一種旋轉(zhuǎn)接觸式加熱裝置的制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種旋轉(zhuǎn)接觸式加熱裝置,包括電源和加熱電路和加熱絲,加熱絲連接有兩根銅導(dǎo)線,一根導(dǎo)線連接在正極,另外一根連接到負(fù)極,其中,所述加熱電路連接有電機(jī),所述加熱絲上端設(shè)置第一勻熱盤,在加熱絲的下端設(shè)置第二勻熱盤,所述第一勻熱盤和第二勻熱盤通過固定連接成一體,所述第二勻熱盤與加熱主體連接在一起。與現(xiàn)有技術(shù)相比,本裝置通過中空軸內(nèi)部連接導(dǎo)線,外部連接電刷的方式,使加熱與旋轉(zhuǎn)組合到一起,可以獲得更高的溫度。
【專利說明】
一種旋轉(zhuǎn)接觸式加熱裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實(shí)用新型涉及機(jī)械加工技術(shù)領(lǐng)域,具體為一種旋轉(zhuǎn)接觸式加熱裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]溫度是真空鍍膜工藝基礎(chǔ)參數(shù)之一,溫度的高低和穩(wěn)定性直接影響著膜層的質(zhì)量。
[0003]熱傳遞有三種方式,一是傳導(dǎo):直接接觸的不同溫度的物體通過接觸表面進(jìn)行的熱量傳遞;二是對流:借助于某種流體的流動來傳熱,需要流體才能進(jìn)行,真空中沒有流體所以不存在這種方式;三是輻射:熱量通過輻射的方式傳遞,在任何時(shí)間任何地點(diǎn)都有,這種方式和熱源的溫度有關(guān),溫度越高通過輻射傳遞的熱量越多,在真空環(huán)境里,主要的熱傳遞方式就是輻射。
[0004]現(xiàn)在的鍍膜設(shè)備幾乎都是鎧裝電阻絲加熱部分固定不動,依靠熱輻射加熱基片,為了加熱均勻,基片會轉(zhuǎn)動。但真空中的熱輻射效率較低,這種加熱方式下,基片的溫度很難超過400 °C。為了獲得更高的溫度,本方案提出了接觸加熱的方法,通過熱傳導(dǎo)加熱基片,以便獲得800 °C或更高的溫度。
[0005]為此,針對上述技術(shù)問題,本實(shí)用新型提出一種旋轉(zhuǎn)接觸式加熱裝置,實(shí)用性強(qiáng),一定程度上解決上述技術(shù)問題。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0006]本實(shí)用新型的目的在于提供一種旋轉(zhuǎn)接觸式加熱裝置,包括電源和加熱電路和加熱絲,加熱絲連接有兩根銅導(dǎo)線,一根導(dǎo)線連接在正極,另外一根連接到負(fù)極,其特征在于:所述加熱電路連接有電機(jī),所述加熱絲上端設(shè)置第一勻熱盤,在加熱絲的下端設(shè)置第二勻熱盤,所述第一勻熱盤和第二勻熱盤通過固定連接成一體,所述第二勻熱盤與加熱主體連接在一起。
[0007]優(yōu)選的,所述加熱絲為雙層盤狀。
[0008]優(yōu)選的,所述第一勻熱盤和第二勻熱盤通過螺栓連接。
[0009]—種旋轉(zhuǎn)接觸式加熱裝置,其中,在第一勻熱盤的上方設(shè)置有加熱屏蔽層。
[0010]優(yōu)選的,在第一勻熱盤和第二勻熱盤的兩側(cè)設(shè)置加熱屏蔽層。
[0011]優(yōu)選的,所述加熱屏蔽層為五層結(jié)構(gòu)。
[0012]優(yōu)選的,在正極和負(fù)極電路的外側(cè)設(shè)置有雙層電刷,所述第一電刷和負(fù)極相連,所述第二電刷同正極相連。
【附圖說明】
[0013]圖1是旋轉(zhuǎn)加熱裝置剖視圖;
[0014]圖2是雙層電刷的剖視圖;
[0015]圖3是加熱主體立體圖;
[0016]圖4是加熱主體剖視圖。
【具體實(shí)施方式】
