專利名稱：固體攝像裝置的制造方法、固體攝像裝置及攝像機(jī)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及固體攝像裝置、其制造方法及攝像機(jī)，特別是涉及以高成 品率制造固體攝像裝置的技術(shù)。
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背景技術(shù)：
近年來(lái)，廣泛普及的固體攝像裝置具備濾色片用于色分離。
圖9是表示現(xiàn)有技術(shù)的固體攝像裝置的像素部分的截面圖。如圖9所 示，半導(dǎo)體攝像裝置9在半導(dǎo)體襯底901上依次形成柵絕緣膜903、轉(zhuǎn)移 電極903、層間絕緣膜905、遮光膜906、層間絕緣膜907、平坦化膜卯8、 15凸部909及單片濾色片910。
另外，在半導(dǎo)體襯底901的層間絕緣層907側(cè)形成受光區(qū)域902。凸 部909由與平坦化膜908相同的材料構(gòu)成，呈凸透鏡形狀。單片濾色片910 交替層疊二氧化硅(Si02)層910A和二氧化鈦(Ti02)膜910B而成。
這樣一來(lái)，能夠一次形成整個(gè)像素量的濾色片(專利文獻(xiàn)l)。 20 專利文獻(xiàn)l:特開(kāi)2000—180621號(hào)公報(bào)
不過(guò)，現(xiàn)有技術(shù)的單片濾色片910的色分離功能由二氧化硅膜910A 和二氧化鈦膜910B的層數(shù)及各層的膜厚確定。S卩，要獲得具有所期望的
色分離功能的單片濾色片910，必須將構(gòu)成單片濾色片910的全部的層以 必要的膜厚準(zhǔn)確地形成。
25 若詳細(xì)敘述，則要實(shí)現(xiàn)按照設(shè)計(jì)所述的光譜特性，必須以膜厚的誤差
為2%以下的方式形成全部的層。很難以這樣高的精度形成單片濾色片 910，成品率低，從而不得不提高制造成本。當(dāng)然，這個(gè)問(wèn)題也給攝像機(jī) 的成本也帶來(lái)影響。
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發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明正是鑒于所述問(wèn)題而產(chǎn)生的，其目的在于提供一種能夠以更低 的成本實(shí)現(xiàn)所期望的光學(xué)特性的固體攝像裝置、其制造方法及攝像機(jī)。
為了實(shí)現(xiàn)所述目的，本發(fā)明提供一種固體攝像裝置的制造方法，其是 利用分隔層被第一 A /4多層膜和第二 A /4多層膜夾持而成的多層膜干涉濾 5光片來(lái)對(duì)入射光進(jìn)行濾光的固體攝像裝置的制造方法，其特征在于，包括: 形成第一入/4多層膜的工序；在第一入/4多層膜上形成分隔層的工序；測(cè) 量由第一A/4多層膜和分隔層構(gòu)成的膜的反射率特性，特定膜厚的工序； 形成第二A/4多層膜的工序，其中，若特定的膜厚小于設(shè)計(jì)值則使第二入 /4多層膜的膜厚大于設(shè)計(jì)值，若特定的膜厚大于設(shè)計(jì)值則使第二入/4多層 10 膜的膜厚小于設(shè)計(jì)值。
若構(gòu)成多層膜干涉濾光片的A /4多層膜或分隔層的膜厚偏離設(shè)計(jì)值， 則透過(guò)波長(zhǎng)域發(fā)生偏離，與之相對(duì)，若像本發(fā)明這樣，則即使第一A/4多 層膜或分隔層的膜厚偏離設(shè)計(jì)值，也能夠通過(guò)調(diào)節(jié)第二入/4多層膜的膜厚
來(lái)消除透過(guò)波長(zhǎng)域的偏離。
