專利名稱：表面波諧振器的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及利用HS型即水平切變型(horizontal shear)表面波，諸如BGS(Bleustein-Gulyaev-Shimizu)和Love波等的端面反射型表面波諧振器，更具體地，是涉及把多個諧振單元作成單個部件的端面反射型表面波諧振器。
電視接收機或錄像機的視頻中頻級中，在相鄰頻道的視頻信號頻率fap處(對于美國的NTSC制式的裝置為39.75MHz)以及相鄰頻道的音頻視頻信號fas處(對于美國的NTSC制式的裝置為47.25MHz)，信號必須有很大的衰減，以便防止在該級與相鄰信道之間出現(xiàn)差拍問題。

圖1顯示了視頻中頻級的衰減和頻率特性間的關系，其中在上述相鄰頻道的視頻信號頻率fap和音頻信號頻率fas處保持了很大的衰減量。
為了在上述相鄰頻道的視頻信號頻率fap和音頻信號頻率fas處保持有很大的衰減量，使用了兩個陷波電路，一個提供在相鄰頻道的視頻信號頻率fap處的大衰減量，另一個提供在相鄰頻道的音頻信號頻率fas處的大衰減量。每個這樣的陷波電路可以由LC諧振電路或壓電諧振器等制成。
利用諸如BGS波的HS型表面波的壓電諧振器作為適用這樣的用途的壓電諧振器而受到重視。圖2顯示了利用BGS波的端面反射型表面波諧振器的一個例子。
端面反射型表面波諧振器1可使用矩形表面的壓電基片2來制作。壓電基片2由壓電材料，諸如鈦酸鉛-鋯酸鉛型壓電陶瓷和包括LiNbO3(鈮酸鋰)與LiTaO3(鉭酸鋰)在內(nèi)的壓電單晶材料等制成。當使用壓電陶瓷時，它沿圖2的箭頭P方向極化。一對梳狀電極3和4被做在壓電基片2的上表面2a上，以提供交指形換能器(后面簡稱為IDT)。梳狀電極3和4分別具有多個指形電極3a到3c和多個指形電極4a到4c。
交流電壓從梳狀電極3和4處加上，以便在端面反射型表面波諧振器1中激勵起B(yǎng)GS波，BGS波沿著圖2的箭頭X方向傳播。該BGS波在壓電基片2的端面2b和2c之間反射。
在端面反射型表面波諧振器1中，有效諧振特性可藉使IDT所確定的頻率和端面之間距離所確定的頻率相匹配的方法而獲得。
然而上述的端面反射型表面波諧振器只有一個諧振特性，就像LC諧振電路和其它類型的壓電諧振器一樣。所以，為了獲得在兩個頻率(也就是相鄰頻道的視頻信號頻率fap和相鄰頻道的音頻信號頻率fas)處所希望要的陷波特性，就必須設置并連接兩個表面波諧振器。
利用瑞利(Rayleigh)波的聲表面波諧振器已被提出，其中由一個單諧振器可得到兩個諧振特性(例如，參考“Kokusai-Gihou”即在日本出版的國際電氣技術會報，No.16，pp.1-7，1992)。特別地，在利用瑞利波的表面波諧振器濾波器中，利用0-階縱型(基波型)和2-階縱型的雙模諧振器是熟知的。在這種雙模諧振器中，要獲得兩個諧振特性必須有兩個或兩個以上的IDT和反射器。而且，這種雙模諧振器的諧振特性由反射器反射系數(shù)與頻率之間關系所確定。由于保持大反射系數(shù)的頻率范圍很窄，兩個諧振點之間的頻率差非常小，大約為1MHz左右，在此范圍內(nèi)可獲得想要的諧振特性。因此，使用這種雙模諧振器不可能做出具有圖1所示特性的陷波濾波器。
在端面反射型表面波諧振器中，獲得上述的兩個諧振特性的一種方法可以是在壓電基片上制作兩個IDT以構(gòu)成兩個諧振單元。然而，在利用諸如BGS波的HS型表面波的端面反射型表面波諧振器中，IDT的波長λ與在壓電基片上表面波來回反射的兩個相反端面之間的距離L具有如圖3示意性地表示的關系，其中 (N是整數(shù))。
