專(zhuān)利名稱(chēng)：固體攝像元件用玻璃罩的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明是由平板玻璃組成的固體攝像元件用玻璃罩，安裝于包括固體攝像元件在內(nèi)套件的前面，起到保護(hù)固體攝像元件和透光孔的作用。
背景技術(shù)：
固體攝像元件的前面配置有采用平面形透光面的玻璃罩，用于保護(hù)該元件。該固體攝像元件利用各種粘合劑密封于氧化鋁等陶瓷材料或塑料材料制成的套件上，保護(hù)套件內(nèi)部的固體攝像元件，同時(shí)可作為可視光線等的透光孔使用。
作為套件內(nèi)部的固體攝像用元件，現(xiàn)在經(jīng)常使用的光半導(dǎo)體有電荷耦合裝置CCD(Charge Coupled Device)、CMOS(ComplementaryMetal Oxide Semicon)等。其中，CMOS也被稱(chēng)作互補(bǔ)型金屬氧化半導(dǎo)體，同CCD相比可小型化，消耗電力也可縮減到五分之一左右，可利用微處理器制作工藝，所以存在設(shè)備投資少，制造成本低等特點(diǎn)，經(jīng)常被用在手機(jī)和小型計(jì)算機(jī)等的圖像輸入設(shè)備中。
CCD和CMOS需要將圖像正確的變換為電子信息，所以對(duì)所用玻璃罩表面的污點(diǎn)、疤痕和異物的附著等都有嚴(yán)格的標(biāo)準(zhǔn)，要求具有高品位的清潔度。而且，除表面的清潔度之外，還需要防止玻璃內(nèi)部的晶體缺陷和白金等異物的混入，防止微量含有放射能成分的U和Th產(chǎn)生α射線而引起軟性錯(cuò)誤，所以針對(duì)這些涉及多方面的復(fù)雜問(wèn)題，出現(xiàn)了象采用高純度原料等不少的解決對(duì)策。例如，專(zhuān)利文獻(xiàn)1、2，就是用來(lái)改善成本、耐風(fēng)雨和微量含有成分方面問(wèn)題的對(duì)策。另外，由于固體攝像元件用玻璃罩與光學(xué)玻璃具有同樣的勻一性，再加上表面的疤痕和傾斜等，都會(huì)影響圖像信息的正確傳達(dá)，所以也需要采取一定的對(duì)策。即使對(duì)影響固體攝像元件用玻璃罩強(qiáng)度的邊緣傾斜問(wèn)題，對(duì)其解決對(duì)策的研究也一直在進(jìn)行，例如依據(jù)專(zhuān)利3中的方法，就可以提高對(duì)邊緣傾斜的檢查精度。此外，依據(jù)專(zhuān)利4中的方法，可效率較高的進(jìn)行防止邊緣傾斜的倒棱加工。
特開(kāi)平7-206467(第2頁(yè)-第7頁(yè))[專(zhuān)利文獻(xiàn)2]特開(kāi)平6-211539(第2頁(yè)-第7頁(yè))[專(zhuān)利文獻(xiàn)3]特開(kāi)平2001-241921(第2頁(yè)-第4頁(yè)、第1圖)[專(zhuān)利文獻(xiàn)4]特開(kāi)平6-106469(第2頁(yè)-第3頁(yè))近年來(lái)，在固體攝像元件領(lǐng)域，CMOS被認(rèn)為具有特別廣泛的用途。該元件的價(jià)格便宜，而且可用于手機(jī)和PDA等。由于這些機(jī)器一般都用于易受沖擊力和外部應(yīng)力的環(huán)境，所以對(duì)用來(lái)保護(hù)它們裝備的CMOS，同時(shí)作為透光窗使用的固體攝像元件用玻璃罩來(lái)說(shuō)，要求具有比原來(lái)更高的強(qiáng)度，特別是耐沖擊強(qiáng)度和耐風(fēng)雨性能等。因此用于這些用途的固體攝像元件用玻璃罩，除了要有價(jià)格便宜和重量輕的特點(diǎn)外，還必須具有高強(qiáng)度和穩(wěn)定的耐風(fēng)雨性能。目前在成本和耐風(fēng)雨性方面，如前所述，已經(jīng)有了一定程度的解決對(duì)策，但在重量和強(qiáng)度方向，還未能完全達(dá)到上述用途要求的水平。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供在表面和內(nèi)部缺陷方面具有高品位、價(jià)格便宜、耐風(fēng)雨性?xún)?yōu)，而且重量更輕、強(qiáng)度更高的固體攝像元件用玻璃罩。
本發(fā)明的固體攝像元件用玻璃罩，由無(wú)機(jī)氧化平板玻璃組成，包括以下部分處于平板玻璃厚度方向、位置相對(duì)的第一透光面和第二透光面，以及構(gòu)成平板玻璃周邊的側(cè)面，其中側(cè)面又分與第一透光面相鄰的第一側(cè)面、與第一側(cè)面和第二透光面相鄰的第二側(cè)面。在構(gòu)成上具有以下特點(diǎn)第一側(cè)面的表面粗度大于第二側(cè)面的表面粗度，第一側(cè)面表面粗度的Ra值為0.1～10nm，Rmax值為0.1～30nm，第二側(cè)面表面粗度的Ra值為0.01～5nm，Rmax值為0.01～20nm，第一側(cè)面與第一透光面所成角度在90°±5°的范圍內(nèi)，第二側(cè)面與第一側(cè)面所成角度在8°以下。
在上述構(gòu)成中，平板玻璃側(cè)面的第一側(cè)面和第二側(cè)面，是根據(jù)表面性狀，主要是表面粗度不同形成的交界線進(jìn)行區(qū)分的，如果用五十倍放大的顯微鏡進(jìn)行觀察，就可以清楚的看到該交界線。通常第一側(cè)面環(huán)繞平板玻璃一周，與第一透光面鄰接，第二側(cè)面也是環(huán)繞平板玻璃一周，與第一側(cè)面和第二透光面相鄰。
第一側(cè)面與第一透光面所成角度之所以要在90°±5°的范圍內(nèi)，是基于以下原因。如果上述角度小于85°，或大于95°，則在組裝作業(yè)時(shí)，就很難決定玻璃罩對(duì)固體攝像元件的位置。另外，根據(jù)平板玻璃的形狀，側(cè)面沿平板玻璃周邊分成多個(gè)部分，相鄰接的各側(cè)面間形成棱線，此時(shí)，第一側(cè)面的棱線部，即第一透光面的角部附近，容易產(chǎn)生微小裂縫和微小傾斜等問(wèn)題，特別是進(jìn)行搬運(yùn)和組裝作業(yè)時(shí)，產(chǎn)生這些問(wèn)題的機(jī)率更大。所以，可能會(huì)在固體攝像元件組裝后，產(chǎn)品強(qiáng)度發(fā)生問(wèn)題，造成使用上的障礙。
第二側(cè)面與第一側(cè)面所成角度之所以要在8°以下，是基于以下原因。如果大于8°，也可以說(shuō)如果第二側(cè)面與第一透光面所成角度小于77°，大于103°，則在搬送玻璃罩時(shí)，與裝載它的塑料托盤(pán)等物品間距離的調(diào)整就變得非常困難，一旦設(shè)置不當(dāng)，在搬送時(shí)受振動(dòng)和沖擊等外來(lái)應(yīng)力，玻璃罩側(cè)面邊緣和第二側(cè)面的棱線、即第二透光面角部附近，就容易產(chǎn)生微小裂縫和微小傾斜等問(wèn)題。另外，在搭載于固體攝像元件后，在機(jī)械強(qiáng)度特性方面也容易產(chǎn)生上述同樣的問(wèn)題。
側(cè)面的第一側(cè)面和第二側(cè)面，只要具備上述條件，無(wú)論采用何種加工方法都可以。通過(guò)在平板玻璃的側(cè)面構(gòu)造具有不同表面性狀的第一側(cè)面和第二側(cè)面，可以在制造固體攝像元件用玻璃罩時(shí)，有效降低平板玻璃側(cè)面發(fā)生微小裂縫和微小傾斜等問(wèn)題的機(jī)率。對(duì)由于微小裂縫和微小傾斜等所引起的玻璃屑在透光面的二次附著，以及側(cè)面的棱線，即平板玻璃角部發(fā)生的微小裂縫等，這些造成平板玻璃強(qiáng)度低下的問(wèn)題都能有效解決。
具有以上這些構(gòu)成的情況都在制造作業(yè)時(shí)通過(guò)工程抽樣檢查和強(qiáng)制加速試驗(yàn)等進(jìn)行了確認(rèn)，比較理想的是具有下面將要講到的組成和特性的平板玻璃，它在制造作業(yè)的加工、清洗、搬送、檢查等一系列環(huán)節(jié)中，側(cè)面特別是側(cè)面的棱線，即平板玻璃的角部很少出現(xiàn)問(wèn)題，保護(hù)固體攝像元件的玻璃罩也在組裝后的沖擊試驗(yàn)等測(cè)試中體現(xiàn)了很強(qiáng)的承受能力。
固體攝像元件用玻璃罩中具有最大面積的透光面，具有通透可視光線，正確傳達(dá)圖像信息的功能，因此其表面必須非常平坦。側(cè)面也是如此，其表面即使有微細(xì)的裂縫等，也會(huì)使平板玻璃的強(qiáng)度顯著下降。另外，還要注意平板玻璃的表面也必須非常干凈，如有附著污物和污點(diǎn)都會(huì)成為可視光線透過(guò)時(shí)的障礙，或?qū)е聶C(jī)械強(qiáng)度的下降。