15 因而，能夠?qū)崿F(xiàn)優(yōu)異的色分解功能，并且由于能夠消除由于透過(guò)波長(zhǎng)
域的偏離而造成的成品率下降，因此還能夠降低成本。
另外，本發(fā)明提供一種固體攝像裝置的制造方法，其是利用分隔層被
第一 A /4多層膜和第二入/4多層膜夾持而成的多層膜干涉濾光片來(lái)對(duì)入射
光進(jìn)行濾光的彩色固體攝像裝置的制造方法，其特征在于，包括形成第 20 —入/4多層膜，并且在晶片上作為形成彩色固體攝像裝置的區(qū)域以外的區(qū) 域的參照區(qū)域上形成與第一 A /4多層膜相同的多層膜的工序；在第一 入/4 多層膜上形成分隔層，并且在參照區(qū)域上形成與分隔層相同的層的工序； 測(cè)量參照區(qū)域的反射率特性，特定膜厚的第三工序；形成第二入/4多層膜 的工序，其中，若特定的膜厚小于設(shè)計(jì)值則使第二入/4多層膜的膜厚大于
25 設(shè)計(jì)值，若特定的膜厚大于設(shè)計(jì)值則使第二 A /4多層膜的膜厚小于設(shè)計(jì)值。
這樣一來(lái)，即使在構(gòu)成彩色固體攝像裝置的各個(gè)像素的面積小因而無(wú) 法測(cè)量反射率特性的情況下，也能夠通過(guò)測(cè)量參照區(qū)域的反射率特性，來(lái) 推測(cè)彩色固體攝像裝置的下位膜的膜厚，改變上位膜膜厚。
這種情況下，若包括第四工序，其蝕刻在第一入/4多層膜上形成的分
30 隔層和在參照區(qū)域上形成的與分隔層相同的層，第三工序在第四工序后執(zhí)
行，按分隔層的膜厚測(cè)量參照區(qū)域的反射率特性，則能夠按構(gòu)成彩色固體 攝像裝置的多層膜干涉濾光片的色區(qū)域來(lái)調(diào)節(jié)透過(guò)波長(zhǎng)域。
另外，本發(fā)明的固體攝像裝置的制造方法，其特征在于，包括第五工 序，其在分隔層上形成第二入/4多層膜，并且在參照區(qū)域上形成與第二入 5 /4多層膜相同的多層膜，第五工序在第三工序后執(zhí)行。這樣一來(lái)，在參照 區(qū)域上形成單色用傳感器。因而，不會(huì)浪費(fèi)參照區(qū)域，因此能夠降低成本。
另外，本發(fā)明提供一種固體攝像裝置，其是利用多層膜干涉濾光片對(duì) 入射光進(jìn)行濾光的固體攝像裝置，其特征在于，多層膜干涉濾光片由第一 入/4多層膜和第二入/4多層膜夾持分隔層而成，第一 入/4多層膜的膜厚和
10第二入/4多層膜的膜厚不同。這樣一來(lái)，能夠以低成本提供高光學(xué)特性。
另外，本發(fā)明提供一種固體攝像裝置，其特征在于，具備多層膜干涉 濾光片，具備檢測(cè)不同波長(zhǎng)域的光的單色用傳感器，第一單色用傳感器接 受外光，第一單色用傳感器以外的單色用傳感器接受其他單色用傳感器反 射的光。這樣一來(lái)，如上所述組合與彩色固體攝像裝置一起制造的單色用
15 傳感器，能夠構(gòu)成彩色固體攝像裝置(3板式攝像機(jī))。
另外，本發(fā)明提供一種攝像機(jī)，其特征在于，具備固體攝像裝置，所 述固體攝像裝置利用多層膜干涉濾光片對(duì)入射光進(jìn)行濾光，多層膜干涉濾
光片由第一 A /4多層膜和第二 A /4多層膜夾持分隔層而成，第一 A /4多層 膜的膜厚和第二入/4多層膜的膜厚不同。這樣一來(lái)，能夠以低成本拍攝具 20 有高色再現(xiàn)性的圖像。
另外，本發(fā)明提供一種攝像機(jī)，其特征在于，具備固體攝像裝置，所 述固體攝像裝置具備多層膜干涉濾光片，具備檢測(cè)不同波長(zhǎng)域的光的單色 用傳感器，第一單色用傳感器接受外光，第一單色用傳感器以外的單色用 傳感器接受其他單色用傳感器反射的光。這樣一來(lái)，不會(huì)浪費(fèi)與具有高色
