分如下：
[0047] 鶴粉混合物 90% 引無機(jī)粘結(jié)劑 1 % W49] 有機(jī)載體 9%
[0050] 所述鶴粉混合物包含兩種不同粒徑的鶴粉，一種為粒徑在0. 3~0. 9的鶴粉W及 另外一種為粒徑在1. 0~2. 5的鶴粉，其粒徑在0. 3~0. 9的鶴粉占鶴粉混合物的質(zhì)量分 數(shù)為65%。
[0051] 所述無機(jī)粘結(jié)劑包含有下述質(zhì)量配比的原料：97. 5%的AlN粉、2%的燒結(jié)助劑和 0.5 %的分散劑。
[0052] 所述有機(jī)載體包含有下述質(zhì)量配比的原料：12%的有機(jī)粘結(jié)劑、2%的分散劑、 20 %的增塑劑和66 %的溶劑。
[0053]制作工藝：鶴粉混合球磨一制備無機(jī)粘結(jié)劑一制備有機(jī)載體一制備混合漿料一社 料
[0054] 1)將兩種不同粒徑的鶴粉混合球磨，制成鶴粉混合物，具體方法為：
[0055] 將稱量好的兩種不同粒徑的鶴粉分別過300目網(wǎng)篩，除去大顆粒和硬團(tuán)聚，將過 篩后的兩種鶴粉加入到球磨罐中，再向球磨罐中添加溶劑進(jìn)行球磨，球磨結(jié)束后將漿料倒 入敞口的容器中進(jìn)行干燥，最后將干燥后的粉末粉碎過篩；
[0056] 2)制備無機(jī)粘結(jié)劑：稱取燒結(jié)助劑、分散劑、溶劑進(jìn)行第一步球磨，球磨的轉(zhuǎn)速為 6化/min,時(shí)間為0.化，然后再加入AlN粉進(jìn)行第二步球磨，球磨的轉(zhuǎn)速為60r/min，時(shí)間為 比，球磨結(jié)束后將漿料倒入敞口的容器中進(jìn)行干燥，干燥時(shí)間一般為60h，最后將干燥后的 粉末粉碎過篩；
[0057] 3)制備有機(jī)載體：稱取有機(jī)粘結(jié)劑、分散劑、增塑劑、溶劑，并加入到攬拌溶解容 器中，各組分加入后設(shè)置攬拌器轉(zhuǎn)速開始攬拌溶解，溶解時(shí)間為化，攬拌速度為20化/min;
[0058] 4)按照一定配比稱取制備好的鶴粉混合物、無機(jī)粘結(jié)劑、有機(jī)載體并攬拌溶解均 勻，形成混合漿料，其中攬拌速度為50化/min,時(shí)間為0.化；
[0059] 5)將攬拌混合均勻后的混合漿料采用=漉機(jī)進(jìn)行社料，反復(fù)社料4次，控制漿料 的粒度在要求范圍內(nèi)。 W60] 實(shí)施例3
[0061] 本發(fā)明填孔鶴漿成分如下： 陽0創(chuàng)鶴粉混合物 87% 陽〇6引無機(jī)粘結(jié)劑 4%
[0064] 有機(jī)載體 9% 陽0化]所述鶴粉混合物包含兩種不同粒徑的鶴粉，一種為粒徑在0. 3~0. 9的鶴粉W及 另外一種為粒徑在1. 0~2. 5的鶴粉，其粒徑在0. 3~0. 9的鶴粉占鶴粉混合物的質(zhì)量分 數(shù)為55%。
[0066] 所述無機(jī)粘結(jié)劑包含有下述質(zhì)量配比的原料：95%的AlN粉、4%的燒結(jié)助劑和 1 %的分散劑。 陽067] 所述有機(jī)載體包含有下述質(zhì)量配比的原料：14%的有機(jī)粘結(jié)劑、2%的分散劑、 20 %的增塑劑和64 %的溶劑。
[0068]制作工藝：鶴粉混合球磨一制備無機(jī)粘結(jié)劑一制備有機(jī)載體一制備混合漿料一社 料 W例I)將兩種不同粒徑的鶴粉混合球磨，制成鶴粉混合物，具體方法為：
[0070]將稱量好的兩種不同粒徑的鶴粉分別過250目網(wǎng)篩，除去大顆粒和硬團(tuán)聚，將過 篩后的兩種鶴粉加入到球磨罐中，再向球磨罐中添加溶劑進(jìn)行球磨，球磨結(jié)束后將漿料倒 入敞口的容器中進(jìn)行干燥，最后將干燥后的粉末粉碎過篩；
