一種用于感應(yīng)加熱線圈的支撐裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體材料制備裝置領(lǐng)域，具體涉及一種用于感應(yīng)加熱線圈的支撐裝置
【背景技術(shù)】
[0002]作為第三代半導(dǎo)體材料中技術(shù)發(fā)展最為成熟的材料，SIC具有寬帶隙、高臨界擊穿場強(qiáng)、高熱導(dǎo)率、高載流子飽和迀移率以及高鍵合能等優(yōu)點(diǎn)。其優(yōu)異性能可以滿足現(xiàn)代電子技術(shù)的特殊領(lǐng)域的新需求，特別適合制造高頻、大功率、抗輻射、抗腐蝕的電子器件，因而被當(dāng)做是半導(dǎo)體材料領(lǐng)域中最有前景的材料之一。許多國家相繼投入了大量的資金對(duì)Sic進(jìn)行了各方面深入的研宄，同時(shí)晶體生長設(shè)備也日益被人們所重視。
[0003]碳化硅晶體生長設(shè)備采用中頻感應(yīng)加熱方式，整個(gè)加熱電路由感應(yīng)線圈、中頻電源和諧振電容組成，感應(yīng)線圈內(nèi)部裝有溫場系統(tǒng)及晶體生長坩禍等部件，線圈安裝的位置，包括垂直度，對(duì)中性等，晶體生長質(zhì)量有著重要影響。
[0004]傳統(tǒng)行業(yè)所制感應(yīng)線圈一般采用銅管繞制，樹脂膠木柱及銅螺絲固定每一匝，保證間隙。膠木柱兩側(cè)及與線圈接觸部敷貼云母板，防止膠木柱炭化及短路打火。膠木柱底部支撐整個(gè)線圈的重量，圓周方向有多個(gè)膠木柱，且不能調(diào)節(jié)高度，容易造成線圈多個(gè)支撐點(diǎn)與底板虛接觸的現(xiàn)象。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本實(shí)用新型旨在針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的技術(shù)缺陷，提供一種用于感應(yīng)加熱線圈的支撐裝置，以解決線圈安裝不易調(diào)節(jié)，無法調(diào)整整體垂直度、對(duì)中性的技術(shù)問題。
[0006]為實(shí)現(xiàn)以上技術(shù)目的，本實(shí)用新型采用以下技術(shù)方案:
[0007]一種用于感應(yīng)加熱線圈的支撐裝置，包括底板，基座，支撐柱，第一緊鎖螺母，調(diào)節(jié)螺栓，第二緊鎖螺母，螺桿，線圈本體，其中基座位于底板上表面，基座為絕緣材質(zhì)，基座上部具有形狀與支撐柱相配合的凹槽、支撐柱插接于該凹槽中，調(diào)節(jié)螺栓下部與支撐柱上部絲接形成第一接合部，第一緊鎖螺母絲接于所述第一接合部處，調(diào)節(jié)螺栓上部與螺桿下部絲接形成第二接合部，第二緊鎖螺母絲接于所述第二接合部處，線圈本體與螺桿固定連接。
[0008]優(yōu)選的，還包括銷釘，同時(shí)基座側(cè)面具有橫向貫穿基座的銷孔，支撐柱下部側(cè)面具有橫向貫穿支撐柱的銷孔，當(dāng)支撐柱插接在基座的凹槽上時(shí)支撐柱上的銷孔與基座上的銷孔位置相重合，銷釘貫穿上述全部銷孔。
[0009]優(yōu)選的所述插接為絲接。
[0010]優(yōu)選的，底板具有空腔；在此基礎(chǔ)上還可以進(jìn)行如下優(yōu)選:所述空腔為真空空腔。
[0011]優(yōu)選的，所述絕緣材質(zhì)為聚四氟乙烯。
[0012]優(yōu)選的，所述支撐柱，第一緊鎖螺母，調(diào)節(jié)螺栓，第二緊鎖螺母，螺桿均為黃銅材質(zhì)。
