專利名稱：厚度延伸振動模式壓電諧振器的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及用于各種諧振器、振蕩器和類似裝置的壓電諧振器，特別是，涉及利用厚度延伸振動模式的諧波的厚度延伸壓電諧振器。
在諸如壓電振蕩器的壓電濾波器等各種壓電諧振器組件中使用壓電諧振器。這種類型的已知的壓電諧振器根據(jù)所使用的頻率而利用各種壓電振動模式。
在117409/1989號未審查專利公報中揭示了一種利用厚度延伸振動模式的二次波的能量陷獲(energy-trapped)壓電諧振器?，F(xiàn)在參考圖21和22來描述此壓電諧振器。
如圖21的分解透視圖所示，通過依次堆疊壓電材料制成的未燒結陶瓷薄片51、52并把它們燒結在一起而構成上述的壓電諧振器。圓形激勵電極53形成于未燒結陶瓷薄片51的中央。激勵電極53通過引出電極54引出到未燒結陶瓷薄片51的一端。在未燒結陶瓷薄片52上表面的中央形成圓形激勵電極55。激勵電極55通過引出電極56引出到未燒結陶瓷薄片52的一端。如下部投影圖所示，在未燒結陶瓷薄片52的下表面上形成激勵電極57。激勵電極57通過引出電極58引出到未燒結陶瓷薄片52的一端。
把上述未燒結陶瓷51和52彼此堆疊，并沿厚度方向加壓。然后，對它們進行燒結，于是產(chǎn)生一燒結體。然后，使此燒結體極化。于是，獲得如圖22所示的壓電諧振器70。
在壓電諧振器60中，壓電層61和62沿箭頭方向即厚度方向是均勻極化的。
在驅動該裝置時，把激勵電極53和57連接在一起，在激勵電極53、57和激勵電極55之加上AC電壓。這樣，可使壓電諧振器60諧振。在此情況下，振動能量被限制在激勵電極53、55、57相互重疊的區(qū)域，即，諧振部分A。
把利用厚度延伸模式的諧波的已有技術的壓電諧振器60設計成如上所述的能量陷獲壓電諧振器。因此，它具有所需的包圍諧振部分A的衰減振動用的振動衰減部分。即，需要與諧振部分的面積相比較大的振動衰減部分。結果，難于促使壓電諧振器60小型化。
另一方面，在235422/1990號未審查專利公報中也揭示了一種能量陷獲壓電諧振器，它使用壓電陶瓷條，而且?guī)缀醪恍枰鼑C振部分的額外壓電基板部分。
這里，如圖23所示，在狹長的壓電基板71的上下表面上分別形成激勵電極72a和激勵電極72b。激勵電極72a和72b沿壓電基板71的整個主要尺寸延伸，并在壓電基板71的縱向中心相互遠離，以形成一諧振部分。這兩個激勵電極72a和72b分別延伸到壓電基板71的縱向端部71a和71b。
當壓電諧振器70激勵厚度延伸振動模式時，由于壓電基板71的寬度W與厚度T之間尺寸關系而產(chǎn)生不想要的振動。相應地，235422/1990號未審查專利公報中揭示了在使用基波時，如果諧振頻率為16MHz，則應使用的W/T=5.33，在使用三次波時，把W/T大致設定為2.87(這里，諧振頻率為大約16MHz)可減少諧振頻率和反諧振頻率之間不想要的寄生波。
如上所述，117409/1989號未審查專利公報中所揭示的利用厚度延伸振動模式的能量陷獲壓電諧振器需要包圍諧振部分的大的振動衰減部分。因此，難于減小諧振器的尺寸。
235422/1990號未審查專利公報中所揭示的能量陷獲壓電諧振器不需要諧振部分兩側的振動衰減部分，這樣可獲得小型化。然而，在利用厚度延伸振動模式的諧波的場合，除了在諧振頻率和反諧振頻率之間的寄生波以外，還出現(xiàn)各種不想要的寄生波。結果，不能獲得有效的諧振特性。
因此，本發(fā)明的目的在于提供一種厚度延伸壓電諧振器，它利用厚度延伸振動模式的諧波，而且可以制成較小尺寸，于是可以有效地抑制不想要的寄生振動(從而具有較好的諧振特性)。
