專利名稱：驅動裝置的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及驅動裝置，尤其涉及一種用于驅動安裝在小型數(shù)字式照相機、網絡照相機或帶照相機的移動電話機等中的比較小型的透鏡等光學部件的驅動裝置。
背景技術：
作為數(shù)字式照相機等透鏡的驅動裝置，公知有使用壓電元件等電氣機械轉換元件的致動器。例如，專利文獻2或專利文獻3的實施例所述的那樣，致動器一般是由電氣機械轉換元件和驅動部件構成，其通過電氣機械轉換元件的伸縮方向上的一側的端面被固定在筐體(或支撐部件)上。在電氣機械轉換元件的伸縮方向上的另一側的端面上固定驅動部件，該驅動部件與被驅動部件摩擦結合。在這樣的結構中，當向電氣機械轉換元件施加脈沖狀電壓時，電氣機械轉換元件的伸長方向和收縮方向的動作被傳遞到驅動部件。在電氣機械轉換元件以低速進行變形時，被驅動部件與驅動部件一同移動，而在電氣機械轉換元件以快速進行變形時，被驅動部件因其質量慣性的作用而停止在原位置上。因此，通過反復地施加往返不同的脈沖狀電壓，可使被驅動部件以細微的間隔間斷地移動。
具有這樣結構的致動器，由于通過電氣機械轉換元件的伸縮方向上的一側的端面被固定在筐體(或支撐部件)上，所以，因電氣機械轉換元件的振動而在包括驅動部件的致動器中所產生的振動直接傳遞到筐體，由此，造成在致動器與筐體之間發(fā)生共振的問題。
專利文獻1中，提出了如下的方案，即，在電氣機械轉換元件與筐體之間設置臺座，把電氣機械轉換元件的伸縮方向上的一側的端面固定在臺座上，通過把上述臺座彈性地保持在筐體上，來減少或切斷臺座與筐體之間的振動傳遞，由此來避免共振的影響。
另外，在專利文獻2中提出了一種裝置，其把向電氣機械轉換元件施加的充電時間設為電氣機械轉換元件的共振頻率的大約一個周期，把放電時間設為1/2周期，即，通過積極地利用共振，來增大電氣機械轉換元件的伸縮量，由此來提高致動器的驅動效率。
為了在一定程度上解決這樣的問題，希望使用高剛性金屬材料制成驅動部件。但是，如果使用金屬材料制作驅動部件，則由于增加了驅動部件的重量，所以在使壓電元件高速伸縮時，其響應性變差，由此而造成不能使被驅動部件正確移動的問題。
因此，專利文獻3的致動器，提出了使用由強化纖維復合體構成的驅動部件的方案。強化纖維復合體與金屬材料相比，由于不僅重量輕而且可確保一定程度的剛性，所以可減少驅動部件的響應延遲，從而可使被驅動部件高速地移動。
特開2002-142470號公報[專利文獻2]專利第3171187號公報[專利文獻3]專利第3180557號公報但是，專利文獻3的致動器，由于驅動部件由纖維樹脂構成，所以存在著驅動部件與被驅動部件之間的摩擦不穩(wěn)定，不能使被驅動部件高精度移動的問題。另外，專利文獻3的致動器，由于驅動部件容易變形，所以存在著不能使被驅動部件正確地移動的問題。

發(fā)明內容
本發(fā)明就是鑒于這樣的現(xiàn)狀而提出的，其目的是提供一種驅動裝置，該驅動裝置通過使驅動部件與被驅動部件之間的摩擦減輕且穩(wěn)定，能夠使被驅動部件正確且迅速地進行移動。
為了達到上述的目的，本發(fā)明之1的驅動裝置，其特征在于，其具有致動器，該致動器由電氣機械轉換元件和對應該電氣機械轉換元件的伸縮而動作的驅動部件構成，并使與驅動部件摩擦結合的被驅動部件沿著驅動部件移動，驅動部件是石墨復合體。
作為驅動部件的材質，適合使用重量輕且剛性高的材料，雖然作為滿足該條件的材料，雖然鈹較為理想，但由于該材料是稀有金屬，所以價格高且具有加工性差的缺點。因此，在本實施方式中，使用了使石墨結晶強力復合的石墨復合體，例如碳石墨。(這里，石墨復合體是指碳的六角板狀結晶體，即，石墨和石墨以外的物質的復合體，碳石墨是指由石墨和無定形碳構成的物質。另外，石墨也稱為黑鉛。)根據(jù)以由石墨復合體構成的驅動部件為特征的本發(fā)明之1，減輕了驅動部件的重量，從而可減輕電氣機械轉換元件的負荷。另外，根據(jù)本發(fā)明之1，由于驅動部件硬，所以可防止驅動部件的變形，從而即使在以高頻率驅動的情況下，也可以使被驅動部件正確地移動。
另外，石墨復合體由于不僅具有與鈹相似的特性(鈹?shù)谋戎丶s為1.85，碳石墨的比重約為1.8)，而且與鈹不同的是還具有價格較低且容易加工的特性，所以根據(jù)本發(fā)明之1，可降低致動器的成本。并且，石墨復合體，由于作為其成分而含有無定形碳和石墨，所以摩擦系數(shù)非常小，而且穩(wěn)定，從而具有良好的與被驅動部件的滑動性。因此，能夠使被驅動部件相對驅動部件進行高精度的移動，從而可進行穩(wěn)定的驅動控制。
本發(fā)明之2是基于本發(fā)明之1的驅動裝置，其特征在于，石墨復合體是碳石墨。
本發(fā)明之3是基于本發(fā)明之1或2的驅動裝置，其特征在于，在電氣機械轉換元件的相對驅動部件的相反側，設有比驅動部件的質量大的錘部件。
本發(fā)明之4是基于本發(fā)明之1～3中任意一項的驅動裝置，其特征在于，錘部件是共振頻率降低部件。例如，如圖17(A)、圖17(B)所示，由于受共振的影響，會導致基于壓電元件1的伸縮的驅動力不能正確地傳遞到被驅動部件3而使驅動部件2向電氣機械轉換元件1的伸縮方向以外的方向變位的情況。因此，通過這樣地把錘部件作為共振頻率降低部件，可降低由電氣機械轉換元件、驅動部件以及錘部件構成的系統(tǒng)的共振頻率，可在幾乎不受共振影響的范圍內驅動電氣機械轉換元件，從而能夠在電氣機械轉換元件的伸縮方向正確地驅動控制被驅動部件。