該固體攝像元件用玻璃罩為了實(shí)現(xiàn)更加穩(wěn)定的品位，采用了以下比較理想的結(jié)構(gòu)第一側(cè)面表面粗度的Ra值為0.1～5.0nm，Rmax值為1.0～15nm，第二側(cè)面表面粗度的Ra值為0.1～3.0nm，Rmax值為0.5～12nm，第一側(cè)面與第一透光面所成角度在90°±3°的范圍內(nèi)，第二側(cè)面與第一側(cè)面所成角度在5°以下。
通過(guò)增加加工作業(yè)的作業(yè)管理頻次、提高劈開(kāi)作業(yè)時(shí)的位置確定精度，以及提高被加工的原料玻璃板的均一性等一系列作業(yè)上的改進(jìn)，可實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的制作狀態(tài)，從而使第一側(cè)面和第二側(cè)面的表面粗度達(dá)到更高的品位。還能有效抑制玻璃屑的產(chǎn)生。這時(shí)表面粗度可達(dá)到更理想的狀態(tài)第一側(cè)面表面粗度的Ra值為0.3～1.2nm，Rmax值為2.0～12.0nm，第二側(cè)面表面粗度的Ra值為0.3～1.0nm，Rmax值為1.5～10.0nm。
具有以上構(gòu)成的該固體攝像元件用玻璃罩，其縱向尺寸可為2～50mm、橫向尺寸可為2～50mm、板厚0.1～1mm，透光面呈鏡面狀。另外，玻璃內(nèi)部看不到異物和氣泡等，沿板厚度方向的透過(guò)光形成的色調(diào)為無(wú)色。
在以上構(gòu)成中，第一側(cè)面面積在整個(gè)側(cè)面面積中所占的比率{第一側(cè)面面積/(第一側(cè)面面積+第二側(cè)面面積)}最好為0.1～0.3。
該固體攝像元件用玻璃罩，其側(cè)面包括表面性狀不同的第一側(cè)面和第二側(cè)面，這從制造作業(yè)的角度考慮也是必要的。通常第一側(cè)面是通過(guò)裂縫加工形成的，第二側(cè)面是通過(guò)劈開(kāi)加工形成的。如果第一側(cè)面面積在整個(gè)側(cè)面面積中所占的比率小于0.1，則在進(jìn)行第二側(cè)面的劈開(kāi)加工時(shí)容易產(chǎn)生傾斜。另外，由于第一側(cè)面的表面粗度(Ra值、Rmax值)大于第二側(cè)面，所以其面積最好相對(duì)小些，在整個(gè)側(cè)面面積中所占的比率最大為0.3。如果超過(guò)0.3，在搬送時(shí)容易產(chǎn)生傾斜等問(wèn)題。為了達(dá)到更高的品位，將該比值的上限定為0.27更好一些，定為0.25最令人滿意。
根據(jù)平板玻璃的形狀，側(cè)面沿周圈方向分為多個(gè)部分(各側(cè)面)，此時(shí)上述面積比率表示第一側(cè)面全面積(各側(cè)面的第一側(cè)面面積的總和)在整個(gè)側(cè)面全面積(沿周圈分為多個(gè)部分的各側(cè)面面積的總和)中所占的比率。例如，當(dāng)平板玻璃略呈方形時(shí)，其側(cè)面沿周圈方向分為4部分(具有4個(gè)側(cè)面)，上述面積比率表示4個(gè)側(cè)面的第一側(cè)面面積總和在4個(gè)側(cè)面面積總和中所占比率。當(dāng)分別計(jì)算各側(cè)面在整個(gè)側(cè)面面積中所占的比率時(shí)，各側(cè)面的面積比值可互不相同，也可有部分側(cè)面的面積比值超出上述范圍。不過(guò)最好是各側(cè)面的面積比值都在上述范圍內(nèi)。另外，根據(jù)需要，4個(gè)側(cè)面中相對(duì)的2個(gè)側(cè)面，可具有相同的面積比值。
在上述構(gòu)成中，平板玻璃略呈方形，其4個(gè)邊都有自己對(duì)應(yīng)的側(cè)面，在所有的側(cè)面中，求從第一側(cè)面和第二側(cè)面的交界線到第一透光面，在平板厚度方向上距離的平均值，并設(shè)該平均值為Za，則從第一側(cè)面和第二側(cè)面的交界線到第一透光面，在平板厚度方向上的距離Z滿足-0.2≤(Z-Za)/Za≤0.2這一關(guān)系。此時(shí)各側(cè)面的上述比值{(Z-Za)/Za}可以相同，也可以不同。另外，4個(gè)側(cè)面中相對(duì)的2個(gè)側(cè)面，可具有相同的上述比值。
從第一側(cè)面和第二側(cè)面的交界線到第一透光面，在平板厚度方向上的距離Z，通常在各側(cè)面都是一定的。當(dāng)相鄰接的二個(gè)側(cè)面的上述距離Z不同時(shí)，則這兩個(gè)側(cè)面中的上述交界線在兩側(cè)面之間的棱線處就不連續(xù)。這樣一來(lái)，該棱線就由二個(gè)第一側(cè)面之間的邊界、二個(gè)第二側(cè)面之間的邊界和第一側(cè)面與第二側(cè)面之間的邊界，共三種性狀的邊界組成。該裝置的發(fā)明者們通過(guò)多次試驗(yàn)和調(diào)查，發(fā)現(xiàn)交界線在棱線處不連續(xù)，會(huì)造成微小裂縫和微小傾斜，當(dāng)上述比值{(Z-Za)/Za}不在-0.2～0.2的范圍內(nèi)時(shí)，產(chǎn)生這個(gè)問(wèn)題的機(jī)率明顯增大。
這種微小裂縫和微小傾斜之所以特別成為問(wèn)題，是因?yàn)槠浯蠖喟l(fā)生在平板玻璃成形之后的作業(yè)階段中，此時(shí)再采取對(duì)策就比較麻煩，危害大。也就是說(shuō)，如果在成形時(shí)產(chǎn)生問(wèn)題，可通過(guò)篩選，只保留優(yōu)質(zhì)品，而如果是在成形后的檢查、搬送及組裝等作業(yè)中出現(xiàn)問(wèn)題，會(huì)增大廢品率，浪費(fèi)更多的時(shí)間和費(fèi)用，造成更大的損失。
該裝置的發(fā)明者們還發(fā)現(xiàn)，這種交界線在平板玻璃側(cè)面的棱線處不連續(xù)的情況，不只是棱線本身復(fù)雜的形狀容易形成微小裂縫和微小傾斜等問(wèn)題，由于棱線上還存在表面粗度不同的第一側(cè)面和第二側(cè)面的邊界，這也會(huì)導(dǎo)致微小裂縫和微小傾斜等問(wèn)題。也就是說(shuō)，在棱線位置，具有相同表面粗度的第一側(cè)面間、第二側(cè)面間邊界的表面粗度不會(huì)產(chǎn)生什么變化，但由表面粗度不同的第一側(cè)面和第二側(cè)面形成邊界的表面粗度，會(huì)比第一側(cè)面和第二側(cè)面的表面粗度都大。因此第一側(cè)面與第二側(cè)面在棱線處的邊界長(zhǎng)度應(yīng)盡可能的小。從這個(gè)觀點(diǎn)出發(fā)，上述比值{(Z-Za)/Za}在-0.2～0.2的范圍內(nèi)是比較理想的。該比值小于-0.2，或大于0.2，都會(huì)在進(jìn)行平板玻璃加工，或搬送和組裝等作業(yè)時(shí)，更容易產(chǎn)生玻璃板角部，即側(cè)面棱線處的微小裂縫等。通過(guò)將{(Z-Za)/Za}的值控制在-0.2～0.2的范圍內(nèi)，能夠滿足固體攝像元件用玻璃罩在實(shí)際使用時(shí)所要求的高強(qiáng)度特性。
當(dāng)采用更加穩(wěn)定的條件，要求玻璃罩具有更高的品位時(shí)，上述比值{(Z-Za)/Za}最好在-0.05～0.05的范圍內(nèi)。由此可在加工成形后的作業(yè)中降低微小裂縫的發(fā)生率，同時(shí)也能改善加工時(shí)微小裂縫的發(fā)生率。
比較理想的情況是在相鄰接的兩個(gè)側(cè)面間的棱線處，其中一個(gè)側(cè)面中的第一側(cè)面和第二側(cè)面的交界線端部，與另一側(cè)面中的第一側(cè)面和第二側(cè)面的交界線端部，為實(shí)質(zhì)上的同一點(diǎn)。如果再能使棱線處沒(méi)有微小裂縫的存在，會(huì)更好一些。
這里所說(shuō)的“為實(shí)質(zhì)上的同一點(diǎn)”，除了指一個(gè)側(cè)面中的第一側(cè)面和第二側(cè)面的交界線端部，與另一側(cè)面中的第一側(cè)面和第二側(cè)面的交界線端部，在棱線處完全是同一點(diǎn)這種構(gòu)成外，還包括兩線端之間的距離小于平板玻璃厚度3％時(shí)的情況，這個(gè)距離最好在1％以下。
