差異的情況下，即在帶電粒子束相對于設(shè)置電磁鐵30的地板35的入射角度和射出角度不同的情況下，與專利文獻I不同，能在不另外使用防止電磁鐵偏移、維持設(shè)置角度的支承結(jié)構(gòu)的情況下，高精度且可調(diào)整地對電磁鐵30進行支承。能降低樞軸32中的中心軸34方向的高度(突起高度)，也能使與樞軸32卡合的支承金屬件10中的中心軸34方向的寬度較窄，從而能使樞軸32及支承金屬件10小型化。實施方式I的電磁鐵支承臺20中，由于樞軸32及支承金屬件10較為小型，因此能使電磁鐵30和電磁鐵支承臺20整體緊湊。
[0020]此外，實施方式I的電磁鐵支承臺20能利用小型的樞軸32及支承金屬件10來對電磁鐵30進行支承，因此無需在電磁鐵30的周圍使用專利文獻2那樣巨大的板、固定板，從而能將電磁鐵30的周圍變成較寬的開放空間。實施方式I的電磁鐵支承臺20由于在電磁鐵30的周圍廣泛設(shè)置可利用的空間，因此能減少對用于向電磁鐵30供電的線纜的配置位置、和對電磁鐵30進行冷卻的冷卻水配管的配置位置的限制，能提高電磁鐵30的配置自由度。
[0021]根據(jù)實施方式I的電磁鐵支承臺20，對具有由兩個樞軸32構(gòu)成的樞軸對33的電磁鐵30進行支承，上述兩個樞軸32設(shè)置在彼此相對的側(cè)面上，且彼此的中心軸34 —致，該電磁鐵支承臺20具備:與樞軸32的個數(shù)相同、且設(shè)置有以覆蓋樞軸32的外表面的方式來進行卡合的卡合部19的支承金屬件10 ;以及經(jīng)由使支承金屬件10在垂直方向上移動的垂直方向調(diào)整部21來保持支承金屬件10的支架26，因此大型電磁鐵的配置自由度較高，能使設(shè)備整體變得緊湊。
[0022]實施方式2
實施方式I中，對利用固定螺栓11將樞軸32和支承金屬件10連接的示例進行了說明，但也可以通過提高樞軸32的外表面與支承金屬件10的卡合部19的嵌合精度、即卡合精度，從而能不使用固定螺栓11。實施方式2的電磁鐵支承臺20是在不使用固定螺栓11的情況下使樞軸32與支承金屬件10連接的示例。
[0023]圖5是表示本發(fā)明實施方式2的電磁鐵支承臺的圖。圖6是圖5的B部分的放大圖，圖7是圖5的B部分的側(cè)視圖。圖8是表示本發(fā)明實施方式2的電磁鐵支承臺與電磁鐵的卡合關(guān)系的圖，并用截面示出主要部分。實施方式2的電磁鐵支承臺20與實施方式I的不同之處在于，包括不具有實施方式I的貫通孔18的支承金屬件10。此外，電磁鐵30的樞軸32不具有實施方式I的螺釘孔36。
[0024]由于實施方式2的電磁鐵支承臺20的支承金屬件10不具有實施方式I的貫通孔18，因此能使用卡合部19較小、即卡合部19的直徑較小的支承金屬件10。由于實施方式2的電磁鐵支承臺20能使支承金屬件10比實施方式I小，因此與實施方式I相比能在電磁鐵30的周圍設(shè)置更大的可利用空間，從而能進一步提高電磁鐵30的配置自由度。
[0025]實施方式3
在實施方式I和2中，對樞軸32配置在電磁鐵30的電磁鐵蓋板31上且卡合部19形成在連接板12上的例子進行了說明，但也可以在支承金屬件10上配置樞軸32，并將具備卡合部19的卡合板38配置在電磁鐵30的電磁鐵蓋板31上。實施方式3的電磁鐵支承臺20是樞軸32配置在支承金屬件10上且具備卡合部19的卡合板38配置在電磁鐵30的電磁鐵蓋板31上的例子。
[0026]圖9是表示本發(fā)明實施方式3的電磁鐵支承臺的圖。圖10是圖9的C部分的放大圖，圖11是圖9的C部分的側(cè)視圖。圖12是表示本發(fā)明實施方式3的電磁鐵支承臺與電磁鐵的卡合關(guān)系的圖，并用截面示出主要部分。實施方式3的電磁鐵支承臺20與實施方式2的電磁鐵支承臺20的不同點在于，支承金屬件10的連接板12上設(shè)有樞軸32，且具備以與樞軸32嵌合的方式來進行卡合的卡合部19的卡合板38設(shè)置在電磁鐵30的電磁鐵蓋板31上。中心軸34 —致的兩個卡合板38構(gòu)成卡合板對39，中心軸34 —致的兩個卡合部19構(gòu)成卡合部對。例如，左側(cè)的卡合板對39的卡合部19 (第一卡合部對)配置在帶電粒子束的入射側(cè)，右側(cè)的卡合板對39的卡合部19 (第二卡合部對)配置在帶電粒子束的射出偵U。圖9的示例中，與第一^^合部對中的卡合部19卡合的支承金屬件10和與第二卡合部對中的卡合部19卡合的支承金屬件10的垂直方向位置不同。實施方式3的電磁鐵支承臺20能起到與實施方式2相同的效果。