本發(fā)明提供一種利用厚度延伸振動模式的n次諧波的厚度延伸振動模式壓電諧振器，所述壓電諧振器包括具有互相面對的第一和第二面的矩形壓電板；分別設置在所述第一和第二面上并通過壓電板互相面對的第一和第二激勵電極；設置在所述壓電板中并至少部分面對第一和第二激勵電極設置的至少一個內部電極；限定諧振部分的所述第一和第二激勵電極的面對部分、所述內部電極和所述所述壓電板；其中，W/d小于6.1，其中d=t/n,W和t分別是矩形壓電板的寬度和厚度，而n是大于1的整數(shù)。
運用上述結構，可以有效地抑制由于截面邊緣模式和除了所用的諧波之外的諧波所引起的不想要的寄生振動。結果，可以提供具有良好諧振特性的厚度延伸壓電諧振器。
較佳的是，上述厚度延伸振動模式壓電諧振器的W/d滿足下列范圍中的任何一個W/d≤0.8，1.0≤W/d≤2.0，2.2≤W/d≤4.0，4.3≤W/d≤4.8，5.7≤W/d≤6.1。
當把比值W/d設置在上述五個確定范圍中的任一范圍內時，可以更加有效地抑制由截面邊緣模式和除了所用的諧波之外的諧波所引起的不想要的寄生振動。
在上述厚度延伸振動模式壓電諧振器中，所述厚度延伸振動模式壓電諧振器可以是具有諧振部分和只沿著一個方向的振動衰減部分的能量陷獲壓電諧振器，和可以如此設置所述第一和第二激勵電極，從而沿著與所述方向垂直的方向延伸至或靠近于壓電板的一個端部。
當如上所述地構成諧振器時，把諧振器制成能量陷獲壓電諧振器。只沿著一個方向呈現(xiàn)振動衰減量。如此形成第一和第二激勵電極，從而沿著與所述方向垂直的方向延伸至或靠近于壓電板的端部。因此，在諧振部分的側面不必提供振動衰減部分。因此，可以使壓電諧振器小型化。
在上述厚度延伸振動模式壓電諧振器中，所述壓電板可以是狹長條型。
當把狹長壓電條用作壓電板，可以加速厚度延伸壓電諧振器的小型化，而且可以提供尺寸更小的厚度延伸壓電諧振器。
上述厚度延伸振動模式壓電諧振器還包括設置在壓電板的第一或第二面上并在兩者之間有一間隔的電容器，間隔起到不阻止壓電諧振器振動的作用。
根據(jù)上述結構，采用具有極少不想要的寄生振動和良好的諧振特性的壓電諧振器，可以提供具有內置電容器的壓電諧振器。


圖1是示出根據(jù)本發(fā)明的第一實施例的厚度延伸壓電諧振器的透視圖；圖2是根據(jù)第一實施例的厚度延伸壓電諧振器的剖面圖；圖3是其位移分布如圖4-8所示的壓電諧振器的一半剖面圖4是示出用有限元法分析的以截面邊緣模式SE0振動的壓電板的位移分布的圖；圖5是示出用有限法分析的以截面邊緣模式SE1振動的壓電板的位移分布的圖；圖6是示出用有限元法分析的以截面邊緣模式SE2振動的壓電板的位移分布的圖；圖7是示出用有限元法分析的以截面邊緣模式SE3振動的壓電板的位移分布的圖；圖8是示出用有限元法分析的以截面邊緣模式SE4振動的壓電板的位移分布的圖；圖9是示出其中比值W/d是4.2，并運用有限元法進行分析的阻抗-頻率特性的圖；圖10是示出其中比值W/d是2.8，并運用有限元法進行分析的厚度延伸壓電諧振器的阻抗-頻率特性的圖；圖11是示出根據(jù)本發(fā)明第一實施例的厚度延伸壓電諧振器的阻抗-頻率諧振器的圖；圖12是示出在比值W/d的絕對值和相對帶寬之間關系的圖；圖13是示出根據(jù)本發(fā)明第二實施例的厚度延伸壓電諧振器的透視圖；圖14是示出根據(jù)本發(fā)明的厚度延伸壓電諧振器的第一變更例的剖面圖；圖15是示出根據(jù)本發(fā)明的厚度延伸壓電諧振器的第二變更例的剖面圖；圖16是示出根據(jù)本發(fā)明的厚度延伸壓電諧振器的第三變更例的剖面圖；圖17是示出根據(jù