǔ)償,常規(guī)采用的是在末端僅加方形補(bǔ)償,如圖2所示,但由于光刻的工藝控制等原因,往往在指條末端會(huì)形成微小的臺(tái)階,類似末端加權(quán),形成新的雜散信號(hào)。


技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本實(shí)用新型的目的是上述技術(shù)問(wèn)題,提出一種表面波濾波器叉指條末端補(bǔ)償結(jié)構(gòu)。

2、為了實(shí)現(xiàn)上述目的,本實(shí)用新型采用了如下技術(shù)方案:

3、設(shè)計(jì)一種表面波濾波器叉指條末端補(bǔ)償結(jié)構(gòu),包括對(duì)稱設(shè)在叉指條末端的方形部,所述方形部具有相鄰的橫向邊和縱向邊,所述橫向邊連接有縱向延伸部,所述縱向邊連接有橫向延伸部,相對(duì)的兩個(gè)所述橫向延伸部通過(guò)連接部連接。

4、進(jìn)一步的,所述縱向延伸部的寬度向遠(yuǎn)離所述橫向邊的方向逐漸減小。

5、進(jìn)一步的,所述縱向延伸部的形狀為直角三角形。

6、進(jìn)一步的,所述橫向延伸部的寬度由所述縱向邊向所述連接部的方向逐漸減小。

7、進(jìn)一步的,所述橫向延伸部的形狀為直角三角形。

8、進(jìn)一步的,所述縱向延伸部具有縱向直角邊,所述橫向延伸部具有橫向直角邊,所述縱向直角邊和所述橫向直角邊連接且相互垂直。

9、本實(shí)用新型提出的一種表面波濾波器叉指條末端補(bǔ)償結(jié)構(gòu),有益效果在于:本實(shí)用新型填充了現(xiàn)有技術(shù)中方形部和叉指條的空隙,光刻時(shí)在光學(xué)鄰近效應(yīng)的作用下,叉指條末端的邊沿會(huì)平緩變化,達(dá)到補(bǔ)償指條末端的效果,也避免雜散信號(hào)的產(chǎn)生,通過(guò)掩膜版指條末端增加補(bǔ)償圖形,有效提高了產(chǎn)品的q值和帶寬,進(jìn)一步提高了產(chǎn)品的性能。



技術(shù)特征:

1.一種表面波濾波器叉指條末端補(bǔ)償結(jié)構(gòu),包括對(duì)稱設(shè)在叉指條末端(1)的方形部(2),其特征在于:所述方形部(2)具有相鄰的橫向邊(201)和縱向邊(202),所述橫向邊(201)連接有縱向延伸部(3),所述縱向邊(202)連接有橫向延伸部(4),相對(duì)的兩個(gè)所述橫向延伸部(4)通過(guò)連接部(5)連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種表面波濾波器叉指條末端補(bǔ)償結(jié)構(gòu),其特征在于:所述縱向延伸部(3)的寬度向遠(yuǎn)離所述橫向邊(201)的方向逐漸減小。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種表面波濾波器叉指條末端補(bǔ)償結(jié)構(gòu),其特征在于:所述縱向延伸部(3)的形狀為直角三角形。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種表面波濾波器叉指條末端補(bǔ)償結(jié)構(gòu),其特征在于:所述橫向延伸部(4)的寬度由所述縱向邊(202)向所述連接部(5)的方向逐漸減小。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種表面波濾波器叉指條末端補(bǔ)償結(jié)構(gòu),其特征在于:所述橫向延伸部(4)的形狀為直角三角形。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種表面波濾波器叉指條末端補(bǔ)償結(jié)構(gòu),其特征在于:所述縱向延伸部(3)具有縱向直角邊(301),所述橫向延伸部(4)具有橫向直角邊(401),所述縱向直角邊(301)和所述橫向直角邊(401)連接且相互垂直。


技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)涉及聲表面波器件技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種表面波濾波器叉指條末端補(bǔ)償結(jié)構(gòu),包括對(duì)稱設(shè)在叉指條末端的方形部,所述方形部具有相鄰的橫向邊和縱向邊,所述橫向邊連接有縱向延伸部,所述縱向邊連接有橫向延伸部,相對(duì)的兩個(gè)所述橫向延伸部通過(guò)連接部連接,本技術(shù)填充了現(xiàn)有技術(shù)中方形部和叉指條的空隙,光刻時(shí)在光學(xué)鄰近效應(yīng)的作用下,叉指條末端的邊沿會(huì)平緩變化,達(dá)到補(bǔ)償指條末端的效果,也避免雜散信號(hào)的產(chǎn)生,通過(guò)掩膜版指條末端增加補(bǔ)償圖形,有效提高了產(chǎn)品的Q值和帶寬,進(jìn)一步提高了產(chǎn)品的性能。

技術(shù)研發(fā)人員:蔣燕港,張少華,董謙
受保護(hù)的技術(shù)使用者:浙江華遠(yuǎn)微電科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日:20240522
技術(shù)公布日:2025/1/6
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