[0013]優(yōu)選的，所述基座，支撐柱，第一緊鎖螺母，調(diào)節(jié)螺栓，第二緊鎖螺母，螺桿的數(shù)量相一致，各自一一對(duì)應(yīng)，若干螺桿沿線圈本體外周均勻分布；在此基礎(chǔ)上還可以進(jìn)行如下優(yōu)選:所述基座，支撐柱，第一緊鎖螺母，調(diào)節(jié)螺栓，第二緊鎖螺母，螺桿的數(shù)量均為4個(gè)。
[0014]在以上技術(shù)方案中，基座由四氟絕緣材料制成，防止線圈本體與底板短路打火。支撐柱坐于基座之上，孔軸間隙配合，采用銷釘連接，防止脫落；當(dāng)然也可以采用其他固定模式，例如絲接固定。調(diào)節(jié)螺栓下部與支撐柱上部螺紋配合，可調(diào)節(jié)高度至合理位置后，用第一鎖緊螺母鎖緊固定。調(diào)節(jié)螺栓的上端與線圈螺桿同樣螺紋配合，安裝連接后，用第二鎖緊螺母鎖緊固定。線圈安裝時(shí)，分別調(diào)整各套調(diào)節(jié)螺栓，保持線圈整體的垂直度好，并鎖緊螺母固定，從而可以方便的調(diào)節(jié)裝置整體垂直度、對(duì)中性等位置條件。整套調(diào)整支撐裝置中，支撐柱、鎖緊螺母、及調(diào)節(jié)螺栓、線圈螺桿均可采用黃銅材質(zhì)，散熱快，耐高溫。
[0015]利用本實(shí)用新型技術(shù)方案對(duì)感應(yīng)加熱線圈進(jìn)行支撐固定，安裝簡便、穩(wěn)定性好、可方便的調(diào)節(jié)裝置角度，同時(shí)能夠有效避免線圈本體與落地支撐部短路打火。同時(shí)本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)相對(duì)簡單、成本較低，實(shí)用性強(qiáng)，因此具有突出的推廣前景。
【附圖說明】
[0016]圖1是本實(shí)用新型實(shí)施例1的立體結(jié)構(gòu)示意圖；
[0017]圖中:
[0018]1、底板2、基座3、銷釘4、支撐柱
[0019]5、第一緊鎖螺母6、調(diào)節(jié)螺栓 7、第二緊鎖螺母8、螺桿
[0020]9、線圈本體
【具體實(shí)施方式】
[0021]以下將對(duì)本實(shí)用新型的【具體實(shí)施方式】進(jìn)行詳細(xì)描述。為了避免過多不必要的細(xì)節(jié)，在以下實(shí)施例中對(duì)屬于公知的結(jié)構(gòu)或功能將不進(jìn)行詳細(xì)描述。除有定義外，以下實(shí)施例中所用的技術(shù)和科學(xué)術(shù)語具有與本實(shí)用新型所屬領(lǐng)域技術(shù)人員普遍理解的相同含義。
[0022]實(shí)施例1
[0023]一種用于感應(yīng)加熱線圈的支撐裝置，包括底板1，基座2，支撐柱4，第一緊鎖螺母5，調(diào)節(jié)螺栓6，第二緊鎖螺母7，螺桿8，線圈本體9，其中基座2位于底板I上表面，基座2為絕緣材質(zhì)，基座2上部具有形狀與支撐柱4相配合的凹槽、支撐柱4插接于該凹槽中，調(diào)節(jié)螺栓6下部與支撐柱4上部絲接形成第一接合部，第一緊鎖螺母5絲接于所述第一接合部處，調(diào)節(jié)螺栓6上部與螺桿8下部絲接形成第二接合部，第二緊鎖螺母7絲接于所述第二接合部處，線圈本體9與螺桿8固定連接。
[0024]在以上技術(shù)方案中:
[0025]還包括銷釘3，同時(shí)基座2側(cè)面具有橫向貫穿基座2的銷孔，支撐柱4下部側(cè)面具有橫向貫穿支撐柱4的銷孔，當(dāng)支撐柱4插接在基座2的凹槽上時(shí)支撐柱4上的銷孔與基座2上的銷孔位置相重合，銷釘3貫穿上述全部銷孔。
[0026]底板I具有真空空腔。
[0027]所述絕緣材質(zhì)為聚四氟乙烯。
[0028]所述支撐柱4，第一緊鎖螺母5，調(diào)節(jié)螺栓6，第二緊鎖螺母7，螺桿8均為黃銅材質(zhì)。
