一種半導(dǎo)體設(shè)備噴淋板加熱裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種電加熱裝置，具體地來講為一種半導(dǎo)體設(shè)備噴淋板加熱裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]電加熱是目前對(duì)金屬材料加熱效率最高、速度最快，低耗節(jié)能環(huán)保型的感應(yīng)加熱設(shè)備。特氟龍加熱板就是一種耗費(fèi)電能轉(zhuǎn)化為熱能，來對(duì)需要加熱物料進(jìn)行加熱的一種裝置。與一般燃料加熱相比，電加熱可獲得較高溫度，易于實(shí)現(xiàn)溫度的自動(dòng)控制和遠(yuǎn)距離控制。電加熱能在被加熱物體內(nèi)部直接生熱，因而熱效率高，升溫速度快，并可根據(jù)加熱的工藝要求，實(shí)現(xiàn)整體均勻加熱或局部加熱(包括表面加熱)。在電加熱過程中，產(chǎn)生的廢氣、殘余物和煙塵少，可保持被加熱物體的潔凈，不污染環(huán)境。特氟龍加熱板是給半導(dǎo)體設(shè)備噴淋板加熱的裝置，由于噴淋板是13.56MHZ射頻電源工作時(shí)的一極，當(dāng)射頻電源工作時(shí)，噴淋版上會(huì)有高頻電壓存在，則提供給加熱板的電路中會(huì)產(chǎn)生帶有干擾信號(hào)，從而影響到加熱效果。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題在于提供一種不受高頻信號(hào)干擾，能夠準(zhǔn)確反映加熱板溫度的半導(dǎo)體設(shè)備噴淋板加熱裝置。
[0004]本實(shí)用新型是這樣實(shí)現(xiàn)的，一種半導(dǎo)體設(shè)備噴淋板加熱裝置，該裝置包括溫控系統(tǒng)與加熱板，溫控系統(tǒng)包括有溫控器以及功率控制器，功率控制器的輸出端通過連接AC濾波電路至加熱板，設(shè)置一熱電偶用于采集加熱板的溫度，所述熱電偶通過連接一 TC濾波電路連接在溫控器的溫度采集輸入端。
[0005]本實(shí)用新型進(jìn)一步地，溫控器通過連接的熱電偶檢測(cè)被加熱元件的溫度，通過當(dāng)前溫度值調(diào)節(jié)溫控器的輸出電流，該輸出電流控制功率控制器的輸出功率，來調(diào)節(jié)被加在被加熱物體上的功率。
[0006]本實(shí)用新型進(jìn)一步地，所述的加熱板為特氟龍加熱板。
[0007]本實(shí)用新型進(jìn)一步地，所述功率控制器采用5度/分鐘的升溫速率進(jìn)行加熱電熱板，功率控制器通過溫控器的輸出控制加熱功率的輸出。
[0008]本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比，有益效果在于:本實(shí)用新型交流干擾信號(hào)大部分將被電感阻止吸收變成磁感和熱能，剩下的大部分被電容旁路到地，這就可以抑制干擾信號(hào)的作用，在輸出端就獲得比較純凈的交流電。
[0009]經(jīng)過TC濾波電路，采用電阻，電感和電容組成的RLC濾波電路，濾掉射頻干擾(13.56MHz以上)和50Hz/60Hz(電源)的工頻干擾，保證溫控器接收到的信號(hào)能夠正確地反映加熱板的真實(shí)溫度。
[0010]本實(shí)用新型溫控系統(tǒng)主要有溫控器和功率控制器組成。由于加熱板安裝在設(shè)備的噴淋頭上方，具有較好的快速加熱功能。由于加熱板的功率密度較大，升溫速度較快，需要溫控器的功能比較強(qiáng)大，具有能夠控制升溫速率的功能采用5度/分鐘的升溫速率進(jìn)行加熱，這樣即能有效地保護(hù)加熱板，又能很好進(jìn)行PID控制。功率控制器通過溫控器的輸出控制加熱功率的輸出。
【具體實(shí)施方式】
[0011]圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的系統(tǒng)模塊框圖；