上述兩線端之間的距離大于平板玻璃厚度的3％時(shí)，表面粗度不同的第一側(cè)面和第二側(cè)面在棱線處的交界線過(guò)長(zhǎng)，會(huì)導(dǎo)致棱線處的表面粗度明顯增大等問(wèn)題的產(chǎn)生。不僅加工時(shí)會(huì)產(chǎn)生微小裂縫，在搬送和組裝作業(yè)時(shí)也會(huì)發(fā)生同樣問(wèn)題。所以，在品位要求嚴(yán)格，并需要確保穩(wěn)定的質(zhì)量時(shí)，上述兩線端之間的距離最好小于平板玻璃厚度的1％。
例如利用激光切割裝置加工平板玻璃的側(cè)面的情況，為了得到上述棱線構(gòu)造，應(yīng)在加工略呈方形輪廓的各平板玻璃縱方向和橫方向的第一側(cè)面部時(shí)，精密管理激光束的相對(duì)移動(dòng)速度，控制該速度變化在設(shè)定值的±5％以?xún)?nèi)，同時(shí)對(duì)激光束的輸出變化也最好控制在±5％以?xún)?nèi)。
“棱線處沒(méi)有微小裂縫”中所指的微小裂縫，是指從裂縫的起點(diǎn)到終點(diǎn)的長(zhǎng)度超過(guò)裂縫所在面的表面粗度，即棱線表面粗度Ra值的10倍以上的情況。裂縫的尺寸大當(dāng)然是重大的缺陷，但即使是小尺寸的裂縫，根據(jù)裂縫所在的方向，也容易形成微小傾斜而引發(fā)一些問(wèn)題，影響光學(xué)特性，例如生成的微細(xì)玻璃屑會(huì)附著在平板玻璃的透光面上。所以，不能輕視小尺寸的裂縫，但是，參照固體攝像元件用玻璃罩所要求的品質(zhì)，如果對(duì)那些影響可以忽略的極微小裂縫都要管理的話，會(huì)提高制造成本和管理成本，也就是提高產(chǎn)品成本，是不現(xiàn)實(shí)的。綜合這些因素，依據(jù)上述標(biāo)準(zhǔn)控制棱線處的微小裂縫，就能夠確保固體攝像元件用玻璃罩的品質(zhì)，還能有效控制成本。
依據(jù)上述標(biāo)準(zhǔn)控制棱線處微小裂縫的平板玻璃，完全能夠滿足固體攝像元件用玻璃罩的高品位要求，在加工作業(yè)以后的檢查、搬送、組裝等作業(yè)中，也能維持高強(qiáng)度特性。
另外，該固體攝像元件用玻璃罩，對(duì)波長(zhǎng)500nm和波長(zhǎng)600nm可視光線的直線內(nèi)部透射系數(shù)分別都在95％以上，比較令人滿意。
這里的“直線內(nèi)部透射系數(shù)”，指的是直線透射光從一側(cè)透光面入射平板玻璃，透過(guò)平板玻璃內(nèi)部，從另一側(cè)透光面射出時(shí)，除去反射損失后的光譜透射率，表示射出光量與入射光量的比值。透射系數(shù)的測(cè)定，對(duì)判斷記錄圖像的固體攝像元件用玻璃罩是否能夠滿足要求的性能，是非常重要的。該直線內(nèi)部透射系數(shù)一旦小于95％，就很難作為固體攝像元件用玻璃罩使用。
該固體攝像元件用玻璃罩的材料組成以質(zhì)量％表示，最好含有50～70％的SiO2，2～20％的Al2O3，4～30％的RO(RO＝MgO+CaO+ZnO+SrO+BaO)。
SiO2是構(gòu)成該固體攝像元件用玻璃罩的主要骨干成分，如果該成分的含有量少于50％，則固體攝像元件在應(yīng)用時(shí)，特別是用于手機(jī)等便攜信息終端這樣的以前并未引起重視的用途時(shí)，會(huì)出現(xiàn)耐風(fēng)雨性方面的問(wèn)題，無(wú)法令人滿意。為了實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的耐風(fēng)雨性，SiO2的含量最好在53％以上。不過(guò)，如果SiO2的含量超過(guò)70％，則溶解玻璃原料變得困難，為了克服這個(gè)問(wèn)題，又需要準(zhǔn)備費(fèi)用更高的溶解設(shè)備，導(dǎo)致制造成本，也就是產(chǎn)品成本的上升，是不現(xiàn)實(shí)的。
Al2O3是有助于提高玻璃耐風(fēng)雨性的成分，該成分的添加量少于2％，效果就不明顯。但如果Al2O3的添加量大于20％，則在玻璃溶解時(shí)該成分的初期溶解性惡化，會(huì)影響均質(zhì)產(chǎn)品的制造。結(jié)果會(huì)導(dǎo)致固體攝像元件用玻璃罩在實(shí)際使用時(shí)，光學(xué)及機(jī)械性能方面容易產(chǎn)生問(wèn)題。為了實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的溶解性，Al2O3添加量的上限以16％為宜。
RO(RO＝MgO+CaO+ZnO+SrO+BaO)是通過(guò)向玻璃中添加堿土金屬元素Mg、Ca、Zn、Sr、Ba的氧化物，提高玻璃耐風(fēng)雨性的成分，而且通過(guò)降低玻璃的粘度，改善玻璃的溶解性，有效提高產(chǎn)品的均質(zhì)化。RO的添加量小于4％，上述效果很難完全體現(xiàn)，反之，RO的添加量大于30％，溶解時(shí)易形成結(jié)晶沉淀，反玻璃化傾向增大，對(duì)玻璃的透射系數(shù)帶來(lái)惡劣影響，導(dǎo)致玻璃均質(zhì)性低下，有時(shí)也會(huì)降低玻璃的強(qiáng)度。
在添加的堿土氧化物中，CaO的添加量的質(zhì)量％最好為0.1～25％。這是因?yàn)镃aO的作用是提高玻璃的耐風(fēng)雨性，其添加量少于0.1％，則添加效果不明顯。為了實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的添加效果，添加量最好在0.4％以上。但如果CaO的添加量過(guò)多，反而會(huì)導(dǎo)致耐風(fēng)雨性的下降，所以其添加量的上限定為25％較好。添加量超過(guò)25％，在耐水性方面會(huì)出現(xiàn)問(wèn)題。為了實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的添加效果，添加量的上限最好為23％。
ZnO是為了抑制B2O3和堿金屬成分在熔融玻璃中揮發(fā)的成分，其添加量在0.03％以下時(shí)，沒(méi)什么效果，為了實(shí)現(xiàn)明顯的效果，添加量需要在0.07％以上。不過(guò)ZnO的添加量過(guò)多，會(huì)導(dǎo)致耐風(fēng)雨性差，其上限是4％，如果超過(guò)這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)，會(huì)對(duì)耐風(fēng)雨性帶來(lái)惡劣影響。為了實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的耐風(fēng)雨性，添加量的上限最好為3.7％。
該固體攝像元件用玻璃罩具有上述組成，通過(guò)采用高純度原料和完善的熔融環(huán)境，可精密調(diào)整U(鈾)、Th(釷)、Fe(鐵)、Pb(鉛)、Ti(鈦)、Ba(鋇)、Cl(氯)、Sn(錫)、As(砷)、Sb(銻)、S(硫)、Zn(鋅)、P(磷)、Mn(錳)、Zr(鋯)的含有量，特別是對(duì)紫外線區(qū)域附近的透射系數(shù)有影響的Fe(鐵)、Pb(鉛)、Ti(鈦)、Cl(氯)、Mn(錳)，可實(shí)現(xiàn)以100ppm～10ppb為單位進(jìn)行的管理，對(duì)產(chǎn)生α線而引起軟性錯(cuò)誤的U(鈾)、Th(釷)，可實(shí)現(xiàn)以10ppb～0.1ppb為單位進(jìn)行的管理。
該固體攝像元件用玻璃罩，其堿洗提量根據(jù)JIS-R3502最好在0.1mg以下，密度最好在2.8g/cm3以下，楊式模量比最好在27Gpa/g·cm-3以上，威氏硬度最好在500kg/mm2以上。
這里的“堿洗提量根據(jù)JIS-R3502在0.1mg以下”，表示的是該固體攝像元件用玻璃罩在耐風(fēng)雨性方面的品質(zhì)，意思是通過(guò)應(yīng)用基于日本工業(yè)規(guī)格(JIS R35021995)的試驗(yàn)方法，測(cè)定該固體攝像元件用玻璃罩產(chǎn)品的堿洗提量時(shí)，其測(cè)定值在0.1mg以下。為了得到更穩(wěn)定的耐風(fēng)雨性，上述堿洗提量在0.08mg以下更好一些。
密度在2.8g/cm3以下，是因?yàn)橄笫謾C(jī)等這些需要在運(yùn)動(dòng)中持有使用的情況受到重視，要求固體攝像元件用玻璃罩越小越好，以便用于便攜式電子機(jī)器中。
在用于便攜式電子機(jī)器時(shí)，玻璃罩的強(qiáng)度非常重要，楊式模量就表示玻璃罩在加載一定外力時(shí)變形的程度，楊式模量越大，玻璃罩就越難變形。通過(guò)將楊式模量比(＝楊氏模量/密度)控制在27Gpa/g·cm-3以上，即可滿足重量輕且不易變形的特性，用于便攜式電子機(jī)器中的固體攝像元件用玻璃罩。