[0029]所述基座2，支撐柱4，第一緊鎖螺母5，調(diào)節(jié)螺栓6，第二緊鎖螺母7，螺桿8的數(shù)量相一致，均為4個(gè)，各自一一對(duì)應(yīng)形成4組支撐腿，4組支撐腿沿線圈本體9外周均勻分布。
[0030]實(shí)施例2
[0031]一種用于感應(yīng)加熱線圈的支撐裝置，包括底板1，基座2，支撐柱4，第一緊鎖螺母5，調(diào)節(jié)螺栓6，第二緊鎖螺母7，螺桿8，線圈本體9，其中基座2位于底板I上表面，基座2為絕緣材質(zhì)，基座2上部具有形狀與支撐柱4相配合的凹槽、支撐柱4插接于該凹槽中，調(diào)節(jié)螺栓6下部與支撐柱4上部絲接形成第一接合部，第一緊鎖螺母5絲接于所述第一接合部處，調(diào)節(jié)螺栓6上部與螺桿8下部絲接形成第二接合部，第二緊鎖螺母7絲接于所述第二接合部處，線圈本體9與螺桿8固定連接。
[0032]在以上技術(shù)方案中:
[0033]所述插接為絲接。
[0034]底板I具有空腔。
[0035]所述絕緣材質(zhì)為云母。
[0036]所述支撐柱4，調(diào)節(jié)螺栓6，螺桿8均為不銹鋼材質(zhì)。
[0037]所述基座2，支撐柱4，第一緊鎖螺母5，調(diào)節(jié)螺栓6，第二緊鎖螺母7，螺桿8的數(shù)量相一致，均為8個(gè)，各自一一對(duì)應(yīng)形成8組支撐腿，8組支撐腿沿線圈本體9外周均勻分布。
[0038]實(shí)施例3
[0039]技術(shù)方案同實(shí)施例1，不同點(diǎn)僅在于:所述基座2，支撐柱4，第一緊鎖螺母5，調(diào)節(jié)螺栓6，第二緊鎖螺母7，螺桿8的數(shù)量相一致，均為10個(gè)，各自一一對(duì)應(yīng)形成10組支撐腿，10組支撐腿沿線圈本體9外周均勻分布。
[0040]實(shí)施例4
[0041]技術(shù)方案同實(shí)施例1，不同點(diǎn)僅在于:所述基座2，支撐柱4，第一緊鎖螺母5，調(diào)節(jié)螺栓6，第二緊鎖螺母7，螺桿8的數(shù)量相一致，均為15個(gè)，各自一一對(duì)應(yīng)形成15組支撐腿，15組支撐腿沿線圈本體9外周均勻分布。
[0042]實(shí)施例5
[0043]一種用于感應(yīng)加熱線圈的支撐裝置，包括底板1，基座2，支撐柱4，第一緊鎖螺母5，調(diào)節(jié)螺栓6，第二緊鎖螺母7，螺桿8，線圈本體9，其中基座2位于底板I上表面，基座2為絕緣材質(zhì)，基座2上部具有形狀與支撐柱4相配合的凹槽、支撐柱4插接于該凹槽中，調(diào)節(jié)螺栓6下部與支撐柱4上部絲接形成第一接合部，第一緊鎖螺母5絲接于所述第一接合部處，調(diào)節(jié)螺栓6上部與螺桿8下部絲接形成第二接合部，第二緊鎖螺母7絲接于所述第二接合部處，線圈本體9與螺桿8固定連接。
[0044]以上對(duì)本實(shí)用新型的實(shí)施例進(jìn)行了詳細(xì)說明，但所述內(nèi)容僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例，并不用以限制本實(shí)用新型。凡在本實(shí)用新型的申請(qǐng)范圍內(nèi)所做的任何修改、等同替換和改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種用于感應(yīng)加熱線圈的支撐裝置，其特征在于包括底板(1)，基座(2)，支撐柱(4)，第一緊鎖螺母(5)，調(diào)節(jié)螺栓(6)，第二緊鎖螺母(7)，螺桿(8)，線圈本體(9)，其中基座(2)位于底板(I)上表面，基座(2)為絕緣材質(zhì)，基座(2)上部具有形狀與支撐柱(4)相配合的凹槽、支撐柱(4)插接于該凹槽中，調(diào)節(jié)螺栓(6)下部與支撐柱(4)上部絲接形成第一接合部，第一緊鎖螺母(5)絲接于所述第一接合部處，調(diào