因此，對于諧振點為相鄰頻道的視頻信號頻率fap的諧振單元和諧振點為相鄰頻道的音頻信號頻率fas的諧振單元來說，兩個相反端面之間的距離L值可取得不同。所以，已注意到，藉助于在同一基片上制成具有兩個不同諧振頻率的諧振單元的方法，要構(gòu)成利用HS型表面波的表面波諧振器是非常困難的。
本發(fā)明的一個目的是提供一種利用HS型表面波的端面反射型表面波諧振器，其中至少兩個具有不同諧振頻率的諧振單元被形成在單個構(gòu)件上。
按照本發(fā)明的第一方面，提供了一種端面反射型表面波諧振器，其中水平切變型表面波被壓電基片的兩個相反端面所反射，該諧振器包括具有兩個相反端面的壓電基片和形成在壓電基片上的第一和第二IDT(交指形換能器)。第一諧振單元由其上面做有第一IDT的部分構(gòu)成，第二諧振單元由其上面做有第二IDT的部分構(gòu)成，它具有不同于第一諧振單元的諧振頻率f1的諧振頻率f2。距離L被做成等于或接近 N1(N1是整數(shù))，而N2(N2是整數(shù))被選成使 N2接近于距離L，其中L代表兩個相反端面之間的距離；λ1代表第一諧振單元所激勵的表面波波長；以及λ2·代表第二諧振單元所激勵的表面波波長。
特別地，按照本發(fā)明第一方面的端面反射型表面波諧振器包括藉助于在具有兩個互相相反的端面的壓電基片上形成第一和第二IDT的方式給出的、具有不同諧振頻率的第一和第二諧振單元。每個諧振單元激勵HS型表面波，就像上述的利用BGS波的端面反射型表面波諧振器1那樣，且HS型表面波被壓電基片的兩個相反端面反射。
除了BGS波以外，術語“HS型表面波”意指包括Love波在內(nèi)的一般表面波，Love波在與表面波傳播方向相垂直的方向上有位移分量。
按照本發(fā)明的第一方面，在具有上述第一和第二諧振單元的端面反射型表面波諧振器中，兩個相反端面間的距離L和分別由第一和第二諧振單元激勵的表面波的波長λ1和λ2被選成滿足以上所述的關系。特別地，距離L被做成等于或接近 N1，而N2被選成使 N2接近于距離L。在按照本發(fā)明的表面波諧振器中，由于距離L如上述的那樣被決定，第一諧振單元提供所要的諧振特性。另一方面，第二諧振單元的N2值在第一諧振單元諧振特性被做成在上述范圍內(nèi)以后再被決定。
雖然距離L被做成等于或接近 N1，但最好使L處于 的范圍中。眾所周知，當兩個相反端面之間距離L的誤差處于 范圍內(nèi)，端面反射型表面波諧振器提供能被接受的諧振特性。所以，以上所限定的“等于或接近 N1”的范圍，也就是說，為獲得第一諧振單元的所要的諧振特性的能允許的距離L的范圍是如上所述的 另一方面，對第二諧振單元，并不必須使距離L2等于 N2。通常認為在端面反射型表面波諧振器中，距離L必須等于所激勵的表面波波長乘以1/2乘以整數(shù)。其理由是若距離L偏離此值則會導致較低頻率區(qū)域內(nèi)的起伏(ripple)。然而，在某些應用中，在某些低頻處的這種起伏并不會引起什么問題。例如，當?shù)谝恢C振單元的諧振頻率f1高于第二諧振單元的諧振頻率f2時，在低于第二諧振單元的諧振點的頻率范圍中的起伏可以不成為問題。在這種情況下，若距離L偏離最佳值，對于第二諧振單元將不是嚴重問題。所以，盡管第二諧振單元的N2被選成使 N2接近于距離L但并不必須要求距離L等于 N2。更進一步地，距離L還可以超出由 所表示的范圍。
