一種改變扇形聲表面波濾波器帶寬的方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種方法，尤其涉及一種改變扇形聲表面波濾波器帶寬的方法。
【背景技術(shù)】
[0002]在傳統(tǒng)的扇形聲表面波濾波器制作過(guò)程中，器件的指標(biāo)之中的帶寬是由芯片表面的叉指圖案決定的，而叉指圖案是由掩膜板曝光形成的，一旦確定后，就很難更改。在已經(jīng)確定了芯片叉指圖案的情況下，聲表面波器件的帶寬指標(biāo)也就很難再有改變。如需更改帶寬，需要重新設(shè)計(jì)圖案制版，成本較高。因此需要一種能改變扇形聲表面波濾波器帶寬的方法。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]為了解決上述技術(shù)所存在的不足之處，本發(fā)明提供了一種改變扇形聲表面波濾波器帶寬的方法。
[0004]為了解決以上技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明采用的技術(shù)方案是:一種改變扇形聲表面波濾波器帶寬的方法，方法通過(guò)涂抹吸聲膠實(shí)現(xiàn)，吸聲膠的涂抹分為涂抹在輸入叉指換能器的叉指上的高頻率處帶寬吸聲膠和涂抹在輸出叉指換能器的叉指上的低頻率處帶寬吸聲膠；
[0005]具體步驟分為:
[0006]a、高頻率處帶寬吸聲膠的涂抹位置從輸入叉指換能器的叉指上邊緣開(kāi)始往下，實(shí)際有效長(zhǎng)度為叉指重疊部分往下開(kāi)始計(jì)算，頻響高端f2的位置下移，高端頻響處少去一塊，低端頻響不變，帶寬減小，頻率降低；有效長(zhǎng)度越長(zhǎng)，高端減小的帶寬就越多；
[0007]b、低頻率處帶寬吸聲膠用于控制低頻率處帶寬的響應(yīng)，吸聲膠涂抹位置從叉指下邊緣開(kāi)始往上，實(shí)際有效長(zhǎng)度為叉指重疊部分往上開(kāi)始計(jì)算，頻響低端Π位置上移，低端頻響處少去一塊，高端頻響不變，帶寬減小，頻率升高，有效長(zhǎng)度越長(zhǎng)，低端減小的帶寬就越多；
[0008]C、吸聲膠涂抹長(zhǎng)度由叉指重疊部分的邊緣處開(kāi)始計(jì)算，通過(guò)調(diào)整吸聲膠延長(zhǎng)至芯片內(nèi)部的長(zhǎng)度，控制帶寬的大?。?br>[0009]叉指重疊的長(zhǎng)度d與帶寬的大小f2-fl成正比的關(guān)系，調(diào)節(jié)的帶寬寬度對(duì)應(yīng)的吸聲膠長(zhǎng)度通過(guò)計(jì)算得出；高端帶寬需要減少A f2，高頻率處帶寬吸聲膠2的有效長(zhǎng)度=Af2/(f2_fl)*d ;同理，低端帶寬需要減少ΔΠ，低頻率處帶寬吸聲膠3的有效長(zhǎng)度=Afl/(f2-fl)*d ；
[0010]吸聲膠的長(zhǎng)度由一個(gè)可調(diào)節(jié)寬度的絲網(wǎng)印刷板控制，通過(guò)絲網(wǎng)把固定長(zhǎng)度的吸聲膠涂抹到晶片表面，得到想要的帶寬。
[0011]本發(fā)明可以在不改動(dòng)叉指圖案的情況下，更改扇形聲表面波濾波器的帶寬，很好了解決了需要重新設(shè)計(jì)圖案制版，繁瑣以及成本較高的問(wèn)題。
【附圖說(shuō)明】
[0012]下面結(jié)合附圖和【具體實(shí)施方式】對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)的說(shuō)明。
[0013]圖1為本發(fā)明的整體實(shí)施示意圖。
[0014]圖2為扇形結(jié)構(gòu)形成頻響的原理圖。
[0015]圖3為現(xiàn)有設(shè)計(jì)扇形聲表面波濾波器的頻響圖。
[0016]圖4為圖1中高頻率處帶寬吸聲膠涂抹后的頻響圖。