)本發(fā)明的厚度延伸壓電諧振器的第四變更例的剖面圖；圖18是示出具有內置電容器的壓電諧振器的透視圖，其中根據(jù)本發(fā)明的第三實施例制成所述諧振器；圖19是示出如圖18所示的壓電諧振器的電路結構的圖；圖20是示出根據(jù)本發(fā)明的厚度延伸壓電諧振器的又一個變更例的透視圖；圖21是示出現(xiàn)有技術的厚度延伸壓電諧振器的一例的部件分解透視圖；圖22是如圖21所示的厚度延伸壓電諧振器的剖面圖；圖23是示出現(xiàn)有技術的厚度延伸壓電諧振器的另一例的透視圖；和圖24示出現(xiàn)有技術的厚度延伸壓電諧振器的阻抗-頻率特性。
本發(fā)明的其它特性和優(yōu)點從下面參照附圖對于本發(fā)明的描述中顯而易見。
(第一實施例)圖1是示出根據(jù)本發(fā)明的第一實施例的厚度延伸壓電諧振器的透視圖。圖2是諧振器的剖面圖。
厚度延伸壓電諧振器1由包括壓電陶瓷(諸如鋯鈦酸鉛基陶瓷)的狹長壓電條2形成。假設壓電板的寬度為W，厚度為t，如果d=t/n，那么把W/d設置為小于6.1。
沿著如圖中箭頭所示的厚度方向使壓電板2均勻極化。在壓電條2的頂面上形成第一激勵電極3。在底面上形成第二激勵電極4。在壓電條2的頂面和底面處，激勵電極3和4從壓電條2的一端2a朝另一端2b延伸。
通過在壓電條2的端面2a上形成連接電極5，把激勵電極3和4連接起來。
在壓電條2的中間一半高度處，形成內部電極6。把內部電極6引出到壓電條2的端面2b，并與在端面2b上形成的端電極7電氣連接。
在操作期間，在第一和第二激勵電極3、4與內部電極6之間施加交流電壓，由此強烈感生厚度延伸振動模式的二次波。于是，可以把諧振器用作利用二次波的壓電諧振器。
在本實施例中，通過在壓電條2的縱向中心的壓電層，把第一和第二激勵電極3和4疊在內部電極6上。因此，在內部電極6與第一和第二激勵電極3、4重疊的部分中，形成能量陷獲諧振部分。當此諧振部分諧振時，由從諧振部分延伸到端面2a和2b的壓電部分衰減能量。
如果把上述諧振部分作為中心，那么只沿著壓電條2的縱向(第一方向)，在縱向相對的兩側處形成振動衰減部分。第一和第二激勵電極沿著與縱向垂直的方向延伸到壓電條的端部，即，到縱向端部。
在這種情況下，只要求第一和第二激勵電極3、4和內部電極6在諧振部分6中沿著壓電條2整個寬度延伸。在諧振部分之外，通常不要求保持這個寬度。把激勵電極3作為一個例子。激勵電極3只需在諧振部分中沿著壓電條2的整個寬度延伸。由于只是將激勵電極與連接電極5電氣連接，所以在端面2a側的激勵電極部分可以細些。
與現(xiàn)有技術的條型厚度延伸壓電諧振器不同，根據(jù)本實施例的厚度延伸壓電諧振器1能有效地抑制由于橫向模式振動造成的不要的寄生振動，如參照圖24和3-11所述。
運用本發(fā)明，我們確定，如圖23所示的現(xiàn)有技術的條型壓電諧振器70產(chǎn)生由于壓電襯底71的截面邊緣模式引起的強烈諧振。圖24示出這種壓電諧振器70的阻抗-頻率特性。
在圖24中，由箭頭TE2所示的振動模式是厚度延伸振動模式的二次波。由SE1-SE3所示的響應是由截面邊緣模式所引起的寄生振動。從具有諧振頻率為16MHz的壓電諧振器70得出如圖24所示的阻抗-頻率特性。從圖24可見，由SP1、SP2和SP3所示的寄生振動分別接近于13.5、14.5和16.5MHz?？梢娒總€寄生振動很大。
我們分析壓電諧振器在上述寄生振動處的位移。已獲得如圖4-8所示的結果。圖4-8是如圖3所示的條形的厚度延伸壓電諧振器當沿著與縱向垂直的方向向沿著厚度方向時截取的水平剖面圖，它以放大的比例示意地示出條型壓電諧振器的一半表面的位移。