用于電視接收機或錄像機的視頻中頻級的陷波電路可被引用作為應用例，在其中，以上所述的在低于第一諧振單元諧振頻率的第二諧振單元的諧振頻率的更低頻率區(qū)域內(nèi)的起伏不會引起什么問題。換句話說，當?shù)谝恢C振頻率f1是相鄰頻道的音頻信號頻率fas及第二諧振頻率f2是相鄰頻道的視頻信號頻率fap時，即使如上所述在低于相鄰頻道視頻信號頻率的范圍內(nèi)出現(xiàn)起伏也沒有問題。
因此，按照本發(fā)明的端面反射型表面波諧振器被優(yōu)選地用來作為用于上述的視頻中頻級中的陷波電路的諧振器。
第一和第二諧振單元可以藉在壓電基片上至少形成一個溝槽的方法而被互相分隔開。在這樣情況下，第一和第二諧振單元中的每個單元的兩個端面中的一個就由溝槽的內(nèi)壁構(gòu)成。
按照本發(fā)明的第二方面，提供了一種利用HS型表面波的端面反射型表面波諧振器，它包括具有形成在其至少一個面上的至少一個溝槽的壓電基片和形成在壓電基片上、其間插入該至少一個溝槽的、并且分別被用作為第一和第二諧振單元的第一和第二IDT(交指形換能器)，其中該溝槽內(nèi)壁用作為兩個相反端面中的至少一個端面以便反射第一和第二諧振單元中的每個單元的表面波。
特別地，在按照本發(fā)明第二方面的表面波諧振器中，在壓電基片的至少一個面上至少做成一個溝槽，且第一和第二諧振單元由該至少一個溝槽所分隔開而構(gòu)成。在這種情況下，用于反射第一和第二諧振單元中的每個單元的表面波的兩個相反端面中的至少一個端面由溝槽的內(nèi)壁構(gòu)成。
由于第一和第二諧振單元是利用單個壓電基片構(gòu)成，本發(fā)明的第二方面就使在單個部件上做出具有多個諧振特性的端面反射型表面波諧振器成為可能，就像本發(fā)明的第一方面那樣。這樣，本發(fā)明的第一方面和第二方面在解決上述問題方面是類似的。
在關于按照本發(fā)明的第二方面的表面波諧振器的描述的上下文中，術語“HS型表面波”意指諸如BGS波和Love波的一般表面波，它們在與表面波傳播方向相垂直的方向上有位移分量。
在按照本發(fā)明第一方面的表面波諧振器中，藉使用具有兩個互相相反的端面的壓電基片，可提供采用HS型表面波的端面反射型的第一和第二諧振單元。這就使提供利用單個部件的、具有多個諧振特性的端面反射型表面諧振器成為可能。
按照本發(fā)明的第一方面，由于如上面所解釋的，距離L被選成等于或接近 N1，第一諧振單元呈現(xiàn)所希望的諧振特性。另一方面，第二諧振單元的N2被選成使 N2接近于L。結(jié)果，當 N2不等于距離L，或當距離L超出 范圍時，在低于第二諧振頻率f2的頻率范圍內(nèi)出現(xiàn)起伏。然而，即使有這樣的起伏，對于在低于第二諧振單元的諧振頻率f2的頻率范圍內(nèi)的起伏不引起問題的各種應用來說，使用按照本發(fā)明第一方面的表面波諧振器可提供具有多個陷波點的陷波電路。
圖1顯示了電視接收機的視頻中頻級的衰減和頻率特性之間的關系。
圖2是說明使用BGS波的傳統(tǒng)的表面波諧振器的透視圖。
圖3是端面反射型表面波諧振器的截面圖。
圖4顯示了在兩個相反端面間的距離偏離最佳值時端面反射型表面波諧振器的阻抗和頻率特性間的關系。
圖5顯示了在兩個相反端面間的距離處于優(yōu)選范圍時端面反射型表面波諧振器的阻抗和頻率特性間的關系。
