專利名稱：單片表面聲波雙工器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種單片SAW(表面聲波surface acoustic wave)雙工器。更確切地講，本發(fā)明涉及一種其中發(fā)射和接收SAW濾波器，接收信號(hào)消除微帶線和發(fā)送信號(hào)消除SAW濾波器都形成在一個(gè)單一的芯片內(nèi)的壓電基底上的單片SAW雙工器。
一般在一個(gè)無線通信系統(tǒng)中發(fā)送和接收共同使用一個(gè)單一的天線。為此目的，使用了一個(gè)雙工器，使得在發(fā)射時(shí)可以保護(hù)接收裝置不受發(fā)射的輸出信號(hào)的干擾，在接收時(shí)可以把回波信號(hào)提供給接收裝置。雙工器一般包括一個(gè)接收邊帶通濾波器和一個(gè)發(fā)射邊帶通濾波器。


圖1中顯示了一種一般的無線通信系統(tǒng)，為了使用一個(gè)天線發(fā)送和接收，其中使用了一個(gè)包括一個(gè)發(fā)射濾波器，一個(gè)接收濾波器和一個(gè)位于天線終端的匹配電路的雙工器。天線接收的接收信號(hào)經(jīng)過雙工器送到一個(gè)接收裝置Rx，以便通過一個(gè)帶通濾波器BPF1和一個(gè)接收放大器RFA，然后把信號(hào)信號(hào)轉(zhuǎn)換為中頻信號(hào)，用一個(gè)檢波器DISC解調(diào)，并且由一個(gè)基帶處理部分轉(zhuǎn)換為基帶信號(hào)。接下來信號(hào)被輸出到一個(gè)揚(yáng)聲器，或是在顯示前由中央處理單元CPU作為數(shù)據(jù)輸出。
調(diào)制部分MOD調(diào)制從麥克風(fēng)或撥號(hào)盤輸入的信號(hào)，并且用一個(gè)混頻器MIX把該信號(hào)與從一個(gè)發(fā)射本機(jī)振蕩器TCXO輸出的信號(hào)混合。使從混頻器MIX輸出的信號(hào)通過一個(gè)發(fā)射放大器DRV，一個(gè)帶通濾波器BPF5，一個(gè)功率放大器和一個(gè)帶通濾波器BPF4輸入到雙工器DUP。雙工器DUP不將信號(hào)向接收裝置Rx輸出，而是將它們通過天線發(fā)射到空中。
因此，雙工器DUP在發(fā)射信號(hào)時(shí)保護(hù)接收裝置Rx不受發(fā)送輸出的干擾，并且在接收信號(hào)時(shí)把回波信號(hào)提供給接收裝置Rx。為此目的，雙工器一般包括一個(gè)接收邊帶通濾波器和一個(gè)發(fā)射邊帶通濾波器。
在用于象便攜式電話，移動(dòng)電話之類的移動(dòng)通信系統(tǒng)的雙工器中一般使用介質(zhì)濾波器。但是介質(zhì)濾波器的體積大，因而不適于在小型和輕便的移動(dòng)通信系統(tǒng)中使用。因此十分需要有一種小型的濾波器來替代介質(zhì)濾波器。
SAW濾波器可以制成很小的尺寸(例如，3×3mm)，因此可以用它來代替介質(zhì)濾波器。
日本專利特開昭平6-6111中公開了一種使用SAW濾波器的例子。但是在這個(gè)例子中，接收端濾波器是由一個(gè)SAW濾波器構(gòu)成的，而發(fā)射端濾波器則是由通常使用的介質(zhì)濾波器構(gòu)成的。因此該裝置不足以達(dá)到小型和輕便的目的。
圖2顯示了一種現(xiàn)有的雙工器，其中發(fā)射和接收濾波器都是由SAW濾波器構(gòu)成的。
參考圖2，在一個(gè)單一的電路板23上形成有一個(gè)發(fā)射SAW濾波器11，一個(gè)接收SAW濾波器21(相互獨(dú)立的)，和兩個(gè)獨(dú)立的微帶線12和22。這種結(jié)構(gòu)封裝在一個(gè)獨(dú)立的組件中，并且連接在一個(gè)天線上。
微帶線12和22起陷波濾波器的作用，因而微帶線12阻止了接收信號(hào)從天線傳送到發(fā)射部分，同時(shí)微帶線22阻止了大功率發(fā)送信號(hào)從發(fā)射裝置的功率放大器傳送到接收裝置。