圖4-8是截面邊緣模式的位移模式，并將它們分別稱為SE0-SE4?？紤]到，SP1、SP2和SP3或者基于截面邊緣模式寄生振動SE2，或者與SE2伴是。
因此，本發(fā)明的發(fā)明者進行各種實驗，試圖抑制由上述截面邊緣模式SE0-SE4引起的寄生振動，并發(fā)現(xiàn)在壓電板2的寬度為W和厚度為t以及d=t/n的情況下，如果比值W/d設置為一定值，那么可以減小截面邊緣模式的響應，而且只能強烈地激勵厚度延伸振動模式的二次波TE2。即，圖9和10示出在比值W/d=4.2和2.8的情況下，壓電板1的阻抗-頻率特性，它們是運用有限元法分析的。
從圖9可見，圖中W/d等于4.2，在諧振點fr和反諧振點fa之間的通帶中強烈地出現(xiàn)截面邊緣模式SE2和相關模式。如圖10所示，圖中W/d等于2.8，在諧振點fr和反諧振點fa之間的通帶附近，不出現(xiàn)大的截面邊緣模式寄生振動。
我們根據(jù)運用上述有限元法的分析，實際制造壓電諧振器1，從而W/d=2.8。測量阻抗-頻率特性，而得到如圖11所示的結果。
從圖11可見，在諧振點fr和反諧振點fa之間的通帶附近幾乎沒有由于截面邊緣模式引起的寄生振動出現(xiàn)。
當上述比值W/d變化時，獲得較好的諧振特性，如圖11所示。由于這個，運用有限元法確定當比值W/d變化時獲得的模式的頻率常數(shù)。獲得如圖12所示的結果。
這里所指的頻率常數(shù)是反諧振頻率fa與d相乘，以使頻率為定值。
從圖12可見，當比率W/d變化時，相對帶寬變化。特別是，當W/d超過6，由截面邊緣模式引起的諧振點(由圖12中的x所示)出現(xiàn)在通帶中。當比值W/d小于6.1，通過適當選擇比率W/d的值可以獲得不受由截面邊緣模式引起的振動影響的厚度延伸壓電諧振器。特別是，當在式(1)-(5)的范圍內設定比值W/d，由x所示的截面邊緣模式的諧振不在諧振點(O)和反諧振點(Δ)之間的通帶內，因而可以獲得良好的諧振特性。
在根據(jù)本發(fā)明的厚度延伸壓電諧振器1中，如上所述，把壓電板2的比值W/d設置為小于6.1。因此，當構成利用厚度延伸振動模式的二次波TE2的壓電諧振器，可以有效地抑制由截面邊緣模式引起的不想要的寄生振動。結果，可以獲得良好的諧振特性。
(第二實施例)在根據(jù)第一實施例的厚度延伸壓電諧振器1中，使壓電條2沿著厚度方向均勻極化。以平行結構連接壓電諧振器，從而施加的電場在每個后續(xù)的層中反向。還可以把本發(fā)明應用于多個壓電層沿著厚度方向交替相反地極化的串聯(lián)型壓電諧振器。圖13示出這種串聯(lián)型厚度延伸壓電諧振器。
如圖13所示的厚度延伸壓電諧振器11由狹長矩形壓電條12構成。在壓電條12的頂面上形成第一激勵電極13。在底面上形成第二激勵電極14。分別把第一和第二激勵電極13和14設置在壓電條12相對的兩側上。在壓電條12的縱向中心處，第一和第二激勵電極13和14互相面對。第一和第二激勵電極13、14互相面對的部分形成能量陷獲諧振部分。
此外，在本實施例中，分別把第一和第二激勵電極13、14引出到壓電條12的端面12a和12b。除了諧振部分之外的部分不需要沿著壓電條12的整個長度延伸。
從不同的觀點看，激勵電極13和14沿著壓電條12的縱向形成具有振動衰減部分的能量陷獲諧振部分。為此，第一和第二激勵電極13和14沿著與縱向垂直的方向，延伸到壓電條12的縱向端部。
在壓電條12內的一半高度處形成內部電極16，并用于使壓電條12極化。即，在極化期間，通過分別把高壓和低壓施加于內部電極16和激勵電極13、14，沿著厚度方向以相反方向使壓電條12c和12d極化。