本發(fā)明之5是基于本發(fā)明之3或4的驅動裝置，其特征在于，具有用于驅動致動器的驅動電路，該驅動電路，在將把電氣機械轉換元件和驅動部件作為質量、把錘部件作為彈簧的1自由系的共振頻率設為f0、將電氣機械轉換元件的驅動頻率設為f時，使用成為f≥21/2·f0的驅動頻率f來驅動電氣機械轉換元件。
本發(fā)明之6是基于本發(fā)明之1～5中任意一項的驅動裝置，其特征在于，驅動部件，在前端側和/或基端側被支撐為能夠在電氣機械轉換元件的伸縮方向移動的狀態(tài)。
本發(fā)明之7是基于本發(fā)明之1～6中任意一項的驅動裝置，其特征在于，致動器從相對電氣機械轉換元件的伸縮方向的側方，被支撐在筐體上。
本發(fā)明之8是基于本發(fā)明之1～7中任意一項的驅動裝置，其特征在于，還具有驅動單元，其生成用于驅動電氣機械轉換元件的、在伸長和收縮方向非對稱的信號。
本發(fā)明之9是基于本發(fā)明之1～8中任意一項的驅動裝置，其特征在于，被驅動部件與驅動部件形成面接觸。
本發(fā)明之10是基于本發(fā)明之1～9中任意一項的驅動裝置，其特征在于，具有檢測被驅動部件的移動位置的檢測單元。
本發(fā)明之11是基于本發(fā)明之1～10中任意一項的驅動裝置，其特征在于，以超過可聽頻率的驅動頻率驅動電氣機械轉換元件。在這種情況下，可降低電氣機械轉換元件在可聽區(qū)域的動作音。
本發(fā)明之12是基于本發(fā)明之1～11中任意一項的驅動裝置，其特征在于，被驅動部件與光學部件連結，并被使用在攝影光學系統(tǒng)中。
本發(fā)明之13是基于本發(fā)明之1～12中任意一項的驅動裝置，其特征在于，致動器被使用在移動電話機的攝影光學系統(tǒng)中。在這種情況下，光學部件不僅限于透鏡，被驅動部件也可以用在光圈、快門或ND濾鏡等上。
(發(fā)明效果)根據(jù)本發(fā)明的驅動裝置，由于采用石墨復合體構成驅動部件，所以，可以做成重量輕剛性高的驅動部件，從而可減輕驅動部件與被驅動部件的摩擦，進行穩(wěn)定的驅動控制。


圖1是表示本發(fā)明的第1實施方式的驅動裝置的致動器的俯視圖。
圖2是對壓電元件施加的驅動脈沖的波形圖。
圖3是表示圖1的致動器的支撐位置的模式圖。
圖4是表示本發(fā)明的第1實施方式的驅動裝置的俯視圖。
圖5是沿圖4的V-V線的剖面圖。
圖6是用于說明對應共振頻率的驅動頻率區(qū)域的圖。
圖7是表示本發(fā)明的第2實施方式的驅動裝置的立體圖。
圖8是表示圖7的驅動裝置的俯視圖。
圖9是表示本發(fā)明的第3實施方式的驅動裝置的俯視圖。
圖10是表示本發(fā)明的第4實施方式的驅動裝置的俯視圖。
圖11是表示本發(fā)明的第5實施方式的驅動裝置的俯視圖。
圖12是沿圖11的XII-XII線的剖面圖。
圖13是表示針對圖11的致動器的驅動電路的電路圖。
圖14是輸入到圖13的驅動電路中的輸入信號的波形圖。
圖15從圖13的驅動電路輸出的輸出信號的波形圖。
圖16是表示共振頻率的計算例的圖。
圖17是用于說明以往的致動器的不良現(xiàn)象的說明圖。
圖中1、12-壓電元件(電氣機械轉換元件)；2、14驅動部件；3、16、216、516-被驅動部件；10、210、310、410、510-致動器；18、218、332、418、518-錘部件；20、24、610-主體(筐體)；26、215-驅動脈沖供給裝置(驅動電路)；68、221-透鏡框；77-驅動電路；100、200、300、400、500-驅動裝置。
具體實施例方式
下面，參照附圖，對本發(fā)明的驅動裝置的優(yōu)選實施方式進行詳細說明。此外，在附圖的說明中，對于相同的構成要素標記相同的符號，并省略重復的說明。
圖1是表示本發(fā)明第1實施方式的驅動裝置100的致動器10的俯視圖。如圖1所示，致動器10由壓電元件(相當于電氣機械轉換元件)12、驅動部件14以及錘部件18構成。壓電元件12構成為在箭頭方向上層疊的結構，通過施加電壓，在層疊方向產生變形(伸縮)。因此，壓電元件12使其長度方向上的端面12A、12B進行變位。
在壓電元件12的端面12A、12B中的一側的端面12A上，固定有驅動部件14的基端。驅動部件14例如被形成為圓柱狀，其軸被配置在箭頭方向(即，壓電元件的伸縮方向)。驅動部件14的材質使用了將石墨晶體牢固復合的石墨晶體復合體，例如碳石墨。作為該石墨復合體的碳石墨，由于不僅具有與理想的材料鈹相似的特性，而且還具有與鈹相比價格比較低和容易加工的特性，所以可降低致動器10的成本。另外，驅動部件14的形狀不限于圓柱狀，也可以是棱柱狀。
被驅動部件16，以規(guī)定的摩擦力與驅動部件14結合，沿著驅動部件14被滑動自如地支撐。被驅動部件16與驅動部件14的摩擦力被設定為在向壓電元件12施加了緩慢變化的電壓時，使靜摩擦力大于其驅動力，并且在對壓電元件12施加了急劇變化的電壓時，使靜摩擦力小于其驅動力。另外，為了使動作穩(wěn)定，并且提高反復驅動時的耐久性，在驅動部件14與被驅動部件16的滑動接觸部分涂抹了潤滑劑。該潤滑劑優(yōu)選使用性能不容易受溫度變化的影響的潤滑劑，從而即使在低溫下也不增加驅動部件14與被驅動部件16的滑動驅動阻抗。另外，優(yōu)選采用不產生灰塵的結構，以免對光學部件和機構部件造成不良影響。
錘部件18被固定在壓電元件12的端面12B上。該錘部件18通過對壓電元件12的端面12B施加負荷，來防止端面12B的變位大于端面12A的變位，優(yōu)選其比驅動部件14的重量大。而且，通過設置比驅動部件14的質量大的錘部件18，可把壓電元件12的伸縮高效率地傳遞到驅動部件14側。例如，在驅動部件14為8mg、壓電元件12為32mg的情況下，使用32mg的錘部件18。