在上述的其中組件包含兩個(gè)SAW濾波器片和兩個(gè)微帶線的SAW雙工器中，兩個(gè)微帶線不能充分地起到隔離輸入/輸出信號(hào)的作用。因此，不能完全防止大功率發(fā)送信號(hào)返回到接收部分。此外，它影響弱接收信號(hào)，因此降低了信噪比，結(jié)果使接收靈敏度惡化，或在更壞的情況下使接收成為不可能。
此外，由于許多獨(dú)立的元件封裝在一個(gè)單一的組件中，使得制造過程變得復(fù)雜，也增加了制造成本。另外，與單一芯片的雙工器相比，這種雙工器的體積也增加了。
本發(fā)明試圖克服現(xiàn)有技術(shù)的上述缺陷。
因此本發(fā)明的目的是要提供一種單片SAW雙工器，其中發(fā)射和接收濾波器，輔助濾波器以及帶狀傳輸線形成為一個(gè)SAW裝置，因此改善了發(fā)送和接收信號(hào)的隔離特性。
本發(fā)明的另一個(gè)目的是提供一種單片SAW雙工器，其中發(fā)射和接收濾波器，輔助濾波器以及帶狀傳輸線在一個(gè)單一基底上形成一個(gè)SAW裝置，因而可以用一個(gè)單一的加工過程把雙工器緊密地組成在一個(gè)單一的芯片中。
本發(fā)明的再一個(gè)目的是提供一種單片SAW雙工器，其中發(fā)射和接收濾波器，輔助濾波器以及帶狀傳輸線是由一個(gè)單一的加工過程形成的。
為達(dá)到上述的目的，本發(fā)明的單片SAW雙工器包括一個(gè)壓電基底；在壓電基底上形成為SAW裝置的發(fā)射和接收濾波器；一個(gè)允許發(fā)射濾波器的某一頻帶信號(hào)通過，以便向天線輸出該信號(hào)的帶狀傳輸線；一個(gè)形成為一個(gè)SAW裝置的，允許某個(gè)接收頻帶的信號(hào)通過以便在接收濾波器接收到發(fā)送信號(hào)之前消除該發(fā)送信號(hào)的發(fā)送信號(hào)消除濾波器；和一個(gè)安裝在發(fā)射濾波器和接收濾波器之間的，用于消除在它們之間傳播的表面聲波的吸音部件。
此外，制備一個(gè)掩模，用于在壓電基底上形成一個(gè)發(fā)送結(jié)合區(qū)，一個(gè)發(fā)射諧振器，一個(gè)微帶線，一個(gè)輸入/輸出結(jié)合區(qū)，一個(gè)帶通濾波器，一個(gè)接收諧振器，一個(gè)接收結(jié)合區(qū)，一個(gè)接地結(jié)合區(qū)和一個(gè)接地圖形。利用這個(gè)掩模以及制造單片SAW裝置的技術(shù)，使得可以通過一個(gè)單一的加工過程制造出單片SAW雙工器。
通過參考附圖和對(duì)本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例的詳細(xì)說明，本發(fā)明的上述目的和其它優(yōu)點(diǎn)將更為清楚，其中附圖圖1是顯示一般的便攜式通信系統(tǒng)的構(gòu)成的框圖；圖2是顯示了一種現(xiàn)有的雙工器，其中發(fā)射和接收濾波器是由SAW濾波器構(gòu)成的；圖3是顯示根據(jù)本發(fā)明的單片SAW雙工器的部分框圖；圖4顯示了根據(jù)本發(fā)明的單片SAW雙工器的一個(gè)實(shí)施例；圖5顯示了形成為一個(gè)根據(jù)本發(fā)明的SAW裝置的一個(gè)發(fā)射諧振器；圖6a顯示了制造掩模的加工過程的流程圖；圖6b顯示了制造掩模的加工過程；和圖6c顯示了制造的掩模的結(jié)構(gòu)；圖7a是顯示制造根據(jù)本發(fā)明的單片SAW雙工器的加工過程的流程圖；和圖7b顯示了制造根據(jù)本發(fā)明的單片SAW雙工器的加工過程；和圖8顯示了一個(gè)包括多個(gè)發(fā)射SAW濾波器和接收SAW濾波器以便在一個(gè)多信道系統(tǒng)中使用的單片SAW雙工器的例子。
圖3是顯示根據(jù)本發(fā)明的單片SAW雙工器的結(jié)構(gòu)的部分框圖。