[0017]下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖,對本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例,而不是全部的實(shí)施例。基于本實(shí)用新型中的實(shí)施例,本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實(shí)施例,都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。
[0018]一種旋轉(zhuǎn)接觸式加熱裝置,包括電源和加熱電路和加熱絲,加熱絲28連接有兩根銅導(dǎo)線22,一根導(dǎo)線連接在正極接線柱16,另外一根連接到負(fù)極接線柱30,其中,所述加熱電路連接有電機(jī),所述加熱絲28上端設(shè)置第一勻熱盤27,在加熱絲28的下端設(shè)置第二勻熱盤29,所述第一勻熱盤27和第二勻熱盤29通過固定連接成一體,所述第二勻熱盤29與加熱主體6連接在一起。
[0019]優(yōu)選的,所述加熱絲28為雙層盤狀。
[0020]優(yōu)選的,所述第一勻熱盤27和第二勻熱盤29通過螺栓連接。
[0021]—種旋轉(zhuǎn)接觸式加熱裝置,其中,在第一勻熱盤27的上方設(shè)置有加熱屏蔽層23。
[0022]優(yōu)選的,在第一勻熱盤27和第二勻熱盤29的兩側(cè)設(shè)置加熱屏蔽層23。
[0023]優(yōu)選的,所述加熱屏蔽層23為五層結(jié)構(gòu)。
[0024]優(yōu)選的,在正極接線柱16和負(fù)極接線柱30的外側(cè)設(shè)置有雙層電刷,所述第一電刷2和負(fù)極線柱30相連,所述第二電刷3同正極接線16相連。
[0025]將兩個(gè)導(dǎo)電滑環(huán)14套在絕緣套筒13外壁,并在兩個(gè)滑環(huán)間放入絕緣環(huán)15,然后將連接管17放入絕緣套筒13內(nèi)部,并用絕緣環(huán)15隔開導(dǎo)電滑環(huán)14與連接管17。電刷3和法蘭4之間也有絕緣板,通過這些措施,可以確保轉(zhuǎn)軸11和加熱屏蔽組件與腔體不帶電。
[0026]如圖3所示,加熱絲28采用的是鐵鉻鋁絲,鐵鉻鋁絲具有電阻率高、電阻溫度系數(shù)小、使用溫度高的特點(diǎn)。將加熱絲28加工成雙層盤狀,放在第一勻熱盤27和第二勻熱盤29之間,并用螺栓固定后整體放置在陶瓷座25中。將陶瓷螺栓21穿過加熱安裝法蘭20、加熱屏蔽層23和陶瓷座25,最后固定在第一勻熱盤27上。下方的第二勻熱盤29加工有螺紋孔,可以用螺栓將基片固定在第二勻熱盤29上。由于加熱溫度是800°C,上方的加熱屏蔽層23選取了5層,層與層之間有墊片間隔開。側(cè)面的屏蔽,也選取了 5層。
[0027]在圖2中,將加熱絲28兩側(cè)伸出的接線端分別與兩根銅導(dǎo)線22連接,銅導(dǎo)線22外部套有陶瓷碗珠,并將兩根銅導(dǎo)線22穿過加熱主體6上方的中空軸26,與中空軸26—起穿過法蘭4中心的通孔,然后與圖3中的兩個(gè)接線柱16連接,連接位置在圖4中的圓孔處。
[0028]完成以上步驟的組裝后,如圖1和圖2所示,將雙層滑環(huán)組件2中的連接管17與伸進(jìn)腔體內(nèi)部的轉(zhuǎn)軸11用絲桿12固定,再用螺栓將法蘭4緊固在固定桿上。這時(shí),側(cè)屏蔽組件5、法蘭4和電刷組件3固定不動;加熱主體6、電刷2和轉(zhuǎn)軸11是連接在一起的,當(dāng)轉(zhuǎn)軸11在外部電機(jī)的驅(qū)動下旋轉(zhuǎn),加熱主體6連同基片可以同步轉(zhuǎn)動,由于第一電刷2與第二電刷3接觸,當(dāng)外部加熱電源開啟后,加熱主體6中的加熱絲28就可以正常工作。由于是基片與勻熱盤接觸的熱傳導(dǎo)方式,本方案的加熱效率比傳統(tǒng)的熱輻射更高,獲得的溫度也更高。