25 再現(xiàn)性的彩色固體攝像裝置一起制造的單色用傳感器，能夠形成3板式攝


圖1是表示本發(fā)明的實(shí)施方式的數(shù)碼相機(jī)的主要功能構(gòu)成的塊圖。
30 圖2是表示本發(fā)明的實(shí)施方式的固體攝像裝置102的概略構(gòu)成的圖。
圖3是表示本發(fā)明的實(shí)施方式的固體攝像裝置102的像素部分的截面圖。
圖4是表示制造本發(fā)明的實(shí)施方式的多層膜干涉濾光片306的諸工序 的圖。
5 圖5是表示下位膜的反射率特性和多層膜干涉濾光片的光譜特性的關(guān) 系的曲線圖，圖5 (a)表示下位膜的膜厚和反射率特性的關(guān)系，圖5 (b) 表示下位膜的膜厚變化和多層膜干涉濾光片的峰值波長(zhǎng)的關(guān)系。 圖6是表示多層膜干涉濾光片的反射率特性的曲線圖。 圖7是表示本發(fā)明的變形例(1)的晶片上的芯片配置的俯視圖。 io 圖8是表示本發(fā)明的變形例(1)的芯片701R、 701G及701B組合而
成的彩色固體攝像裝置的主要構(gòu)成的塊圖。
圖9是表示現(xiàn)有技術(shù)的固體攝像裝置的像素部分的截面圖。 圖中l(wèi)一數(shù)碼相機(jī)，7—晶片，101—透鏡，102—固體攝像裝置，103 一色信號(hào)合成部，104 —映像信號(hào)作成部，105 —元件驅(qū)動(dòng)部，201—單位 15像素，202 —垂直移位寄存器，203 —水平移位寄存器，204—輸出放大器， 205 —驅(qū)動(dòng)電路，301—N型半導(dǎo)體層，302—P型半導(dǎo)體層，303 —光電二 極管，304 —層間絕緣膜，305—遮光膜，306—多層膜干涉濾光片，307 — 聚光透鏡，401、 403、 407、 409 — 二氧化鈦層，402、 408、 410 —二氧化 硅層，404—分隔層，405、 406 —抗蝕劑膜，501 507、 601 605 —曲線圖， 20 701R、 701G、 701B、 702 —芯片。
具體實(shí)施例方式
以下，關(guān)于本發(fā)明的固體攝像裝置、其制造方法及攝像機(jī)的實(shí)施方式， 以數(shù)碼相機(jī)為例，參照附圖進(jìn)行說(shuō)明。
25 [1]數(shù)碼相機(jī)的構(gòu)成
首先，關(guān)于本實(shí)施方式的數(shù)碼相機(jī)的構(gòu)成進(jìn)行說(shuō)明。圖l是表示本實(shí) 施方式的數(shù)碼相機(jī)的主要功能構(gòu)成的塊圖。
如圖1所示，本實(shí)施方式的數(shù)碼相機(jī)1具備透鏡101、固體攝像裝置
102、色信號(hào)合成部103、映像信號(hào)作成部104及元件驅(qū)動(dòng)部105。 30 透鏡101使向數(shù)碼相機(jī)1入射的光在固體攝像裝置102的攝像區(qū)域上
成像。固體攝像裝置102將入射光進(jìn)行光電轉(zhuǎn)換而生成色信號(hào)。元件驅(qū)動(dòng)
部105從固體攝像裝置102取出色信號(hào)。色信號(hào)合成部103對(duì)從固體攝像
裝置102接收的色信號(hào)實(shí)施色信號(hào)補(bǔ)償o工一fV:/夕')。映像信號(hào)作