威氏硬度在500kg/mm2以上，可使玻璃罩的表面不會(huì)輕易產(chǎn)生疤痕。這個(gè)特性之所以重要，是因?yàn)榧词寡b載于便攜式電子機(jī)器后是在保護(hù)狀態(tài)下使用，但在裝載之前的電子機(jī)器組裝和搬送作業(yè)中，仍需要使用不易產(chǎn)生疤痕的玻璃材質(zhì)。這是因?yàn)?，如果由于電子機(jī)器的組裝和搬送作業(yè)造成玻璃罩表面的微小裂縫，則在對(duì)電子機(jī)器的檢查過(guò)程中，就會(huì)因?yàn)榇钶d于固體攝像元件后圖像出現(xiàn)問(wèn)題而被視為不合格品，不能進(jìn)入市場(chǎng)銷(xiāo)售。但是，如果微小裂縫是出現(xiàn)在側(cè)面等一些與圖像檢查沒(méi)有什么直接關(guān)聯(lián)而被疏露的地方，則在進(jìn)行圖像等質(zhì)量檢測(cè)時(shí)就容易漏掉，而直接出貨。在這種情況下，將玻璃罩存在問(wèn)題的固體攝像元件用于便攜式電子機(jī)器中，當(dāng)受到落地等的強(qiáng)力沖擊，或裝入工作褲口袋中受到較大的彎曲力時(shí)，就會(huì)對(duì)玻璃罩產(chǎn)生較強(qiáng)的應(yīng)力，在微小裂縫處會(huì)產(chǎn)生割裂等問(wèn)題。因此玻璃罩表面的威氏硬度最好在500kg/mm2以上。
該固體攝像元件用玻璃罩，在具備上述特性的同時(shí)，最好還能滿足以下特性。在耐酸性方面，當(dāng)根據(jù)JOGIS06-1999進(jìn)行耐酸性評(píng)價(jià)試驗(yàn)時(shí)，用0.01N硝酸浸泡處理60分鐘后的粉末質(zhì)量減少率最好小于0.20％。另外，平板玻璃中最好沒(méi)有紋理和疵節(jié)等影響均勻性的物質(zhì)，保持高度的均勻特性。
采用本發(fā)明制作的平板玻璃，通過(guò)利用添加定量的躍遷金屬元素，或使貴金屬以膠態(tài)沉淀等方法，可用作濾色器的薄板玻璃，也可用作激光二極管的玻璃窗，以及作為光功能部件用于電子機(jī)器中。另外，可通過(guò)CVD等各種方法在平板玻璃的表面鍍上蒸發(fā)膜等，進(jìn)行光學(xué)特性上的調(diào)整。
如上所述，因?yàn)樵摴腆w攝像元件用玻璃罩第一側(cè)面的表面粗度大于第二側(cè)面的表面粗度，第一側(cè)面表面粗度的Ra值為0.1～10nm，Rmax值為0.1～30nm，第二側(cè)面表面粗度的Ra值為0.01～5nm，Rmax值為0.01～20nm，第一側(cè)面與第一透光面所成角度在90°±5°的范圍內(nèi)，第二側(cè)面與第一側(cè)面所成角度在8°以下，所以在平板玻璃的制造作業(yè)和電子機(jī)器的組裝作業(yè)等過(guò)程中，能夠顯著減少平板玻璃側(cè)面發(fā)生的微小裂縫和由此產(chǎn)生的玻璃屑，從而提高裝載于固體攝像元件后的抗沖擊強(qiáng)度和玻璃板的清潔度。
因?yàn)樵摴腆w攝像元件用玻璃罩第一側(cè)面與透光面成90°±5°角，略呈垂直面，所以在密封玻璃罩，組裝固體攝像元件時(shí)，容易調(diào)整玻璃罩與固體攝像元件的位置。
因?yàn)樵摴腆w攝像元件用玻璃罩第一側(cè)面面積在整個(gè)側(cè)面面積中所占的比率為0.1～0.3，所以可降低側(cè)面表面粗度的Ra值、Rmax值，也可降低依據(jù)表面粗度狀況而派生的側(cè)面微小裂縫的發(fā)生率。
因?yàn)樵摴腆w攝像元件用玻璃罩略呈方形，滿足-0.2≤(Z-Za)/Za≤0.2的關(guān)系，所以可降低由各側(cè)面間棱線引起的平板玻璃強(qiáng)度下降問(wèn)題的發(fā)生率，可生產(chǎn)具有穩(wěn)定質(zhì)量的固體攝像元件用玻璃罩。
因?yàn)樵谠摴腆w攝像元件用玻璃罩的相鄰接兩個(gè)側(cè)面間的棱線處，其中一個(gè)側(cè)面中的第一側(cè)面和第二側(cè)面的交界線端部，與另一側(cè)面中的第一側(cè)面和第二側(cè)面的交界線端部，為實(shí)質(zhì)上的同一點(diǎn)，同時(shí)棱線處沒(méi)有微小裂縫，所以固體攝像元件組裝后，不會(huì)因?yàn)槔饩€處而造成平板玻璃在一段時(shí)間后強(qiáng)度顯著下降，得到穩(wěn)定的質(zhì)量。
因?yàn)樵摴腆w攝像元件用玻璃罩，對(duì)波長(zhǎng)500nm和波長(zhǎng)600nm可視光線的直線內(nèi)部透射系數(shù)分別都在95％以上，所以搭載于固體攝像元件時(shí)，能夠完全發(fā)揮高性能半導(dǎo)體元件的作用。
因?yàn)樵摴腆w攝像元件用玻璃罩所用平板玻璃的組成以質(zhì)量％表示，含有50～70％的SiO2，2～20％的Al2O3，0.01～30％的RO(RO＝MgO+CaO+ZnO+SrO+BaO)，所以能夠滿足作為固體攝像元件的玻璃罩材料所要求的光學(xué)、化學(xué)及機(jī)械方面的種種特性。
因?yàn)樵摴腆w攝像元件用玻璃罩的堿洗提量(根據(jù)JIS-R3502規(guī)格)在0.1mg以下，密度在2.8g/cm3以下，楊式模量比在27Gpa/g·cm-3以上，威氏硬度在500kg/mm2以上，所以平板玻璃表面具有作為固體攝像元件的玻璃罩所必需的高耐風(fēng)雨性和長(zhǎng)期使用的高強(qiáng)度特性。


圖1為該固體攝像元件用玻璃罩的斜視圖(圖a)和部分?jǐn)嗝鎴D(圖b)。
圖2為該固體攝像元件用玻璃罩的側(cè)面擴(kuò)大圖。
圖3為該固體攝像元件用玻璃罩的角部擴(kuò)大圖。
圖4為從厚原料玻璃板制作薄玻璃板的方法的說(shuō)明圖。
圖5為第一加工后的薄玻璃板進(jìn)行第二加工時(shí)的加工方法的說(shuō)明圖。
圖6為對(duì)該固體攝像元件用玻璃罩部分側(cè)面的放大的顯微鏡照片。
符號(hào)說(shuō)明10固體攝像元件用玻璃罩11a第一透光面11b第二透光面12側(cè)面12a(12a1、12a2)第一側(cè)面12b(12b1、12b2)第二側(cè)面13棱線13a(13a1、13a2)棱線上交界線的線端(線端點(diǎn))14(14a、14b)交界線α透光面與第一側(cè)面所成的角度β第一側(cè)面與第二側(cè)面所成的角度具體實(shí)施方式
以下參照例圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施形態(tài)加以說(shuō)明。
圖1表示有關(guān)該實(shí)施形態(tài)的固體攝像元件用玻璃罩10。固體攝像元件用玻璃罩10由無(wú)機(jī)氧化平板玻璃組成，具有在平板玻璃厚度方向上相對(duì)的第一透光面11a和第二透光面11b，及構(gòu)成平板玻璃周邊的側(cè)面12。平板玻璃略呈方形，側(cè)面12沿平板玻璃周圈方向分為4部分(下面將被分開(kāi)的側(cè)面各部分(各側(cè)面)統(tǒng)稱(chēng)為“部分側(cè)面12”)。各部分側(cè)面12由略垂直于第一側(cè)光面11a的第一側(cè)面12a，和與12a呈傾斜角的第二側(cè)面12b組成。第一側(cè)面12a的表面粗度大于第二側(cè)面12b的表面粗度。第一側(cè)面12a環(huán)繞平板玻璃的整個(gè)周圈，各部分側(cè)面12的第一側(cè)面12a都與第一透光面11a直接相連。同樣，第二側(cè)面12b也環(huán)繞平板玻璃的整個(gè)周圈，各部分側(cè)面12的第二側(cè)面12b都與第二透光面11b直接相連。
之所以由第一側(cè)面12a和第二側(cè)面12b兩個(gè)面構(gòu)成側(cè)面12，是因?yàn)橹圃熘挥梢幻鏄?gòu)成的平板玻璃比較困難。也就是說(shuō)，如果只由第一側(cè)面構(gòu)成整個(gè)側(cè)面，要使平板玻璃成形，就會(huì)損害側(cè)面的直線性，形成彎曲的側(cè)面形狀。如果只由第二側(cè)面構(gòu)成整個(gè)側(cè)面，要使平板玻璃成形，就會(huì)大大損害側(cè)面的表面精度。當(dāng)然，也可以在成形后通過(guò)鏡面研磨矯正側(cè)面的表面精度，但會(huì)極大提高平板玻璃的制造成本，不能提供市場(chǎng)所需要的價(jià)格便宜的玻璃罩。因此，對(duì)平板玻璃側(cè)面進(jìn)行鏡面研磨的方法，從物理上是可行的，但并不現(xiàn)實(shí)。