[0071] 2)制備無機(jī)粘結(jié)劑：稱取燒結(jié)助劑、分散劑、溶劑進(jìn)行第一步球磨，球磨的轉(zhuǎn)速為 45r/min，時(shí)間為比，然后再加入AlN粉進(jìn)行第二步球磨，球磨的轉(zhuǎn)速為4虹/min,時(shí)間為化， 球磨結(jié)束后將漿料倒入敞口的容器中進(jìn)行干燥，干燥時(shí)間一般為40h，最后將干燥后的粉末 粉碎過篩；
[0072] 3)制備有機(jī)載體：稱取有機(jī)粘結(jié)劑、分散劑、增塑劑、溶劑，并加入到攬拌溶解容 器中，各組分加入后設(shè)置攬拌器轉(zhuǎn)速開始攬拌溶解，溶解時(shí)間為地，攬拌速度為35化/min;
[0073] 4)按照一定配比稱取制備好的鶴粉混合物、無機(jī)粘結(jié)劑、有機(jī)載體并攬拌均勻，形 成混合漿料，其中攬拌速度為35化/min,時(shí)間為Ih;
[0074] 5)將攬拌混合均勻后的混合漿料采用=漉機(jī)進(jìn)行社料，反復(fù)社料7次，控制漿料 的粒度在要求范圍內(nèi)。
[00巧]取上述=個(gè)實(shí)施例的少許漿料進(jìn)行測(cè)試，檢查漿料的性能指標(biāo)：
[0076]
[0077]本發(fā)明產(chǎn)品性能需要滿足W下要求： 陽07引 固含量>90 %; 陽079]漿料粒度《IOym;
[0080]粘度：200~500Pa.S;
[0081]若W上指標(biāo)在范圍內(nèi)則為合格產(chǎn)品，然后將合格產(chǎn)品保存在密閉的容器中防止有 機(jī)物揮發(fā)。
[0082] 工藝驗(yàn)證：
[0083]將上述制得合格的填孔鶴漿進(jìn)行填孔工藝驗(yàn)證，將鶴漿均勻布滿在填孔設(shè)備漿料 盒中，通過加壓使鶴漿通過掩膜注射到生瓷片表面。本次采取填充IOOym生瓷片小孔，所 填的小孔邊緣光滑，無溢邊、拉絲漏填現(xiàn)象，參照?qǐng)D2。本發(fā)明相對(duì)于現(xiàn)有技術(shù)中HTCC用鶴 漿的粘度減少較多，漿料的流動(dòng)性較好，并且不會(huì)出現(xiàn)孔邊緣溢邊、拉絲現(xiàn)象；同時(shí)，該漿料 能夠滿足1800°CW上AlN生瓷片燒結(jié)要求，與AlN生瓷片燒結(jié)匹配度高。
【主權(quán)項(xiàng)】
1. 一種用于高溫共燒A1N多層布線基板的填孔鎢漿，其特征在于，包含有下述質(zhì)量配 比的原料： 85~92 %的鎢粉混合物、2~9 %的無機(jī)粘結(jié)劑和6~13 %的有機(jī)載體，所述鎢粉混 合物包含兩種不同粒徑的鎢粉，一種為粒徑在〇. 3~0. 9μπι的鎢粉以及另外一種為粒徑 在1. 0~2. 5μm的鎢粉，其粒徑在0. 3~0. 9μm的鎢粉占鎢粉混合物的質(zhì)量分?jǐn)?shù)為45~ 65%〇2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的填孔鎢漿，其特征在于，所述無機(jī)粘結(jié)劑包含有下述質(zhì)量配 比的原料：92~97. 5%的A1N粉、2~7%的燒結(jié)助劑和0. 5~1 %的分散劑。3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的填孔鎢漿，其特征在于，所述有機(jī)載體包含有下述質(zhì)量配比 的原料：10~25%的有機(jī)粘結(jié)劑、0. 5~5%的分散劑、10~40%的增塑劑和30~79. 5% 的溶劑。4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的填孔鎢漿，其特征在于，所述兩種不同粒徑的鎢粉在其平均 粒度要求范圍內(nèi)，鎢含量> 99. 95%。