根據(jù)本發(fā)明的單片SAW雙工器包括一個(gè)壓電基底100；在壓電基底100上形成為SAW裝置的發(fā)射和接收濾波器120和160；一個(gè)允許發(fā)射濾波器的一個(gè)頻帶的信號(hào)通過以便向天線ANT輸出該信號(hào)的微帶線130；和一個(gè)形成為一個(gè)SAW裝置的，用于允許一個(gè)接收頻帶的信號(hào)通過，以便在接收濾波器接收到所述發(fā)送信號(hào)之前消除該發(fā)送信號(hào)的發(fā)送信號(hào)消除濾波器150。
圖4顯示了根據(jù)本發(fā)明的單片SAW雙工器的一個(gè)實(shí)施例。
根據(jù)本發(fā)明的SAW雙工器形成在一個(gè)壓電基底100上，該壓電基底100是由象石英，LiTaO3，LiNbO3以及類似的壓電材料制造的。發(fā)射結(jié)合區(qū)110從發(fā)射功率放大器接收發(fā)送信號(hào)。發(fā)射諧振器120是由形成在壓電基底100上的反射器陣列123和124，一個(gè)輸入變換器陣列121以及一個(gè)輸出變換器陣列122這類的SAW裝置構(gòu)成的。發(fā)射諧振器120的輸入變換器陣列121連接于發(fā)射結(jié)合區(qū)110。
微帶線130只允許發(fā)送可通過的頻帶信號(hào)(輸出變換器陣列122的輸出信號(hào))通過，以便使它們通過一個(gè)輸入/輸出結(jié)合區(qū)140輸出到天線ANT。
天線ANT接收到的信號(hào)經(jīng)過輸入/輸出結(jié)合區(qū)140輸入到一個(gè)帶通濾波器150的輸入變換器陣列151，該帶通濾波器150是一個(gè)SAW裝置。因而只有接收頻帶的信號(hào)通過，因此發(fā)送信號(hào)將被消除，并且信號(hào)將經(jīng)過一個(gè)輸出變換器陣列152輸出到接收諧振器160。
接收諧振器160通過一個(gè)輸入變換器陣列161從帶通濾波器150接收接收信號(hào)，并且只允許接收頻帶的信號(hào)通過，以便經(jīng)過一個(gè)接收結(jié)合區(qū)170把它們從一個(gè)輸出變換器陣列162輸出到一個(gè)接收放大器。
接地圖形190形成于發(fā)射諧振器120和接收諧振器160之間，并且在靠近左邊緣處形成有接地結(jié)合區(qū)180，以這樣的方式把它們連接于移動(dòng)通信系統(tǒng)的接地端，因此形成了一個(gè)地線。此外，在發(fā)射諧振器120，接收諧振器160和帶通濾波器150之間安裝有吸音部件200，因此排除了通過它們傳播的表面聲波。
圖5顯示了形成為根據(jù)本發(fā)明的SAW裝置的發(fā)射諧振器120。
如圖5所示，發(fā)射諧振器120包括一對(duì)反射器陣列123和124，一個(gè)輸入變換器陣列122以及一個(gè)輸出變換器陣列122。從一個(gè)發(fā)射放大器(附圖中未示出)輸出的發(fā)送信號(hào)F1經(jīng)過發(fā)射結(jié)合區(qū)110輸送到輸入變換器陣列121。這些信號(hào)被輸入變換器陣列121轉(zhuǎn)換為表面聲波，并且在反射器陣列123和124之間反復(fù)反射，直到它們達(dá)到飽和狀態(tài)。然后將信號(hào)經(jīng)過輸出變換器陣列122輸送到微帶線130。
由于微帶線130的幾何形狀，該微帶線130擁有一個(gè)電感組成部分和一個(gè)電容組成部分，因此它可以作為LC(電感電容)濾波器使用。在本發(fā)明中，由于微帶線130的幾何結(jié)構(gòu)，它起到平滑地輸送發(fā)送頻率的信號(hào)的濾波器的作用。在從微帶線130通過之后，發(fā)送信號(hào)經(jīng)過輸入/輸出結(jié)合區(qū)140到達(dá)天線ANT，以便向空中發(fā)射。