成部104根據(jù)由色信號(hào)合成部103實(shí)施了色信號(hào)補(bǔ)償?shù)纳盘?hào)生成彩色映 5像信號(hào)。彩色映像信號(hào)最終作為彩色圖像數(shù)據(jù)記錄在記錄介質(zhì)中。 [2]固體攝像裝置的構(gòu)成 接下來(lái)，關(guān)于固體攝像裝置102的構(gòu)成進(jìn)行說(shuō)明。 圖2是表示固體攝像裝置102的概略構(gòu)成的圖。如圖2所示，固體攝 像裝置102利用垂直移位寄存器202對(duì)2維排列的單位像素201的各行進(jìn) io行選擇，利用水平移位寄存器203選擇其行信號(hào)，將每個(gè)像素的彩色信號(hào) 從輸出放大器204輸出。還有，固體攝像裝置102用驅(qū)動(dòng)電路205驅(qū)動(dòng)垂 直移位寄存器202、水平移位寄存器203及輸出放大器204。
圖3是表示固體攝像裝置102的像素部分的截面圖。如圖3所示，固 體攝像裝置102通過(guò)在N型半導(dǎo)體層301上依次層疊P型半導(dǎo)體層302、 15層間絕緣膜304、多層膜干涉濾光片306及聚光透鏡307而成。
在P型半導(dǎo)體層302的層間絕緣膜304側(cè)在每個(gè)像素上形成通過(guò)離子 注入N型雜質(zhì)而成的光電二極管303。光電二極管303與聚光透鏡307具 有一一對(duì)應(yīng)關(guān)系。另外，在相鄰的光電二極管303之間夾有P型半導(dǎo)體層， 將其稱作元件分離區(qū)域。 20 在層間絕緣膜304中形成遮光膜305。遮光膜305防止透過(guò)了聚光透
鏡307的光入射到無(wú)對(duì)應(yīng)關(guān)系的光電二極管303。
多層膜干涉濾光片306具備由2個(gè)入/4多層膜夾持分隔層的結(jié)構(gòu)。入 /4多層膜均是通過(guò)光學(xué)膜厚相同且折射率不同的2種電介質(zhì)層交替層疊各 4層而成。還有，光學(xué)膜厚是物理膜厚乘以折射率而得到的指數(shù)。 25 通常，入/4多層膜反射以與電介質(zhì)層的光學(xué)膜厚的4倍相等的波長(zhǎng)入
為中心的光帶(反射光帶)的光，不過(guò)，多層膜干涉濾光片306使與分隔 層的膜厚對(duì)應(yīng)的波長(zhǎng)的光透過(guò)。從而，多層膜干涉濾光片306對(duì)置的像素 按需要受光的光色而膜厚不同，紅色區(qū)域、綠色區(qū)域及藍(lán)色區(qū)域的膜厚分 別為516nm、 481nm、 615nm。 30 [3]多層膜干涉濾光片306的制造方法
接下來(lái)，關(guān)于多層膜干涉濾光片306的制造方法進(jìn)行說(shuō)明。圖4是表
示制造多層膜干涉濾光片306的諸工序的圖。圖4中，多層膜干涉濾光片 306的制造工序從(a)向(d)進(jìn)行。另外，N型半導(dǎo)體層301、 P型半導(dǎo) 體層302、光電二極管303及遮光膜305省略圖示。 5 首先，用高頻(RF: Radio Frequency)濺射裝置，在層間絕緣膜304
上依次層疊二氧化鈦層401 、 二氧化硅層402及二氧化鈦層403，形成入/4 多層膜。進(jìn)而，在二氧化鈦層403上形成分隔層404。分隔層404由二氧 化硅構(gòu)成。
在此，測(cè)量由二氧化鈦層401、 403、 二氧化硅層402及分隔層404 io這4層構(gòu)成的層疊膜(以下，稱作「下位膜」。)的反射率特性。該反射率 特性利用采用了白色光的波長(zhǎng)光譜測(cè)定進(jìn)行測(cè)量。當(dāng)根據(jù)該反射特性判明 了在下位膜的膜厚上產(chǎn)生了制造誤差時(shí)，對(duì)照該誤差調(diào)節(jié)分隔層404及以 下敘述的二氧化鈦層407、 409及二氧化硅層408、 410的膜厚。
接下來(lái)，調(diào)整分隔層404的膜厚，以使多層膜干涉濾光片306按像素 15 透過(guò)需要受光的光色。