另外，錘部件18由軟性材料形成。作為錘部件18的材質，使用其縱彈性模量比壓電元件12以及驅動部件14小的材料。作為錘部件18的縱彈性模量，優(yōu)選1GPa以下，最好小于等于300MPa。這樣的錘部件18，通過在橡膠等彈性體中混合比重大的金屬粉而形成，例如，通過在聚氨酯橡膠或聚氨酯樹脂中混合鎢的粉末進行制造。關于錘部件18的比重，為了實現(xiàn)裝置的小型化，應設置得盡量高，例如設定為8～12的程度。另外，通過在聚氨酯橡膠或聚氨酯樹脂中混合了鎢的粉末而制造的錘部件18的縱彈性模量為60Mpa左右、比重為11.7左右。因此，在以盡可能小的體積來設計錘部件18的情況下，雖然理想的是盡可能大的比重和盡可能小的縱彈性模量的組合，但錘部件18只要比驅動部件14的比重大(比重大于等于1.8)并且縱彈性模量小于等于1GPa，即可以使用。即，只要比重除以縱彈性模量的數(shù)值(比重/縱彈性模量)大于等于1.8×10-9，即適合作為錘部件18。
壓電元件12與驅動脈沖供給裝置(驅動電路)26(參照圖4)構成電連接，由該驅動脈沖供給裝置施加圖2(A)、圖2(B)所示波形的電壓。該圖2(A)、圖2(B)的輸出信號，即，使壓電元件12動作的電信號，使用超可聽頻率的信號。通過使用這種頻率的信號，可降低壓電元件12在可聽區(qū)域中的動作音。另外，在后述的實施方式中也同樣使用這種超可聽頻率的信號。
圖2(A)、圖2(B)是表示了向壓電元件12施加的脈沖波形的一例的圖。圖2(A)是使圖1的被驅動部件16向箭頭的左方向移動時的脈沖波形，圖2(B)是使圖1的被驅動部件16向箭頭的右方向移動時的脈沖波形。
在圖2(A)的情況下，對壓電元件12施加有從時刻α1到時刻α2緩慢上升，在時刻α3急劇下降的大致鋸齒狀的驅動脈沖。因此，從時刻α1到時刻α2，壓電元件12緩慢伸長。此時，由于驅動部件14以緩慢的速度移動，所以被驅動部件16與驅動部件14一同移動。這樣，能夠使被驅動部件16向圖1中的左方向移動。在時刻α3，由于驅動部件12急劇收縮，所以驅動部件14向圖1中的右方向移動。此時，由于驅動部件14急劇移動，所以被驅動部件16基于慣性作用而停止在原位置，而只有驅動部件14移動。因此，通過反復施加圖2(A)所示的鋸齒狀的驅動脈沖，使圖1的被驅動部件16反復進行向左方向的移動和停止，所以能夠使其向左方向移動。
在圖2(B)的情況下，對壓電元件12施加在時刻β1急劇上升，在從時刻β2到時刻β3緩慢下降的大致鋸齒狀的驅動脈沖。因此，在時刻β1壓電元件12急劇伸長，驅動部件14向圖1中的左方向移動。此時，由于驅動部件14急劇移動，所以被驅動部件16在慣性作用下停止在原位置，而只有驅動部件14移動。在從時刻β2到時刻β3，壓電元件12緩慢收縮。此時，由于驅動部件14緩慢變位，所以被驅動部件16與驅動部件14一同移動。這樣，能夠使被驅動部件16向圖1中的右方向移動。因此，通過反復施加圖2(B)所示的鋸齒狀驅動脈沖，使圖1的被驅動部件16反復進行向右方向的移動和停止，所以能夠使其向右方向移動。另外，鋸齒狀驅動脈沖是為了進行說明而示意性地使用的信號，在實際中，是通過像圖13那樣的電路輸入輸出圖14、圖15所示的信號。該輸出信號與鋸齒狀的驅動脈沖等效。另外，作為所使用的驅動頻率，如果考慮到使驅動頻率避開被作為一種異常聲音而能被聽到的可聽頻率段，且減少耗電量的方面，最好選擇使用20kHz～200kHz，更理想的是使用50kHz～100kHz。
下面，對上述構成的致動器10的作用進行說明。
在本實施方式中，驅動部件14由石墨結晶復合體，例如，碳石墨構成。該碳石墨是由碳的六角板狀結晶體的石墨無定形碳構成的物質，其具有與鈹相似的性質，并且具有重量輕且高剛性的特性。因此，在利用壓電元件12驅動由碳石墨構成的驅動部件14時，能夠使驅動部件14正確地移動。另外，由于驅動部件14硬度高而不容易變形，所以能夠以例如100kHz以上的高頻率進行驅動控制。
并且，由于碳石墨作為其成分而具有無定形碳和石墨，所以具有滑動性好，滑動時的摩擦非常小并且穩(wěn)定的特性。因此，通過使用由碳石墨構成的驅動部件14，可減少與被驅動部件16的摩擦，而且動作穩(wěn)定。由此，可使被驅動部件16始終進行穩(wěn)定且正確的移動。
另外，由于碳石墨的內部損耗也非常小，所以由碳石墨構成的驅動部件14具有不容易產生后述的共振的特征。因此，可防止因共振而使被驅動部件16的移動量不均勻的現(xiàn)象。
這樣，根據(jù)本實施方式，由于驅動部件14由碳石墨構成，所以，可使被驅動部件16進行穩(wěn)定且正確的移動。特別是，在以高頻率驅動致動器10的情況下，本發(fā)明是有效的，即使在以高頻率驅動以往的裝置的情況下，在驅動部件14變形彎曲而不能使被驅動部件16正確地移動的情況下，通過如本發(fā)明這樣使用碳石墨來構成驅動部件14，也能夠使被驅動部件16進行高精度的移動。
另外，在本實施方式的致動器10中，對于被固定在壓電元件12的端面12B上的錘部件18，使用縱彈性模量小的軟性材料來形成。通過使用這樣的錘部件18，可大幅度降低把壓電元件12和驅動部件14作為質量，把錘部件18作為彈性體的等效1自由系的共振頻率f0，換言之，錘部件18具有作為降低共振頻率的共振頻率降低部件的功能。另外，通過使用由縱彈性模量小的軟性材料構成的錘部件18，與設置由剛性材料構成的錘部件的情況相比，可降低致動器10的共振頻率。可從以下的用于求出該共振頻率f0的算式中了解其關系。在該算式中，E表示錘部件18的縱彈性模量，A表示錘部件18在壓電元件12側的面積，h表示錘部件18的厚度，Ma表示壓電元件12的質量，Mb表示驅動部件14的質量，Mc表示錘部件18的質量。