于此同時(shí)，為了從天線ANT向接收裝置輸送接收的信號(hào)，結(jié)合區(qū)140，帶通濾波器150和接收諧振器160連接在天線ANT和接收裝置之間。因此，如果象現(xiàn)有技術(shù)那樣帶通濾波器150是由微帶線構(gòu)成的，那么不能完全地消除發(fā)送信號(hào)。因此，如上所述，不能完全地防止大功率發(fā)送信號(hào)返回到接收部分，因而弱接收信號(hào)將受到不利的影響，結(jié)果是降低了接收靈敏度，或不可能進(jìn)行接收。
但是，如圖5所示，根據(jù)本發(fā)明帶通濾波器150包括一個(gè)輸入變換器陣列151和一個(gè)輸出變換器陣列152。輸入變換器陣列151連接于輸入/輸出結(jié)合區(qū)140從天線ANT接收接收信號(hào)，以便把它們轉(zhuǎn)換為表面聲波。然后輸出變換器陣列152把信號(hào)轉(zhuǎn)換為電接收信號(hào)，以便將它們輸入接收諧振器160。
接收諧振器160具有與圖5的發(fā)射諧振器120相同的結(jié)構(gòu)。即，如圖4所示，該接收諧振器160包括一對(duì)反射陣列163和164，一個(gè)輸入變換器陣列161和一個(gè)輸出變換器陣列162。
接收信號(hào)F2從帶通濾波器150的輸出變換器陣列152傳送到輸入變換器陣列161，然后輸入變換器陣列161將信號(hào)轉(zhuǎn)換為表面聲波。接著信號(hào)在反射器陣列163和164之間反復(fù)反射，直到它們達(dá)到飽和狀態(tài)。隨后把它們通過輸出變換器陣列162和接收結(jié)合區(qū)170輸送到一個(gè)低噪聲放大器(附圖中未示出)。
在根據(jù)本發(fā)明的單片SAW雙工器的制造中，通過一個(gè)單一的加工過程把包括發(fā)射結(jié)合區(qū)110，發(fā)射諧振器120，微帶線130，輸入/輸出結(jié)合區(qū)140，帶通濾波器150，接收諧振器160，接收結(jié)合區(qū)170，接地結(jié)合區(qū)180和接地圖形190的裝置形成在一個(gè)單一的壓電基底100上。
根據(jù)本發(fā)明的單片SAW雙工器的制造方法包括以下步驟制備掩模；和利用掩模制造單片SAW雙工器。
首先說明用于單片SAW雙工器的掩模的制造步驟。
圖6a，6b和6c顯示了用于根據(jù)本發(fā)明的單片SAW雙工器的掩模的制造步驟。圖6a顯示了制造掩模的加工過程的流程圖，圖6b顯示了制造掩模的工序。
在步驟401，在用于制作掩模的玻璃41上形成鉻涂層42(參見圖6b(1))。在步驟402，把感光劑43涂覆在鉻涂層42上，用于電子束感光(參見圖6b(2))。在步驟403，利用電子束感光器沿掩模圖形投射電子束(參見圖6b(3))。在步驟404，感光劑的感光部分和鉻涂層的有關(guān)部分一同溶解掉，因而制成了掩模44(參見圖6b(4))。
圖6c顯示了制成后的用于單片SAW雙工器的掩模。
在左上角形成一個(gè)用于形成發(fā)射結(jié)合區(qū)110的發(fā)射結(jié)合區(qū)圖形410。形成的用于形成發(fā)射諧振器120的發(fā)射諧振器圖形420連接于發(fā)射結(jié)合區(qū)圖形410，它的輸出變換器陣列圖形連接于用于形成微帶線130的微帶線圖形430。用于形成輸入/輸出結(jié)合區(qū)140的輸入/輸出結(jié)合區(qū)圖形440形成在右上角。
形成的用于形成帶通濾波器150的圖形450連接于輸入/輸出結(jié)合區(qū)圖形440，并且在微帶線圖形430的下面。形成的用于形成接收諧振器160的接收諧振器圖形460連接于帶通濾波器圖形450，并且位于它的左側(cè)。形成的接收結(jié)合區(qū)圖形470連接于接收諧振器圖形460，并且位于左下角。在靠近左邊緣的中部形成一個(gè)用于形成接地結(jié)合區(qū)180的接地結(jié)合區(qū)圖形480。接收諧振器圖形460和帶通濾波器圖形450分別形成在發(fā)射諧振器圖形420和微帶線圖形430的下方。在它們之間形成有一個(gè)用于形成接地終端190的接地圖形490。