艮P，在分隔層404上形成抗蝕劑膜405，只在分隔層404的需要透過(guò) 紅色光的區(qū)域(以下，稱作「紅色區(qū)域」。)去除抗蝕劑膜405。并且，將 抗蝕劑膜405作為蝕刻掩模，蝕刻分隔層404的紅色區(qū)域(圖4 (b))。 并且，去除了抗蝕劑膜405后，在分隔層404上形成抗蝕劑膜406， 20只在分隔層404的需要透過(guò)綠色光的部分(以下，稱作「綠色區(qū)域」。)去 除抗蝕劑膜406。并且，將抗蝕劑膜406作為蝕刻掩模，蝕刻分隔層404 的綠色區(qū)域(圖4 (c))。
還有，在蝕刻分隔層404之際，例如在晶片面上涂布抗蝕劑，在曝光 前烘干(預(yù)烘干)后，利用步進(jìn)曝光裝置等曝光裝置進(jìn)行曝光，通過(guò)抗蝕 25劑顯影及最終烘干(主烘干)形成抗蝕劑膜后，采用四氟化甲烷(CF4) 類的蝕刻氣體即可。
去除了抗蝕劑膜406后，在分隔層404及綠色區(qū)域，在二氧化鈦層403 上依次形成二氧化鈦層407、 二氧化硅層408、 二氧化鈦層409及二氧化 硅層410，形成入/4多層膜，由此完成多層膜干涉濾光片306。 30 [4]下位膜的反射率特性和多層膜干涉濾光片的光譜特性
接下來(lái)，關(guān)于下位膜的反射率特性和多層膜干涉濾光片的光譜特性的 關(guān)系進(jìn)行說(shuō)明。圖5是表示下位膜的反射率特性和多層膜干涉濾光片的光
譜特性的關(guān)系的曲線圖，圖5(a)表示下位膜的膜厚和反射率特性的關(guān)系， 圖5(b)表示下位膜的膜厚的變化和多層膜干涉濾光片的峰值波長(zhǎng)的關(guān)系。 5 圖5 (a)中，曲線圖501-505分別表示下位膜的膜厚從設(shè)計(jì)值偏離了
—20%、 一10%、 0%、 10%及20%時(shí)的反射率特性。另夕卜，縱軸表示反射 率，橫軸表示波長(zhǎng)。
那么，若將曲線圖的反射率最高的位置稱為凸峰值、將在波長(zhǎng)420nm 以上的范圍內(nèi)反射率最低的位置稱為凹峰值，則由圖5 (a)可知，下位膜 io的膜厚越大凸峰值波長(zhǎng)、凹峰值波長(zhǎng)均越向長(zhǎng)波長(zhǎng)側(cè)移動(dòng)。
圖5 (b)中，曲線圖506、 507是分別表示凸峰值波長(zhǎng)、凹峰值波長(zhǎng) 和下位膜的膜厚的關(guān)系的曲線圖。縱軸表示峰值波長(zhǎng)，橫軸表示下位膜的 膜厚相對(duì)于設(shè)計(jì)值的比率(以下，稱為「膜厚比」。)。如圖5 (b)所示， 凸峰值波長(zhǎng)、凹峰值波長(zhǎng)均與膜厚比成比例地直線增加。因而，若測(cè)定下 15 位膜的反射率特性而特定凸峰值波長(zhǎng)和凹峰值波長(zhǎng)，則能夠準(zhǔn)確地測(cè)定下 位膜的膜厚從設(shè)計(jì)值的偏離。
圖6是表示多層膜干涉濾光片的反射率特性的曲線圖。 圖6 (a)的曲線圖表示在下位膜的膜厚比設(shè)計(jì)值大10%的情況下， 使由二氧化鈦層407、 二氧化硅層408、 二氧化鈦層409及二氧化硅層410 20形成的入/4多層膜(以下，稱作「上位膜」。)的膜厚變化而得到的反射率 特性。
圖6 (a)中，曲線圖601 604分別表示使上位膜的膜厚相對(duì)于設(shè)計(jì)值 變化一20% (減少)、一10% (減少)、0% (按照設(shè)計(jì))、10% (增加)時(shí) 的反射率特性。如圖6 (a)所示，通過(guò)使上位膜的膜厚變化從而能夠使多 25層膜干涉濾光片的反射率特性變化。
圖6 (b)中，曲線圖605表示下位膜的膜厚按照設(shè)計(jì)值時(shí)的反射率特 性。若與圖6 (a)比較，則曲線圖602最接近曲線圖605。因而，當(dāng)下位 膜的膜厚比設(shè)計(jì)值大10%時(shí)通過(guò)使上位膜的膜厚減少10%，作為多層膜干 涉濾光片整體能夠?qū)崿F(xiàn)所期望的反射率特性。 30 通常，即使下位膜的膜厚從設(shè)計(jì)值偏離，只要測(cè)量下位膜的反射率特