圖6是說明按照本發(fā)明的第一實施例的端面反射型表面波諧振器的平面圖。
圖7顯示了圖6所示表面波諧振器的第二諧振單元的阻抗和頻率特性間的關系。
圖8顯示了圖6所示表面波諧振器的第一諧振單元的阻抗和頻率特性間的關系。
圖9是按照本發(fā)明第二實施例的端面反射型表面波諧振器的透視圖。
圖10是說明對圖9所示實施例的表面波諧振器的修改的透視圖。
現(xiàn)在參考附圖進行如下的描述，將使本發(fā)明得以明了。
圖4和圖5顯示了圖2所示的端面反射型表面波諧振器的阻抗和頻率特性間的關系。圖4顯示了當兩個相反端面間的距離L比距離L的最佳值 N大 時，所呈現(xiàn)的特性。圖5顯示了當兩個相反端面間的距離L比距離L的最佳值 N大 時所呈現(xiàn)的特性。
從圖4看出，當距離L偏離最佳值的偏差為 時，也就是兩個相反端面間的距離L不夠精確時，這種偏差在低于諧振頻率fr的頻率區(qū)域內(nèi)造成起伏，如箭頭A所指示。
另一方面，從圖5看出，當兩個相反端面間的距離L偏離最佳值的偏差為 時，在低于諧振頻率fr的頻率區(qū)域內(nèi)不出現(xiàn)起伏。這樣，將理解到，圖2所示端面反射型表面波諧振器的兩個相反端面間的距離L必須處于 的范圍之內(nèi)。
假定諧振器是被配置在電視接收機的視頻中頻級的，以及，一個諧振器諧振在相鄰頻道的視頻信號頻率fap(31.9MHz)，而另一個諧振器諧振在相鄰頻道的音頻信號頻率fas(40.4MHz)。
如果諧振于31.9MHz的諧振器做在其傳播的聲速為2400m/sec的基片上，那么諧振器提供75.2μm的波長。如果使用了其傳播聲速為2400m/sec的基片，那么用于相鄰頻道的音頻信號頻率fas(40.4MHz)的諧振器將提供59.4μm的波長。
因此，當上述的兩個諧振器被做在單個壓電基片上時，注意到這兩個諧振器的波長間的差值，必須將這兩個諧振器的兩個相反端面間的距離L做得互相盡可能接近。在上述實例中，如果采用四對指形電極，用于相鄰頻道的視頻信號頻率fap的諧振器將有300.8μm的距離Lap，以及，如果采用五對指形電極，用于相鄰頻道的音頻信號頻率fas的諧振器將有297μm的距離Las。長度Las和Las間的差值是3.8μm，此值約為波長59.4μm的十六分之一。
這樣，在藉簡單地調(diào)節(jié)這些諧振器的電極對數(shù)來使每個諧振器盡量達到充分諧振的特性的上述配置中，各諧振器中之一不能滿足方程 ，另外，當電極對數(shù)是上述的4或5這樣的量級時，只能獲得微弱的表面波激勵，而且可提供的電容值和電感值將不能滿足上述目的，這就使靈活設計諧振器以提供最佳化應用的電容和電抗成為不可能。
圖1所示視頻中頻級的頻率特性中，在色度信號頻率fc和視頻信號頻率fp之間(也就是34.47MHz和38.9MHz之間)沒有起伏，盡管這類起伏出現(xiàn)在圖4中箭頭A所指示的位置處。這就暗示圖4中箭頭A所指示的起伏對電視接收機的視頻中頻級不產(chǎn)生問題。
將會看到，即使諧振單元的兩個相反端面間的距離L超出最佳值 的范圍，端面反射型表面波諧振單元仍可被用作為相鄰頻道視頻信號頻率的陷波器。
從這種觀點出發(fā)，發(fā)明人已發(fā)現(xiàn)可以構(gòu)造成最佳的諧振器，以便如上所述的陷波電路可被用于例如視頻中頻，這是通過選擇第一諧振單元的指形電極對數(shù)M1，從而使得諧振器的兩個相反端面間的距離L能產(chǎn)生所希望的諧振特性，以及通過選擇第二諧振單元的指形電極對數(shù)M2，從而使得這些諧振器的兩個相反端面間的距離L變得盡可能互相接近，而不管該距離的最佳值和能允許的范圍。