f0=12πEA(Ma+Mb+13Mc)h]]>從該式可看出，如果減小錘部件18的縱彈性模量E，則等效1自由系的共振頻率f0變小。在本實施方式中，通過設定小于等于1GPa的錘部件18的縱彈性模量，可使共振頻率f0小于等于約70kH。另外，在本實施方式中，如果使錘部件18的縱彈性模量小于等于300MPa，則能夠使共振頻率f0小于等于35kH。并且，在本實施方式中，在使用了在縱彈性模量為60MPa程度的聚氨酯橡膠中混合了鎢粉末的錘部件18的情況下，共振頻率f0為15kH左右。(參照圖16中的編號1。其中，E+07表示×107)。
相對而言，如果采用縱彈性模量大的硬質材料形成相當錘的部件，則上述共振頻率f0增加。例如，在本實施方式中，在使用縱彈性模量為200～400GPa的鎢作為錘部件18的材質的情況下，共振頻率f0達到1GHz以上。另外，即使在使用了金屬中的縱彈性模量比較小的鋁(縱彈性模量為120GPa左右)的情況下，共振頻率f0也達到了約700kHz(參照圖16中的編號5)。
如上所述，本實施方式的致動器10，由于錘部件18由共振頻率降低部件形成，所以可顯著降低上述等效1自由系的共振頻率f0。另外，在采用彈性體或粘彈性體材料構成錘部件18的情況下，也可以達到同樣的作用(詳細情況將在后面說明)。
這里，為了防止振動從振動的機械部件或構造物傳遞到支撐這些部件的基礎或基座，一般希望振動傳導率(Vibration Transmissibility)越小越好，在等效1自由系中，振動傳導率λ由下面的式2表示。
λ=1+(2ζff0)2(1+(ff0)2)2+(2ζff0)2]]>其中，λ等效1自由系的振動傳導率；f所使用的驅動頻率；f0；等效1自由系的共振頻率；ξ等效1自由系的衰減比。
而且，在等效1自由系中，在該振動傳導率λ小于等于1的情況下，與ξ值無關，機械的振動不容易傳遞到基礎或基座。因此，如以下的式3以及將式3變形后的式4所示，振動傳導率小于等于1的范圍，即，滿足f≥21/2·f0的范圍(圖6(A)的范圍P)，是壓電元件12的振動不容易傳遞到致動器10的支撐部件(例如圖4的主體20)的、受共振的影響非常小的防振區(qū)域。因此，用于實施本發(fā)明的最佳實施方式的頻率的組合，即，在致動器的共振頻率小于等于70kHz、驅動頻率為50kHz～100kHz的情況下，滿足該防振區(qū)域。另外，關于防振區(qū)域，例如被記載在[模式解析入門，長松昭男著，コロナ出版社]中。另外，f≥21/2·f0的關系，對于其它實施方式，當然也適用。
1≥λ=1+(2ζff0)2(1+(ff0)2)2+(2ζff0)2]]>[式4]f≥2·f0因此，根據(jù)本實施方式，通過設置比驅動部件14的質量大的錘部件18，可高效率地把電氣機械轉換元件的伸縮傳遞到驅動部件一側。而且，通過使用共振頻率降低部件作為錘部件18，可降低由壓電元件12、驅動部件14以及錘部件18構成的致動器自身的共振頻率，因此，可防止因共振而使驅動部件14產生壓電元件12的伸縮方向以外的振動。從而，由于驅動部件14在壓電元件12的伸縮方向上變位，所以可使基于壓電元件12的伸縮的驅動力可正確且穩(wěn)定地傳遞到被驅動部件16，由此能夠對被驅動部件16在壓電元件12的伸縮方向上進行正確且穩(wěn)定的驅動控制。另外，在本實施方式中，雖然能夠在壓電元件12的伸縮方向正確地驅動被驅動部件16，然而，與利用共振使被驅動部件16移動的情況相比，每一次的被驅動部件16的移動量減少，不過，通過增加壓電元件12的層疊數(shù)或適宜地設定驅動條件，可確保被驅動部件16在實際應用時的充分的移動量。
另外，在以往的致動器中，例如文獻(專利第3171022號公報)所示的條件式那樣，由于可設定驅動頻率的設定范圍比較小(圖6(B)的范圍Q)，所以在裝置的質量上存在公差或發(fā)生了故障時，共振頻率下降，不能滿足條件，由此受到共振的影響。因此，根據(jù)本實施方式，通過降低共振頻率f0，可在成為f≥21/2·f0的寬范圍內設定致動器10的頻率f，由此，即使在因溫度變化等的環(huán)境負荷或質量上存在公差等，使上述共振頻率f0發(fā)生了變化的情況下，也不需要變更驅動頻率f的設定，從而不需要對每個致動器10分別進行設定的變更。
另外，根據(jù)本實施方式，由于通過使用了軟性錘部件18而使得共振頻率f0大幅降低，所以即使在驅動頻率f低的范圍內，也可以滿足f≥21/2·f0的關系。因此，作為驅動頻率f而可以使用比較低的頻率，與使用了高頻率的情況相比，可降低電力消耗。即，在使用了硬質錘部件的情況下，為了滿足f≥21/2·f0的關系，必須采用高頻的驅動頻率f，因而產生消耗電力增加的問題，然而根據(jù)本實施方式，由于大幅降低了共振頻率f0，所以可使用低頻的驅動頻率f，從而可降低電力消耗。
并且，根據(jù)本實施方式，由于通過降低由壓電元件12、驅動部件14、錘部件18構成的致動器自身的共振頻率f0，可消除因共振造成的不良影響，所以可減少因致動器的構成部件的部件質量上的公差造成的影響，除此以外，由于無論把致動器以何種方式安裝在筐體上，都不容易受共振的影響，所以提高了安裝致動器時的設計和制造上的自由度。即，也可以如圖3(A)所示那樣，把壓電元件12的端面12A支撐在支撐部件23上，也可以如圖3(B)所示那樣，把壓電元件12的側面支撐在支撐部件23上。而且，也可以支撐驅動部件14的前端面或側面，前端側和/或基端側、或錘部件18的側面或后端面。
下面，參照圖4，對本發(fā)明的第1實施方式的驅動裝置100進行說明。該驅動裝置100，是把本發(fā)明的致動器10裝配在帶照相機的移動電話機等中的驅動裝置，致動器10用于使變焦透鏡或聚焦透鏡等可動透鏡(未圖示)進行移動。
