一種蝕刻裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及線路板生產(chǎn)制造領(lǐng)域,尤其涉及一種線路板線路蝕刻裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]如圖3所示的兩段蝕刻裝置,蝕刻裝置包括第一段、第二段、蝕刻液補充裝置3。第一段包括第一集液槽10、第一蝕刻槽14,第一集液槽10內(nèi)設(shè)有第一栗11,第一蝕刻槽14設(shè)有用于噴淋蝕刻液的第一噴淋裝置13,第一栗11與第一蝕刻槽14由第一出液管12’連接,第一集液槽10與第一蝕刻槽14由第一回流管15連通。第二段包括第二集液槽20、第二蝕刻槽24,第二集液槽20內(nèi)設(shè)有第二栗21,第二蝕刻槽24設(shè)有用于噴淋蝕刻液的第二噴淋裝置23,第二栗21與第二蝕刻槽24由第二出液管22’連接,第二集液槽20與第二蝕刻槽24由第二回流管25連通。蝕刻液補充裝置3設(shè)有連通第一集液槽10的第一輸液管,第一輸液管上設(shè)有第一控制閥31 ;蝕刻液補充裝置3設(shè)有連通第二集液槽20的第二輸液管,第二輸液管上設(shè)有第二控制閥32。該蝕刻裝置存在以下缺陷:
[0003]1)蝕刻裝置的兩段分開連接,生產(chǎn)制作前,需分開檢測兩段蝕刻槽的蝕刻藥水的濃度;
[0004]2)蝕刻銅厚度不同,在蝕刻板底銅偏薄時,需關(guān)閉第二段,當更換蝕刻板底銅厚度時,需從新打開第二段,因蝕刻藥水主要成分按有易揮發(fā)的氨水,故需重新化驗分析方可生產(chǎn),浪費生產(chǎn)時間。
[0005]3)第一段和第二段不連通,藥水溶度相同的情況下,蝕刻過程PCB先經(jīng)第一段,第一段藥水先接觸板面,溶度變化快;相反,第二段溶度變化慢,造成蝕刻藥水穩(wěn)定性差,而出現(xiàn)蝕刻不良或蝕刻過度等現(xiàn)象。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0006]針對上述問題,本實用新型提供一種滿足蝕刻均勻性要求,并且起到穩(wěn)定兩段蝕刻溶度、減少化驗次數(shù)的蝕刻裝置,具體方案如下:
[0007]—種蝕刻裝置,包括第一集液槽、第二集液槽,所述的第一集液槽分別與第一蝕刻槽、第二蝕刻槽連通;所述的第二集液槽分別與第一蝕刻槽、第二蝕刻槽連通;所述第一集液槽內(nèi)設(shè)有可將第一集液槽內(nèi)蝕刻液輸送至其中一蝕刻槽的第一栗,所述第二集液槽內(nèi)設(shè)有可將第二集液槽內(nèi)蝕刻液輸送至另一蝕刻槽的第二栗。
[0008]進一步的,所述的第一集液槽與第二集液槽之間設(shè)有連通管。
[0009]進一步的,蝕刻裝置還包括蝕刻液補充裝置,所述的蝕刻液補充裝置設(shè)有分別連通第一集液槽和/或第二集液槽的輸液管,輸液管上設(shè)有控制閥。
[0010]優(yōu)選的,所述的第一集液槽與第一蝕刻槽、第二蝕刻槽之間設(shè)有第一出液管、第一回流管,所述的第一出液管連通第一栗和第二蝕刻槽,第一回流管連通第一集液槽和第一蝕刻槽;所述的第二集液槽與第一蝕刻槽、第二蝕刻槽之間設(shè)有第二出液管、第二回流管,所述的第二出液管連通第二栗和第一蝕刻槽,第二回流管連通第二集液槽和第二蝕刻槽。進一步的,所述的第一蝕刻槽設(shè)有噴淋蝕刻液的第一噴淋裝置,第一噴淋裝置連接第二出液管;所述的第二蝕刻槽設(shè)有噴淋蝕刻液的第二噴淋裝置,第二噴淋裝置連接第一出液管。
[0011]優(yōu)選的,所述的第一集液槽與第一蝕刻槽、第二蝕刻槽之間設(shè)有第一出液管、第一回流管,所述的第一出液管連通第一栗和第一蝕刻槽,第一回流管連通第一集液槽和第二蝕刻槽;所述的第二集液槽與第一蝕刻槽、第二蝕刻槽之間設(shè)有第二出液管、第二回流管,所述的第二出液管連通第二栗和第二蝕刻槽,第二回流管連通第二集液槽和第一蝕刻槽。進一步的,所述的第一蝕刻槽設(shè)有噴淋蝕刻液的第一噴淋裝置,第一噴淋裝置連接第一出液管;所述的第二蝕刻槽設(shè)有噴淋蝕刻液的第二噴淋裝置,第二噴淋裝置連接第二出液管。