側(cè)面12沿交界線14分為第一側(cè)面12a與第二側(cè)面12b，相鄰的2個(gè)部分側(cè)面12間存在棱線13。一個(gè)部分側(cè)面12的交界線14的線端(線的端點(diǎn))，和另一個(gè)部分側(cè)面12的交界線14的線端(線的端點(diǎn))，在棱線13上位于實(shí)質(zhì)上的同一點(diǎn)13a處。
如圖1(b)所示，第一側(cè)面12a與第一透光面11a成α角，該α角為90°±5°。第二側(cè)面12b與第一側(cè)面12a成β角，該β角在8°以下。如果β角在8°以下，則如圖所示，平板玻璃無(wú)論是向內(nèi)側(cè)的角度還是向外側(cè)的角度，都比較理想。
圖2是對(duì)1個(gè)部分側(cè)面12的擴(kuò)大表示。側(cè)面部分12由第一側(cè)面12a和第二側(cè)面12b構(gòu)成，兩者的交界線14同第一透光面11a幾乎平行。因此從部分側(cè)面12中的交界線14到第一透光面11a在板厚方向的距離Z幾乎是一定的。另外，這條交界線14也幾乎與12b平行。在這種實(shí)施形態(tài)的平板玻璃中，同圖2所示的部分側(cè)面12結(jié)構(gòu)相同的部分側(cè)面12還有3個(gè)。前面所講的面積比值，即{第一側(cè)面12a的面積/(第一側(cè)面12a的面積+第二側(cè)面12b的面積)}，在各部分側(cè)面12中都為0.1～0.3。前面所講的比值{(Z-Za)/Za}，在各部分側(cè)面12中都為-0.2～0.2。該比值{(Z-Za)/Za}小一點(diǎn)比較理想，特別如果能在-0.05～0.05范圍內(nèi)，可獲得更加穩(wěn)定的質(zhì)量。這些比值在4個(gè)部分側(cè)面12中，可以相同，也可以不同。
棱線13是平板玻璃角部的頂點(diǎn)15a與頂部15b的連結(jié)線，上述的點(diǎn)13a(實(shí)質(zhì)上的同一點(diǎn))位于棱線13上。
圖3是平板玻璃角部的擴(kuò)大表示。在這個(gè)實(shí)施形態(tài)中，相鄰接的兩個(gè)部分側(cè)面12的距離Z(如圖2所示)并不相同，使得這2個(gè)部分側(cè)面12中的交界線14a與交界線14b，在棱線13上并不連續(xù)。這個(gè)距離，即在棱線13上，一個(gè)部分側(cè)面12中的交界線14a的線端(線的端點(diǎn))13a1，與另一部分側(cè)面12中的交界線14b的線端(線的端點(diǎn))13a2之間的距離，最好在平板玻璃厚度T的3％以下，在1％以下更好一些。所以，棱線13包括相鄰接的第一側(cè)面12a1與第一側(cè)面12a2的邊界、第二側(cè)面12b1與第二側(cè)面12b2的邊界、第一側(cè)面12a2與第二側(cè)面12b1的邊界，共由3種邊界組成。
第一側(cè)面12a1與第一側(cè)面12a2在棱線13上的邊界，即從平板玻璃角部的頂點(diǎn)15a到交界線端點(diǎn)13a1之間的距離，在圖2中表示為距離Z。于是，上述比值{(Z-Za)/Za}越小，在棱線13上第一側(cè)面12a2與第二側(cè)面12b1的邊界，即交界線端點(diǎn)13a1與交界線端點(diǎn)13a2之間的距離就越小。從這個(gè)觀點(diǎn)出發(fā)，上述比值{(Z-Za)/Za}在-0.2～0.2范圍內(nèi)比較理想，在-0.05～0.05范圍內(nèi)更好一些。
交界線端點(diǎn)13a1與交界線端點(diǎn)13a2之間的距離，在平板玻璃厚度T的3％以下比較理想，在1％以下更好一些，這時(shí)用肉眼觀察，可視為實(shí)質(zhì)上的同一點(diǎn)13a。
在棱線13上第一側(cè)面12a2與第二側(cè)面12b1的邊界，即交界線端點(diǎn)13a1與交界線端點(diǎn)13a2之間的區(qū)域，包括兩個(gè)表面粗度不同的面的邊界，兩種表面狀態(tài)混在一起的結(jié)果，就是呈現(xiàn)一種比其中較粗一方的表面(第一側(cè)面12a2)更粗的表面狀態(tài)。所以，容易以棱線13的該區(qū)域?yàn)槠瘘c(diǎn)產(chǎn)生微小裂縫。通過(guò)將棱線13中該區(qū)域的長(zhǎng)度，即交界線端點(diǎn)13a1與交界線端點(diǎn)13a2之間的距離，控制在平板玻璃厚度T的3％以下，可防止上述微小裂縫的產(chǎn)生，如能在1％以下更好一些。
通過(guò)適度調(diào)節(jié)加工條件，使第一側(cè)面12a與第二側(cè)面12b的表面粗度盡可能接近，另外，通過(guò)提高加工面的抽樣檢查頻次等，使平板玻璃角部的頂點(diǎn)15a與交界線端點(diǎn)13a1之間距離的平均值，同頂點(diǎn)15a與交界線端點(diǎn)13a2之間距離的平均值(Za)的差異，在±10％以下比較理想，在±8％以下更好一些，在±5％以下最令人滿意。
下面對(duì)上述固體攝像元件用玻璃罩的制造方法，及其性能評(píng)價(jià)試驗(yàn)的結(jié)果進(jìn)行說(shuō)明。
首先，平板玻璃制造的最初作業(yè)是制作一片300mm大小的薄板狀的大玻璃板，該作業(yè)有兩種類(lèi)型，一種是延伸成形法，一種是只利用精密研削研磨加工的方法。在利用延伸成形法時(shí)，要先準(zhǔn)備一塊放入熔解爐進(jìn)行熔解的原料玻璃板，尺寸可為寬850mm、厚5mm、長(zhǎng)3m。接著，將這塊原料玻璃板20放入帶有人工皮革的旋轉(zhuǎn)研磨機(jī)，一邊自動(dòng)加入將氧化鈰等游離砥粒分散于水等物質(zhì)中形成的粘合液，一邊進(jìn)行研磨加工，一直到形成表面粗度的Ra值為1.1nm的鏡面為止，再洗凈、干燥，即得到板厚4.5±0.5mm的厚板玻璃20。然后，將該厚板玻璃20置入如圖4所示的延伸成形裝置30中，利用加熱爐30a進(jìn)行加熱，使玻璃粘度保持在105dPa·s，再利用安裝在下面的抽取式耐熱滾動(dòng)軸30b，以10倍于搬入速度的速度搬出，即形成薄玻璃板40，該薄玻璃板40的兩側(cè)通過(guò)劃線成形。這樣就形成了一片300mm的薄板狀大玻璃板。
利用精密研削研研磨的方法進(jìn)行加工時(shí)，先將在熔解爐中熔解的均勻玻璃，用澆鑄法成型，例如按照800×300×300mm的尺寸，然后使用鋼絲鋸(采用游離砥粒)將其切斷，得到板厚1.5的薄玻璃板。接著，將該薄玻璃板置入前面講到的旋轉(zhuǎn)研磨加工機(jī)中進(jìn)行研磨加工，得到薄板狀大玻璃板。通過(guò)以上兩種方法制造的大玻璃板尺寸范圍可為縱50～600mm，橫50～600mm，板厚0.1～50mm，可根據(jù)需要進(jìn)行變更。
接著需要對(duì)薄板狀大玻璃板進(jìn)行精細(xì)切割，有兩種加工方法，一種是采用帶有激光切割裝置的激光劃片，一種是利用帶有加熱陶瓷粉的加熱突起滾軸。利用激光劃片加工時(shí)，首先使用熱加工激光切割裝置，在薄玻璃板的一面上，按照棋盤(pán)格狀進(jìn)行第一切割加工，切割深度為玻璃板厚度的20％，激光束移動(dòng)速度為180±5mm/sec或220±5mm/sec，激光輸出功率為120±5W或160±5W。接著如圖5所示，在薄玻璃板17的第一加工面15的相反一側(cè)，以金屬材料的線狀機(jī)頭沿M方向移動(dòng)，同時(shí)將薄玻璃板17的第一加工面15用夾具壓住，使得薄玻璃板17的第一加工面15受應(yīng)力壓裂。這樣一來(lái)，即可通過(guò)第二加工切割作業(yè)，得到沿第一加工形成的予定線分割的長(zhǎng)方形玻璃板。再利用真空鑷子分別將得到的長(zhǎng)方形玻璃板傳運(yùn)至下一工序。然后，對(duì)長(zhǎng)方形玻璃板再次進(jìn)行壓裂加工，得到最終的固體攝像元件用玻璃板。
利用帶有加熱陶瓷粉的加熱突起滾軸的加工方法，現(xiàn)在正處在開(kāi)發(fā)階段，其大致過(guò)程是這樣的，將尖端表面付有陶瓷粉的銳利的滾軸刀片邊加熱，邊緊緊壓在玻璃板表面移動(dòng)，使玻璃板表面發(fā)熱，之后馬上利用預(yù)先冷卻的刀片(采用珀耳帖元件)，沿玻璃板表面的裂縫頭部露出的玻璃表面，和激光移動(dòng)的方向這兩個(gè)方向，對(duì)玻璃板表面施以垂直方向的持續(xù)作用的張力，即可將其切斷，無(wú)需象激光切割那樣使用冷卻水，加工效果與使用激光劃片差不多。