[0027]根據(jù)實施方式3的電磁鐵支承臺20，對具有由兩個凹陷、即卡合部19構(gòu)成的卡合部對(卡合板對39)的電磁鐵30進行支承，上述兩個凹陷設(shè)置在彼此相對的側(cè)面上，且彼此的中心軸34—致，該電磁鐵支承臺20具備:與卡合部19的個數(shù)相同、且設(shè)置有以將外表面插入卡合部19的方式進行卡合的樞軸32的支承金屬件10 ；以及經(jīng)由使支承金屬件10在垂直方向上移動的垂直方向調(diào)整部21來保持支承金屬件10的支架26，因此大型電磁鐵的配置自由度較高，能使設(shè)備整體變得緊湊。
[0028]另外，在實施方式I?3的電磁鐵支承臺20中，對帶電粒子束相對于設(shè)置電磁鐵30的地板35的入射角度和射出角度不同的情況進行了說明，但本發(fā)明的使用樞軸32和支承金屬件10的電磁鐵30的支承方法也能適用于帶電粒子束的入射角度和射出角度幾乎相同的情況下的電磁鐵支承臺20。
標號說明
[0029]10支承金屬件 13調(diào)整螺釘棒
14螺母 19卡合部 20電磁鐵支承臺 21垂直方向調(diào)整部 22水平方向調(diào)整部 23上部支架 24下部支架 26支架 30電磁鐵 32樞軸 33樞軸對 34 中心軸 39卡合板對
【主權(quán)項】
1.一種電磁鐵支承臺，對控制帶電粒子束的射束路徑的電磁鐵進行支承，其特征在于， 所述電磁鐵具有由兩個樞軸構(gòu)成的樞軸對，該兩個樞軸設(shè)置在彼此相對的側(cè)面上，且彼此的中心軸一致， 該電磁鐵支承臺包括:支承金屬件，該支承金屬件的個數(shù)與所述樞軸的個數(shù)相同，且設(shè)置有以覆蓋所述樞軸的外表面的方式來進行卡合的卡合部；以及 支架，該支架經(jīng)由使所述支承金屬件在垂直方向上移動的垂直方向調(diào)整部來對所述支承金屬件進行保持。2.如權(quán)利要求1所述的電磁鐵支承臺，其特征在于，所述電磁鐵具有配置在所述帶電粒子束的入射側(cè)的所述樞軸對即第一樞軸對、以及配置在所述帶電粒子束的射出側(cè)的所述樞軸對即第二樞軸對， 與所述第一樞軸對中的所述樞軸卡合的所述支承金屬件、和與所述第二樞軸對中的所述樞軸卡合的所述支承金屬件的垂直方向位置不同。3.一種電磁鐵支承臺，對控制帶電粒子束的射束路徑的電磁鐵進行支承，其特征在于， 所述電磁鐵具有由兩個凹陷即卡合部構(gòu)成的卡合部對，該兩個凹陷設(shè)置在彼此相對的側(cè)面上，且彼此的中心軸一致， 該電磁鐵支承臺包括:支承金屬件，該支承金屬件的個數(shù)與所述卡合部的個數(shù)相同，且設(shè)置有以將外表面插入所述卡合部的方式進行卡合的樞軸；以及 支架，該支架經(jīng)由使所述支承金屬件在垂直方向上移動的垂直方向調(diào)整部來對所述支承金屬件進行保持。4.如權(quán)利要求3所述的電磁鐵支承臺，其特征在于，所述電磁鐵具有配置在所述帶電粒子束的入射側(cè)的所述卡合部對即第一卡合部對、以及配置在所述帶電粒子束的射出側(cè)的所述卡合部對即第二卡合部對， 與所述第一卡合部對中的所述卡合部卡合的所述支承金屬件、和與所述第二卡合部對中的所述卡合部卡合的所述支承金屬件的垂直方向位置不同。5.如權(quán)利要求1至4的任一項所述的電磁鐵支承臺，其特征在于，所述垂直方向調(diào)整部具有調(diào)整螺釘棒和螺母，通過變更所述螺母相對于所述調(diào)整螺釘棒的位置，從而調(diào)整所述支承金屬件的所述垂直方向位置。6.如權(quán)利要求1至5的任一項所述的電磁鐵支承臺，其特征在于，所述支架包括下部支架、上部支架、以及使所述上部支架相對于所述下部支架在水平方向上移動的水平方向調(diào)整部。
【專利摘要】本發(fā)明的目的在于獲得一種大型電磁鐵的配置自由度高、且能使整個設(shè)備緊湊的、對大型電磁鐵進行支承的電磁鐵支承臺。本發(fā)明的電磁鐵支承臺的特征在于，對具有由兩個樞軸(32)構(gòu)成的樞軸對(33)的電磁鐵(30)進行支承，上述兩個樞軸(32)設(shè)置在彼此相對的側(cè)面上，且彼此的中心軸(34)一致，該電磁鐵支承臺具備：與樞軸(32)的個數(shù)相同、且設(shè)置有以覆蓋樞軸(32)的外表面的方式來進行卡合的卡合部(19)的支承金屬件(10)；以及經(jīng)由使支承金屬件(10)在垂直方向上移動的垂直方向調(diào)整部(21)來進行保持的支架(26)。
【IPC分類】H05H7/04, H05H13/04
【公開號】CN105191510
【申請?zhí)枴緾N201380074593
【發(fā)明人】青木隆介, 小畑順
【申請人】三菱電機株式會社
【公開日】2015年12月23日
【申請日】2013年3月14日
【公告號】EP2975914A1, US9293296, US20150348739, WO2014141433A1