由于第二平面位置誤差的取得及校正與在以往公知的XY型機(jī)器人中進(jìn)行的取得及校正相同，因此省略詳細(xì)的說明，僅說明本實施方式特有的方面。在本實施方式中，在1臺安裝機(jī)10設(shè)有3臺機(jī)器人40，因此通過其中的2臺、例如上游側(cè)機(jī)器人40和下游側(cè)機(jī)器人40來拍攝分別在上游側(cè)基板114和下游側(cè)基板114各設(shè)有兩個的基準(zhǔn)標(biāo)記150，基于該拍攝結(jié)果，取得各電路基板114的保持位置誤差，并與各電路基板建立對應(yīng)關(guān)系地存儲在基板位置誤差存儲器152中。另外，各機(jī)器人40在從設(shè)于基板搬運保持裝置24的任一側(cè)的元件供給裝置30接收到元件100后，基于預(yù)定的控制程序，對最近的拍攝裝置130、132進(jìn)行定位，通過旋轉(zhuǎn)頭80的旋轉(zhuǎn)使多個吸嘴98依次與拍攝裝置130、132相向，從而取得保持于這些吸嘴98的元件100的底面的高度位置、元件保持位置誤差(元件100的中心的位置誤差)及旋轉(zhuǎn)姿勢誤差(圍繞元件100的中心的旋轉(zhuǎn)姿勢誤差)，并與各吸嘴98建立對應(yīng)關(guān)系地存儲在省略圖示的底面位置存儲器、元件保持位置誤差存儲器156及省略圖示的元件旋轉(zhuǎn)姿勢誤差存儲器中。并且，在實際安裝時，基板位置誤差和元件保持位置誤差與上述機(jī)器人40的手部52的定位誤差一起被校正部160校正，并取得校正平面位置坐標(biāo)值(X'，1')，在控制部162將該校正平面位置坐標(biāo)值及在本實施方式中未被校正的z坐標(biāo)值變換為角度位置(Θ 1、Θ 2、Θ 3、Θ 4)，從而進(jìn)行機(jī)器人40的控制。
[0039]此外，對元件100的底面的高度位置、旋轉(zhuǎn)姿勢誤差及數(shù)據(jù)的利用進(jìn)行后述。
[0040]基于上述變換所得的角度位置(Θ 1、Θ 2、Θ 3、Θ 4)的數(shù)據(jù)，以從控制部162向機(jī)器人驅(qū)動裝置60的各旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置62、64、66、68的各電動馬達(dá)供給電流而使各電動馬達(dá)的旋轉(zhuǎn)位置向與角度位置(Θ 1、Θ 2、Θ 3、Θ 4)對應(yīng)的旋轉(zhuǎn)角度位置旋轉(zhuǎn)的方式進(jìn)行控制，通過機(jī)器人40使手部52向準(zhǔn)確的目標(biāo)位置移動。另外，在旋轉(zhuǎn)頭80，通過旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置86使旋轉(zhuǎn)體84每次旋轉(zhuǎn)一定角度，使多個吸嘴保持部件96及吸嘴98依次向元件接收位置旋轉(zhuǎn)并下降，從而接收元件100，另外，使多個吸嘴保持部件96及吸嘴98向元件安裝位置旋轉(zhuǎn)，并且通過旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置94基于元件100的旋轉(zhuǎn)姿勢誤差的數(shù)據(jù)使圓環(huán)齒輪92旋轉(zhuǎn)，經(jīng)由小齒輪90及吸嘴保持部件96使吸嘴98旋轉(zhuǎn)而校正元件100的旋轉(zhuǎn)姿勢誤差，從而以適當(dāng)?shù)男D(zhuǎn)姿勢安裝元件100。
[0041]此外，上述拍攝裝置130、132也用于吸嘴98對元件100的保持狀態(tài)是否正常的判定。在由兩個拍攝裝置130、132中的至少一方取得的元件100的像相對于預(yù)定的像的差異為設(shè)定量以上的情況下，使安裝機(jī)10的工作停止并且由顯示器164(參照圖1)進(jìn)行吸嘴98對元件100的保持狀態(tài)異常的報告，但是由于在這一點，與使用了以往公知的XY型機(jī)器人的安裝機(jī)相同，因此省略詳細(xì)的說明。
[0042]以上，說明了作為可申請發(fā)明的一實施方式的安裝機(jī)10，但是可申請發(fā)明也可以通過除此以外的各種實施方式來實施。