無(wú)論采用上述哪種加工方法，都可得到具有圖6所示側(cè)面外觀，板厚0.1mm～1mm的平板玻璃。圖6實(shí)際上是固體攝像元件用玻璃罩的側(cè)面角部附近的照片，側(cè)面是由第一加工形成的第一側(cè)面V和之后的第二加工形成的第二側(cè)面W這2個(gè)面構(gòu)成的。由第一加工形成的第一側(cè)面V，帶有一種經(jīng)過(guò)熱加工處理效果的表面性狀，呈鏡(Mirro)面，其表面粗度的Ra值為0.3～2.0nm，Rmax值為2.0～20.0nm。該側(cè)面V的特征是，斷面破開(kāi)的進(jìn)行速度快，呈現(xiàn)一種利用劃片機(jī)等機(jī)械劃片進(jìn)行機(jī)械切割處理的表面狀態(tài)，即其斷面帶有相互間隔小、凹凸大的羅紋(Rib)標(biāo)志，這只有在斷面高速破開(kāi)時(shí)才會(huì)發(fā)生，但同時(shí)其表面粗度又與那種Ra值大于50nm、Rmax值大于100nm的凹凸過(guò)大的斷面明顯不同。由第二加工形成的第二側(cè)面W，有時(shí)在角部周?chē)砂l(fā)現(xiàn)數(shù)個(gè)曲線狀的間隔較開(kāi)的羅紋標(biāo)志，且?guī)в写蠓秶溺R面，這種表面粗度的Ra值為0.3～10nm，Rmax值為2.0～20.0nm。
最好能通過(guò)管理，使這兩個(gè)側(cè)面的表面粗度盡可能的小，且沒(méi)有異物和污點(diǎn)等附著物?？稍谧鳂I(yè)上采取一系列的措施，例如更加頻繁進(jìn)行加工精度的管理，提高定期維護(hù)的頻次等，使第一側(cè)面V的表面粗度Ra值為0.3～1.2nm，Rmax值為3.0～9.0nm，第二側(cè)面W的表面粗度Ra值為0.3～1.0nm，Rmax值為2.5～8.0nm。
(性能評(píng)價(jià)1)然后，對(duì)按照上述方法成形的該固體攝像元件用玻璃罩，進(jìn)行性能評(píng)價(jià)試驗(yàn)。以下為具體結(jié)果。
首先，將按照表1所示的組成預(yù)先調(diào)合好的玻璃原料，利用1000cc容積的白金坩堝，置入具有攪拌功能的電氣熔解爐中，以1550℃的溫度保持20小時(shí)，使原料熔化，之后將熔融的玻璃倒入碳精模具中，使之慢慢冷卻，變成可測(cè)定各種性能的適當(dāng)形狀。然后將所得的各個(gè)玻璃樣品利用以下方法進(jìn)行測(cè)定。堿洗提量根據(jù)JIS R3502進(jìn)行測(cè)定。表中標(biāo)記為ND的項(xiàng)，表示檢測(cè)困難的意思。密度根據(jù)通用的阿基米德法進(jìn)行測(cè)定。楊氏模量比，是利用鐘紡(株)制造的非破壞彈性率測(cè)定裝置(KI-11)，通過(guò)彎曲共振法測(cè)定楊氏模量，然后與密度相比得出。威氏硬度根據(jù)JIS Z2244-1992進(jìn)行測(cè)定。進(jìn)行直線內(nèi)部透射系數(shù)測(cè)定所用的玻璃樣品，其表面經(jīng)過(guò)與前面所述的玻璃板制造作業(yè)相同的研磨加工，板厚也與固體攝像元件用玻璃板相同，測(cè)定時(shí)利用(株)日立制作所制造的分光光度計(jì)。



由表1所示的結(jié)果可知，不管是哪件樣品，其堿洗提量、密度、楊氏模量比、威氏硬度、直線內(nèi)部透射系數(shù)都滿足本發(fā)明的條件。不過(guò)要實(shí)現(xiàn)該固體攝像元件用玻璃罩的性能，不但要滿足這些組成和各種特性，還要使側(cè)面具有如前所述的表面性狀。
接著，制作固體攝像元件用玻璃罩(樣品A～E)，對(duì)其側(cè)面的表面性狀進(jìn)行確認(rèn)。樣品A～D(實(shí)施例)采用以下過(guò)程形成，先制作滿足上述各特性的原料玻璃板，然后加工成薄玻璃板，再通過(guò)激光劃片(第一加工)形成第一側(cè)面，通過(guò)切斷加工(第二加工)形成第二側(cè)面，也就是壓裂作業(yè)。樣品E(對(duì)比例)側(cè)面的第一側(cè)面由機(jī)械劃片形成，第二側(cè)面通過(guò)壓裂作業(yè)形成。然后利用(Digital Instruments公司制)原子間力顯微鏡(NanoScopeIII Tapping Mode AFM)和觸針式表面粗度測(cè)定機(jī)(Tayler-Hobson公司制)，對(duì)各樣品側(cè)面的第一側(cè)面和第二側(cè)面的表面粗度進(jìn)行測(cè)定。結(jié)果如表2所示。
(單位nm)

利用原子間力顯微鏡進(jìn)行表面粗度測(cè)定時(shí)，以40μm的測(cè)定長(zhǎng)進(jìn)行10次測(cè)定，求其平均值(該值以表2中的①欄表示)。利用觸針式表面粗度測(cè)定機(jī)進(jìn)行測(cè)定時(shí)，測(cè)定長(zhǎng)為0.25mm，計(jì)測(cè)速度為0.0025mm/sec，濾波器0.33Hz，放大率20萬(wàn)倍(該值以表2中的②欄表示)。兩種方式都是用探針對(duì)樣品側(cè)面沿平行方向掃描，進(jìn)行測(cè)定。從表2的測(cè)定結(jié)果來(lái)看，樣品A～D(實(shí)施例)的第一側(cè)面和第二側(cè)面表面粗度的Ra值、Rmax值都滿足本發(fā)明的條件，呈現(xiàn)良好的表面性狀。而樣品E(對(duì)比例)的第一側(cè)面表面粗度的Ra值超過(guò)了72.5nm和50nm，非常粗糙，就算用顯微鏡觀察，也能明顯看出與樣品A～D表面性狀的差異。
經(jīng)測(cè)定，樣品A～D(實(shí)施例)第一側(cè)面與透光面所成角度為88～93°，第二側(cè)面與第一側(cè)面所成角度為2～7°。所以其中任何一件都滿足該攝像元件用玻璃罩所必需的側(cè)面形態(tài)。
制作固體攝像元件用玻璃罩(樣品F、G)，并利用觸針式表面粗度測(cè)定機(jī)(Tayler-Hobson公司制)對(duì)透光面的表面狀態(tài)進(jìn)行評(píng)價(jià)。在進(jìn)行大玻璃板加工時(shí)，它們分別采用了上述兩種不同的加工方法，樣品F采用精密研削研磨加工，樣品G采用延伸成形法。采用如下測(cè)定條件，測(cè)定長(zhǎng)為1mm，計(jì)測(cè)速度為0.025mm/sec，濾波器0.33Hz，放大率10萬(wàn)倍。結(jié)果如表3所示。


由表3所示的測(cè)定結(jié)果可知，樣品F和樣品G的透光面，都具備作為固體攝像元件用玻璃罩所應(yīng)有的充分的平滑性。
如上所述，該固體攝像元件用玻璃罩在具有良好的側(cè)表面品位的同時(shí)，其透光面也具有平滑的表面性狀，能夠充分發(fā)揮固體攝像元件用玻璃罩的功能。
(性能評(píng)價(jià)2)通過(guò)實(shí)施以下抗沖擊強(qiáng)度特性的評(píng)價(jià)試驗(yàn)，以評(píng)價(jià)該固體攝像元件用玻璃罩的強(qiáng)度特性。為了能在真正搭載于手機(jī)的狀態(tài)下進(jìn)行沖擊試驗(yàn)，從市場(chǎng)上銷(xiāo)售的搭載固體攝像元件照像機(jī)中取出固體攝像元件，將要進(jìn)行試驗(yàn)的固體攝像元件用玻璃罩，用粘著劑密封在帶有螺釘固定孔、與固體攝像元件重量相同的氧化鋁基片上，以此替代固體攝像元件擰在手機(jī)上，作為用于沖擊試驗(yàn)的測(cè)試手機(jī)。為了使測(cè)試手機(jī)的，距離安裝固體攝像元件的位置最近的角部能必定成為沖擊點(diǎn)，在測(cè)試手機(jī)上安裝氯乙烯筒狀導(dǎo)軌，并將該筒狀導(dǎo)軌綁在長(zhǎng)度1.2m、保持垂直的金屬圓柱形支柱上，然后使測(cè)試手機(jī)從1m的高度，落在厚3cm的橡木板上。
試驗(yàn)中，使用了30個(gè)該固體攝像元件用玻璃罩(尺寸7×7×0.3mm)作為實(shí)施例，使用了30個(gè)利用機(jī)械切片加工的相同尺寸的光學(xué)玻璃BK7作為對(duì)比例，并將它們分別密封于氧化鋁基片上。試驗(yàn)方法是，將各測(cè)試體從1米高處分別下落200次，結(jié)束后取出氧化鋁基片，進(jìn)行目視觀察和利用20倍的實(shí)體顯微鏡觀察，對(duì)認(rèn)為有破裂的，再利用50倍的顯微鏡觀察，并利用掃描式電子顯微鏡觀察是否有微小裂縫。