[0017]圖5為圖1中低頻率處帶寬吸聲膠涂抹后的頻響圖。
[0018]圖中:1、輸入叉指換能器；2、高頻率處帶寬吸聲膠；3、低頻率處帶寬吸聲膠；4、輸出叉指換能器；5、頻響低端Π ;6、頻響高端f2 ;7、叉指重疊的長(zhǎng)度d。
[0019]扇形聲表面波濾波器的帶寬對(duì)應(yīng)叉指的區(qū)域，叉指窄的部分，對(duì)應(yīng)頻響頻率高的部分，叉指寬的部分對(duì)應(yīng)頻響頻率低的部分。
【具體實(shí)施方式】
[0020]如圖1、圖2所示，根據(jù)扇形聲表面波濾波器形成頻響的原理，頻響高端f2的響應(yīng)由指條較細(xì)處控制，頻響低端fl的響應(yīng)由指條較粗處控制。頻率寬度(f2_fl)與叉指的孔徑相對(duì)應(yīng)。
[0021]吸聲膠可以抑制聲表面波在基片上的傳播，通常把吸聲膠涂在聲表面波濾波器的兩端來(lái)抑制器件的端面反射，來(lái)消除雜波。之前的聲表面波器件制作過(guò)程中，不會(huì)對(duì)形成頻響的聲表面波進(jìn)行處理。這里通過(guò)吸聲膠的特性，在輸入叉指換能器I和輸出叉指換能器4之間涂抹吸聲膠，控制輸入、輸出叉指換能器之間的聲表面波傳播，相當(dāng)于變更叉指的孔徑d，從而抑制改變頻響低端Π和頻響高端f2的位置，來(lái)改變聲表面波濾波器的帶寬。
[0022]附圖3為原設(shè)計(jì)扇形聲表面波濾波器的頻響圖。其由聲表面波器件在基片表面形成的叉指來(lái)決定其帶寬等指標(biāo)，一般情況下如需更改，需要重新制作掩膜板再次光刻，成本較高。
[0023]高頻率處帶寬吸聲膠2用于控制高頻率處帶寬的響應(yīng)，高頻率處帶寬吸聲膠2的涂抹位置從輸入叉指換能器I的叉指上邊緣開(kāi)始往下，實(shí)際有效長(zhǎng)度為叉指重疊部分往下開(kāi)始計(jì)算，涂抹高頻率處帶寬吸聲膠2后頻響圖如附圖4所示，頻響高端f2的位置下移，高端頻響處就會(huì)少去一±夬，低端頻響不變，帶寬減小，頻率降低。有效長(zhǎng)度越長(zhǎng)，高端減小的帶寬就越多。
[0024]低頻率處帶寬吸聲膠3用于控制低頻率處帶寬的響應(yīng)，吸聲膠涂抹位置從輸出叉指換能器4的叉指的下邊緣開(kāi)始往上，實(shí)際有效長(zhǎng)度為叉指重疊部分往上開(kāi)始計(jì)算，涂抹低頻率處帶寬吸聲膠后頻響圖如附圖5所示，頻響低端fl位置上移，低端頻響處就會(huì)少去一塊，高端頻響不變，帶寬減小，頻率升高。有效長(zhǎng)度越長(zhǎng)，低端減小的帶寬就越多。
[0025]吸聲膠涂抹長(zhǎng)度由叉指重疊部分的邊緣處開(kāi)始計(jì)算，通過(guò)調(diào)整吸聲膠延長(zhǎng)至芯片內(nèi)部的長(zhǎng)度，可以控制所需帶寬的大小。因叉指重疊的長(zhǎng)度d與帶寬的大小(f2_fl)成正比的關(guān)系，所以要調(diào)節(jié)的帶寬寬度對(duì)應(yīng)的吸聲膠長(zhǎng)度可以通過(guò)計(jì)算得出。假設(shè)高端帶寬需要減少Af2，那么高頻率處帶寬吸聲膠2的有效長(zhǎng)度=Af2/(f2_fl)*d。同理，假設(shè)低端帶寬需要減少A fl，那么低頻率處帶寬吸聲膠3的有效長(zhǎng)度=Afl/(f2-fl)*d。
[0026]吸聲膠的長(zhǎng)度可由一個(gè)可調(diào)節(jié)寬度的絲網(wǎng)印刷板控制，通過(guò)絲網(wǎng)把固定長(zhǎng)度的吸聲膠涂抹到晶片表面，從而得到想要的帶寬。
[0027]吸聲膠的成分可以為環(huán)氧樹(shù)脂等易被丙酮熔接的材料，如果改變的帶寬有誤，可以通過(guò)丙酮清洗晶片后再次涂抹，增強(qiáng)了器件性能的可修改性。
[0028]本發(fā)明的的優(yōu)點(diǎn)是，可以不改動(dòng)叉指圖案的情況下，更改扇形聲表面波濾波器的帶寬。