圖4所示的致動器10與圖3(A)所示的情況相同，通過壓電元件12的端面12A被支撐。即，壓電元件12的端面12A被粘接固定在形成于主體(筐體)20中的支撐部20A上。
在主體20上形成有孔20B?？?0B被形成為具有比驅動部件14的外徑稍大一些的直徑，通過把驅動部件14的前端插入該孔20B內，構成支撐狀態(tài)。
如圖5所示，被驅動部件16具有V字形的槽16A，把驅動部件14卡合在該槽16A內。另外，被驅動部件16具有板簧22，利用該板簧22把驅動部件14壓在被驅動部件16側。這樣，被驅動部件16在3個部位與驅動部件14線接觸，成為實質上的面接觸。這樣，構成為被驅動部件16與驅動部件14的摩擦結合的結構。在被驅動部件16的下方，連接有保持可動透鏡的保持框(未圖示)。
在如上述構成的情況下，也可以通過利用石墨結晶復合體來形成驅動部件14，使被驅動部件16進行穩(wěn)定的移動。
下面，結合圖7和圖8，對本發(fā)明第2實施方式的驅動裝置200進行說明。這里，省略與第1實施方式相同的說明，僅對不同點進行說明。
如圖7和圖8所示，在該驅動裝置200中，被驅動部件216與可動透鏡211的透鏡框221形成為一體。透鏡框221由與驅動部件14平行配置的導向桿(未圖示)所引導，以防止其沿驅動部件14的圓周旋轉。另外，在被驅動部件216上，形成有U字形的槽216B，驅動部件14卡合在該槽216內。在被驅動部件216的四個角部的各個部位上設有向上方突出的突出部224、224、…，在由這些突出部224、224、…所包圍的區(qū)域內，設有摩擦板226。摩擦板226通過彎曲被形成為與驅動部件14的側面形狀相配合的圓弧狀。從而形成被驅動部件216與驅動部件14的面接觸的狀態(tài)。另外，對摩擦板226的各個角部，以配合被驅動部件216的突出部224、224、…的形狀被進行了局部切除。因此，在把摩擦板226配置在由突出部224、224、…所包圍的區(qū)域內時，可防止摩擦板226的脫落。
在被驅動部件216上安裝有按壓彈簧228。按壓彈簧228被構成為把摩擦板226按壓在被驅動部件216側。從而，在把驅動部件14配置在被驅動部件216的U字形槽216B內，并且當在其上面配置摩擦板226后，摩擦板226被按壓彈簧228壓在驅動部件14上，利用摩擦板226和被驅動部件216夾持驅動部件14，從而可將被驅動部件216與驅動部件14摩擦結合。
在壓電元件12的后端的端面12B上，粘接固定錘部件218。為了實現(xiàn)小型化，希望錘部件218的比重盡量高，例如，設定為與不銹鋼相同的程度(7.7～8.0)。錘部件218在安裝了壓電元件12的面的相反側，粘接有安裝部件230，通過該安裝部件230把錘部件218被支撐在主體20上。安裝部件230，通過彎曲金屬板而被形成為コ狀，其兩端的彎曲部分被嵌合固定在主體20上。壓電元件12與驅動脈沖供給裝置215(參照圖8)構成電連接，由該驅動脈沖供給裝置215向壓電元件12施加電壓。
這樣，在本實施方式中，由軟性錘部件218把壓電元件12的后端的端面12B支撐為接近自由端的狀態(tài)，由此，可把共振頻率f0降低到20～30kHz。因此，使通常所使用的50～100kHz的驅動頻率f0滿足f≥21/2·f0。滿足f≥21/2·f0的范圍是力的傳導率成為小于等于1的防振區(qū)域，不產生大的共振。因此，根據(jù)本實施方式，通過由軟性錘部件218把壓電元件12的后端的端面12B支撐為接近自由端的狀態(tài)，可防止驅動頻率下的共振，可始終確保穩(wěn)定的驅動量。另外，在本實施方式中，雖然是通過安裝部件230來把錘部件218固定在主體20上，但即使把錘部件218直接安裝在主體20上，也可達到同樣的效果。
另外，根據(jù)本實施方式，通過降低的共振頻率f0，可以在成為f≥21/2·f0的寬范圍內設定驅動頻率f0。從而可進行穩(wěn)定的驅動，而不受環(huán)境負荷和制品的質量公差等影響。
并且，這樣的實施方式，由于也是由碳石墨構成驅動部件14，所以可達到與上述實施方式相同的效果，即，可達到能夠使被驅動部件進行正確且穩(wěn)定地移動的效果。
下面，參照圖9，對本發(fā)明第3實施方式的驅動裝置300進行說明。
如圖9所示，該驅動裝置300與驅動裝置200的不同點是，在壓電元件12的后端側的端面12B上粘接固定有由橡膠等彈性體構成的錘部件332，該錘部件332的相對壓電元件12的相反側的面被粘接固定在主體20上。這樣也可以達到與上述實施方式同樣的作用和效果。
下面，參照圖10，對本發(fā)明第4實施方式的驅動裝置400進行說明。
如圖10所示，該驅動裝置400與驅動裝置200的不同點是，由軟性材料構成的錘部件418被形成為具有比壓電元件12的端面12B大的面的薄板狀，在該錘部件418的中央位置粘接固定壓電元件12，錘部件418的兩端部，被粘接固定在主體20上。即使在這樣的實施方式中，由于驅動部件14也是由碳石墨構成，所以可達到與上述實施方式相同的效果，即，可使被驅動部件進行正確且穩(wěn)定地移動。并且，根據(jù)這樣構成的本實施方式的驅動裝置，由于壓電元件12的后端的端面12B由薄板狀的錘部件418支撐在主體20上，所以，通過錘部件418的翹曲變形，使壓電元件12的后端的端面12B變位。并且，由于錘部件418的縱彈性模量小，所以，壓電元件12的后端的端面12B通過錘部件418自身的彈性變形，被支撐為接近自由端的狀態(tài)。從而可降低共振頻率f0，可在成為防振區(qū)域的f≥21/2·f0的寬的范圍內使用驅動頻率f。因此，可防止裝置構成系統(tǒng)的共振，始終確保穩(wěn)定的驅動量。