[0043]例如，在上述實施方式中，通過空調(diào)將安裝機(jī)10的環(huán)境溫度保持為固定，并且在使安裝機(jī)10工作一定時間而使其溫度達(dá)到穩(wěn)定狀態(tài)后進(jìn)行準(zhǔn)備作業(yè)等，由此以在執(zhí)行準(zhǔn)備作業(yè)后機(jī)器人40、安裝機(jī)主體20、基板搬運保持裝置24等的溫度幾乎被保持為固定為前提，準(zhǔn)備作業(yè)在安裝作業(yè)開始前僅被執(zhí)行1次，但是在伴隨著安裝作業(yè)的繼續(xù)而在機(jī)器人40等產(chǎn)生無法忽略的溫度變化的情況下，在執(zhí)行安裝作業(yè)的途中執(zhí)行與準(zhǔn)備作業(yè)相同的作業(yè)，更新平面位置誤差存儲器142的存儲數(shù)據(jù)即可。例如，每當(dāng)經(jīng)過設(shè)定時間、每當(dāng)完成設(shè)定數(shù)量的電子電路組裝、或每當(dāng)溫度變化較大的位置的溫度變化設(shè)定值等時，更新平面位置誤差存儲器142的存儲數(shù)據(jù)。
[0044]另外，機(jī)器人40的手部52的平面定位的誤差即平面位置誤差的檢測是基于拍攝裝置120相對于4個基準(zhǔn)標(biāo)記118的位置偏差來進(jìn)行的，對于電路基板114上的各目標(biāo)位置(元件100的電極位于與電路基板114的焊盤一致的位置)的平面位置誤差的取得是通過計算來進(jìn)行的，但是也可以是，使基板搬運保持裝置24對在表面形成有格子的基準(zhǔn)板進(jìn)行搬運保持，使拍攝裝置120拍攝該基準(zhǔn)板的格子點與上述基準(zhǔn)標(biāo)記118這雙方，根據(jù)基準(zhǔn)板相對于基準(zhǔn)標(biāo)記118的定位誤差和拍攝裝置120相對于各格子點的位置偏差量，分別取得手部52相對于各格子點的平面位置誤差，各目標(biāo)位置的平面位置誤差分別與靠近這些目標(biāo)位置的各格子點的平面位置誤差相等。
[0045]另外，也可以是，控制機(jī)器人40的工作，使得與手部52 —起移動的拍攝裝置變更為對將元件100的電極形成在應(yīng)焊接的電路基板114上而成的焊盤進(jìn)行拍攝的裝置，且根據(jù)手部52的移動而時刻發(fā)生變化的元件100的電極與電路基板114的焊盤之間的相對位置偏差消失。如此一來，即使機(jī)器人40等的溫度伴隨工作的繼續(xù)而發(fā)生變化，也能夠抵消伴隨著該溫度變化而產(chǎn)生的手部52相對于基準(zhǔn)標(biāo)記118的相對位置的變化。該結(jié)構(gòu)特別易于采用在下述情況:安裝頭具備1至3個左右的吸嘴保持部件96，并使這些吸嘴保持部件96與拍攝裝置120彼此接近，期望能夠配置為無法相對移動。
[0046]此外，在設(shè)置3個以上吸嘴保持部件的情況下，可以沿一直線設(shè)置這些吸嘴保持部件96，也可以沿一圓弧設(shè)置這些吸嘴保持部件96。
[0047]另外，在將元件100安裝于電路基板114后，通過拍攝裝置120拍攝該元件100，檢測元件100的電極與電路基板114的焊盤間的位置偏差量，取得機(jī)器人40的手部52的定位誤差，并校正用于對下一個電路基板114進(jìn)行安裝作業(yè)的機(jī)器人40的控制，也能夠獲得類似的效果。
[0048]在上述實施方式中，將吸嘴98相對于手部52的定位誤差設(shè)為能夠忽略的值，但在無法忽略的情況下，也可以對旋轉(zhuǎn)體84的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置86的工作進(jìn)行校正。
[0049]另外，元件供給裝置30的元件供給部與吸嘴98間的相對位置誤差并不會對元件100的取出造成不良影響，并且吸嘴98對元件100的保持位置誤差通過安裝時的機(jī)器人40的控制的校正來去除，因此能夠忽略，但是在無法忽略的情況下，通過拍攝裝置120對元件供給部34進(jìn)行拍攝并基于拍攝結(jié)果對元件接收時的機(jī)器人40的控制進(jìn)行校正即可。
[0050]在上述實施方式中，機(jī)器人40的基臺44通過具備驅(qū)動源的機(jī)器人位置變更裝置70而移動，但是也可以使機(jī)器人位置變更裝置不具備驅(qū)動源而以手動來旋轉(zhuǎn)外螺紋部件72和螺母74中的任一者，進(jìn)而，也可以不具備外螺紋部件72等而由作業(yè)者使機(jī)器人40沿機(jī)器人導(dǎo)軌42移動并能夠通過固定螺絲等固定單元將基臺44固定于所希望的位置。此時，可以將基臺44固定在連續(xù)的任意位置，也可以僅在預(yù)定的多個離散位置穩(wěn)定地固定基臺44。