可以根據(jù)功能和需要對(duì)上述的布置和結(jié)構(gòu)進(jìn)行修改。
通過利用以上述方式制造的掩模44，以下述的方式制造根據(jù)本發(fā)明的單片SAW雙工器。
圖7a是顯示制造根據(jù)本發(fā)明的單片SAW雙工器的加工過程的流程圖，圖7b顯示了制造根據(jù)本發(fā)明的單片SAW雙工器的加工過程。
在步驟501，把一個(gè)壓電晶片51洗凈并且安裝好(參見圖7b(1))。在步驟502，在晶片51上涂覆一層金屬層52(參見圖7b(2))。在步驟503，在金屬層52上涂覆一層感光材料層53(參見圖7b(3))。在步驟504，把掩模44放置在晶片51的感光材料層53上，并用紫外線照射，使照射過的部分成為易于溶解的(參見圖7b(4))。在步驟505，通過噴灑顯影液流把經(jīng)過紫外線照射的部分溶解掉(參見圖7b(5))。在步驟506，利用一種酸除去沒有被感光材料覆蓋的部分金屬層(參見圖7b(6))。在步驟507，把剩余的感光材料層53完全除去(參見圖7b(7))。在步驟508，利用例如氬離子束槍形成槽55，并且印刷吸音材料56。
吸音材料56被涂覆在接地圖形上。吸音材料是由一種粘性聚合物構(gòu)成的，并且利用加熱或用紫外線照射使其固化。涂覆的厚度最好應(yīng)當(dāng)為20-30μm。寬度不應(yīng)當(dāng)侵入發(fā)射諧振器和接收諧振器的區(qū)域。
吸音材料56應(yīng)當(dāng)是一種粘性的液體，并且它的涂覆區(qū)應(yīng)當(dāng)比較寬。因此，在需要比較高的精確度的情況下不能使用吸音材料56。在這種情況下，只能形成槽55。但是，如果僅使用槽55，降低了消除表面聲波的效率，因此在需要高效率的情況下，可以僅使用吸音材料56或可以同時(shí)使用槽55和吸音材料56(參見圖7b(8))。在步驟509，利用一個(gè)探測器進(jìn)行測試。在步驟510，通過把晶片51切割成芯片進(jìn)行分割加工，并且進(jìn)行分類以便在組裝前分離有缺陷的產(chǎn)品。
如上所述，發(fā)射SAW濾波器和接收SAW濾波器被形成為一個(gè)單一的芯片，但根據(jù)本發(fā)明的單片SAW雙工器并不受此限制，而是可以在每個(gè)芯片中形成多個(gè)發(fā)射濾波器和多個(gè)接收濾波器。此外，發(fā)射SAW濾波器的數(shù)量不必嚴(yán)格地等于接收SAW濾波器的數(shù)量，而是可以在滿足頻率特性的限度內(nèi)適當(dāng)?shù)卮_定發(fā)射SAW濾波器的數(shù)量和接收SAW濾波器的數(shù)量。
圖8顯示了一個(gè)單片SAW雙工器的例子，其包括多個(gè)發(fā)射SAW濾波器和接收SAW濾波器，以便在一種多信道系統(tǒng)中使用它。
圖8的單片SAW雙工器包括一個(gè)包括多個(gè)發(fā)射結(jié)合區(qū)611，611，…的發(fā)射結(jié)合區(qū)部分610；一個(gè)包括多個(gè)形成為SAW裝置的并且具有不同頻率特性的發(fā)射諧振器621，621，…的發(fā)射諧振器部分620；一個(gè)包括多個(gè)形成為SAW裝置的并且具有不同頻率特性的微帶631，631，…的微帶線部分630；一個(gè)連接于多個(gè)微帶線631，631，…，用來向天線ANT輸送它們的信號(hào)和輸出天線ANT的信號(hào)的輸入/輸出結(jié)合區(qū)640；一個(gè)形成為一個(gè)SAW裝置的，用于接收輸入/輸出結(jié)合區(qū)640的輸出信號(hào)以便只允許接頻帶的信號(hào)通過的帶通濾波器650；一個(gè)包括多個(gè)接收諧振器661，661，…的，用于接受帶通濾波器650的輸出信號(hào)以便僅輸出相應(yīng)于有關(guān)頻率特性的信號(hào)的接收諧振器部分660；和一個(gè)包括分別連接于接收諧振器部分660的多個(gè)接收諧振器661，661，…的多個(gè)接收結(jié)合區(qū)671，671，…的，用于向接收部分的一個(gè)放大器輸出信號(hào)的接收結(jié)合區(qū)部分670。