下面，說明本發(fā)明第5實施方式的驅動裝置500。
圖11是設置了本發(fā)明的第5實施方式的致動器510的驅動裝置500的剖面圖。如圖11所示，本實施方式的驅動裝置500把可動透鏡70作為移動對象物進行可動透鏡70的驅動，其包括具有壓電元件12和驅動部件14的致動器510；支撐該致動器510的支撐部件60和被驅動部件516。壓電元件12是通過輸入電信號而能夠伸縮的電氣機械轉換元件，其能夠在規(guī)定的方向上伸長和收縮。該壓電元件12與控制部71連接，通過從該控制部71輸入電信號而進行伸縮。例如，在壓電元件12上設有2個輸入端子72A、72B。通過反復增減施加在該輸入端子72A、72B上的電壓，使壓電元件12反復進行伸長和收縮。
驅動部件14在壓電元件12的伸縮方向上，朝向長度方向被安裝在壓電元件12上。例如，把驅動部件14的一端與壓電元件12抵接，使用粘接劑27進行粘接。該驅動部件14是細長的部件，例如使用圓柱狀的部件。驅動部件14的材質，使用了把石墨結晶強力復合的石墨結晶復合體，例如使用碳石墨。作為該石墨結晶復合體的碳石墨，不僅具有與鈹相似的特性，而且與鈹不同的是，還具有容易加工的特性，所以可降低致動器510的成本。驅動部件14由從主體24向內側延伸的分隔部24B、分隔部24C支撐為能夠沿著長度方向移動狀態(tài)。分隔部24B、分隔部24C是用于分隔被驅動部件516的移動區(qū)域的部件，并具有作為驅動部件14的支撐部件的功能。
在分隔部24B、分隔部24C上，分別形成有使驅動部件14貫通的貫通孔24A。分隔部24B支撐驅動部件14的壓電元件12的安裝部分的附近部位，即，驅動部件14的基端部位。分隔部24C支撐驅動部件14的前端部位。主體24作為用于組裝致動器510的框體或框架部件而發(fā)揮功能。通過把驅動部件14安裝在壓電元件12上，來使其對應壓電元件12的伸長和收縮的反復動作而沿其長度方向進行往復移動。
另外，在圖11中，表示了由分隔部24B、24C在驅動部件14的前端側和基端側的兩個部位來支撐驅動部件14的情況，也有在其前端側或極端側的一方來支撐驅動部件14的情況。例如，通過把分隔部24B的貫通孔24A形成為大于驅動部件14的外徑，而成為由分隔部24C僅在前端部位支撐驅動部件14的結構。另外，通過把分隔部24C的貫通孔24A形成為大于驅動部件14的外徑，而成為由分隔部24B僅在基端部位支撐驅動部件14的結構。另外，在圖11中，表示了支撐驅動部件14的分隔部24B、24C與主體24形成為一體的情況，但也可以設計成把獨立于主體24的分隔部24B、24C安裝在主體24上的結構。即使在分體的情況下，也能夠達到與一體的情況相同的功能和效果。
被驅動部件516被可移動地安裝在驅動部件14上。該被驅動部件516被安裝成與驅動部件14摩擦結合并能夠沿著其長度方向移動的結構。例如，被驅動部件516被安裝成以規(guī)定的摩擦系數(shù)與驅動部件14摩擦結合，通過以一定的按壓力按壓驅動部件14，在其移動時產生一定的摩擦力的結構。通過對被驅動部件516施加超過摩擦力的移動力，使被驅動部件516抵抗摩擦力而沿著驅動部件14移動。
致動器510由支撐部件60支撐在主體24上。支撐部件60從與壓電元件12的伸縮方向正交的方向支撐致動器510，該支撐部件60被配置在收納致動器510的主體24與壓電元件12之間。
支撐部件60由具有在規(guī)定以上的彈性特性的彈性體形成，例如由硅酮樹脂形成。支撐部件60構成為形成插通壓電元件12的插通孔60A，并且在把壓電元件12插通在該插通孔60A內的狀態(tài)下，被組裝在主體24上。另外，通過使用粘接劑61的粘接，把支撐部件60粘接固定在主體24上。另外，支撐部件60與壓電元件12之間的固定，也使用粘接劑進行粘接固定。通過由彈性體構成該支撐部件60，可把致動器510支撐為能夠在壓電元件12的伸縮方向上移動地結構。在圖11中，支撐部件60被表示成位于壓電元件12兩側的2個，但實際上是一個連續(xù)的支撐部件60，該支撐部件60、60是在用剖面圖來表示支撐部件60時被圖示成2個的結果。
另外，也可以通過在主體24與壓電元件12之間壓入支撐部件60，并按壓支撐部件60，來進行支撐部件60與主體24的固定安裝和于壓電元件12的固定安裝。例如，利用彈性體構成支撐部件60，并形成比主體24與壓電元件12之間的間隔大的形狀，把其壓入設置在其間。從而，把支撐部件60配置成與主體24和壓電元件12緊密結合的狀態(tài)。在這種情況下，壓電元件12由支撐部件60從與伸縮方向正交的方向的兩側按壓。由此來支撐致動器510。
另外，這里說明了使用硅酮樹脂形成支撐部件60的情況，但也可以利用彈簧部件構成支撐部件60。例如，也可以在主體24與壓電元件12之間配置彈簧部件，由該彈簧部件把致動器510支撐在主體24上。
在被驅動部件516上，通過透鏡框68安裝有可動透鏡70?？蓜油哥R70使用于構成照相機的攝影光學系統(tǒng)的部件，是驅動裝置的移動對象物。該可動透鏡70被設置成與被驅動部件516結合成一體并與被驅動部件516一同移動的結構。在可動透鏡70的光軸O上，配置有未圖示的固定透鏡等，并構成了照相機的攝影光學系統(tǒng)。另外，在光軸O上，配置有攝像元件65。攝像元件65是將通過攝影光學系統(tǒng)成像的圖像轉換成電信號的攝像元件，例如由CCD構成。攝像元件65與控制部71連接，把圖像信號輸出到控制部71。