現(xiàn)在結(jié)合參閱圖6到8，對按照本發(fā)明的第一方面的實施例的端面反射型表面波諧振器的結(jié)構(gòu)和原理進行闡述。
圖6是按照本發(fā)明的第一實施例的端面反射型表面波諧振器的平面圖。
端面反射型表面波諧振器11沿著后面要描述的指形電極延伸方向被均勻地極化，并采用具有矩形表面的壓電基片12來構(gòu)成。壓電基片12由壓電陶瓷(諸如鈦酸鉛-鋯酸鉛型的壓電陶瓷)以及壓電單晶材料(諸如LiTaO3(鉭酸鋰)和LiNbO3(鈮酸鋰))制成。
第一IDT14和第二IDT13被做在壓電基片12的上表面上。第一IDT14和第二IDT13藉形成如下所述的電極而實現(xiàn)。
匯流線15和17做成平行與壓電基片12的兩個相反端面12a和12b相連接的側(cè)面12c和12d。匯流線15和17分別沿側(cè)面12c和12d而形成。匯流線平行于側(cè)面12c和12d而形成在壓電基片12的中部。
多個指形電極18a到18e被做成從匯流線15延伸到匯流線16，但并不達到匯流線16。類似地，多個指形電極19a到19d被做成從匯流線16延伸到匯流線15，但并不達到匯流線15。IDT13由匯流線15和多個指形電極18a和18e所形成的梳狀電極以及由匯流線16和多個指形電極19a到19b所形成的梳狀電極所構(gòu)成。
多個指形電極20a到20e被做成從匯流線16延伸到匯流線17，但并不達到匯流線17。類似地，多個指形電極21a到21f被做成從匯流線17延伸到匯流線16，但并不達到匯流線16。IDT14由匯流線16和多個指形電極20a到20e所形成的梳狀電極以及由匯流線17和多個指形電極21a到21f所形成的梳狀電極所構(gòu)成。
除了沿端面12a和12b形成的指形電極18a，18e，21a和21f以外，上述指形電極的寬度約為由IDT激勵的表面波的四分之一波長。這些指形電極的每個間隔也是由IDT13和14激勵的表面波的四分之一波長。沿端面12a和12b形成的指形電極18a，18e，21a和21f的寬度約為IDT13和14所激勵的表面波的八分之一波長。
具有上述結(jié)構(gòu)的IDT13和14可藉在壓電基片12的上表面上用薄膜形成法(諸如沉積、電鍍、濺射等)形成鋁膜、以及藉用光刻或類似方法做出薄膜圖形來得到?？商鎿Q地，IDT13或14也可用絲網(wǎng)印刷導體材料的方法做成圖6所示的表面圖形而制成。
按照本實施例的表面波諧振器11中，第二諧振單元由形成IDT13的區(qū)域來構(gòu)成，而第一諧振單元由形成IDT14的區(qū)域來構(gòu)成。第二諧振單元是用作為相鄰頻道視頻信號頻率的陷波器的諧振器，而第一諧振單元是用作為相鄰頻道音頻信號頻率的陷波器的諧振器。為使這些單元運行而進行的電連接可通過把匯流線16連接到參考電位上和把匯流線15與17電連接到信號線上來實現(xiàn)。這樣，按照本實施例的表面波諧振器11可被用作為具有三個端口的單個電氣元件。
按照本實施例的表面波諧振器11中，兩個相反端面(12a和12b)間的距離L是287μm，基片中的傳播聲速是2400m/s，第一和第二諧振單元的指形電極數(shù)M1和M2分別為5和4。所以相鄰頻道視頻信號頻率(31.9MHz)和相鄰頻道音頻信號頻率(40.4MHz)分別具有在諧振器中的波長λap＝λ1＝75.4μm和λas＝λ1＝59.4μm。
