一種生產(chǎn)hdi板的蝕刻裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種HDI板的生產(chǎn)裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]HDI是High Density Interconnector的英文簡寫，表示的是高密度互聯(lián)電路板。在生產(chǎn)HDI板的過程中需要對(duì)HDI板進(jìn)行蝕刻，傳統(tǒng)的蝕刻工藝師浸入蝕刻，即將HDI板浸入到蝕刻溶液中蝕刻，這種蝕刻方法具有如下缺點(diǎn):耗時(shí)長，蝕刻速度非常緩慢，
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]為了解決【背景技術(shù)】中存在的問題，本實(shí)用新型提供了一種HDI板的蝕刻裝置，該裝置采用噴淋蝕刻，一直保持有新鮮的蝕刻液噴灑在HDI板表面，具有很高的蝕刻速度。
[0004]為達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型采用如下技術(shù)方案:
[0005]一種生產(chǎn)HDI板的蝕刻裝置，包括空氣壓縮機(jī)、第一液槽，第二液槽，噴淋裝置和收集槽，其特征在于:
[0006]空氣壓縮機(jī)上設(shè)置有氣管，氣管伸入到第一液槽中蝕刻液的液面下，第一液槽和第二液槽之間通過管道相連，第二液槽上設(shè)置有出液口，出液口通過管道將蝕刻液輸送到噴淋裝置；
[0007]所述噴淋裝置包括設(shè)置在兩個(gè)電極之間的噴淋管和設(shè)置在噴淋管底端的噴嘴，HDI板設(shè)置在噴嘴的下端，噴嘴中噴淋出蝕刻液到HDI板基板表面；
[0008]HDI板的下部設(shè)置有收集槽，蝕刻液被回收在收集槽內(nèi)，經(jīng)過管道被輸送回第一液槽中。
[0009]所述兩個(gè)電極分別于電源相連。
[0010]本實(shí)用新型的有益效果:該裝置采用噴淋蝕刻，一直保持有新鮮的蝕刻液噴灑在HDI板表面，具有很高的蝕刻速度。
【附圖說明】
[0011]下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)一步說明
[0012]圖1為本實(shí)用新型所述蝕刻裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
【具體實(shí)施方式】
[0013]下面結(jié)合【附圖說明】和【具體實(shí)施方式】對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步描述:
[0014]實(shí)施例1
[0015]如圖1所示，一種生產(chǎn)HDI板的蝕刻裝置，包括空氣壓縮機(jī)13、第一液槽12，第二液槽9，噴淋裝置和收集槽14，空氣壓縮機(jī)13上設(shè)置有氣管2，氣管2伸入到第一液槽12中蝕刻液的液面下，第一液槽12和第二液槽9之間通過管道11相連，第二液槽9上設(shè)置有出液口，出液口通過管道10將蝕刻液輸送到噴淋裝置，噴淋裝置包括設(shè)置在兩個(gè)電極6之間噴淋管5和設(shè)置在噴淋管5底端的噴嘴4，HDI板設(shè)置在噴嘴4的下端，噴嘴4中噴淋出蝕刻液3到HDI板基板I表面。
[0016]HDI板的下部設(shè)置有收集槽14，蝕刻液被回收在收集槽14內(nèi)，經(jīng)過管道8被輸送回第一液槽12中。
[0017]兩個(gè)電極6分別于電源7相連。
[0018]工作過程為:空氣壓縮機(jī)將氣體壓入第一液槽后，在壓力的作用下，蝕刻液從第一液槽流到第二液槽，從第二液槽沿管道10輸送到噴淋管5，進(jìn)而從噴嘴4中噴出，蝕刻液從噴嘴中均勻的噴灑到板子的表面，從而完成蝕刻，放置在下部的收集槽14收集蝕刻液，再輸送回第一液槽中，蝕刻液的循環(huán)使用。
[0019]本領(lǐng)域技術(shù)人員將會(huì)認(rèn)識(shí)到，在不偏離本發(fā)明的保護(hù)范圍的前提下，可以對(duì)上述實(shí)施方式進(jìn)行各種修改、變化和組合，并且認(rèn)為這種修改、變化和組合是在獨(dú)創(chuàng)性思想的范圍之內(nèi)的。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種生產(chǎn)HDI板的蝕刻裝置，包括空氣壓縮機(jī)、第一液槽，第二液槽，噴淋裝置和收集槽，其特征在于: 空氣壓縮機(jī)上設(shè)置有氣管，氣管伸入到第一液槽中蝕刻液的液面下，第一液槽和第二液槽之間通過管道相連，第二液槽上設(shè)置有出液口，出液口通過管道將蝕刻液輸送到噴淋裝置； 所述噴淋裝置包括設(shè)置在兩個(gè)電極之間的噴淋管和設(shè)置在噴淋管底端的噴嘴，HDI板設(shè)置在噴嘴的下端，噴嘴中噴淋出蝕刻液到HDI板基板表面； HDI板的下部設(shè)置有收集槽，蝕刻液被回收在收集槽內(nèi)，經(jīng)過管道被輸送回第一液槽中。
2.如權(quán)利要求1所述的一種生產(chǎn)HDI板的蝕刻裝置，其特征在于，所述兩個(gè)電極分別于電源相連。
【專利摘要】本實(shí)用新型提供了一種HDI板蝕刻裝置，包括空氣壓縮機(jī)、第一液槽，第二液槽，噴淋裝置和收集槽，空氣壓縮機(jī)上設(shè)置有氣管，氣管伸入到第一液槽中蝕刻液的液面下，第一液槽和第二液槽之間通過管道相連，第二液槽上設(shè)置有出液口，出液口通過管道將蝕刻液輸送到噴淋裝置；所述噴淋裝置包括設(shè)置在兩個(gè)電極之間的噴淋管和設(shè)置在噴淋管底端的噴嘴，HDI板設(shè)置在噴嘴的下端，噴嘴中噴淋出蝕刻液到HDI板基板表面；HDI板的下部設(shè)置有收集槽，蝕刻液被回收在收集槽內(nèi)，經(jīng)過管道被輸送回第一液槽中。該裝置采用噴淋蝕刻，一直保持有新鮮的蝕刻液噴灑在HDI板表面，具有很高的蝕刻速度。
【IPC分類】H05K3-06
【公開號(hào)】CN204560038
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520154985
【發(fā)明人】劉敏, 藍(lán)建明, 孫明海
【申請(qǐng)人】衢州順絡(luò)電路板有限公司
【公開日】2015年8月12日
【申請(qǐng)日】2015年3月18日