在壓電元件12的端部安裝有錘部件518。錘部件518是用于把壓電元件12的伸縮力傳遞到驅動部件14側的部件，其被安裝在與壓電元件12的安裝有驅動部件14的端部的相反側的端部上。作為錘部件518，使用比驅動部件14重的部件。另外，作為錘部件518，優(yōu)選使用在可彈性變形的部件中混入了金屬粉末的部件。通過混入金屬粉可增加重量，通過使用可彈性變形的部件，可衰減壓電元件12在動作時的不需要的共振。另外，通過采用軟性部件而構成錘部件518，相對壓電元件12的驅動頻率，可充分降低致動器510的共振頻率，從而可減小共振的影響。
另外，錘部件518被設置成未被支撐固定在主體24上的狀態(tài)。即，錘部件518被設置成未被直接支撐或固定在主體24上而且也未通過粘接劑或樹脂材料在主體24上被支撐或固定成限制了其動作的狀態(tài)。
在驅動裝置500上設有用于檢測被驅動部件516的移動位置的檢測器75。作為檢測器75，例如可使用光學式檢測器，可使用光反射器、光遮斷器等。具體而言，作為檢測器75，在使用具有反射器75A和檢測部75B的情況下，在與被驅動部件516一體形成的透鏡框68上安裝反射器75A，從檢測部75B向反射器75A側射出檢測光，在反射器75A側，通過由檢測部75B檢測出反射來的反射光，來檢測出被驅動部件516和可動透鏡70的移動位置。
檢測器75與控制部71連接。檢測器75的輸出信號輸入到控制部71?？刂撇?1控制驅動裝置的整體，例如由CPU、ROM、RAM、輸入信號電路、輸出信號電路等構成。另外，控制部71具有用于使壓電元件12動作的驅動電路，其向壓電元件12輸出用于驅動的電信號。
圖12是圖11的XII-XII的被驅動部件516的剖面圖。如圖12所示，被驅動部件516例如包括主體部516A、按壓部516B以及滑動部516C。利用按壓部516B，把驅動部件14以一定的力按壓在主體部516A上。在主體部516A上形成有V字形的槽516D。在該槽516D內，收納有呈被2個滑動部516C、516C夾持的狀態(tài)的驅動部件14。滑動部516C、516C是剖面為V字形的板體，并被配置成凹部側相互對峙且把驅動部件14夾在中間的狀態(tài)。通過這樣地把驅動部件14收納在V字形的槽516D內，可把被驅動部件516穩(wěn)定地安裝在驅動部件14上。
作為按壓部516B，例如使用剖面為L字形的板簧部件。通過把按壓部516B的一邊鉤在主體部516A上，把另一邊配置在槽516D的對峙位置上，可以由另一邊把收納在槽516D中的驅動部件14與主體部516A以及滑動部516C一同夾持。這樣，可把主體部516A壓向驅動部件14側。
這樣，通過由按壓部516B把主體部516A以一定的力按壓向驅動部件14側來安裝被驅動部件516，使其與驅動部件14構成摩擦結合。即，把被驅動部件516暗轉大為，以一定的力按壓把主體部516A以及按壓部516B按壓在驅動部件14上，在其移動時會產生一定的摩擦力。
另外，通過由剖面為V字形的滑動部516C、516C夾持驅動部件14，使被驅動部件516在4個部位與驅動部件14線接觸，即，成為實質上的面接觸，由此可形成與驅動部件14的穩(wěn)定的摩擦結合。
圖13是使壓電元件12動作的驅動電路的電路圖。如圖13所示，驅動電路77被配置在控制部71內。該驅動電路77具有作為壓電元件12的驅動電路的功能，其向壓電元件12輸出驅動用電信號。驅動電路77從控制部71的控制信號生成部(未圖示)輸入控制信號，對該控制信號進行電壓放大或電流放大，然后輸出壓電元件12的驅動用電信號。驅動電路77，使用例如由邏輯電路U1～U3構成輸入級，在輸出級具有場效應晶體管(FET)Q1、Q2的電路。晶體管Q1、Q2構成為作為輸出信號，可輸出H輸出(高電位輸出)、L輸出(低電位輸出)以及OFF輸出(空輸出)。
圖14表示被輸入到驅動電路77的輸入信號，圖15表示從驅動電路77輸出的輸出信號。圖14(A)是使被驅動部件516向接近壓電元件12的方向(圖11中的右方向)移動時輸入的輸入信號，圖14(B)是使被驅動部件516向遠離壓電元件12的方向(在圖11中為左方向)移動時輸入的輸入信號。另外，圖15(A)是使被驅動部件516向接近壓電元件12的方向(圖11中的右方向)移動時輸出的輸出信號，圖15(B)是使被驅動部件516向遠離壓電元件12的方向(在圖11中為左方向)移動時輸出的輸出信號。
圖15(A)、(B)的輸出信號是與圖14(A)、(B)的輸入信號在同一時刻進行高低電平轉換的脈沖信號。圖15(A)、(B)中的2個信號被輸入到壓電元件12的輸入端子72A、72B。雖然也可以向該輸入端子72A、72B輸入由圖2所示的臺形波形構成的信號，但是通過如圖15所示的矩形形狀的脈沖信號，能夠使壓電元件12動作。這種情況下，由于壓電元件12的驅動信號為矩形形狀的脈沖信號即可，所以容易生成信號。
圖15(A)、(B)的輸出信號，由成為同一頻率的2個矩形形狀的脈沖信號構成。該2個脈沖信號，通過使相互的相位不同而成為相互的信號的電位差階段性地增大并急劇減小的信號，或電位差急劇地增大并階段性地減小的信號。通過輸入這樣的2個信號，可使壓電元件12的伸長速度和收縮速度不同，從而能夠使被驅動部件516移動。
例如，在圖15(A)、(B)中，設定為，在一方的信號成為H(高電平)然后下降到L(低電平)后，使另一方的信號成為H。在這些信號中，在一方的信號成為L時，在經過一定的時間延遲tOFF后使另一方的信號成為H。另外，在2個信號都為L的情況下，作為輸出則成為OFF狀態(tài)(空狀態(tài))。
該圖15(A)、(B)的輸出信號，即，使壓電元件12動作的電信號使用超可聽頻率的頻率信號。在圖15(A)、(B)中，2個信號的頻率使用超可聽頻率的頻率信號，例如使用頻率為30kHz～80kHz的信號，更理想的是使用頻率為40kHz～60kHz的信號。通過使用這樣的頻率的信號，可降低壓電元件12在可聽區(qū)域的動作音。