這樣，用作為相鄰頻道音頻信號頻率陷波器的第一諧振單元的諧振特性滿足 。所以顯而易見，在低于諧振點的頻率范圍內(nèi)沒有不希望要的寄生響應，如圖8所示。
另一方面，對于用作為相鄰頻道視頻信號頻率陷波器的第二諧振單元的諧振特性，由于其長度 N2偏離上述距離L的偏差為3.8μm，因此，在低于諧振點的頻率范圍內(nèi)出現(xiàn)寄生響應，如箭頭A所指示的地方。
然而，在低于相鄰頻道視頻信號頻率的頻率范圍內(nèi)的這種寄生響應并不會有害地影響視頻中頻級的特性。所以按照本實施例的表面波諧振器11可被用作為電視接收機視頻中頻級的雙陷波電路的優(yōu)選部件。換句話說，可使用單個部件提供兩個陷波器。這就比傳統(tǒng)的LC諧振電路和利用傳統(tǒng)的壓電諧振器的陷波電路在電路結(jié)構(gòu)得以大為簡化及減少制造成本方面有很大優(yōu)點。
圖9是說明按照本發(fā)明另一個實施例的表面波諧振器的透視圖。圖9所示表面波諧振器31是按照本發(fā)明的第二方面的實施例，并且在用作為電視接收機的視頻中頻級陷波電路的部件方面類似于第一實施例。
表面波諧振器31采用具有矩形表面的壓電基片32來構(gòu)成。壓電基片32由壓電陶瓷(諸如鈦酸鉛-鋯酸鉛型的壓電陶瓷)以及壓電單晶材料(諸如LiTaO3(鉭酸鋰)和LiNbO3(鈮酸鋰))制成。
溝槽33做在壓電基片32的上表面上，并平行于互相面對的端面32a和32b。第一IDT34和第二IDT35做在溝槽33的兩側(cè)，以分別構(gòu)成第一和第二諧振單元。
IDT34具有梳狀電極36和37，并被安排成使其指形電極成為交指形的。指形電極36b，37a和37b具有的寬度為由第一諧振單元所激勵的表面波的四分之一波長，且互相間距為λ/4。在兩端的指形電極36a和36c的寬度為λ/8。
第二IDT35類似地具有梳狀電極38和39，并被安排成使其指形電極成為交指形的。指形電極38a，38b，39b和39c具有的寬度為由第二諧振單元所激勵的表面波的四分之一波長且互相間距為λ/4。第二諧振單元的在兩端的指形電極39a和38c的寬度為在其中激勵的表面波的八分之一波長。
在按照本實施例的表面波諧振器31中，第一和第二諧振單元被溝槽33分隔開。所以由第一諧振單元激勵的表面波被端面32a和溝槽33的一個內(nèi)壁33a所反射。類似地，由第二諧振單元激勵的表面波被溝槽33的另一個內(nèi)壁33b和端面32b所反射。換句話說，溝槽33的內(nèi)壁33a和33b的每個內(nèi)壁用作為各個端面反射型表面波諧振單元的一個端面。
在按照本實施例的表面波諧振器31中，具有如上所述使用單個壓電基片32的兩個諧振單元通過形成溝槽33從而把其內(nèi)壁用作為使表面波從諧振單元在其上進行反射的端面。
這樣，本實施例也使利用單個部件來提供具有兩個不同諧振特性的端面反射型表面波諧振器成為可能。
因此，有可能藉自由選取IDT34和35的指形電極數(shù)和每個諧振單元的兩個相反端面間的距離來提供用于電視接收機視頻中頻級的相鄰頻道的視頻信號頻率和相鄰頻道的音頻信號頻率的陷波器。
在工作時，梳狀電極37和39可以相互連接，以便使本實施例的表面波諧振器31形成具有三個端口的元件。
