二多孔板，11第二絕緣環(huán)，12金屬環(huán)，13第三絕緣環(huán)，14第四絕緣環(huán)，15第五絕緣環(huán)，16第六絕緣環(huán)，17第三多孔板，18冷卻液槽，19管式加熱器，20絕緣材料端子，21第二多孔板與第三多孔板間間隙，22冷卻液出口，23冷卻液進口，25直筒；
[0029]圖6本發(fā)明上電極上蓋與直筒裝配外形示意圖，圖中:7第一絕緣環(huán)，22冷卻液出口，23冷卻液進口，24管式加熱器電源接入端，25直筒，41小直徑金屬圓筒，42小內(nèi)徑金屬圓環(huán)，51大直徑金屬圓筒，52大內(nèi)徑金屬圓環(huán)；
[0030]圖7a本發(fā)明上電極上蓋及直筒焊接后外形結(jié)構(gòu)示意圖，圖中:4氣體進口，5小容積空間，22冷卻液出口，23冷卻液進口，24管式加熱器電源接入端，25直筒；
[0031]圖7b本發(fā)明上電極上蓋及直筒焊接后結(jié)構(gòu)剖視圖，圖中:4氣體進口，5小容積空間，6大容積空間，7第一絕緣環(huán)，8第一多孔板，9第二絕緣環(huán)，10第二多孔板，11第二絕緣環(huán)，12金屬環(huán)，13第三絕緣環(huán)，14第四絕緣環(huán)，15第五絕緣環(huán)，16第六絕緣環(huán)，17第三多孔板，18冷卻液槽，19管式加熱器，20絕緣材料端子，21第二多孔板與第三多孔板間間隙，22冷卻液出口，23冷卻液進口，24管式加熱器電源接入端，25直筒；
[0032]圖8本發(fā)明上電極直筒內(nèi)的部件裝配順序示意圖，圖中:4氣體進口，5小容積空間，8第一多孔板，9第二絕緣環(huán)，91第二絕緣環(huán)上通孔，10第二多孔板，11第二絕緣環(huán)，12金屬環(huán)，13第三絕緣環(huán)，14第四絕緣環(huán)，15第五絕緣環(huán)，16第六絕緣環(huán)，17第三多孔板，19管式加熱器，22冷卻液出口，23冷卻液進口，24管式加熱器電源接入端，25直筒；
[0033]圖9本發(fā)明上電極管式加熱器外接電源引出端與上蓋處外接電源接入端連接示意圖，圖中:24管式加熱器電源接入端，26密封墊圈，27管式加熱器加熱管外殼，28固定螺帽，52大金屬圓環(huán)；
[0034]圖10本發(fā)明上電極管式電加熱器加熱管與絕緣材料端子裝配示意圖，圖中:29絕緣材料端子，27管式加熱器加熱管外殼。
【具體實施方式】
[0035]以下結(jié)合附圖和【具體實施方式】進一步說明本發(fā)明。
[0036]圖1為電容式等離子電極結(jié)構(gòu)示意圖，圖中:上電極1，下電極2，電源3。上電極I與下電極2相對布置，由電源3供電。
[0037]本發(fā)明上電極為軸對稱結(jié)構(gòu)，分為上蓋及直筒25兩部分，上蓋及直筒25焊接為一體，如圖7a及圖7b所示。
[0038]如圖4a和圖4b所示，所述的上蓋包括兩個直徑不同金屬直筒、兩個內(nèi)外徑不同金屬圓環(huán)及第一絕緣環(huán)7。小直徑金屬直筒41的外徑與小內(nèi)徑金屬圓環(huán)42的內(nèi)徑相等，小內(nèi)徑金屬圓環(huán)42的外徑與大直徑金屬直筒51的內(nèi)徑相等，大直徑金屬直筒51的外徑與大內(nèi)徑金屬圓環(huán)52的內(nèi)徑相等。第一絕緣環(huán)7的外徑小于大內(nèi)徑金屬圓環(huán)52的外徑，第一絕緣環(huán)7的內(nèi)徑大于大內(nèi)徑金屬圓環(huán)52的內(nèi)徑。
[0039]上蓋中，小直徑金屬直筒41、小內(nèi)徑金屬圓環(huán)42、大直徑金屬圓筒51、大內(nèi)徑金屬圓環(huán)52、第一絕緣環(huán)7依次上下同軸布置。大直徑金屬直筒51的上端與大內(nèi)徑金屬圓環(huán)52的內(nèi)圈對應(yīng)焊接，大直徑金屬直筒51的下端與小內(nèi)徑金屬圓環(huán)42的外圈對應(yīng)焊接。小內(nèi)徑金屬圓環(huán)42的內(nèi)圈與小直徑金屬直筒41的下端對應(yīng)焊接，小直徑金屬直筒41的上端開口，為氣體進口 4。
[0040]第一絕緣環(huán)7用螺釘固定在大內(nèi)徑金屬圓環(huán)52的底面。
[0041]在大內(nèi)徑金屬圓環(huán)52與大直徑金屬直筒51焊接的一面，布置有一對管式加熱器電源接入端24。該管式加熱器電源接入端24位于大內(nèi)徑金屬圓環(huán)52上的一個同心圓周上，此圓周的直徑大于大直徑金屬直筒51的外徑，小于大內(nèi)徑金屬圓環(huán)52外徑。兩個管式加熱器電源接入端24的連線穿過大直徑金屬直筒51的圓心和大內(nèi)徑金屬圓環(huán)52的圓心。管式加熱器電源接入端24采用卡套結(jié)構(gòu)。大直徑金屬直筒51的內(nèi)腔為小容積空間5，第一絕緣環(huán)7的內(nèi)腔為大容積空間6。大容積空間6和小容積空間5連通，用于氣體緩沖。氣體由氣體進口 4進入小直徑金屬直筒41，然后進入大直徑金屬直筒51的內(nèi)腔，充滿由大直徑金屬直筒51內(nèi)腔形成的小容積空間5后，流入第一絕緣環(huán)7內(nèi)腔形成的大容積空間6并充滿此大容積空間，實現(xiàn)氣體流入緩沖的目的。