性而特定從設(shè)計(jì)值偏離的大小，并對(duì)應(yīng)于該偏離的大小來(lái)調(diào)節(jié)上位膜的膜 厚，則也能夠調(diào)節(jié)多層膜干涉濾光片的光學(xué)特性。 [5]變形例
以上，根據(jù)實(shí)施方式說(shuō)明了本發(fā)明，不過(guò)，當(dāng)然本發(fā)明并不限定于所 5 述實(shí)施方式，其能夠?qū)嵤┮韵碌淖冃卫?br> (1)在所述實(shí)施方式中雖沒(méi)有特別言及，不過(guò)，在用以形成多層膜 干涉濾光片的半導(dǎo)體工藝中，除了如上所述需要測(cè)量反射率特性之外，優(yōu) 選1個(gè)芯片內(nèi)的像素具備使全部同色光透過(guò)的多層膜干涉濾光片。
圖7是表示本變形例的晶片上的芯片配置的俯視圖。如圖7所示，在
10晶片7上形成2種芯片，即芯片701R、 701G及701B和芯片702。芯片
701R、 701G及701B為單色用傳感器，每1個(gè)芯片內(nèi)的像素均具備使全
部同色光透過(guò)的多層膜干涉濾光片。
另外，芯片702為彩色用傳感器，1個(gè)芯片內(nèi)的像素具備使3原色的
任意一個(gè)光色的光透過(guò)的多層膜干涉濾光片。芯片701R檢測(cè)芯片702所 15檢測(cè)的3原色光中的紅色光。另外，芯片701G、 701B分別檢測(cè)綠色光、
藍(lán)色光。
這樣一來(lái)，通過(guò)蝕刻等來(lái)調(diào)整芯片701R、 701G及701B的分隔層的 膜厚后，測(cè)量它們的反射率特性，由此，芯片701R、 701G及701B自不 必說(shuō)，還特定芯片702的下位膜的膜厚，調(diào)節(jié)上位膜的膜厚，任意一個(gè)多 20層膜干涉濾光片都能夠精度良好地形成。另外，能夠提高芯片701R、701G、 701B及702的成品率。
還有，組合作為單色用傳感器的芯片701R、 701G及701B，能夠構(gòu) 成彩色固體攝像裝置。圖8是表示芯片701R、 701G及701B組合而成的 彩色固體攝像裝置的主要構(gòu)成的塊圖。圖8中，彩色固體攝像裝置8首先 25由芯片701R接受含有3原色的全部成分的白色光W。
芯片701R的多層膜干涉濾光片只透過(guò)紅色光而反射其他色的光，因 此芯片701R檢測(cè)白色光W中的紅色成分。并且，綠色成分G和藍(lán)色成 分B被反射，朝向芯片701G射出。
芯片701G的多層膜干涉濾光片只透過(guò)綠色光而反射藍(lán)色光，因此芯 30片701G檢測(cè)白色光W中的綠色成分G，藍(lán)色成分B朝向芯片701B射出。
芯片701B檢測(cè)白色光W中的藍(lán)色成分B。
因而，彩色固體攝像裝置8利用芯片701R、 701G及701B能夠檢測(cè) 白色光W中含有的3原色的各個(gè)色。 產(chǎn)業(yè)上的可利用性
本發(fā)明的固體攝像裝置、其制造方法及攝像機(jī)，作為能夠拍攝以高精 度再現(xiàn)色的圖像的固體攝像裝置及攝像機(jī)、還有其制造方法是有用的。
權(quán)利要求
1.一種固體攝像裝置的制造方法，其是利用分隔層被第一λ/4多層膜和第二λ/4多層膜夾持而成的多層膜干涉濾光片來(lái)對(duì)入射光進(jìn)行濾光的固體攝像裝置的制造方法，其特征在于，包括形成第一λ/4多層膜的工序；在第一λ/4多層膜上形成分隔層的工序；測(cè)量由第一λ/4多層膜和分隔層構(gòu)成的膜的反射率特性，特定膜厚的工序；形成第二λ/4多層膜的工序，其中，若特定的膜厚小于設(shè)計(jì)值則使第二λ/4多層膜的膜厚大于設(shè)計(jì)值，若特定的膜厚大于設(shè)計(jì)值則使第二λ/4多層膜的膜厚小于設(shè)計(jì)值。