在操作期間，分別在第一和第二激勵電極13和14之間施加交流電壓。即，內部電極16不用于該操作。可以激勵厚度延伸振動模式的二次波TE2。
由于把比值W/d設置在上述五個范圍的任一范圍內，所以用與根據(jù)第一實施例的厚度延伸振動模式壓電諧振器1相同的方法，根據(jù)第二實施例的厚度延伸振動模式壓電諧振器11可以有效地抑制由截面邊緣模式引起的不想要的寄生振動。結果，可以獲得良好的諧振特性。
(變更例)第一和第二實施例提供都利用厚度延伸振動模式的二次波的壓電諧振器1和11。根據(jù)本發(fā)明的壓電諧振器可以利用除了厚度延伸振動模式的二次波之外的諧波。圖14-17是示出利用這些諧波的壓電諧振器的剖面圖，而且與用于描述第一實施例的圖2相對應。
圖14是利用厚度延伸振動模式的三次波的并聯(lián)型厚度延伸壓電諧振器21。特別是，把兩個內部電極22和23設置在壓電體2內。沿著箭頭所示的厚度方向使壓電體2均勻極化。于是，可以建立利用厚度延伸振動模式的三次波的壓電諧振器21。
如圖15所示的厚度延伸壓電諧振器24是示出利用厚度延伸振動模式的四次波的并聯(lián)型壓電諧振器24的剖面圖。在厚度延伸壓電諧振器24中，沿著厚度方向使壓電條2均勻極化。沿著諧振器內的厚度方向把三個內部電極25-27互相有規(guī)則地隔開。于是，有效地激勵厚度延伸振動模式的四次波。
圖16是示出利用厚度延伸振動模式的三次波的串聯(lián)型厚度延伸壓電諧振器28的剖面圖。在這種厚度延伸壓電諧振器28中，把兩個內部電極29和30設置在壓電體12中。把壓電體12的內部分成三層壓電層12e-12g。運用這些內部電極29和30，進行極化，從而使互相鄰近的壓電層沿著厚度方向以相反的方向極化。于是，通過對第一和第二激勵電極13和14施加交流電壓，可以激勵厚度延伸振動模式的三次波。
同樣地，圖17是示出利用厚度延伸振動模式的四次波的串聯(lián)型壓電諧振器31的剖面圖。這里，把三個內部電極32-34置于壓電體12內。使用這三個內部電極32-34進行極化，從而使相鄰的壓電層沿厚度方向以相反的方向極化。
因此，通過對第一和第二激勵電極13和14的施加交流電壓，可實現(xiàn)利用厚度延伸振動模式的四次波的壓電諧振器。
此外，在如圖14-17所示的厚度延伸壓電諧振器中，把比值W/d設置在上述五個范圍中的任何一個中。因此，可以與第一和第二實施例相同的方法，利用厚度延伸振動的諧波。此外，可以有效地抑制由于截面邊緣模式或其它諧波引起的不想要的寄生振動。
(第三實施例)圖18是示出依據(jù)本發(fā)明第三實施例的厚度延伸壓電諧振器的透視圖。圖19是示出其等效電路的圖。圖18示出一壓電諧振器41，它是依據(jù)第一實施例的厚度延伸振動模式壓電諧振器1與電容器42的組合。電容器42通過導電粘合劑43、44粘合到厚度延伸振動模式壓電諧振器1的底面。
在電容器42中，通過介質襯底42a頂面上給定的空隙來形成電容電極42b和42c。在介質襯底42a的底面上形成公共電極42d。公共電極42d和電容電極42b、42c位于介質襯底42a的面對的兩側。
導電粘合劑43把電容電極42b粘合到端電極7。導電粘合劑44把電容電極42c粘合到端電極5。
因此，如圖19所示，可把壓電諧振器41用作裝有兩個電容單元的壓電諧振器。
于是，厚度延伸振動模式壓電諧振器1是利用厚度延伸振動的二次波的壓電諧振器。可有效地抑制由截面邊緣模式引起的寄生振動。因此，可提供具有良好頻率特性的壓電諧振器。
(其它變更例)圖20是示出根據(jù)本發(fā)明的厚度延伸壓電諧振器的另外的變更例的透視圖。
