靜電放電保護(hù)器件及其制造方法
【專(zhuān)利說(shuō)明】靜電放電保護(hù)器件及其制造方法
[0001 ] 本申請(qǐng)要求于2014年12月23日提交到韓國(guó)知識(shí)產(chǎn)權(quán)局的第10-2014-0187488號(hào)韓國(guó)專(zhuān)利申請(qǐng)的優(yōu)先權(quán)和權(quán)益，該韓國(guó)專(zhuān)利申請(qǐng)的公開(kāi)內(nèi)容通過(guò)引用被包含于此。
技術(shù)領(lǐng)域
[0002]本公開(kāi)涉及一種靜電放電保護(hù)器件及其制造方法。
【背景技術(shù)】
[0003]隨著對(duì)便攜式電子產(chǎn)品以及在各種環(huán)境下所使用的新型的電子產(chǎn)品的需求的增加，對(duì)于保護(hù)這種電子產(chǎn)品所使用的靜電放電(ESD)保護(hù)器件的必要性也增加。也就是說(shuō)，隨著小型化和高集成度，以及電子產(chǎn)品的運(yùn)行速度的提高，使用靜電放電保護(hù)器件的必要性進(jìn)一步提尚。
[0004]同時(shí)，根據(jù)電子產(chǎn)品的特性，瞬態(tài)電壓抑制器(TVS)二極管、多層壓敏電阻器(MLV)、電壓可變聚合物等已被用作靜電放電保護(hù)器件。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]根據(jù)本公開(kāi)的不例性實(shí)施例，一種靜電放電保護(hù)器件可包括:基板;一對(duì)電極;有機(jī)絕緣層，其中，形成在一對(duì)電極之間的中空部形成在有機(jī)絕緣層中。
[0006]根據(jù)本公開(kāi)的另一方面，一種制造靜電放電保護(hù)器件的方法可包括:在基板上設(shè)置彼此分開(kāi)的一對(duì)電極;在基板和所述電極上涂敷包含揮發(fā)性溶劑的膏;對(duì)膏進(jìn)行熱處理，以使揮發(fā)性溶劑揮發(fā)，從而在所述電極之間形成中空部;使膏固化，以形成有機(jī)絕緣層。
【附圖說(shuō)明】
[0007]通過(guò)下面結(jié)合附圖進(jìn)行的詳細(xì)描述，本公開(kāi)的上述和其他方面、特點(diǎn)及優(yōu)點(diǎn)將會(huì)被更加清楚地理解，在附圖中:
[0008]圖1是根據(jù)本公開(kāi)的示例性實(shí)施例的靜電放電保護(hù)器件的透視圖；
[0009]圖2是沿圖1的線1-1截取的靜電放電保護(hù)器件的剖視圖；
[0010]圖3是圖2的A部分的放大圖；
[0011]圖4是示出制造根據(jù)本公開(kāi)的示例性實(shí)施例的靜電防電保護(hù)器件的方法的流程圖；
[0012]圖5至圖10是示出根據(jù)本公開(kāi)的示例性實(shí)施例的制造靜電放電保護(hù)器件的方法的過(guò)程的視圖。
【具體實(shí)施方式】
[0013]以下，將參照附圖在下面描述本發(fā)明構(gòu)思的實(shí)施例。
[0014]然而，本發(fā)明構(gòu)思可以以許多不同的形式實(shí)施，并且不應(yīng)被解釋為局限于在此闡述的具體實(shí)施例。更確切地說(shuō)，提供這些實(shí)施例以使本公開(kāi)將是徹底的和完整的，并將本公開(kāi)的范圍充分地傳達(dá)給本領(lǐng)域技術(shù)人員。
[0015]在整個(gè)說(shuō)明書(shū)中，將理解的是，當(dāng)元件(諸如，層、區(qū)域或晶片(基板))被稱(chēng)為“在”另一元件“上”、“連接到”另一元件或“結(jié)合到”另一元件時(shí)，其可直接“在”另一元件“上”、“連接到”另一元件或“結(jié)合到”另一元件，或者可存在介于它們之間的其他元件。相反，當(dāng)元件被稱(chēng)為“直接在”另一元件“上”、“直接連接到”另一元件或“直接結(jié)合到”另一元件時(shí)，可以不存在介于它們之間的元件或?qū)?。相同的?biāo)號(hào)始終指示相同的元件。如在此所使用的，術(shù)語(yǔ)“和/或”包括列出的相關(guān)項(xiàng)的一項(xiàng)或更多項(xiàng)的任何和全部組合。
[0016]將明顯的是，雖然術(shù)語(yǔ)“第一”、“第二”、“第三”等可在此用于描述各個(gè)構(gòu)件、組件、區(qū)域、層和/或部分，但這些構(gòu)件、組件、區(qū)域、層和/或部分不應(yīng)受這些術(shù)語(yǔ)的限制。這些術(shù)語(yǔ)僅用于將一個(gè)構(gòu)件、組件、區(qū)域、層或部分與另一構(gòu)件、組件、區(qū)域、層或部分區(qū)分開(kāi)。因此，在不脫離示例性實(shí)施例的教導(dǎo)的情況下，下面論述的第一構(gòu)件、組件、區(qū)域、層或部分可被命名為第二構(gòu)件、組件、區(qū)域、層和/或部分。