)節(jié)螺栓(6)上部與螺桿(8)下部絲接形成第二接合部，第二緊鎖螺母(7)絲接于所述第二接合部處，線圈本體(9)與螺桿(8)固定連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于感應(yīng)加熱線圈的支撐裝置，其特征在于還包括銷釘(3)，同時(shí)基座(2)側(cè)面具有橫向貫穿基座(2)的銷孔，支撐柱(4)下部側(cè)面具有橫向貫穿支撐柱(4)的銷孔，當(dāng)支撐柱(4)插接在基座(2)的凹槽上時(shí)支撐柱(4)上的銷孔與基座(2)上的銷孔位置相重合，銷釘(3)貫穿上述全部銷孔。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于感應(yīng)加熱線圈的支撐裝置，其特征在于所述插接為絲接。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于感應(yīng)加熱線圈的支撐裝置，其特征在于底板(I)具有空腔。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種用于感應(yīng)加熱線圈的支撐裝置，其特征在于所述空腔為真空空腔。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于感應(yīng)加熱線圈的支撐裝置，其特征在于所述絕緣材質(zhì)為聚四氟乙烯。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于感應(yīng)加熱線圈的支撐裝置，其特征在于所述支撐柱(4)，第一緊鎖螺母(5)，調(diào)節(jié)螺栓(6)，第二緊鎖螺母(7)，螺桿(8)均為黃銅材質(zhì)。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于感應(yīng)加熱線圈的支撐裝置，其特征在于所述基座(2)，支撐柱(4)，第一緊鎖螺母(5)，調(diào)節(jié)螺栓(6)，第二緊鎖螺母(7)，螺桿(8)的數(shù)量相一致，各自一一對(duì)應(yīng)，若干螺桿⑶沿線圈本體(9)外周均勻分布。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的一種用于感應(yīng)加熱線圈的支撐裝置，其特征在于所述基座(2)，支撐柱(4)，第一緊鎖螺母(5)，調(diào)節(jié)螺栓(6)，第二緊鎖螺母(7)，螺桿(8)的數(shù)量均為4個(gè)。
【專利摘要】本實(shí)用新型提供了一種用于感應(yīng)加熱線圈的支撐裝置，在該技術(shù)方案中，基座由四氟絕緣材料制成，防止線圈本體與底板短路打火。支撐柱坐于基座之上，孔軸間隙配合，采用銷釘連接，防止脫落。調(diào)節(jié)螺栓上、下部分別與支撐線圈本體的螺桿、支撐柱絲接，能夠方便的調(diào)整高度，同時(shí)在絲接接合部位具有用于固定位置的緊鎖螺母。線圈安裝時(shí)，分別調(diào)整各套調(diào)節(jié)螺栓，保持線圈整體的垂直度好，并鎖緊螺母固定，從而可以方便的調(diào)節(jié)裝置整體垂直度、對(duì)中性等位置條件。整套調(diào)整支撐裝置中，支撐柱、鎖緊螺母、及調(diào)節(jié)螺栓、線圈螺桿均可采用黃銅材質(zhì)，散熱快，耐高溫。
【IPC分類】H05B6-36
【公開號(hào)】CN204272417
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201420784497
【發(fā)明人】趙梅玉, 巴音圖, 高宇, 段聰
【申請(qǐng)人】河北同光晶體有限公司
【公開日】2015年4月15日
【申請(qǐng)日】2014年12月11日