[0029]對于本領(lǐng)域技術(shù)人員而言,顯然本實(shí)用新型不限于上述示范性實(shí)施例的細(xì)節(jié),而且在不背離本實(shí)用新型的精神或基本特征的情況下,能夠以其他的具體形式實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型。因此,無論從哪一點(diǎn)來看,均應(yīng)將實(shí)施例看作是示范性的,而且是非限制性的,本實(shí)用新型的范圍由所附權(quán)利要求而不是上述說明限定,因此旨在將落在權(quán)利要求的等同要件的含義和范圍內(nèi)的所有變化囊括在本實(shí)用新型內(nèi)。不應(yīng)將權(quán)利要求中的任何附圖標(biāo)記視為限制所涉及的權(quán)利要求。
[0030]此外,應(yīng)當(dāng)理解,雖然本說明書按照實(shí)施方式加以描述,但并非每個(gè)實(shí)施方式僅包含一個(gè)獨(dú)立的技術(shù)方案,說明書的這種敘述方式僅僅是為清楚起見,本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)將說明書作為一個(gè)整體,各實(shí)施例中的技術(shù)方案也可以經(jīng)適當(dāng)組合,形成本領(lǐng)域技術(shù)人員可以理解的其他實(shí)施方式。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種旋轉(zhuǎn)接觸式加熱裝置,包括電源和加熱電路和加熱絲,加熱絲連接有兩根銅導(dǎo)線,一根導(dǎo)線連接在正極,另外一根連接到負(fù)極,其特征在于:所述加熱電路連接有電機(jī),所述加熱絲上端設(shè)置第一勻熱盤,在加熱絲的下端設(shè)置第二勻熱盤,所述第一勻熱盤和第二勻熱盤通過固定連接成一體,所述第二勻熱盤與加熱主體連接在一起。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種旋轉(zhuǎn)接觸式加熱裝置,其特征在于,加熱絲為雙層盤狀。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種旋轉(zhuǎn)接觸式加熱裝置,其特征在于,第一勻熱盤和第二勻熱盤通過螺栓連接。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種旋轉(zhuǎn)接觸式加熱裝置,其特征在于,在第一勻熱盤的上方設(shè)置有加熱屏蔽層。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種旋轉(zhuǎn)接觸式加熱裝置,其特征在于,在第一勻熱盤和第二勻熱盤的兩側(cè)設(shè)置加熱屏蔽層。6.根據(jù)權(quán)利要求4-5任何一項(xiàng)所述的一種旋轉(zhuǎn)接觸式加熱裝置,其特征在于,所述加熱屏蔽層為五層結(jié)構(gòu)。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種旋轉(zhuǎn)接觸式加熱裝置,其特征在于,在正極和負(fù)極電路的外側(cè)設(shè)置有雙層電刷,所述第一電刷和負(fù)極相連,所述第二電刷同正極相連。
【文檔編號】H05B3/20GK205566676SQ201620215893
【公開日】2016年9月7日
【申請日】2016年3月21日
【發(fā)明人】楊元才, 譚新, 鄭戰(zhàn)偉, 錢鵬亮, 朱振東, 林晨, 周通
【申請人】上海福宜真空設(shè)備有限公司