2. —種固體攝像裝置的制造方法，其是利用分隔層被第一A/4多層 15膜和第二 A /4多層膜夾持而成的多層膜干涉濾光片來(lái)對(duì)入射光進(jìn)行濾光的彩色固體攝像裝置的制造方法，其特征在于，包括形成第一入/4多層膜，并且在晶片上作為形成彩色固體攝像裝置的區(qū) 域以外的區(qū)域的參照區(qū)域上形成與第一 A/4多層膜相同的多層膜的工序； 在第一入/4多層膜上形成分隔層，并且在參照區(qū)域上形成與分隔層相 同的層的工序；測(cè)量參照區(qū)域的反射率特性，特定膜厚的第三工序；形成第二入/4多層膜的工序，其中，若特定的膜厚小于設(shè)計(jì)值則使第 二入/4多層膜的膜厚大于設(shè)計(jì)值，若特定的膜厚大于設(shè)計(jì)值則使第二 X /4 多層膜的膜厚小于設(shè)計(jì)值。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的固體攝像裝置的制造方法，其特征在于，包括第四工序，其蝕刻在第一 A /4多層膜上形成的分隔層和在參照區(qū) 域上形成的與分隔層相同的層，第三工序在第四工序后執(zhí)行，按分隔層的膜厚測(cè)量參照區(qū)域的反射率 特性。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的固體攝像裝置的制造方法，其特征在于， 包括第五工序，其在分隔層上形成第二入/4多層膜，并且在參照區(qū)域 上形成與第二入/4多層膜相同的多層膜， 第五工序在第三工序后執(zhí)行。
5. —種固體攝像裝置，其是利用多層膜干涉濾光片對(duì)入射光進(jìn)行濾 光的固體攝像裝置，其特征在于，多層膜干涉濾光片由第一 A /4多層膜和第二入/4多層膜夾持分隔層而成，第一 A /4多層膜的膜厚和第二 A /4多層膜的膜厚不同。
6. —種固體攝像裝置，其特征在于， 具備多層膜干涉濾光片，具備檢測(cè)不同波長(zhǎng)域的光的單色用傳感器，第一單色用傳感器接受外光，第一單色用傳感器以外的單色用傳感器 接受其他單色用傳感器反射的光。
7. —種攝像機(jī)，其特征在于，具備固體攝像裝置，所述固體攝像裝置利用多層膜干涉濾光片對(duì)入射 光進(jìn)行濾光，多層膜干涉濾光片由第一 入/4多層膜和第二 A /4多層膜夾持分隔層而成，第一 A /4多層膜的膜厚和第二 A /4多層膜的膜厚不同。
8. —種攝像機(jī)，其特征在于， 具備固體攝像裝置，所述固體攝像裝置具備多層膜干涉濾光片，具備檢測(cè)不同波長(zhǎng)域的光的單色用傳感器，第一單色用傳感器接受外光，第一單色用傳感器以外的單色用傳感器 接受其他單色用傳感器反射的光。
全文摘要
在形成構(gòu)成固體攝像裝置的多層膜干涉濾光片之際，首先，在層間絕緣膜(304)上依次層疊二氧化鈦層(401)、二氧化硅層(402)、二氧化鈦層(403)及分隔層(404)，形成下位膜。接著，測(cè)量下位膜的反射率特性而特定下位膜的膜厚，若偏離了設(shè)計(jì)值，則改變分隔層(404)及作為上位膜的二氧化鈦層(407、409)和二氧化硅層(408、410)的膜厚。按照該改變來(lái)蝕刻分隔層(404)而調(diào)整膜厚，在其上形成上位膜。
文檔編號(hào)H04N5/369GK101185165SQ200680018440
公開(kāi)日2008年5月21日 申請(qǐng)日期2006年5月10日 優(yōu)先權(quán)日2005年7月6日
發(fā)明者稻葉雄一, 笠野真弘 申請(qǐng)人:松下電器產(chǎn)業(yè)株式會(huì)社