[0012]圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的AC濾波電路的電路原理圖；
[0013]圖3為本實(shí)用新型實(shí)施提供的TC濾波電路的電路原理圖。
【具體實(shí)施方式】
[0014]為了使本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，以下結(jié)合實(shí)施例，對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實(shí)施例僅僅用以解釋本實(shí)用新型，并不用于限定本實(shí)用新型。
[0015]參見圖1，為本實(shí)用新型提供的一種半導(dǎo)體設(shè)備噴淋板加熱裝置的系統(tǒng)模塊框圖，該裝置包括溫控系統(tǒng)與加熱板，溫控系統(tǒng)包括有溫控器以及功率控制器，功率控制器的輸出端通過連接AC濾波電路至加熱板，設(shè)置一熱電偶用于采集加熱板的溫度，熱電偶通過連接一 TC濾波電路連接在溫控器的溫度采集輸入端。溫控器通過連接的熱電偶檢測(cè)被加熱元件的溫度，通過當(dāng)前溫度值調(diào)節(jié)溫控器的輸出電流，該輸出電流控制功率控制器的輸出功率，來調(diào)節(jié)被加在被加熱物體上的功率。加熱板為特氟龍加熱板。功率控制器采用5度/分鐘的升溫速率進(jìn)行加熱電熱板，功率控制器通過溫控器的輸出控制加熱功率的輸出。
[0016]溫控系統(tǒng)主要有溫控器和功率控制器組成。由于加熱板安裝在設(shè)備的噴淋頭上方，具有較好的快速加熱功能。由于加熱板的功率密度較大，升溫速度較快，需要溫控器的功能比較強(qiáng)大，具有能夠控制升溫速率的功能，目前在我們的系統(tǒng)中采用5度/分鐘的升溫速率進(jìn)行加熱，這樣即能有效地保護(hù)加熱板，又能很好進(jìn)行PID控制。功率控制器通過溫控器的輸出控制加熱功率的輸出。
[0017]本實(shí)用新型通過AC濾波電路采用交流干擾信號(hào)大部分將被電感阻止吸收變成磁感和熱能，剩下的大部分被電容旁路到地，這就可以抑制干擾信號(hào)的作用，在輸出端就獲得比較純凈的交流電。
[0018]熱電偶是檢測(cè)溫度的元件，熱電偶由在一頭相連的兩根不同金屬線組成，相連端稱為測(cè)量(“熱”)接合點(diǎn)。金屬線不相連的另一頭接到信號(hào)調(diào)理電路走線，它一般由銅制成。在熱電偶金屬和銅走線之間的這一個(gè)接合點(diǎn)叫做參考(“冷”)接合點(diǎn)。我們所采用的K型熱偶，電壓信號(hào)太弱，在室溫下，其電壓變化幅度為41 μ V/°C。所以連接在溫控系統(tǒng)的熱偶一定需要經(jīng)過TC濾波電路，采用電阻，電感和電容組成的RLC濾波電路，濾掉射頻干擾(13.56MHz以上)和50Hz/60Hz(電源)的工頻干擾，保證溫控器接收到的信號(hào)能夠正確地反映加熱板的真實(shí)溫度。
[0019]TC濾波電路主要由電容和電感組成，低頻濾波器容許低頻信號(hào)通過，但減弱(或減少)頻率高于截止頻率的信號(hào)通過。一階濾波器在頻率增加一倍時(shí)將信號(hào)強(qiáng)度減弱一半(大約-6dB)。所以，6階濾波器的滾降速率是每倍頻6*6dB。電容有電抗作用阻止低頻信號(hào)通過，低頻信號(hào)經(jīng)過負(fù)載。在較高頻率電抗作用減弱，電容起短路作用。電容上串聯(lián)一個(gè)電阻的目的是給電容提供一個(gè)放電回路，防止電容上的高壓擊穿別的器件。
[0020]參見圖2，AC濾波電路包括在輸出電源的正負(fù)端VI分別設(shè)置串聯(lián)的電感L5、電感L6和串聯(lián)的電感L7和電感L8，在電感L5和電感L6之間通過電容C13接地，在電感L7和電感L8之間通過電容C14接地，電感L6與電感L8之間連接加熱電阻R5。