5. -種權(quán)利要求1所述填孔鎢漿的制備方法，其特征在于，包括如下步驟： 1) 將兩種不同粒徑的鎢粉混合球磨，制成鎢粉混合物； 2) 制備無機(jī)粘結(jié)劑； 3) 制備有機(jī)載體； 4) 按照一定配比稱取制備好的鎢粉混合物、無機(jī)粘結(jié)劑、有機(jī)載體并攪拌均勻，形成混 合漿料； 5) 將攪拌混合均勻后的漿料進(jìn)行乳料，控制漿料的粒度在要求范圍內(nèi)。6. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的制備方法，其特征在于，所述步驟1)的具體方法為： 將稱量好的兩種不同粒徑的鎢粉分別過200~300目網(wǎng)篩，除去大顆粒和硬團(tuán)聚，將過 篩后的兩種鎢粉加入到球磨罐中，再向球磨罐中添加溶劑進(jìn)行球磨，球磨結(jié)束后將漿料倒 入敞口的容器中進(jìn)行干燥，最后將干燥后的粉末粉碎過篩。7. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的制備方法，其特征在于，所述步驟2)制備無機(jī)粘結(jié)劑的具體 方法為：稱取燒結(jié)助劑、分散劑、溶劑進(jìn)行第一步球磨，球磨的轉(zhuǎn)速為30~60r/min，時(shí)間為 0. 5~2h，然后再加入A1N粉進(jìn)行第二步球磨，球磨的轉(zhuǎn)速為30~60r/min，時(shí)間為1~4h， 球磨結(jié)束后將漿料倒入敞口的容器中進(jìn)行干燥，干燥時(shí)間一般為12~60h，最后將干燥后 的粉末粉碎過篩。8. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的制備方法，其特征在于，所述步驟3)制備有機(jī)載體的具體方 法為：稱取有機(jī)粘結(jié)劑、分散劑、增塑劑、溶劑，并加入到攪拌溶解容器中，各組分加入后設(shè) 置攪拌器轉(zhuǎn)速開始攪拌溶解，溶解時(shí)間為1~6h，攪拌速度為200~500r/min。9. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的制備方法，其特征在于，所述步驟4)中，攪拌速度為200~ 500r/min，時(shí)間為 0· 5 ~2h。10. 根據(jù)權(quán)利要求5所述的制備方法，其特征在于，所述步驟5)中，采用三輥機(jī)進(jìn)行乳 料，反復(fù)乳料4~10次。
【專利摘要】本發(fā)明提供一種用于高溫共燒AlN多層布線基板的填孔鎢漿及其制備方法，含有下述質(zhì)量配比的原料：85～92%的鎢粉混合物、2～9%的無機(jī)粘結(jié)劑和6～13%的有機(jī)載體，所述鎢粉混合物包含兩種不同粒徑的鎢粉，一種為粒徑在0.3～0.9？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？的鎢粉以及另外一種為粒徑在1.0～2.5的鎢粉，其粒徑在0.3～0.9的鎢粉占鎢粉混合物的質(zhì)量分?jǐn)?shù)為45～65%，先將兩種不同粒徑的鎢粉混合球磨，制成鎢粉混合物，再依次制備無機(jī)粘結(jié)劑和有機(jī)載體，將鎢粉混合物、無機(jī)粘結(jié)劑、有機(jī)載體并攪拌均勻，形成混合漿料，將混合后的混合漿料進(jìn)行軋料。所制作的漿料能夠滿足高溫共燒AlN多層布線基板制備過程中燒結(jié)高溫、漿料與AlN生瓷片的匹配性等要求，實(shí)現(xiàn)AlN多層基板不同層之間上下互聯(lián)導(dǎo)通。
【IPC分類】H05K3/42
【公開號(hào)】CN105430940
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201510837111
【發(fā)明人】崔嵩, 郭軍, 雷躍文, 張虎, 張 浩, 高磊, 王寧, 王黎麗
【申請(qǐng)人】合肥圣達(dá)電子科技實(shí)業(yè)公司
【公開日】2016年3月23日
【申請(qǐng)日】2015年11月24日