發(fā)射結(jié)合區(qū)611分別接收相關(guān)的功率放大器的輸出信號(hào)，以便向發(fā)射諧振器621輸出該信號(hào)。發(fā)射諧振器621僅輸出一個(gè)特定信道的有關(guān)頻率，并且經(jīng)過有關(guān)的微帶線631把輸出信號(hào)輸送到輸入/輸出結(jié)合區(qū)640，以便通過天線ANT向空中發(fā)射。因此可以發(fā)射多個(gè)信道的信號(hào)。
經(jīng)過天線ANT接收的信號(hào)經(jīng)過輸入/輸出結(jié)合區(qū)640被送到帶通濾波器650，以便輸入到接收諧振器部分660中。由于接收諧振器部分660包括多個(gè)分別具有不同頻率特性的接收諧振器661，661，…，具有相應(yīng)頻率特性的接收信號(hào)經(jīng)過接收結(jié)合區(qū)671被送到接收部分。
根據(jù)如上所述的本發(fā)明，具有發(fā)射濾波器，接收濾波器，帶通濾波器和類似元件的雙工器形成在一個(gè)單一的基底上和一個(gè)單一的芯片中，因此該雙工器可以在一個(gè)單一的過程中制造，結(jié)果簡化了制造過程。因此降低了缺陷率，并且節(jié)約了制造成本。此外，由于可以把多個(gè)裝置形成在一個(gè)單一的芯片中，所以該雙工器得以小型化，并且改善了發(fā)送和接收頻率之間的隔離。
權(quán)利要求
1.一種單片SAW雙工器，包括一個(gè)壓電基底；在所述壓電基底上形成為SAW裝置的發(fā)射和接收諧振器；一個(gè)允許一發(fā)射濾波器的一個(gè)頻帶的信號(hào)通過，以便向一個(gè)天線輸出信號(hào)的微帶線；和一個(gè)形成為一個(gè)SAW裝置的，用于允許一個(gè)接收頻帶的信號(hào)通過，以便在所述接收諧振器接收到所述發(fā)送信號(hào)之前消除該發(fā)送信號(hào)的發(fā)送信號(hào)消除濾波器。
2.如權(quán)利要求1所述的單片SAW雙工器，其中一個(gè)接地圖形放置在所述發(fā)射諧振器和所述接收諧振器之間。
3.如權(quán)利要求1所述的單片SAW雙工器，其中所述發(fā)送信號(hào)消除濾波器連接于所述輸入/輸出結(jié)合區(qū)，并且包括一個(gè)用于從所述天線接收信號(hào)的輸入變換器陣列；和一個(gè)用于向所述接收諧振器輸出接收信號(hào)的輸出變換器陣列。
4.如權(quán)利要求1所述的單片SAW雙工器，其中所述微帶線具有一種幾何結(jié)構(gòu)，以便作為一個(gè)使一個(gè)發(fā)送頻率的信號(hào)便于通過的濾波器使用。
5.如權(quán)利要求2所述的單片SAW雙工器，其中在所述接地圖形上安裝有吸音部件。
6.如權(quán)利要求5所述的單片SAW雙工器，其中所述吸音部件是一種聚合物的合成樹脂。
7.如權(quán)利要求6所述的單片SAW雙工器，其中所述聚合物合成樹脂的厚度為20-30μm。
8.如權(quán)利要求6所述的單片SAW雙工器，其中所述聚合物合成樹脂被涂覆在沒有侵入到反射器陣列的區(qū)域以及所述發(fā)射諧振器和所述接收諧振器的作用區(qū)域的范圍中。
9.一種單片SAW雙工器，包括一個(gè)壓電基底；在所述壓電基底上形成為SAW裝置的發(fā)射和接收諧振器；用于允許所述發(fā)射諧振器的一個(gè)頻帶的信號(hào)通過的，以便向一個(gè)天線輸出信號(hào)的微帶線；一個(gè)形成為一個(gè)SAW裝置，用于允許一個(gè)接收頻帶的信號(hào)通過以便在所述接收諧振器接收到所述發(fā)送信號(hào)之前消除該發(fā)送信號(hào)的發(fā)送信號(hào)消除濾波器；和一個(gè)安裝在所述發(fā)射諧振器和所述接收諧振器之間的，用于消除在它們之間傳播的表面聲波的吸音部件。