[0021]參見圖3，TC濾波電路為多級(jí)濾波電路，通過兩路的電感L1與電感L2分別接在所連接的測(cè)溫件的兩端，電感L1以及電感L2的另一端輸出或者連接多級(jí)的濾波電路，與電感L1連接的一路上通過電容C1接地，通過電容C3接地，并通過串聯(lián)的電阻R1和電容C5接地，電感L2連接的一路上通過電容C2接地、通過電容C4接地，并通過串聯(lián)的電阻R2和電容C6接地。
[0022]電感L1進(jìn)一步地連接電感L3后輸出，在電感L3后的輸出線路上通過電容C7接地、電容C9接地、還通過串聯(lián)的電阻R3和電容C11接地。
[0023]電感L2進(jìn)一步地連接電感L4后輸出，在電感L4后的輸出線路上通過電容C8接地、電容C10接地、還通過串聯(lián)的電阻R4和電容C12接地。形成多級(jí)濾波電路。
[0024]以上所述僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并不用以限制本實(shí)用新型，凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換和改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種半導(dǎo)體設(shè)備噴淋板加熱裝置，其特征在于，該裝置包括溫控系統(tǒng)與加熱板，溫控系統(tǒng)包括有溫控器以及功率控制器，功率控制器的輸出端通過連接AC濾波電路至加熱板，設(shè)置一熱電偶用于采集加熱板的溫度，所述熱電偶通過連接一 TC濾波電路連接在溫控器的溫度采集輸入端。2.按照權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體設(shè)備噴淋板加熱裝置，其特征在于， 溫控器通過連接的熱電偶檢測(cè)被加熱元件的溫度，通過當(dāng)前溫度值調(diào)節(jié)溫控器的輸出電流，該輸出電流控制功率控制器的輸出功率，來調(diào)節(jié)被加在被加熱物體上的功率。3.按照權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體設(shè)備噴淋板加熱裝置，其特征在于，所述的加熱板為特氟龍加熱板。4.按照權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體設(shè)備噴淋板加熱裝置，其特征在于，所述功率控制器采用5度/分鐘的升溫速率進(jìn)行加熱電熱板，功率控制器通過溫控器的輸出控制加熱功率的輸出。
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及一種電加熱裝置，具體地來講為一種半導(dǎo)體設(shè)備噴淋板加熱裝置。該裝置包括溫控系統(tǒng)與加熱板，溫控系統(tǒng)包括有溫控器以及功率控制器，功率控制器的輸出端通過連接AC濾波電路至加熱板，設(shè)置一熱電偶用于采集加熱板的溫度，所述熱電偶通過連接一TC濾波電路連接在溫控器的溫度采集輸入端。本實(shí)用新型交流干擾信號(hào)大部分將被電感阻止吸收變成磁感和熱能，剩下的大部分被電容旁路到地，這就可以抑制干擾信號(hào)的作用，在輸出端就獲得比較純凈的交流電。經(jīng)過TC濾波電路，采用電阻，電感和電容組成的RLC濾波電路，濾掉射頻干擾(13.56MHz以上)和50Hz/60Hz(電源)的工頻干擾，保證溫控器接收到的信號(hào)能夠正確地反映加熱板的真實(shí)溫度。
【IPC分類】H05B3/20, H05B1/02
【公開號(hào)】CN205081979
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520748956
【發(fā)明人】呂欣, 王瑩瑩
【申請(qǐng)人】沈陽拓荊科技有限公司
【公開日】2016年3月9日
【申請(qǐng)日】2015年9月24日