[0017]在這里可使用諸如“在…之上”、“上方”、“在…之下”和“下方”等的空間相對(duì)術(shù)語(yǔ)，以易于描述如附圖所示的一個(gè)元件與其他元件的關(guān)系。將理解的是，空間相對(duì)術(shù)語(yǔ)意圖包含除了在附圖中所描繪的方位之外裝置在使用或操作中的不同方位。例如，如果附圖中的裝置被翻轉(zhuǎn)，則被描述為在其他元件“之上”或“上方”的元件隨后將定位為在其他元件“之下”或“下方”。因此，術(shù)語(yǔ)“在…之上”可根據(jù)附圖的特定方向而包括“在…之上”和“在…之下”兩種方位。所述裝置可被另外定位(旋轉(zhuǎn)90度或者在其他方位)，并可對(duì)在這里使用的空間相對(duì)描述符做出相應(yīng)的解釋。
[0018]在此使用的術(shù)語(yǔ)僅用于描述特定實(shí)施例，而不是意圖限制本發(fā)明構(gòu)思。除非上下文另外清楚地指明，否則如在此所使用的單數(shù)形式“一個(gè)(種)”和“該(所述)”也意圖包括復(fù)數(shù)的形式。還應(yīng)理解的是，在該說(shuō)明書(shū)中使用的術(shù)語(yǔ)“包含”和/或“包括”列舉存在的所陳述的特征、整體、步驟、操作、構(gòu)件、元件和/或它們組成的組，但不排除存在或添加一個(gè)或更多個(gè)其他特征、整體、步驟、操作、構(gòu)件、元件和/或它們組成的組。
[0019]在下文中，將參照示出本發(fā)明構(gòu)思的實(shí)施例的示意圖描述本發(fā)明構(gòu)思的實(shí)施例。在附圖中，例如，由于生產(chǎn)技術(shù)和/或公差，可估計(jì)所示出的區(qū)域的形狀的變形。因此，本發(fā)明構(gòu)思的實(shí)施例不應(yīng)被理解為局限于在此示出的區(qū)域的特定形狀，例如，不局限于包括由于制造導(dǎo)致的形狀的改變。下面的實(shí)施例也可由一個(gè)或它們的組合而構(gòu)成。
[0020]下面描述的本發(fā)明構(gòu)思的內(nèi)容可具有各種構(gòu)造，并且雖然僅提出了在此所需的構(gòu)造，但不限于此。
[0021]圖1是根據(jù)本公開(kāi)的示例性實(shí)施例的靜電放電保護(hù)器件100的透視圖，圖2是沿圖1的線1-1截取的靜電放電保護(hù)器件100的剖視圖。
[0022]參照?qǐng)D1和圖2，根據(jù)本示例性實(shí)施例的靜電放電保護(hù)器件100可包括基板110、一對(duì)電極120和有機(jī)絕緣層130，并且還可包括保護(hù)層140和外電極150。
[0023]作為基板110，可使用形成為支撐堆疊在基板110和有機(jī)絕緣層130上的一對(duì)電極120的基底。如圖1所示，基板110可形成為呈板狀。然而，基板110的形狀不限于圖1中示出的形狀，除矩形形狀外，基板110也可形成為具有圓板形狀等。
[0024]基板110可由絕緣材料形成，從而與堆疊在基板110上的一對(duì)電極絕緣。詳細(xì)地講，基板110可全部由絕緣材料形成，以具有絕緣特性，并且基板110的堆疊有一對(duì)電極120的一個(gè)表面上形成絕緣膜，使得基板110可與一對(duì)電極120絕緣。
[0025]基板110或者形成在基板110的一個(gè)表面上的絕緣膜可由無(wú)機(jī)或有機(jī)絕緣材料形成。也就是說(shuō)，基板110可以是由諸如氧化鋁、二氧化硅等的無(wú)機(jī)絕緣材料形成的基板，或者是由諸如環(huán)氧樹(shù)脂等有機(jī)絕緣材料形成的基板。
[0026]—對(duì)電極120可被設(shè)置為在基板110上彼此分開(kāi)。一對(duì)電極120可被設(shè)置為在它們之間彼此分開(kāi)預(yù)定間距(Ad)的情況下在基板110上彼此面對(duì)。一對(duì)電極120之間的間距(Δd)可根據(jù)期望的靜電放電性能適當(dāng)?shù)剡x擇。
[0027]參照?qǐng)D2，一對(duì)電極120的各自的前端部122可被設(shè)置為彼此面對(duì)。每個(gè)電極120的前端部122可指的是每個(gè)電極120的設(shè)置在基板110上的內(nèi)部區(qū)域中的一個(gè)端部，并且每個(gè)電極120的設(shè)置在基板110的外部區(qū)域中的一個(gè)端部可被稱(chēng)為后端部124。
[0028]電極120中的每個(gè)電極的前端部122可彼此面對(duì)，并且電極120中的每個(gè)電極的后端部124可被設(shè)置為與基板110的側(cè)表面平行，以分別連接到下面將要描述的外電極150，從而后端部124可暴露到基板110的外部。
[0029]由于一對(duì)電極120的各自的前端部122彼此分開(kāi)預(yù)定間距(Ad)，因此在施加到電極的兩端部的電壓小于預(yù)定值的情況下，無(wú)電流流過(guò)。然而，在具有等于或大于預(yù)定電壓值的電壓(即，操作電壓)施加到電極的兩端的情況下，即使在兩個(gè)電極120被設(shè)置為彼此分開(kāi)的情況，也會(huì)有電流流過(guò)。因此，兩個(gè)電極120之間的間距(Ad)可根據(jù)將要設(shè)置的操作電壓而改變。
[0030]參照?qǐng)D1，基板110可具有彼此相交的長(zhǎng)度方向(Dl)和寬度方向(D2)。一對(duì)電極120可被設(shè)置為在基板110的長(zhǎng)度方向(Dl)上彼此分開(kāi)，而在基板110的寬度方向(D2)上設(shè)置在基板110的中部區(qū)域。
[0031]如圖1所示，一對(duì)電極120可