結(jié)果，搭載有該固體攝像元件用玻璃罩的30個(gè)測(cè)試體未發(fā)現(xiàn)異常，為了慎重起見(jiàn)，又利用掃描式電子顯微鏡進(jìn)行了觀察，也不能確認(rèn)有新微小裂縫的產(chǎn)生。而那些所用平板玻璃的側(cè)面由機(jī)械切片形成的測(cè)試體，在測(cè)試前的調(diào)查中就發(fā)現(xiàn)，側(cè)面的第一側(cè)面與透光面間存在細(xì)薄的帶狀塑性變形區(qū)，在該部分發(fā)現(xiàn)微小裂縫，其表面粗度的Ra值為105～320nm，試驗(yàn)后有2個(gè)測(cè)試體因微小裂縫發(fā)生破裂。利用掃描式電子顯微鏡對(duì)這2個(gè)測(cè)試體進(jìn)行波面解析，發(fā)現(xiàn)這2個(gè)測(cè)試體都是因?yàn)槠桨宀Ａ?cè)面的第一側(cè)面存在微小裂縫，因此在受到?jīng)_擊式應(yīng)力時(shí)，帶有破裂斷面特征的破面就會(huì)表現(xiàn)出來(lái)。另外，對(duì)未發(fā)生破裂的剩余測(cè)試體，利用50倍的顯微鏡觀察，確認(rèn)其中有3個(gè)測(cè)試體平板玻璃側(cè)面的第一側(cè)面，存在因微小裂縫產(chǎn)生的微小傾斜。
通過(guò)以上實(shí)驗(yàn)可知，面對(duì)易使原先的平板玻璃產(chǎn)生強(qiáng)度問(wèn)題的沖擊試驗(yàn)，該固體攝像元件用玻璃罩體現(xiàn)了足夠的承受能力，具有良好的實(shí)用性能。
(性能評(píng)價(jià)3)為了評(píng)價(jià)該固體攝像元件用玻璃罩的強(qiáng)度特性，實(shí)施以下這種長(zhǎng)時(shí)間的強(qiáng)度特性比較實(shí)驗(yàn)。該試驗(yàn)是通過(guò)耐風(fēng)雨性試驗(yàn)和強(qiáng)度試驗(yàn)的結(jié)合，利用實(shí)際使用階段的搬送行程，非常苛刻的再現(xiàn)長(zhǎng)期使用時(shí)的強(qiáng)度特征，以進(jìn)行評(píng)價(jià)。
首先，準(zhǔn)備總共4000塊按照固體攝像元件用玻璃板的尺寸成形的平板玻璃，作為實(shí)施例(樣品H～O)，另外再準(zhǔn)備3000塊作為對(duì)比例(樣品P～T)。所用平板玻璃的外形、表面性狀和試驗(yàn)結(jié)束時(shí)的結(jié)果，如表4所示。
表中第2項(xiàng)，比值{(Z-Za)/Za}在前面已經(jīng)講過(guò)，Z是各個(gè)側(cè)面中的第一側(cè)面與第二側(cè)面的交界線到第一透光面之間，在板厚度方向上的距離，Za是4個(gè)側(cè)面的上述距離總和除4得到的算術(shù)平均值。表中數(shù)值是對(duì)各種條件的20個(gè)樣品測(cè)試體的平板玻璃角部，也就是80個(gè)位置進(jìn)行測(cè)定所得結(jié)果的平均值。第3項(xiàng)中的線端間距離，是指在各個(gè)相鄰2個(gè)側(cè)面間的棱線上，一個(gè)側(cè)面中的交界線的端點(diǎn)(線端點(diǎn))和另一側(cè)面中的交界線的端點(diǎn)(線端點(diǎn))之間的距離(例如圖3所示的線端點(diǎn)13a1和線端點(diǎn)13a2之間的距離)。


分別以相同的條件制作樣品H～O各500塊作為實(shí)施例，制作樣品P～S各500塊和樣品T1000塊作為對(duì)比例。對(duì)實(shí)施例樣品H～O，采用激光劃片加工平板玻璃側(cè)面的龜裂線，激光束移動(dòng)速度為120±5mm/sec或150±5mm/sec，激光輸出功率為120±5W，再通過(guò)壓裂作業(yè)進(jìn)行劈開(kāi)加工使之成形，其第一側(cè)面及第二側(cè)面的表面粗度、比值{(Z-Za)/Za}、線端間距離比(線端間距離/平板玻璃的板厚)、第一側(cè)面與透光面所成角度、第二側(cè)面與第一側(cè)面所成角度的各值如表4所示。
對(duì)作為對(duì)比例的，樣品P、樣品Q(chēng)、樣品R和樣品S，也是采用激光劃片進(jìn)行龜裂線加工，在形成第一側(cè)面時(shí)，有意識(shí)的使縱方向和橫方向激光束的相對(duì)移動(dòng)速度在25～40％的范圍內(nèi)變動(dòng)，使激光輸出功率在90～220W的范圍內(nèi)變動(dòng)，這使得比值{(Z-Za)/Za}超過(guò)了20％，線端間距離比(線端間距離/平板玻璃的板厚)超過(guò)了3％。另外，對(duì)樣品R和樣品S，有意識(shí)的變動(dòng)激光束的照射角度和壓裂加工時(shí)的應(yīng)力施加方向，結(jié)果樣品R第二側(cè)面對(duì)第一側(cè)面所成角度超過(guò)8°，樣品S第一加工面對(duì)透光面所成角度超過(guò)95°。對(duì)樣品T，使用機(jī)械切片進(jìn)行第一側(cè)面的成形加工，使用壓裂加工進(jìn)行第二側(cè)面的成形。
然后，利用觸針式表面粗度測(cè)定機(jī)(Tayler-Hobson公司制)測(cè)定各樣品的表面粗度。測(cè)定條件為，測(cè)定長(zhǎng)1mm，計(jì)測(cè)速度0.025mm/sec，濾波器0.33Hz，放大100萬(wàn)倍。另外，對(duì)棱線上的線端間距離、第一側(cè)面和第二側(cè)面的角度，分別使用投影測(cè)定機(jī)、激光顯微鏡、千分尺等進(jìn)行測(cè)量。
結(jié)果，作為實(shí)施例的各樣品，第一側(cè)面表面粗度的Ra值在0.1～5.0nm范圍內(nèi)，Rmax值在1.0～15nm范圍內(nèi)，第二側(cè)面表面粗度的Ra值在0.1～3.0nm范圍內(nèi)，Rmax值在1.0～12nm范圍內(nèi)。作為比較例的樣品P、樣品Q(chēng)、樣品R和樣品S，它們的表面粗度與實(shí)施例在同一范圍內(nèi)，但樣品T的第一側(cè)面Ra值大于10nm，Rmax值大于30nm。
在比值{(Z-Za)/Za}方面，實(shí)施例都是在20％以下。作為對(duì)比例的樣品P和樣品Q(chēng)，該比值都超過(guò)了20％，取一塊樣品檢測(cè)，其棱線上的線端間距離總和約超過(guò)了200μm，經(jīng)顯微鏡觀察，棱線處的表面粗度大于第一側(cè)面。而在實(shí)施例中，棱線上的線端點(diǎn)距離總和都在200μm以下，對(duì)棱線處用顯微鏡觀察，也沒(méi)有對(duì)比例那樣粗糙的表面狀態(tài)。實(shí)施例樣品H、樣品J、樣品K、樣品L和樣品M，它們的比值{(Z-Za)/Za}都在5％以下，取一塊樣品檢測(cè)，其棱線上的線端間距離總和約小于40μm。在線端間距離比(線端間距離/平板玻璃的板厚)方面，實(shí)施例都在1.0％到14.5％之間，又經(jīng)顯微鏡觀察，那些比值在3.0％以下的樣品H、樣品I、樣品J、樣品K、樣品L和樣品M，它們棱線處的表面粗度與第一側(cè)面相同甚至更小，而那些比值在1.0％以下的樣品K、樣品L和樣品M，這種傾向更加明顯。作為對(duì)比例的樣品T，比值{(Z-Za)/Za}小，但因?yàn)榈谝粋?cè)面的表面粗度大，所以棱線處也相應(yīng)的較為粗糙。
然后，將具有經(jīng)上外形品位的各實(shí)施例和比較例樣品，都裝入出貨用的塑料托盤(pán)中，一起放進(jìn)溫度保持在80℃、濕度保持在80％的高溫高濕試驗(yàn)裝置內(nèi)，過(guò)1000小時(shí)后，再一起用瓦楞紙板打包，利用貨運(yùn)卡車(chē)，在滋賀縣大津市和神奈川縣藤澤市之間(單程約450km以上)往返10次，實(shí)施共計(jì)9000km以上的行車(chē)振動(dòng)試驗(yàn)。這樣，平板玻璃在長(zhǎng)期保存于高溫高濕環(huán)境后，又以打包的形態(tài)，組合實(shí)施了搬送過(guò)程中的非常苛刻的振動(dòng)試驗(yàn)。試驗(yàn)結(jié)束后，對(duì)被試驗(yàn)的實(shí)施例和對(duì)比例，實(shí)施實(shí)體顯微鏡觀察、50倍顯微鏡觀察和掃描式顯微鏡觀察。
結(jié)果，對(duì)實(shí)施例樣品H～M，無(wú)論采用實(shí)體顯微鏡觀察，還是50倍顯微鏡觀察，都未發(fā)現(xiàn)微小裂縫和微小傾斜。在樣品N和樣品O上發(fā)現(xiàn)了微小裂縫和微小傾斜，但經(jīng)調(diào)查發(fā)現(xiàn)，是裝于塑料托盤(pán)時(shí)附著了金屬異物，因此產(chǎn)生了裂縫和傾斜，與平板玻璃本身無(wú)關(guān)。另外，在樣品K和樣品O的平板玻璃表面發(fā)現(xiàn)附著異物，經(jīng)分析，也是由于塑料托盤(pán)的污處所致，并非玻璃異物。因此可以認(rèn)為，實(shí)施例中未發(fā)現(xiàn)因平板玻璃導(dǎo)致的異常。