[0012]本實用新型通過對集液槽和蝕刻槽連通方式的改造,形成各集液槽、蝕刻槽相互連通的蝕刻裝置,使蝕刻液在各集液槽和蝕刻槽內(nèi)相互流通,從而保證蝕刻裝置整個蝕刻裝置內(nèi)蝕刻液濃度的穩(wěn)定性,減少了因蝕刻液濃度不穩(wěn)定造成的蝕刻過度或蝕刻不凈等缺陷;同時,該蝕刻裝置在生產(chǎn)時,只需檢測任意一段蝕刻液的濃度,減少了檢測時間,提高了生產(chǎn)效率。
【附圖說明】
[0013]圖1為本實用新型實施例1的蝕刻裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0014]圖2為本實用新型實施例2的蝕刻裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0015]圖3為本現(xiàn)有的蝕刻裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實施方式】
[0016]為了更充分理解本實用新型的技術(shù)內(nèi)容,下面結(jié)合具體實施例對本實用新型的技術(shù)方案進一步介紹和說明。
[0017]實施例1
[0018]如圖1所示,蝕刻裝置包括第一集液槽10、第一栗11、第一噴淋裝置13、第一蝕刻槽14、第二集液槽20、第二栗21、第二噴淋裝置23、第二蝕刻槽24、蝕刻液補充裝置3。
[0019]第一栗11位于第一集液槽10內(nèi),第二栗21位于第二集液槽20內(nèi)。第一噴淋裝置13位于第一蝕刻槽14上方,第二噴淋裝置23位于第二蝕刻槽24的上方。
[0020]第一栗11與第二噴淋裝置23由第一出液管12連接,第一栗11將第一集液槽10內(nèi)的蝕刻液輸送至第二噴淋裝置23,蝕刻液噴淋至第二蝕刻槽24內(nèi)。第二栗21與第一噴淋裝置13由第二出液管22連接,第二栗21將第二集液槽20內(nèi)的蝕刻液輸送至第一噴淋裝置13,蝕刻液噴淋至第一蝕刻槽14內(nèi)。
[0021]第一集液槽10與第一蝕刻槽14的上部由第一回流管15連通,第一蝕刻槽14內(nèi)的蝕刻液可溢流經(jīng)第一回流管15回流至第一集液槽10。第二集液槽20與第二蝕刻槽24的上部由第二回流管25連通,第二蝕刻槽24內(nèi)的蝕刻液可溢流經(jīng)第二回流管25回流至第二集液槽20。
[0022]第一集液槽10與第二集液槽20之間由連通管4連接,使第一集液槽10與第二集液槽20相互連通,內(nèi)部的蝕刻液可流通。
[0023]蝕刻液補充裝置3設(shè)有連通第一集液槽10的第一輸液管和連通第二集液槽20的第二輸液管,第一輸液管上設(shè)有第一控制閥31,第二輸液管上設(shè)有第二控制閥32。
[0024]該蝕刻裝置在生產(chǎn)時,無論是單獨開啟第一蝕刻槽14(即單獨啟動第二栗21)或第二蝕刻槽24(即單獨啟動第一栗11),還是同時開啟第一蝕刻槽14和第二蝕刻槽24,蝕刻液可以在第一集液槽10、第一蝕刻槽14、第二集液槽20、第二蝕刻槽24內(nèi)循環(huán)流動,可保證整個蝕刻裝置中蝕刻液濃度的穩(wěn)定性。此外,當蝕刻液的濃度降低時,可打開第一控制閥31和/或第二控制閥32,由蝕刻液補充裝置3向第一集液槽10和/或第二集液槽20補充高濃度的蝕刻液,將低濃度的蝕刻液由集液槽溢出,從而進一步的維持整個蝕刻裝置中蝕刻液濃度的穩(wěn)定性。
[0025]實施例2
[0026]如圖2所示,本實施例的蝕刻裝置與實施例1的蝕刻裝置不同之處在于:
[0027]第一栗11與第一噴淋裝置13由第一出液管12’連接,第一栗11將第一集液槽10內(nèi)的蝕刻液輸送至第一噴淋裝置13,蝕刻液噴淋至第一蝕刻槽14內(nèi)。第二栗21與第二噴淋裝置23由第二出液管22’連接,第二栗21將第二集液槽20內(nèi)的蝕刻液輸送至第二噴淋裝置23,蝕刻液噴淋至第二蝕刻槽24內(nèi)。
[0028]第一集液槽10與第二蝕刻槽24的上部由第一回流管15’連通,第二蝕刻槽24內(nèi)的蝕刻液可溢流經(jīng)第一回流管15’回流至第一集液槽10。第二集液槽20與第一蝕刻槽14的上部由第二回流管25’連通,第一蝕刻槽14內(nèi)的蝕刻液可溢流經(jīng)第二回流管25’回流至第二集液槽20。