圖10是顯示對圖9所示實施例的表面波諧振器修正的透視圖。按照此替換的實施例的表面波諧振器41具有兩個溝槽42和43，它們被做在由溝槽端面所構(gòu)成的第一和第二諧振單元之間。結(jié)果，基片中的一部分44仍保持在溝槽42和43之間。
由于諧振器41在其它方面都類似于圖9所示的表面波諧振器31，這些相同的零件以相同的參考號表示，將不再予以說明。
在按照本發(fā)明第二方面的表面波諧振器中，第一和第二諧振單元可以藉在它們之間的多個溝槽互相被分隔開，如圖10所示的表面波諧振器那樣。
盡管圖上未示出，按照本發(fā)明的第二方面，一個或多個附加溝槽可做在相鄰諧振單元之間，在成形IDT的基片的面的相反面上。
根據(jù)以上說明和附圖，對于那樣熟練的技術人員來說，對本發(fā)明的各種修正將變得很明顯。因此本發(fā)明僅僅由以下權(quán)利要求的范圍來加以限制。
權(quán)利要求
1.一種端面反射型表面波諧振器，其中水平切變波型表面波被壓電基片的兩個相反端面反射，其特征在于包括具有所述壓電基片的壓電基片；以及形成在所述壓電基片上的第一和第二交指形換能器；由其中形成有所述第一交指形換能器的部分構(gòu)成第一諧振單元，及由其中形成有所述第二交指形換能器的部分構(gòu)成第二諧振單元，所述第二諧振單元的諧振頻率f2不同于所述第一諧振單元的諧振頻率f1；距離L被做成等于或接近 N1，(N1是整數(shù))及N2(N2是整數(shù))被選成使 N2接近于L，其中L表示所述兩相反端面間的距離，λ1表示由所述第一諧振單元所激勵的表面波的波長，及λ2表示由所述第二諧振單元所激勵的表面波的波長。
2.按照權(quán)利要求1的表面波諧振器，其特征在于，其中所述距離L處在由 所表示的范圍內(nèi)。
3.按照權(quán)利要求1或2的表面波諧振器，其特征在于，其中所述距離L超出由 表示的范圍。
4.按照權(quán)利要求1-3中任一項的表面波諧振器，其特征在于，其中所述第一諧振單元的諧振頻率高于所述第二諧振單元的諧振頻率f2。
5.按照權(quán)利要求1-4中任一項的表面波諧振器，其特征在于，該表面諧振器是構(gòu)成電視接收機視頻中頻級陷波電路的諧振器，其中所述第一諧振頻率f1是相鄰頻道的音頻信號頻率及所述第二諧振頻率f2是相鄰頻道的視頻信號頻率。
6.按照權(quán)利要求1-5中任一項的表面波諧振器，其特征在于，其中所述第一和第二諧振單元被做在所述壓電基片上的至少一個溝槽分隔開，所述第一和第二諧振單元中每一個單元的兩個端面之一是由所述溝槽的內(nèi)壁構(gòu)成。
7.一種利用水平切變波型表面波的端面反射型表面波諧振器，其特征在于，包括具有做在其至少一個面上的至少一個溝槽的壓電基片，以及第一和第二交指形換能器，它們被做在壓電基片上，由所述至少一個溝槽分隔開，并且分別構(gòu)成第一和第二諧振單元，所述第一和第二諧振單元中的每個單元的用于反射表面波的兩個端面中至少一個端面由所述溝槽的內(nèi)壁構(gòu)成。
全文摘要
一種利用HS型表面波的端面反射型表面波諧振器，能在使用單個部件時給出多個諧振特性。該表面波諧振器具有構(gòu)成第一和第二諧振單元的交指形換能器(IDT)，表面波在壓電基片的兩個相反端面之間反射。兩個端面間的距離L處于(λ
文檔編號H03H9/64GK1115913SQ9510557
公開日1996年1月31日 申請日期1995年5月29日 優(yōu)先權(quán)日1994年5月30日
發(fā)明者門田道雄, 諸角和彥 申請人:株式會社村田制作所