10.如權(quán)利要求9所述的單片SAW雙工器，其中所述發(fā)射和接收諧振器包括一對(duì)反射器陣列，和安裝在所述反射器陣列對(duì)之間的輸入和輸出變換器陣列。
11.如權(quán)利要求9所述的單片SAW雙工器，其中所述微帶線具有一種幾何結(jié)構(gòu)，以便作為一個(gè)使一個(gè)發(fā)送頻率的信號(hào)便于通過的濾波器使用。
12.如權(quán)利要求9所述的單片SAW雙工器，其中所述吸音部件是一種聚合物的合成樹脂。
13.如權(quán)利要求12所述的單片SAW雙工器，其中所述聚合物合成樹脂的厚度為20-30μm。
14.如權(quán)利要求12所述的單片SAW雙工器，其中所述聚合物合成樹脂被涂覆在沒有侵入到反射器陣列的區(qū)域以及所述發(fā)射諧振器和所述接收諧振器的作用區(qū)域的范圍中。
15.一種單片SAW雙工器，包括一個(gè)壓電基底；在所述壓電基底上形成為SAW裝置的發(fā)射和接收諧振器；用于允許所述發(fā)射諧振器的一個(gè)頻帶的信號(hào)通過的，以便向一個(gè)天線輸出信號(hào)的帶狀傳輸線；一個(gè)形成為一個(gè)SAW裝置，用于允許一個(gè)接收頻帶的信號(hào)通過以便在所述接收諧振器接收所述發(fā)送之前消除該發(fā)送信號(hào)的發(fā)送信號(hào)消除濾波器；和一個(gè)形成于所述發(fā)射諧振器和所述接收諧振器之間，用于消除在它們之間傳播的表面聲波的槽。
16.如權(quán)利要求12所述的單片SAW雙工器，其中所述槽是用一個(gè)氬離子槍形成的。
17.一種單片SAW雙工器，包括一個(gè)包括多個(gè)發(fā)射結(jié)合區(qū)的發(fā)射結(jié)合區(qū)部分；一個(gè)包括多個(gè)形成為SAW裝置的并且具有不同的頻率特性的發(fā)射諧振器的發(fā)射諧振器部分；一個(gè)包括多個(gè)形成為SAW裝置的并且具有不同的頻率特性的微帶的微帶線部分；一個(gè)連接于多個(gè)所述微帶線的，用于把它們的信號(hào)輸送到一個(gè)天線ANT并且輸出所述天線ANT的信號(hào)的輸入/輸出結(jié)合區(qū)；一個(gè)形成為SAW裝置的，用于接收所述輸入/輸出結(jié)合區(qū)的輸出信號(hào)，以便僅允許一個(gè)接收頻帶的信號(hào)通過的帶通濾波器；一個(gè)包括多個(gè)用于接收所述帶通濾波器的輸出信號(hào)，以便僅輸出相應(yīng)于有關(guān)頻率特性的信號(hào)的接收諧振器的接收諧振器部分；和一個(gè)包括分別連接于所述接收諧振器部分的多個(gè)所述接收諧振器的多個(gè)接收結(jié)合區(qū)的，用于向一個(gè)接收部分的一個(gè)放大器輸出信號(hào)的接收結(jié)合區(qū)部分，其中上述組件形成在一個(gè)單一的壓電基底上。
全文摘要
公開了一種單片SAW(表面聲波)雙工器。通過一個(gè)單一的過程在一個(gè)單一的壓電基底上形成一個(gè)發(fā)射結(jié)合區(qū)，一個(gè)發(fā)射諧振器，一個(gè)微帶線，一個(gè)輸入/輸出結(jié)合區(qū)，一個(gè)帶通濾波器，一個(gè)接收諧振器，一個(gè)接收結(jié)合區(qū)，一個(gè)接地結(jié)合區(qū)和一個(gè)接地圖形。
文檔編號(hào)H03H9/72GK1165431SQ9611405
公開日1997年11月19日 申請(qǐng)日期1996年12月31日 優(yōu)先權(quán)日1996年5月10日
發(fā)明者李?yuàn)]鎬 申請(qǐng)人:三星電機(jī)株式會(huì)社