下面，說明本實施方式的驅動裝置的動作。
在圖11中，電信號被輸入到壓電元件12，通過該電信號的輸入，使壓電元件12反復進行伸長和收縮。對應該伸長和收縮，驅動部件14進行往復運動。此時，通過使壓電元件12的伸長速度與收縮速度不同，可使驅動部件14向一定方向的移動速度與向其反方向的移動速度不同。由此，能夠使被驅動部件516以及可動透鏡70向所希望的方向移動。
在壓電元件12進行伸縮時，產生基于該伸縮的振動，但是由于包含壓電元件12的致動器510由支撐部件60從與其伸縮方向正交的方向支撐，所以，壓電元件12的伸縮所產生的振動不容易被傳遞到致動器510的外部。因此，可抑制致動器510與主體24等外部部件形成共振，并可降低該共振的影響。從而能夠使被驅動部件516和可動透鏡70正確地移動。
如上所述，在本實施方式的驅動裝置中，由于驅動部件14也由碳石墨構成，所以可達到與上述實施方式相同的效果，即，可達到使被驅動部件進行正確且穩(wěn)定的移動的效果。另外，通過從與壓電元件12的伸縮方向正交的方向支撐致動器510，使得在致動器510與外部部件之間不容易傳遞振動，可降低共振的影響。從而，可使被驅動部件516和可動透鏡70正確地移動。而且，檢測被驅動部件的移動位置的檢測器75，當然也可以應用在其它實施方式中。
另外，上述的各個實施方式僅說明了本發(fā)明的驅動裝置的一例。本發(fā)明的驅動裝置不限于這些實施方式所涉及的驅動裝置，在不改變本發(fā)明的主導技術思想的范圍內，也可以對實施方式的驅動裝置進行變更，或在其他用途上的實施。
作為本發(fā)明的致動器的用途，例如可應用于數(shù)字式照相機和移動電話機等小型精密機器中。特別是移動電話機，通過使用本發(fā)明的致動器，能夠使被驅動部件以大于等于2mm/s的高速度移動。由此，即使是需要10mm左右的移動的變焦透鏡，也可以迅速地移動。另外，作為本發(fā)明的致動器的用途，不限于移動聚焦透鏡和變焦透鏡等可動透鏡的用途，也可以用于移動CCD的用途等。
另外，本發(fā)明只要把被安裝在壓電元件前端的變位面上的驅動部件由石墨結晶復合體構成即可，對驅動部件的形狀和大小沒有特別的限定。
另外，在本發(fā)明中，雖然如上述那樣，優(yōu)選使用軟性錘部件，但即使在使用了硬性錘部件的情況下，通過采用石墨結晶復合體的驅動部件，也可以達到使被驅動部件穩(wěn)定移動的效果。
另外，例如在第5實施方式中，對把本發(fā)明的驅動裝置作為驅動可動透鏡70的驅動裝置的情況進行了說明，但也可以用做驅動可動透鏡70以外的物體的驅動裝置。
權利要求
1.一種驅動裝置，其特征在于，其具有致動器，該致動器由電氣機械轉換元件和對應該電氣機械轉換元件的伸縮而動作的驅動部件構成，并使與所述驅動部件摩擦結合的被驅動部件沿著所述驅動部件移動，所述驅動部件是石墨復合體。
2.根據(jù)權利要求1所述的驅動裝置，其特征在于，所述石墨復合體是碳石墨。
3.根據(jù)權利要求1或2所述的驅動裝置，其特征在于，在所述電氣機械轉換元件的相對所述驅動部件的相反側，設有比所述驅動部件的質量大的錘部件。
4.根據(jù)權利要求1～3中任意一項所述的驅動裝置，其特征在于，所述錘部件是共振頻率降低部件。
5.根據(jù)權利要求3或4所述的驅動裝置，其特征在于，還具有用于驅動所述致動器的驅動電路，所述驅動電路，在將把所述電氣機械轉換元件和所述驅動部件作為質量、把所述錘部件作為彈簧的1自由系的共振頻率設為f0、將所述電氣機械轉換元件的驅動頻率設為f時，使用成為f≥21/2·f0的驅動頻率f來驅動所述電氣機械轉換元件。
6.根據(jù)權利要求1～5中任意一項所述的驅動裝置，其特征在于，所述驅動部件，在前端側和/或基端側被支撐為能夠在所述電氣機械轉換元件的伸縮方向移動的狀態(tài)。
7.根據(jù)權利要求1～6中任意一項所述的驅動裝置，其特征在于，所述致動器，從相對所述電氣機械轉換元件的伸縮方向的側方，被支撐在筐體上。
8.根據(jù)權利要求1～7中任意一項所述的驅動裝置，其特征在于，具有驅動單元，其生成用于驅動所述電氣機械轉換元件的、在伸長和收縮方向非對稱的信號。
9.根據(jù)權利要求1～8中任意一項所述的驅動裝置，其特征在于，所述被驅動部件與所述驅動部件形成面接觸。
10.根據(jù)權利要求1～9中任意一項所述的驅動裝置，其特征在于，具有檢測所述被驅動部件的移動位置的檢測單元。
11.根據(jù)權利要求1～10中任意一項所述的驅動裝置，其特征在于，以超過可聽頻率的驅動頻率來驅動所述電氣機械轉換元件。
12.根據(jù)權利要求1～11中任意一項所述的驅動裝置，其特征在于，所述被驅動部件與光學部件連結，被使用在攝影光學系統(tǒng)中。
13.根據(jù)權利要求1～12中任意一項所述的驅動裝置，其特征在于，所述致動器被使用在安裝于移動電話機上的攝影光學系統(tǒng)中。
全文摘要
本發(fā)明提供一種驅動裝置，該驅動裝置(100)具有通過輸入電信號而能夠進行伸縮的電氣機械轉換元件(12)、被安裝在該電氣機械轉換元件(12)的伸縮方向的一側的端部上的驅動部件(14)和與該驅動部件(14)摩擦結合的被驅動部件(16)，并且采用例如碳石墨等石墨復合體來形成驅動部件(14)。通過利用石墨復合體構成驅動部件，能夠使驅動部件與被驅動部件的摩擦減輕且穩(wěn)定，從而能夠使被驅動部件進行正確且穩(wěn)定的移動。
文檔編號H04N5/225GK1841104SQ200610068090
公開日2006年10月4日 申請日期2006年3月24日 優(yōu)先權日2005年3月31日
發(fā)明者真鍋充雄 申請人:富士能株式會社