[0051]在上述實施方式中，安裝作業(yè)是在機(jī)器人40的基臺44及電路基板114的停止?fàn)顟B(tài)下進(jìn)行的，但是也可以是，在電路基板114的移動過程中進(jìn)行安裝作業(yè)。在該情況下，可以通過使基臺44與電路基板114的移動同步地移動而使手部52追隨電路基板114的移動，也可以不使基臺44移動而通過同步控制部的控制使機(jī)器人40的手部52追隨電路基板114的移動。在任意情況下，僅通過電氣控制即可實現(xiàn)追隨，但是在前者的情況下，期望使作為設(shè)置成無法相對于基臺44相對移動的檢測裝置的一例的拍攝裝置拍攝作為被檢測部的一例的電路基板114的基準(zhǔn)標(biāo)記150，以使拍攝裝置相對于基準(zhǔn)標(biāo)記150被保持于固定的相對位置的方式控制機(jī)器人位置變更裝置70。
[0052]另外，在發(fā)揮多關(guān)節(jié)型機(jī)器人的優(yōu)點的基礎(chǔ)上，期望在1臺安裝機(jī)10設(shè)置有多臺機(jī)器人40，當(dāng)然也可以僅設(shè)置1臺機(jī)器人40，相反也可以設(shè)置4臺以上機(jī)器人40。在增加機(jī)器人40的設(shè)置臺數(shù)的情況下，有效的做法為將引導(dǎo)機(jī)器人40的移動的機(jī)器人導(dǎo)軌設(shè)置多個通道。
[0053]也可以是，機(jī)器人位置變更裝置具備獨立的驅(qū)動裝置，通過電氣單元(也可以包括光學(xué)單元)使由該驅(qū)動裝置進(jìn)行的多關(guān)節(jié)型機(jī)器人的機(jī)器人導(dǎo)軌上的位置變更與上述電路基材搬運裝置對電路基材的搬運同步地進(jìn)行，也可以是，僅機(jī)器人位置變更裝置和電路基材搬運裝置中的一方具備驅(qū)動裝置，將不具備驅(qū)動裝置的一側(cè)的裝置機(jī)械式地連接于具備該驅(qū)動裝置的一側(cè)的裝置，使兩者同步地移動。具體地說，例如，在多關(guān)節(jié)型機(jī)器人的基端部設(shè)置卡合部，在電路基材搬運裝置設(shè)置被卡合部，在控制裝置使卡合部卡合于被卡合部之后，將多關(guān)節(jié)型機(jī)器人設(shè)為移動自如的狀態(tài)而對電路基材搬運裝置的移動進(jìn)行機(jī)械式追隨。
[0054]在上述實施方式中，機(jī)器人導(dǎo)軌42設(shè)于安裝機(jī)主體20的冠部18，機(jī)器人40以吊掛狀態(tài)設(shè)置，但是也可以與上述結(jié)構(gòu)同時、或取而代之地在底座12的上表面以與電路基板114的搬運方向平行的方式設(shè)有機(jī)器人導(dǎo)軌，在該機(jī)器人導(dǎo)軌上支撐多關(guān)節(jié)型機(jī)器人。只要在上下設(shè)置機(jī)器人導(dǎo)軌，即可使多個多關(guān)節(jié)型機(jī)器人的相互交錯變得特別容易。
[0055]在上述實施方式中，多關(guān)節(jié)型機(jī)器人能夠使手部產(chǎn)生與彼此交叉且能夠規(guī)定三維空間的位置的三個軸平行的方向上的移動和繞一個軸的轉(zhuǎn)動，但也可以使手部產(chǎn)生與三個軸平行的方向上的移動和繞該三個軸的轉(zhuǎn)動這六個自由度的運動，另外，也可以變更手部的可移動方向和可轉(zhuǎn)動方向上的運動的自由度的數(shù)量或組合的種類。
[0056]在上述實施方式中，手部52始終保持水平的姿勢，但是也可以相對于水平面傾斜，在該情況下，也可以將傾斜的角度和方向中的至少一方變?yōu)閺?fù)數(shù)。如此一來，不僅是平板狀的電路基板114，也可以在三維形狀的基材上安裝元件100，另外，也可以在沿與向任意方向傾斜任意角度的安裝面呈直角的方向延伸的突起或嵌合孔內(nèi)嵌合嵌合孔或突起。
[0057]另外，為了安裝于電路基材而從元件供給裝置接收電子電路元件并進(jìn)行保持的元件保持件并不局限于吸嘴，也可以是，包括能夠相對運動的多個爪部件而把持并保持電子設(shè)備元件。進(jìn)而，多關(guān)