[0029]其他結(jié)構(gòu)與實施例1相同。
[0030]以上所述僅以實施例來進一步說明本實用新型的技術(shù)內(nèi)容,以便于讀者更容易理解,但不代表本實用新型的實施方式僅限于此,任何依本實用新型所做的技術(shù)延伸或再創(chuàng)造,均受本實用新型的保護。
【主權(quán)項】
1.一種蝕刻裝置,其特征在于,包括第一集液槽、第二集液槽,所述的第一集液槽分別與第一蝕刻槽、第二蝕刻槽連通;所述的第二集液槽分別與第一蝕刻槽、第二蝕刻槽連通;所述第一集液槽內(nèi)設(shè)有可將第一集液槽內(nèi)蝕刻液輸送至其中一蝕刻槽的第一栗,所述第二集液槽內(nèi)設(shè)有可將第二集液槽內(nèi)蝕刻液輸送至另一蝕刻槽的第二栗。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蝕刻裝置,其特征在于,所述的第一集液槽與第二集液槽之間設(shè)有連通管。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蝕刻裝置,其特征在于,還包括蝕刻液補充裝置,所述的蝕刻液補充裝置設(shè)有連通第一集液槽和/或第二集液槽的輸液管,輸液管上設(shè)有控制閥。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蝕刻裝置,其特征在于,所述的第一集液槽與第一蝕刻槽、第二蝕刻槽之間設(shè)有第一出液管、第一回流管,所述的第一出液管連通第一栗和第二蝕刻槽,第一回流管連通第一集液槽和第一蝕刻槽;所述的第二集液槽與第一蝕刻槽、第二蝕刻槽之間設(shè)有第二出液管、第二回流管,所述的第二出液管連通第二栗和第一蝕刻槽,第二回流管連通第二集液槽和第二蝕刻槽。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的蝕刻裝置,其特征在于,所述的第一蝕刻槽設(shè)有噴淋蝕刻液的第一噴淋裝置,第一噴淋裝置連接第二出液管;所述的第二蝕刻槽設(shè)有噴淋蝕刻液的第二噴淋裝置,第二噴淋裝置連接第一出液管。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蝕刻裝置,其特征在于,所述的第一集液槽與第一蝕刻槽、第二蝕刻槽之間設(shè)有第一出液管、第一回流管,所述的第一出液管連通第一栗和第一蝕刻槽,第一回流管連通第一集液槽和第二蝕刻槽;所述的第二集液槽與第一蝕刻槽、第二蝕刻槽之間設(shè)有第二出液管、第二回流管,所述的第二出液管連通第二栗和第二蝕刻槽,第二回流管連通第二集液槽和第一蝕刻槽。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的蝕刻裝置,其特征在于,所述的第一蝕刻槽設(shè)有噴淋蝕刻液的第一噴淋裝置,第一噴淋裝置連接第一出液管;所述的第二蝕刻槽設(shè)有噴淋蝕刻液的第二噴淋裝置,第二噴淋裝置連接第二出液管。
【專利摘要】本實用新型公布了一種蝕刻裝置,包括第一集液槽、第二集液槽,所述的第一集液槽分別與第一蝕刻槽、第二蝕刻槽連通;所述的第二集液槽分別與第一蝕刻槽、第二蝕刻槽連通;所述第一集液槽內(nèi)設(shè)有可將第一集液槽內(nèi)蝕刻液輸送至其中一蝕刻槽的第一泵,所述第二集液槽內(nèi)設(shè)有可將第二集液槽內(nèi)蝕刻液輸送至另一蝕刻槽的第二泵。本實用新型通過對集液槽和蝕刻槽連通方式的改造,形成各集液槽、蝕刻槽相互連通的蝕刻裝置,使蝕刻液在各集液槽、蝕刻槽內(nèi)相互流通,從而保證蝕刻裝置整個蝕刻裝置內(nèi)蝕刻液濃度的穩(wěn)定性,減少了因蝕刻液濃度不穩(wěn)定造成的蝕刻過度或蝕刻不凈等缺陷。
【IPC分類】H05K3/00
【公開號】CN204994092
【申請?zhí)枴緾N201520377737
【發(fā)明人】王佐, 朱拓, 周海光, 翟青霞, 周文濤
【申請人】深圳崇達多層線路板有限公司
【公開日】2016年1月20日
【申請日】2015年6月3日