對(duì)比例的情況就有所不同，樣品P～T都發(fā)現(xiàn)了微小裂縫和微小傾斜。特別是樣品P，在確定發(fā)生微小裂縫的位置時(shí)發(fā)現(xiàn)，發(fā)生率為3.5％的微小裂縫的9成，都是因?yàn)槲挥谄桨宀ＡЫ遣康?，棱線上的第一側(cè)面和第二側(cè)面交界線的位置(線端間區(qū)域)存在問(wèn)題而造成的。另外，樣品P的7成傾斜問(wèn)題，也都是由于棱線上線端間區(qū)域的原因造成的。樣品S的角部以外的側(cè)面，發(fā)生微小裂縫的機(jī)率也較大，經(jīng)調(diào)查發(fā)現(xiàn)，有4成是發(fā)生在角部以外側(cè)面的第一側(cè)面和第二側(cè)面交界附近。
作為比較例的樣品T共有1000塊參加了檢測(cè)，其中有23塊測(cè)試體的側(cè)面確認(rèn)出現(xiàn)了試驗(yàn)前未發(fā)現(xiàn)的微小裂縫，發(fā)生率為2.3％。其中有6塊，是因?yàn)榈谝粋?cè)面的傾斜產(chǎn)生的玻璃粉造成的。另外，還有13塊測(cè)試體的側(cè)面，發(fā)現(xiàn)了由玻璃溶出成分構(gòu)成的附著異物，發(fā)生率為1.3％。還有2塊測(cè)試體，由于在塑料托盤(pán)和平板玻璃間夾有玻璃粉，玻璃板表面在搬送途中產(chǎn)生了傷痕。
根據(jù)以下評(píng)價(jià)結(jié)果可知，該固體攝像元件用玻璃罩耐風(fēng)雨性好，平板玻璃側(cè)面加工方式適當(dāng)，具有在搬送等過(guò)程中不會(huì)發(fā)生強(qiáng)度問(wèn)題的良好性能，可以保持穩(wěn)定的品位。
如上所述，該固體攝像元件用玻璃罩能夠顯著減少因平板玻璃制造作業(yè)和電子機(jī)器組裝作業(yè)等產(chǎn)生的平板玻璃側(cè)面的微小裂縫和微小傾斜所造成的玻璃屑，提高搭載于固體攝像元件后的抗沖擊強(qiáng)度和平板玻璃的清潔度，所以通過(guò)充分發(fā)揮其符合高性能固體攝像元件設(shè)計(jì)的性能，可有效利用于固體攝像元件中。
該固體攝像元件用玻璃罩在密封于固體攝像元件，進(jìn)行組裝作業(yè)時(shí)，玻璃罩與固體攝像元件間位置的調(diào)整對(duì)正比較容易，所以能夠高精度、迅速的進(jìn)行固體攝像元件的組裝，對(duì)穩(wěn)定的生產(chǎn)高性能的固體攝像元件有很大的幫助。
該固體攝像元件用玻璃罩能夠有效降低平板玻璃側(cè)面的表面粗度Ra值、最大表面粗度Ra值，可以降低依存于表面粗度等表面性狀的平板玻璃側(cè)面的微小裂縫的發(fā)生率，所以更加擴(kuò)大了固體攝像元件的利用范圍，可喚起消費(fèi)者新的需要和用途。
該固體攝像元件用玻璃罩能夠降低因平板玻璃側(cè)面的棱線而造成的平板玻璃強(qiáng)度下降問(wèn)題產(chǎn)生的概率，能夠?qū)崿F(xiàn)具有穩(wěn)定品位的固體攝像元件用玻璃罩的生產(chǎn)，所以可簡(jiǎn)化利用固體攝像元件用玻璃罩作業(yè)中的檢查等工序，可大量生產(chǎn)價(jià)格便宜且高質(zhì)量的固體攝像元件。
該固體攝像元件用玻璃罩被組裝為固體攝像元件后，不會(huì)因?yàn)閭?cè)面棱線而使得平板玻璃的強(qiáng)度隨時(shí)間顯著下降，實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的品位，所以可在攜帶式等要求高強(qiáng)度的領(lǐng)域中，用作搭載于固體攝像元件的玻璃罩。
以前那些保護(hù)半導(dǎo)體的玻璃罩等組件，由于強(qiáng)度較弱無(wú)法采用，而該固體攝像元件用玻璃罩搭載于固體攝像元件時(shí)，可以完全發(fā)揮高性能半導(dǎo)體元件的性能，這就使本發(fā)明可以向更多樣的應(yīng)用領(lǐng)域擴(kuò)展。
該固體攝像元件用玻璃罩滿足作為這種玻璃罩的材料所要求的光學(xué)、化學(xué)及機(jī)械方面的種種特性，不僅可用于攜帶用途，而且可廣泛采用于作為各種電子機(jī)器的電子部件搭載的固體攝像元件中。
該固體攝像元件用玻璃罩在平板玻璃表面的耐風(fēng)雨性、長(zhǎng)期使用的強(qiáng)度特性方面，都可以發(fā)揮固體攝像元件的玻璃罩所必需的高性能，所以能夠?yàn)槔霉腆w攝像元件的情報(bào)傳送方面的，全部光通信產(chǎn)業(yè)的進(jìn)一步發(fā)展作出很大的貢獻(xiàn)。
權(quán)利要求
1.一種固體攝像元件用玻璃罩，由無(wú)機(jī)氧化平板玻璃組成，包括以下部分處于平板玻璃厚度方向，位置相對(duì)的第一透光面和第二透光面，以及構(gòu)成平板玻璃周邊的側(cè)面，其中側(cè)面又分與第一透光面相鄰的第一側(cè)面、與第一側(cè)面和第二透光面相鄰的第二側(cè)面，其特征在于第一側(cè)面的表面粗度大于第二側(cè)面的表面粗度，第一側(cè)面表面粗度的Ra值為0.1～10nm，Rmax值為0.1～30nm，第二側(cè)面表面粗度的Ra值為0.01～5nm，Rmax值為0.01～20nm，第一側(cè)面與第一透光面所成角度在90°±5°的范圍內(nèi)，第二側(cè)面與第一側(cè)面所成角度在8°以下。
2.如權(quán)利要求1所述的固體攝像元件用玻璃罩，其特征在于第一側(cè)面在整個(gè)側(cè)面中所占的比例為0.1～0.3。
3.如權(quán)利要求1或2所述的固體攝像元件用玻璃罩，其特征在于平板玻璃略呈方形，其4個(gè)邊都有自己對(duì)應(yīng)的側(cè)面，在所有的側(cè)面中，求從第一側(cè)面和第二側(cè)面的交界線到第一透光面，在平板厚度方向上距離的平均值，并設(shè)該平均值為Za，則從第一側(cè)面和第二側(cè)面的交界線到第一透光面，在平板厚度方向上的距離Z滿足-0.2≤(Z-Za)/Za≤0.2這一關(guān)系。
4.如權(quán)利要求3所述的固體攝像元件用玻璃罩，其特征在于在相鄰兩個(gè)側(cè)面的棱線處，其中一個(gè)側(cè)面的第一側(cè)面與第二側(cè)面的交界線頭部，與另一個(gè)側(cè)面的第一側(cè)面與第二側(cè)面的交界線頭部實(shí)際上是同一點(diǎn)。
5.如權(quán)利要求1至4的任一項(xiàng)所述的固體攝像元件用玻璃罩，其特征在于波長(zhǎng)500nm的可視光線的直線內(nèi)部透射系數(shù)，和波長(zhǎng)600nm的可視光線的直線內(nèi)部透射系數(shù)分別都在95％以上。
6.從權(quán)利要求1至5的任一項(xiàng)所述的固體攝像元件用玻璃罩，其特征在于以質(zhì)量％表示，含有50～70％的SiO2，2～20％的Al2O3，4～30％的RO。
7.如權(quán)利要求1至6的任一項(xiàng)所述的固體攝像元件用玻璃罩，其特征在于根據(jù)JIS-R3502，堿洗提量在0.1mg以下，密度在2.8g/cm3以下，楊式模量比在27Gpa/g·cm-3以上，威氏硬度在500kg/mm2以上。
全文摘要
本發(fā)明提供一種固體攝像元件用玻璃罩，由無(wú)機(jī)氧化平板玻璃組成，平板玻璃的側(cè)面(12)由略垂直于第一側(cè)光面(11a)的第一側(cè)面(12a)，和與(12a)呈傾斜角的第二側(cè)面(12b)組成。第一側(cè)面(12a)的表面粗度大于第二側(cè)面(12b)的表面粗度，第一側(cè)面(12a)表面粗度的Ra值為0.1～10nm，Rmax值為0.1～30nm，第二側(cè)面(12b)表面粗度的Ra值為0.01～5nm，Rmax值為0.01～20nm。第一側(cè)面(12a)與第一透光面(11a)所成角度在90°±5°的范圍內(nèi)，第二側(cè)面(12b)與第一側(cè)面(12a)所成角度在8°以下。可以達(dá)到表面和內(nèi)部都具有高品位、價(jià)格便宜、耐風(fēng)雨性強(qiáng)、重量更輕且高強(qiáng)度的效果。
文檔編號(hào)H04N5/335GK1501697SQ03105280
公開(kāi)日2004年6月2日 申請(qǐng)日期2003年2月26日 優(yōu)先權(quán)日2002年11月15日
發(fā)明者中堀宏亮, 大川大介, 介 申請(qǐng)人:日本電氣硝子株式會(huì)社