[0029]以上所述，僅為本發(fā)明較佳的【具體實(shí)施方式】，但本發(fā)明的保護(hù)范圍并不限于此，任何熟悉本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員在本發(fā)明披露的技術(shù)范圍內(nèi)，可輕易想到的變化或替換，都涵蓋在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種改變扇形聲表面波濾波器帶寬的方法，其特征在于:所述方法通過(guò)涂抹吸聲膠實(shí)現(xiàn)，吸聲膠的涂抹分為涂抹在輸入叉指換能器(I)的叉指上的高頻率處帶寬吸聲膠(2)和涂抹在輸出叉指換能器(4)的叉指上的低頻率處帶寬吸聲膠(3); 具體步驟分為: a、高頻率處帶寬吸聲膠(2)的涂抹位置從輸入叉指換能器(I)的叉指上邊緣開(kāi)始往下，實(shí)際有效長(zhǎng)度為叉指重疊部分往下開(kāi)始計(jì)算，頻響高端f2的位置下移，高端頻響處少去一塊，低端頻響不變，帶寬減小，頻率降低；有效長(zhǎng)度越長(zhǎng)，高端減小的帶寬就越多； b、低頻率處帶寬吸聲膠(3)用于控制低頻率處帶寬的響應(yīng)，吸聲膠涂抹位置從叉指下邊緣開(kāi)始往上，實(shí)際有效長(zhǎng)度為叉指重疊部分往上開(kāi)始計(jì)算，頻響低端Π位置上移，低端頻響處少去一塊，高端頻響不變，帶寬減小，頻率升高，有效長(zhǎng)度越長(zhǎng)，低端減小的帶寬就越多； C、吸聲膠涂抹長(zhǎng)度由叉指重疊部分的邊緣處開(kāi)始計(jì)算，通過(guò)調(diào)整吸聲膠延長(zhǎng)至芯片內(nèi)部的長(zhǎng)度，控制帶寬的大小； 叉指重疊的長(zhǎng)度d與帶寬的大小f2-fl成正比的關(guān)系，調(diào)節(jié)的帶寬寬度對(duì)應(yīng)的吸聲膠長(zhǎng)度通過(guò)計(jì)算得出；高端帶寬需要減少A f2，高頻率處帶寬吸聲膠(2)的有效長(zhǎng)度=Af2/(f2_fl)*d;同理，低端帶寬需要減少Af 1，低頻率處帶寬吸聲膠⑶的有效長(zhǎng)度=Afl/(f2-fl)*d ； 吸聲膠的長(zhǎng)度由一個(gè)可調(diào)節(jié)寬度的絲網(wǎng)印刷板控制，通過(guò)絲網(wǎng)把固定長(zhǎng)度的吸聲膠涂抹到晶片表面，得到想要的帶寬。
【專(zhuān)利摘要】本發(fā)明公開(kāi)了一種改變扇形聲表面波濾波器帶寬的方法，方法通過(guò)涂抹吸聲膠實(shí)現(xiàn)，吸聲膠的涂抹分為涂抹在輸入叉指換能器的叉指上的高頻率處帶寬吸聲膠和涂抹在輸出叉指換能器的叉指上的低頻率處帶寬吸聲膠；具體步驟分為：高頻率處帶寬吸聲膠的涂抹位置從輸入叉指換能器的叉指上邊緣開(kāi)始往下，低頻率處帶寬吸聲膠用于控制低頻率處帶寬的響應(yīng)，吸聲膠涂抹位置從叉指下邊緣開(kāi)始往上，吸聲膠的長(zhǎng)度由一個(gè)可調(diào)節(jié)寬度的絲網(wǎng)印刷板控制，通過(guò)絲網(wǎng)把固定長(zhǎng)度的吸聲膠涂抹到晶片表面，得到想要的帶寬。本發(fā)明可以在不改動(dòng)叉指圖案的情況下，更改扇形聲表面波濾波器的帶寬，很好了解決了需要重新設(shè)計(jì)圖案制版，繁瑣以及成本較高的問(wèn)題。
【IPC分類(lèi)】H03H9/64
【公開(kāi)號(hào)】CN105141279
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201510472173
【發(fā)明人】馬鋆梁
【申請(qǐng)人】北京中訊四方科技股份有限公司
【公開(kāi)日】2015年12月9日
【申請(qǐng)日】2015年8月5日