[0042]如圖5a所示，所述的直筒25為金屬制作。直筒25外壁的下部布置有冷卻液進口23，上部布置有冷卻液出口 22，冷卻液通過冷卻液進口 23及冷卻液出口 22與外部循環(huán)裝置連接。
[0043]所述直筒25的內(nèi)部結(jié)構(gòu)如圖5b所示。
[0044]直筒25內(nèi)從上至下依次布置有第一多孔板8、管式加熱器19、第二多孔板10和第三多孔板17。在第一多孔板8、管式加熱器19、第二多孔板19和第三多孔板17之間布置有金屬環(huán)或絕緣環(huán)。如圖8所示，布置于直筒25內(nèi)所有金屬環(huán)及絕緣環(huán)外徑與直筒內(nèi)徑相等，布置于直筒內(nèi)所有金屬環(huán)及絕緣環(huán)的內(nèi)徑相等，布置于直筒內(nèi)所有金屬環(huán)及絕緣環(huán)的外徑相等，布置于上蓋的第一絕緣環(huán)7的內(nèi)徑與直筒內(nèi)所有金屬環(huán)及絕緣環(huán)的內(nèi)徑相等，第一絕緣環(huán)7的外徑小于直筒內(nèi)所有金屬環(huán)及絕緣環(huán)的外徑。直筒內(nèi)的金屬環(huán)及絕緣環(huán)用于隔離或連接第一多孔板8、管式加熱器19、第二多孔板10和第三多孔板17，直筒內(nèi)的上述部件用螺釘依次固定在直筒25內(nèi)壁上。
[0045]第一多孔板8、第二多孔板10和第三多孔板17為金屬材料制作。
[0046]第一多孔板8的外徑小于第一絕緣環(huán)7的外徑，第一多孔板8與直筒壁之間有間隙，該間隙用于引出管式加熱器19電源引出端。
[0047]如圖8所示，第一多孔板8布置于第一絕緣環(huán)7下面，通過螺釘與第一絕緣環(huán)7固定。第二絕緣環(huán)9包裹在第一多孔板8的外周。第二絕緣環(huán)9的圓周上開有兩個通孔91，兩個通孔91分別與上蓋的兩個管式加熱器電源接入端24對應(yīng)。管式加熱器的電源引出端穿過第二絕緣環(huán)上的通孔91，再穿出上蓋的管式加熱器的電源引出端24的端口，通過電源引出端口 24的密封墊圈26及固定螺帽28，將管式加熱器加熱管外殼27固定，如圖9所示。
[0048]管式加熱器19布置于第一多孔板8的下面，管式加熱器19的兩端安裝有絕緣材料端子20，管式加熱器兩端的絕緣材料端子20分別緊貼第一多孔板8和第二多孔板10，使管式加熱器19與第一多孔板8及第二多孔板10相互絕緣，如圖5b所示。
[0049]第二多孔板10布置于管式加熱器19的下面，第二多孔板10的一面緊貼管式加熱器的絕緣材料端子20，另一面布置有一金屬環(huán)12，金屬環(huán)12的下面布置有第三絕緣環(huán)13。第二多孔板10、第三絕緣環(huán)13及金屬環(huán)12通過螺釘與直筒25的內(nèi)壁固定。
[0050]第三多孔板17布置在第三絕緣環(huán)13的下面，第三多孔板17的下面布置有第四絕緣環(huán)14。第三多孔板17、第四絕緣環(huán)14通過螺釘與直筒25的內(nèi)壁固定。
[0051]第二多孔板10與第三多孔板17間有間隙21。
[0052]第五絕緣環(huán)15布置于第四絕緣環(huán)14的下面，第六絕緣環(huán)16布置于第五絕緣環(huán)15的下面，第五絕緣環(huán)15、第六絕緣環(huán)16通過螺釘與直筒25的內(nèi)壁固定。
[0053]直筒25的筒壁為雙層，雙層的直筒壁為中空結(jié)構(gòu)，直筒壁內(nèi)的中空區(qū)域18為一通入冷卻液的密閉區(qū)域。冷卻液通過與該密閉區(qū)域連通的冷卻液進口 23及冷卻液出口 22與外部循環(huán)裝置連接。
[0054]第三多孔板17上的通孔與第一多孔板8的通孔、第二多孔板10的通孔同心。
[0055]如圖6所示，上蓋布置有第一絕緣環(huán)7的一端插入直筒25中，與直筒25焊接為一整體，成為一體的上蓋外形如圖7a所示。
[0056]直筒25的外徑與上蓋的大內(nèi)徑金屬圓環(huán)52外徑相等，直筒25的內(nèi)徑大于上蓋的第一絕緣環(huán)7的外徑。
[0057]本發(fā)明電容式等離子體電極的上電極為軸對稱結(jié)構(gòu)，上述實施例的外形為圓形，安裝在直筒25內(nèi)的部件，如多孔板設(shè)計為圓形，如圖2b所示。所述