根據(jù)本發(fā)明的厚度延伸壓電諧振器的特性在于諧振器利用厚度延伸振動模式的諧波，而且把比值W/d設置在上述五個確定的范圍內。于是，抑制由截面邊緣模式和其它諧波引起的不想要的寄生振動。即，本發(fā)明不限于能量陷獲壓電諧振器。如圖20所示，可將本發(fā)明用于除了能量陷獲型之外的厚度延伸壓電諧振器。
參照圖20，厚度延伸壓電諧振器45包括狹長的矩形壓電條46。把這個壓電條46的比值W/d設置在結合第一實施例所述的五個確定范圍中的任何一個內。分別在壓電條46的整個頂面和整個底面上形成第一激勵電極47和第二激勵電極48。把內部電極50設置在壓電條內。在這個壓電條46中，使相鄰的壓電層46a和46b沿著厚度方向以相反方向極化。
此外，在壓電諧振器45中，把W/d設置在所述確定范圍內。用與根據(jù)第二實施例的厚度延伸壓電諧振器11相同的方法，可以有效地抑制由截面邊緣模式和其它諧波引起的不想要的寄生振動?？梢垣@得良好的諧振特性。
雖然參考本發(fā)明的較佳實施例特別描述了本發(fā)明，但本領域熟練的技術人員應理解，可對本發(fā)明的形式和細節(jié)進行上述的和其他的變化而不背離本發(fā)明的精神。
權利要求
1．一種利用厚度延伸振動模式的n次諧波的厚度延伸振動模式壓電諧振器，其特征在于，所述壓電諧振器包括具有互相面對的第一和第二面的矩形壓電板；分別設置在所述第一和第二面上并通過所述壓電板互相面對的第一和第二激勵電極；設置在所述壓電板中并至少部分與所述第一和第二激勵電極面對設置的至少一個內部電極；限定諧振部分的所述第一和第二激勵電極的所述面對部分、所述內部電極和所述壓電板；其中W/d小于6.1，其中d=t/n，W和t分別是所述矩形壓電板的寬度和厚度，而n是大于1的整數(shù)。
2．如權利要求1所述的厚度延伸振動模式壓電諧振器，其特征在于，所述W/d滿足下列范圍中的任何一個W/d≤0.8，1.0≤W/d≤2.0，2.2≤W/d≤4.0，4.3≤W/d≤4.8，5.7≤W/d≤6.1。
3．如權利要求2所述的厚度延伸振動模式壓電諧振器，其特征在于，所述厚度延伸振動模式壓電諧振器是具有所述諧振部分和只沿著一個方向的振動衰減部分的能量陷獲壓電諧振器，和如此設置所述第一和第二激勵電極，從而沿著與所述方向垂直的方向延伸至或靠近于所述壓電板的兩端。
4．如權利要求1所述的厚度延伸振動模式壓電諧振器，其特征在于；所述厚度延伸振動模式壓電諧振器是具有所述諧振部分和只沿著一個方向的振動衰減部分的能量陷獲壓電諧振器，和如此設置所述第一和第二激勵電極，從而沿著與所述方向垂直的方向延伸至或靠近于所述壓電板的一端。
5．如權利要求1至4中的任一權利要求所述的厚度延伸振動模式壓電諧振器，其特征在于，所述壓電板是狹長條型。
6．如權利要求1至5中的任一權利要求所述的厚度延伸振動模式壓電諧振器，其特征在于，還包括設置在所述壓電板的所述第一或第二面上并在兩者之間有一間隔的電容器，所述間隔起到不阻止所述壓電諧振器振動的作用。
全文摘要
厚度延伸壓電諧振器1包括矩形壓電條2、在壓電條2的兩個表面上形成的第一和第二激勵電極3、4和設置在壓電條內部的內部電極6。把第一和第二激勵電極3和4放置在壓電條2的相對的兩側。內部電極6與第一和第二激勵電極3、4面對。假設壓電條2的寬度為W而厚度為t,如果d=t/n則壓電條的尺寸滿足W/d小于6.1?？蓪⑦@種厚度延伸壓電諧振器制成較小尺寸。諧振器可以有效地抑制不想要的寄生振動。
文檔編號H03H9/205GK1211857SQ9810988
公開日1999年3月24日 申請日期1998年6月12日 優(yōu)先權日1997年6月12日
發(fā)明者開田弘明, 山田光洋, 井上二郎 申請人:株式會社村田制作所